CN107852143B - 弹性波装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种能够减小压电基板面的面积并且能够实现小型化的弹性波装置。在压电基板(2)上，设置纵耦合谐振器型弹性波滤波器(3)。纵耦合谐振器型弹性波滤波器(3)的IDT电极(11～13)具有第1汇流条(11a、12a、13a)和第2汇流条(11b、12b、13b)。在与弹性波传播方向正交的方向之中的至少一者，设置无机绝缘层，以使得覆盖多个第1汇流条(11a、12a、13a)或者多个第2汇流条(11b、12b、13b)，在无机绝缘层上，第1布线(18)被配置为在弹性波传播方向延伸。第2布线(19)隔着无机绝缘层而与第1布线(18)立体交叉。第1布线(18)贯通无机绝缘层并与连接于相同电位的汇流条连接。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明涉及在压电基板上构成有纵耦合谐振器型弹性波滤波器的弹性波装置。
背景技术
在下述的专利文献1所述的弹性波装置中，在压电基板上，设置IDT电极以及接地侧布线。接地侧布线被设置为包围IDT电极。与IDT电极连接的高压侧布线隔着绝缘膜，与接地侧布线立体交叉。
在下述的专利文献2中，将2个纵耦合谐振器型弹性波元件间连接的接地侧布线、和将其他2个纵耦合谐振器型弹性波元件间连接的高压侧布线隔着绝缘膜而交叉。此外，在下述的专利文献3中，隔着绝缘膜，不同电位的布线彼此被交叉。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：WO2010/150882
专利文献2：WO2014/199674
专利文献3：JP特开2004-282707号公报
发明内容
-发明要解决的课题-
在专利文献1～3中所述的现有的弹性波装置中，在与IDT电极分离的部分，设置有立体交叉部分。因此，压电基板面的面积不得不变大，难以实现小型化。
本发明的目的在于，提供一种能够减小压电基板面的面积并且能够实现小型化的弹性波装置。
-解决课题的手段-
本发明所涉及的弹性波装置具备：压电基板；和第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器，被设置在所述压电基板上，具有沿着弹性波传播方向而被配置的至少3个IDT电极，各所述IDT电极在与弹性波传播方向正交的方向上，具有被设置于一端侧的第1汇流条和被设置于另一端侧的第2汇流条，在所述一端侧以及所述另一端侧之中的至少一方，设置无机绝缘层以使得覆盖多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条，所述弹性波装置还具备：第1布线，在多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条的上方，被配置在所述无机绝缘层上以使得在弹性波传播方向延伸；和第2布线，被设置在所述压电基板上以使得隔着所述无机绝缘层而与所述第1布线立体交叉，所述第1布线贯通所述无机绝缘层而与多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条之中的与相同电位连接的汇流条连接。
在本发明所涉及的弹性波装置的某个特定的方面，还具备弹性波元件，所述弹性波元件被设置于所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的配置有多个所述第2汇流条的一侧。
在本发明所涉及的弹性波装置的其他特定的方面，在多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条的上方，被配置在所述无机绝缘层上以使得在弹性波传播方向延伸的所述第1布线被设置为：俯视所述压电基板的情况下不从多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条突出地重叠。
在本发明所涉及的弹性波装置的其他特定的方面，所述弹性波元件是第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器，所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器与所述第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器级联连接。此时，能够减小级间的面积。
在本发明所涉及的弹性波装置的其他特定的方面，所述弹性波元件是弹性波谐振器。此时，能够减小第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器与弹性波谐振器之间的区域的面积。
在本发明所涉及的弹性波装置的又一其他特定的方面，在将所述第1汇流条或者所述第2汇流条的与弹性波传播方向正交的方向设为宽度方向时，与所述第1汇流条或者所述第2汇流条的宽度相比，所述第1布线的宽度较窄。此时，在将第1布线形成在无机绝缘层上时，能够缓和宽度方向上的定位精度。此外，难以产生第1、第2布线间的容量的偏差。
在本发明所涉及的弹性波装置的其它特定的方面，与所述相同电位连接的所述汇流条是与接地电位连接的汇流条，所述第1布线与接地电位连接。
在本发明所涉及的弹性波装置的其他特定的方面，所述第1布线被设置为包围所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器。此时，能够将第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器相对于周围电磁屏蔽。
在本发明所涉及的弹性波装置的又一其他特定的方面，所述第1布线是与接地电位连接的布线，被设置为包围所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器以及所述弹性波元件。此时，能够抑制第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器以及弹性波谐振器与位于布线的外侧的元件或电极的干扰。
在本发明所涉及的弹性波装置的又一其他特定的方面，所述第1布线具有环状的形状。
在本发明所涉及的弹性波装置的又一其它特定的方面，俯视所述压电基板的情况下，所述第1布线具有将环状的形状的内侧与外侧连接的切口。
在本发明所涉及的弹性波装置的又一其它特定的方面，所述压电基板是LiNbO3基板。
在本发明所涉及的弹性波装置的又一其他特定的方面，所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。优选地，所述无机绝缘层由氧化硅构成。此时，能够减小弹性波装置的频率温度系数TCF的绝对值。
-发明效果-
根据本发明所涉及的弹性波装置，能够减小压电基板面的面积，并且能够实现弹性波装置的小型化。
附图说明
图1(a)是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图，图1(b)是表示纵耦合谐振器型弹性波滤波器的电极构造的示意性的俯视图。
图2是相当于沿着图1的箭头A-A线的部分的局部剖视图。
图3是用于对为了比较而准备的第1比较例的弹性波装置进行说明的示意性的俯视图。
图4是沿着图3的箭头B-B线的局部剖视图。
图5是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图。
图6是用于对第2实施方式中的第1以及第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器的电连接构造进行说明的示意性的俯视图。
图7是第2实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图。
图8是为了比较而准备的第2比较例的弹性波装置的示意性的俯视图。
图9是表示第2实施方式以及第2比较例所涉及的弹性波装置的衰减量频率特性的图。
图10是将第2实施方式以及第2比较例的弹性波装置的衰减量频率特性放大表示的图。
图11是用于对第2比较例中的容量产生部分进行说明的局部放大俯视图。
图12是表示第2实施方式以及第2比较例中的隔离特性的图。
图13是表示第2实施方式以及第2比较例所涉及的弹性波装置的衰减量频率特性的图。
图14是本发明的第3实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图。
图15是本发明的第4实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图。
图16是本发明的第5实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图。
图17是用于对第5实施方式的弹性波装置的变形例进行说明的示意性的俯视图。
图18是用于对第5实施方式的弹性波装置的其他变形例进行说明的示意性的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的具体实施方式进行说明，从而使本发明清楚明了。
另外指出，本说明书中所述的各实施方式是是示例性的，在不同的实施方式之间，能够进行结构的局部置换或者组合。
图1(a)是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图，图1(b)是表示本实施方式中的纵耦合谐振器型弹性波滤波器的电极构造的示意性的俯视图。此外，图2是相当于沿着图1的箭头A-A线的部分的局部剖视图。
弹性波装置1具有压电基板2，该压电基板2具有主面。压电基板2由LiNbO3构成。并且，压电基板2也可以由LiTaO3等其他压电单晶构成。此外，压电基板2也可以具有在多个层叠膜上层叠了压电薄膜的构造。
在压电基板2的主面上设置第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3。第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3具有第1～第3IDT电极11～13。即，第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3是3IDT型的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。
沿着弹性波传播方向，第1～第3IDT电极11～13被配置在压电基板2的主面上。在设置有第1～第3IDT电极11～13的区域的弹性波传播方向一侧配置反射器14，在另一侧配置反射器15。
在图1(a)中，示意性地表示设置有第1～第3IDT电极11～13以及反射器14、15的位置。图1(b)中，通过更具体的示意图来表示第1～第3IDT电极以及反射器14、15的电极构造。
如图1(b)所示，第1～第3IDT电极11～13分别具有在与弹性波传播方向正交的方向上被配置于一端侧的第1汇流条11a、12a、13a。此外，在与弹性波传播方向正交的方向上，在另一端侧配置第2汇流条11b、12b、13b。第1汇流条11a、12a、13a与多根第1电极指11c、12c、13c的一端连接。第2汇流条11b、12b、13b与多根第2电极指11d、12d、13d的一端连接。
反射器14、15分别具有：在与弹性波传播方向正交的方向上被设置于一端侧的第1汇流条14a、15a、和被设置于另一端侧的第2汇流条14b、15b。第1汇流条14a和第2汇流条14b通过多根电极指而被短路。同样地，第1汇流条15a和第2汇流条15b通过多根电极指而被短路。另外，能够省略反射器14、15的第1汇流条14a、15a以及第2汇流条14b、15b。
构成上述第1～第3IDT电极11～13以及反射器14、15的材料只要是导电性材料就并不特别限定，但适合使用Al、Au等的金属或者合金。
如图1(b)所示，在弹性波传播方向延伸的细长的螺旋状的第1汇流条11a、12a、13a沿着弹性波传播方向而被配置。第1汇流条14a以及第1汇流条15a也在第1汇流条11a、12a、13a延伸的方向的延长上，延伸为直线状。
在与弹性波传播方向正交的方向的另一端侧，同样地，第2汇流条11b、12b、13b也被设为沿着弹性波传播方向延伸的细长的螺旋状的形状。第2汇流条14b、15b也具有细长的螺旋状的形状，位于第2汇流条11b、12b、13b延伸的方向的延长上。
在第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3中，第1汇流条11a、13a与信号电位连接，第2汇流条11b、13b与接地电位连接。在第2IDT电极12中，第1汇流条12a与接地电位连接，第2汇流条12b与信号电位连接。
以往，在纵耦合谐振器型的弹性波装置中，为了在压电基板上与其他元件连接，此外，为了与接地电位连接，分别在设置布线时，将较大的布线空间设为必须。与此相对地，在本实施方式的弹性波装置1中，能够缩小该布线空间。参照图3、图1(a)以及图2，对此更具体地进行说明。
图3是用于对现有的布线的立体交叉部分进行说明的第1比较例的弹性波装置的一个例子的示意性的俯视图。如图3所示，第1～第3IDT电极111～113与上述实施方式的第1～第3IDT电极11～13同样地构成。此外，设置有反射器114、115。并且，立体交叉部分如下构成。
即，第2汇流条112b与信号布线120连接。另一方面，在与接地电位连接的第2汇流条111b、113b连接上层的布线119。虽在图3中省略图示，但如图4所示，实际上，在上层的布线119的下方层叠无机绝缘层118。通过该无机绝缘层118，能够防止上层的布线119与信号布线120的短路。由图3可知，由X1所示的区域为了上述立体交叉部分是必须的。
与此相对地，在本实施方式中，虽在图1(a)中省略图示，但如图2所示，在压电基板2的主面上的整面，设置无机绝缘层17以使得覆盖上述电极构造。无机绝缘层17由氧化硅(SiO2)构成。并且，构成无机绝缘层的材料能够使用SiN、SiON、Al2O3等的各种无机绝缘材料。优选地，通过使用SiO2，能够减小频率温度系数TCF的绝对值。
如图2所示，在设置有第2汇流条11b、12b、13b的区域，通过无机绝缘层17，覆盖第2汇流条12b。另一方面，在设置有第2汇流条11b、13b的部分，在无机绝缘层17形成贯通孔。并且，在无机绝缘层17上设置第1布线18。第1布线18填充上述贯通孔，与第2汇流条11b、13b电连接。第1布线18在第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3中，将与同电位连接的第2汇流条11b、13b共同连接。
如图1(a)所示，第1布线18在弹性波传播方向延伸，并且位于设置有上述第2汇流条11b、12b、13b的区域的上方。另一方面，如图1(a)所示，在第2汇流条12b，连接作为信号布线的第2布线19。第2布线19被无机绝缘层17覆盖，防止与第1布线18的短路。另外，弹性波传播方向上的作为第2布线19的长度的布线的粗度比第2汇流条12b的长度小。
如上述那样，在纵耦合谐振器型弹性波滤波器3中，在设置有第2汇流条11b、12b、13b的区域，实现了与接地电位连接的第1布线18和与信号电位连接的第2布线19的立体交叉。因此，在图1(a)中由X所示的区域不要设置立体交叉部分。因此，能够将X所示的区域利用于其他元件的形成等。因此，能够缩小弹性波装置1的压电基板面的面积，能够实现弹性波装置1的小型化。
虽然以第2汇流条11b、12b、13b一侧为例进行了说明，但在设置有第1汇流条11a、12a、13a的区域，第1布线20也被设置在无机绝缘层17上。进一步地，第1布线20与连接于接地电位的第1汇流条12a电连接。第1汇流条11a、13a电连接于与第1汇流条11a、13a一体地形成的第2布线20A。第2布线20A位于所述的无机绝缘层17的下层。第2布线20A与信号电位连接。
在设置有第1汇流条11a、12a、13a的一侧，立体交叉也在设置有第1汇流条11a、12a、13a的区域上进行，因此同样地，能够缩小与弹性波传播方向正交的方向上外侧的区域。
另外，虽然在本实施方式中，使用了3IDT型的第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3，但也可以使用具有5个以上的IDT电极的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。
图5是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图。图6是表示弹性波装置21的电极构造的示意性的俯视图。弹性波装置21具有第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A。第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A具有与第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3几乎相同的结构。第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A与第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器23被级联连接，以使得第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器23的输出信号为第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A的输入信号。第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器23具有第1～第3IDT电极31～33、反射器34、35。第1～第3IDT电极31～33的第1汇流条31a、32a、33a沿着弹性波传播方向延伸。在设置有第1汇流条31a、32a、33a的区域的上方，隔着在图5中省略图示的无机绝缘层，设置第1布线40。第1布线40与连接于信号电位的第2布线41隔着无机绝缘层而立体交叉。如图5所示，连接于前级的第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器23的第2汇流条31b、33b与第2布线43a、43b分别连接。第2布线43a、43b与次级的第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A的第1汇流条11a、13a电连接。
第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A除了上述第2布线43a、43b与第1汇流条11a、13a连接、第2汇流条12b与接地电位连接以外，具有与第1实施方式的第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3几乎相同的构造。第1汇流条12a与被设置在未图示的无机绝缘层上的第1布线20电连接。第1布线20与接地电位连接。
所述的第2布线43a、43b在无机绝缘层的下方，与第1汇流条11a、13a相连。
在第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A中，上述第1布线20位于设置有第1汇流条11a、12a、13a的区域的上方。在第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器23中，第1布线42也位于设置有第2汇流条31b、32b、33b的区域的上方。因此，布线的立体交叉部分不位于级间区域X2，而位于上述汇流条形成区域上。因此，能够缩短级间距离。即，能够使第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器23接近于第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A。因此，在第2实施方式中，也能够实现弹性波装置21的小型化。
并且，在第2实施方式的弹性波装置21中，能够减少通带内的损耗。以下对此更具体地进行说明。图7是第2实施方式的弹性波装置的示意性的俯视图，图8是第2比较例的弹性波装置的示意性的俯视图。在第2实施方式的弹性波装置21中，如前述那样设置立体交叉部。与此相对地，在图8所示的第2比较例的弹性波装置121中，与所述的第1比较例同样地，在比设置有纵耦合谐振器型弹性波滤波器的汇流条的区域更靠外侧的位置设置立体交叉部。因此，将图8与图7对比可知，级间区域X2变得比级间区域X0大。
图9是表示上述第2实施方式以及第2比较例的弹性波装置的衰减量频率特性的图，图10是将其通带的衰减量频率特性放大来表示的图。在图9以及图10中，实线表示第2实施方式的结果，虚线表示第2比较例的结果。由图9以及图10可知，在通带即859MHz以上且894MHz以下的范围内，与第2比较例相比，根据第2实施方式通带内最大损耗小约0.02dB。认为这是由于，如图7所示，第1、第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A、23接近，导致布线41、42间的寄生电容相对变小。在第2比较例的弹性波装置121中，认为布线141、142的长度变长，因此，图示的寄生电容C1变大。因此，认为根据第2实施方式，能够如上述那样实现低损耗化。
图12以及图13分别是表示将第2实施方式的弹性波装置21以及第2比较例的弹性波装置121作为接收滤波器而具有的双工器中的隔离特性以及衰减量频率特性的图。在图12以及图13中，实线表示第2实施方式的结果，虚线表示第2比较例的结果。
在图12中，将发送频带表示为Tx，将接收频带表示为Rx。
在发送频带Tx中，可知与第2比较例相比，根据第2实施方式，隔离特性被大幅度地改善。这是如图11所示，在第2实施方式中，例如在与接地电位连接的第1布线18、和隔着无机绝缘层而层叠有下层的第2布线19的部分，产生静电电容。这里，在第1、第2汇流条11a～13b中，将与弹性波传播方向正交的方向设为宽度方向。第1、第2汇流条11a～13b的宽度是沿着上述宽度方向的尺寸。此外，上述第2布线19的宽度也设为沿着上述宽度方向的尺寸。
在该情况下，在第2实施方式中，最好使第1布线18的宽度比第2汇流条12b的宽度窄。由此，能够减小上述静电电容的偏差。因此，在如上述那样例如用作为接收滤波器的情况下，能够改善基于发送频带中的上述静电电容的偏差的隔离特性。
特别地，最好如图14所示的第3实施方式那样，在俯视压电基板时，不在宽度方向上从第2汇流条11b、12b、13b突出地，第2汇流条11b、12b、13b与第1布线18重叠，最好上述第1布线18的宽度比第2汇流条11b、12b、13b的宽度窄。在该情况下，即使在宽度方向或者弹性波传播方向，上述第1布线18的位置偏离，也由于针对第1布线18与第2汇流条11b、12b、13b的对置面积一定的上述第1布线18的位置偏移的允许范围变宽，因此上述静电电容的变动能够变小。因此，能够有效地改善隔离特性等。此外，第1布线18的形成位置的允许度也能够提高。
图15是本发明的第4实施方式所涉及的弹性波装置的示意性的俯视图。在弹性波装置51中，第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3与弹性波谐振器52连接。关于其他的结构，第4实施方式与第1实施方式相同。在本实施方式中，布线的立体交叉与第1实施方式相同。因此，能够减小第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器3与被设置在压电基板2上的弹性波谐振器52的距离X3。因此，能够减小压电基板2的面积，在弹性波装置51中也能够实现小型化。
由第4实施方式可知，在本发明的弹性波装置中，也可以将纵耦合谐振器型弹性波滤波器与纵耦合谐振器型弹性波滤波器、弹性波谐振器等的各种弹性波元件连接。
图16是第5实施方式的弹性波装置的示意性的俯视图。第5实施方式的弹性波装置61与第2实施方式的弹性波装置21几乎同样地构成。进一步地，在弹性波装置61中，设置与接地电位连接的第1布线62，以使得包围设置有第1、第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A、23的区域。该第1布线62具有矩形框状的形状。所述的第1布线18、40构成该矩形框状的第1布线62的一部分。此外，第1布线62与第1布线20、42相连。第1布线42在第2汇流条31b、32b、33b的上方在无机绝缘层上沿弹性波传播方向延伸。这样，优选将连接于接地电位的第1布线62构成为包围设置有纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A、23的区域的环状。由此，能够将纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A、23与周围的元件、电路进行电磁屏蔽。
此外，如图17所示，也可以在构成为将设置有纵耦合谐振器型弹性波滤波器3A、23的区域包围的环状的第1布线62的一部分，设置将环的内侧与外侧连结的切口62A。在该情况下，在通过光刻来设置第1布线62的情况下，能够容易进行光致抗蚀剂的剥离。因此，能够容易地形成实现上述电磁屏蔽功能的第1布线62。此时，在俯视压电基板2时，最好在环状的第1布线62设置切口62A，在环的内部不具有封闭的开口部。
此外，如图18所示，也最好2个第1、第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器70、80由5IDT型的纵耦合共振型弹性波滤波器构成。第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器70具有沿着弹性波传播方向配置的第1～第5IDT电极71～75。此外，反射器76、77被配置在弹性波传播方向两侧。所谓弹性波传播方向，在图18中，是指Z所示的方向。
第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器70与不平衡输入端子91连接。即，不平衡输入端子91与IDT电极72、74的一端连接。IDT电极71、73、75的各一端与第1布线40连接。经由设置于无机绝缘层的贯通孔，上述第1布线40与IDT电极71、73、75的一端连接。反射器76、77的一端也同样地，与第1布线40连接。
第1布线40与图16的情况同样地，构成矩形框状的第1布线62的一部分。第1布线62连接于基准电位或者接地电位。
第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器80与第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器70级联连接。第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器80具有沿着弹性波传播方向排列的IDT电极81～85。此外，在弹性波传播方向两侧，设置反射器86、87。第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器80的输出端与不平衡输出端子92连接。更具体而言，在不平衡输出端子92连接IDT电极82、84的一端。IDT电极81、83、85的一端与接地电位连接。即，与矩形框状的第1布线62连接。即，第1布线62与IDT电极81、83、85的一者的汇流条电连接，以使得贯通设置于未图示的无机绝缘层的贯通孔。
与上述不平衡输入端子91以及不平衡输出端子92或者这些的一者相连的汇流条分别在输入端侧以及输出端侧，隔着无机绝缘层，与上方的第1布线62立体交叉。因此，在输入端侧以及输出端侧，在本实施方式中也能够减少空间。
另一方面，在级间，通过作为级间连接布线的第2布线93～95，第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器70的IDT电极71、73、75的汇流条与第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器80的IDT电极81、83、85的汇流条电连接。
第1布线62与位于IDT电极72、74、82、84的级间侧的汇流条电连接。即，第1布线62与IDT电极72、74、82、84的级间侧的汇流条电连接，以使得贯通设置于无机绝缘层的贯通孔。因此，在级间，连接于第2布线93～95或者信号电位的汇流条与第1布线62的立体交叉也在汇流条形成区域进行，因此能够减少空间。
第1布线62连接于基准电位或接地电位。
与基准电位的连接能够通过与设置于安装有弹性波装置的基板的基准电位进行连接来实现。第1布线62作为整体具有环状的形状，在一部分具有作为切断部的切口62B。因此，在通过光刻来形成第1布线62的情况下，能够容易地剥离光致抗蚀剂。
最好上述切口62B的图18的Z方向的长度、即切断部长度在俯视压电基板的情况下，相对于第1布线62的线宽，为5倍以下。这里，所谓线宽，是指与环状的第1布线62的环状地延伸的方向正交的方向的尺寸W。在沿着第1布线62的环状部延伸的方向的切口62B的长度为10μm以上、且第1布线62的线宽W的5倍以下的情况下，能够充分地实现电离屏蔽功能，并且能够进一步容易地进行光致抗蚀剂的剥离。
另外，弹性波装置的输入输出端子不仅是不平衡-不平衡，也可以是不平衡-平衡或者平衡-平衡。
-符号说明-
1…弹性波装置
2…压电基板
3、3A...第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器
11～13…IDT电极
11a、12a、13a…第1汇流条
11b、12b、13b…第2汇流条
11c、12c、13c…第1电极指
11d、12d、13d…第2电极指
14、15…反射器
14a、15a…第1汇流条
14b、15b…第2汇流条
17…无机绝缘层
18、20…第1布线
19、20A...第2布线
21…弹性波装置
23…第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器
31～33…IDT电极
31a、32a、33a…第1汇流条
34、35…反射器
40、42…第1布线
41…第2布线
43a、43b…第2布线
51、61…弹性波装置
52…弹性波谐振器
62…第1布线
62A、62B…切口
70、80…第1、第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器
71～75、81～85…IDT电极
76、77、86、87…反射器
91…不平衡输入端子
92…不平衡输出端子
93～95…第2布线。

Claims (39)

1.一种弹性波装置，
具备：
压电基板；和
第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器，被设置在所述压电基板上，具有沿着弹性波传播方向而被配置的至少3个IDT电极，
各所述IDT电极在与弹性波传播方向正交的方向上，具有被设置于一端侧的第1汇流条和被设置于另一端侧的第2汇流条，
在所述一端侧以及所述另一端侧之中的至少一方，设置无机绝缘层以使得覆盖多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条，
所述弹性波装置还具备：
第1布线，在多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条的上方，被配置在所述无机绝缘层上以使得在弹性波传播方向上延伸；和
第2布线，被设置在所述压电基板上以使得隔着所述无机绝缘层而与所述第1布线立体交叉，
所述第1布线贯通所述无机绝缘层而与多个所述第1汇流条或者多个所述第2汇流条之中的与相同电位连接的汇流条连接，
所述第1布线具有环状的形状，
俯视所述压电基板的情况下，所述第1布线具有将环状的形状的内侧与外侧连接的切口。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
还具备弹性波元件，所述弹性波元件被设置于所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的配置有多个所述第2汇流条的一侧。
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
在将所述第1汇流条或者所述第2汇流条的与弹性波传播方向正交的方向设为宽度方向时，与所述第1汇流条或者所述第2汇流条的宽度相比，所述第1布线的宽度较窄。
4.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，
在将所述第1汇流条或者所述第2汇流条的与弹性波传播方向正交的方向设为宽度方向时，与所述第1汇流条或者所述第2汇流条的宽度相比，所述第1布线的宽度较窄。
5.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，
所述第1布线被设置为：在俯视所述压电基板的情况下，在所述宽度方向上不会从多个所述第2汇流条突出，而与多个所述第2汇流条重叠。
6.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，
所述第1布线被设置为：在俯视所述压电基板的情况下，在所述宽度方向上不会从多个所述第2汇流条突出，而与多个所述第2汇流条重叠。
7.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波元件是第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器，所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器与所述第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器级联连接。
8.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波元件是弹性波谐振器。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，
与所述相同电位连接的所述汇流条是与接地电位连接的汇流条，所述第1布线与接地电位连接。
10.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，
所述第1布线被设置为包围所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器。
11.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，
所述第1布线是与接地电位连接的布线，并被设置为包围所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器以及所述弹性波元件。
12.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述压电基板是LiNbO3基板。
13.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，
所述压电基板是LiNbO3基板。
14.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，
所述压电基板是LiNbO3基板。
15.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，
所述压电基板是LiNbO3基板。
16.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
17.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
18.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
19.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
20.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
21.根据权利要求13所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
22.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
23.根据权利要求15所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层在所述压电基板上，被设置为覆盖所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器的至少多个IDT电极。
24.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
25.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
26.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
27.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
28.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
29.根据权利要求13所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
30.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
31.根据权利要求15所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
32.根据权利要求16所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
33.根据权利要求17所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
34.根据权利要求18所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
35.根据权利要求19所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
36.根据权利要求20所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
37.根据权利要求21所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
38.根据权利要求22所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
39.根据权利要求23所述的弹性波装置，其中，
所述无机绝缘层由氧化硅构成。
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