JP6332457B2 - ラダー型フィルタ - Google Patents
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Description
2…圧電基板
3…アンテナ端子
4…送信端子
5a,5b…アース端子
7…層間絶縁膜
8…熱伝導体
9…IDT電極
9a…第1の電極
9b…第2の電極
9aA,9bA…電極指
9aB,9bB…バスバー
10…反射器
11…弾性波共振子
27…層間絶縁膜
28…熱伝導体
31…ラダー型フィルタ
37…層間絶縁膜
38…熱伝導体
39aB,39bB…バスバー
S1a,S1b〜S6…直列腕共振子
P1〜P3…並列腕共振子
Claims (10)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられている第1の信号端子、第2の信号端子及びアース端子と、
前記圧電基板上に設けられており、複数本の電極指と、前記複数本の電極指の一端がそれぞれ共通接続されている一対のバスバーとを有する複数のIDT電極とを備え、
前記複数のIDT電極により複数の弾性波共振子が所定の通過帯域を有するように構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第1の信号端子と前記第2の信号端子とを接続している直列腕に配置されている複数の直列腕共振子と、前記直列腕と前記アース端子とを接続している並列腕に配置されている並列腕共振子とを有し、
少なくとも1つの前記バスバーの上に設けられている層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜よりも熱伝導率が高い材料からなり、前記層間絶縁膜上に設けられる熱伝導体とをさらに備え、
前記熱伝導体が、前記第1の信号端子、前記第2の信号端子及び前記アース端子のうちの少なくとも1つに接触しており、
前記複数の弾性波共振子は、前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する弾性波共振子と、前記層間絶縁膜が設けられていない前記バスバーを有する弾性波共振子とを含んでおり、
前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する前記弾性波共振子の消費電力が、前記複数の弾性波共振子のうち最小ではなく、
前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する前記弾性波共振子の前記IDT電極の形成面積は、前記複数の弾性波共振子のうち最大ではない、ラダー型フィルタ。 - 前記複数の直列腕共振子は、前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する前記弾性波共振子を含んでいる、請求項1に記載のラダー型フィルタ。
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられている第1の信号端子、第2の信号端子及びアース端子と、
前記圧電基板上に設けられており、複数本の電極指と、前記複数本の電極指の一端がそれぞれ共通接続されている一対のバスバーとを有する複数のIDT電極とを備え、
前記複数のIDT電極により複数の弾性波共振子が所定の通過帯域を有するように構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第1の信号端子と前記第2の信号端子とを接続している直列腕に配置されている複数の直列腕共振子と、前記直列腕と前記アース端子とを接続している並列腕に配置されている並列腕共振子とを有し、
少なくとも1つの前記バスバーの上に設けられている層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜よりも熱伝導率が高い材料からなり、前記層間絶縁膜上に設けられる熱伝導体とをさらに備え、
前記熱伝導体が、前記第1の信号端子、前記第2の信号端子及び前記アース端子のうちの少なくとも1つに接触しており、
前記複数の直列腕共振子は、前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する直列腕共振子と、前記層間絶縁膜が設けられていない前記バスバーを有する直列腕共振子とを含んでおり、
前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する前記直列腕共振子は、前記所定の通過帯域の高周波側の外側の最も近くに配置された減衰極の周波数に最も近い***振周波数を有する、ラダー型フィルタ。 - 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられている第1の信号端子、第2の信号端子及びアース端子と、
前記圧電基板上に設けられており、複数本の電極指と、前記複数本の電極指の一端がそれぞれ共通接続されている一対のバスバーとを有する複数のIDT電極とを備え、
前記複数のIDT電極により複数の弾性波共振子が所定の通過帯域を有するように構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第1の信号端子と前記第2の信号端子とを接続している直列腕に配置されている複数の直列腕共振子と、前記直列腕と前記アース端子とを接続している並列腕に配置されている並列腕共振子とを有し、
少なくとも1つの前記バスバーの上に設けられている層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜よりも熱伝導率が高い材料からなり、前記層間絶縁膜上に設けられる熱伝導体とをさらに備え、
前記熱伝導体が、前記第1の信号端子、前記第2の信号端子及び前記アース端子のうちの少なくとも1つに接触しており、
前記並列腕共振子は、前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する並列腕共振子と、前記層間絶縁膜が設けられていない前記バスバーを有する並列腕共振子とを含んでおり、
前記層間絶縁膜が設けられている前記バスバーを有する前記並列腕共振子は、前記所定の通過帯域の低周波側の外側の最も近くに配置された減衰極の周波数に最も近い共振周波数を有する、ラダー型フィルタ。 - 前記複数の弾性波共振子のうち隣り合う2つの弾性波共振子の各一方のバスバーが、電気的に接続されており、かつ前記アース端子に接続されておらず、前記各一方のバスバーの双方に至るように前記層間絶縁膜が設けられており、前記層間絶縁膜の上に前記熱伝導体が設けられている、請求項1〜4のいずれか1項に記載のラダー型フィルタ。
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられている第1の信号端子、第2の信号端子及びアース端子と、
前記圧電基板上に設けられており、複数本の電極指と、前記複数本の電極指の一端がそれぞれ共通接続されている一対のバスバーとを有する複数のIDT電極とを備え、
前記複数のIDT電極により複数の弾性波共振子が所定の通過帯域を有するように構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第1の信号端子と前記第2の信号端子とを接続している直列腕に配置されている複数の直列腕共振子と、前記直列腕と前記アース端子とを接続している並列腕に配置されている並列腕共振子とを有し、
少なくとも1つの前記バスバーの上に設けられている層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜よりも熱伝導率が高い材料からなり、前記層間絶縁膜上に設けられる熱伝導体とをさらに備え、
前記熱伝導体が、前記第1の信号端子、前記第2の信号端子及び前記アース端子のうちの少なくとも1つに接触しており、
前記IDT電極が電極指交叉部を有し、前記層間絶縁膜が前記電極指交叉部と前記バスバーとの間の領域に至っている、ラダー型フィルタ。 - 前記熱伝導体が前記アース端子に接触している、請求項1〜6のいずれか1項に記載のラダー型フィルタ。
- 前記熱伝導体が導電性を有し、前記熱伝導体が前記第1の信号端子、前記第2の信号端子及び前記アース端子のうち前記アース端子のみに接触している、請求項7に記載のラダー型フィルタ。
- 前記バスバー、前記層間絶縁膜及び前記熱伝導体によりコンデンサが構成されている、請求項8に記載のラダー型フィルタ。
- 前記熱伝導体が導電性を有さない、請求項1〜8のいずれか1項に記載のラダー型フィルタ。
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