JP6294793B2 - エッジクランプ搬送機構 - Google Patents
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Description
1 エッジクランプ搬送機構
10 樹脂シート(第1の円板状ワークの一部)
11 ウエーハ(第2の円板状ワーク)
2 保持爪
20 シャフト(保持爪回転軸)
23 板状部の上面(第1の支え面)
24 垂直面(第1の接触側面)
25 垂直面(第2の接触側面)
26 傾斜面(第2の支え面)
3 保持プレート
5 保持爪回転手段
Claims (2)
- 外径が異なる2種類の円板状ワークの外周に接触して保持するエッジクランプ搬送機構であって、
中心から垂直にシャフトを立設する保持プレートと、
円板状ワークの中心を囲んで外周に接触する少なくとも3つの保持爪と、
該保持爪から該保持プレートに向かって立ち上がり該保持爪の回転中心となる保持爪回転軸と、
該保持爪回転軸を軸に該少なくとも3つの該保持爪を同一角度で回転させる保持爪回転手段と、を備え、
該保持爪は、
外径が異なる2種類の円板状ワークのうち大きい径の第1の円板状ワークの外周に接触する第1の接触側面と、
該第1の円板状ワークの下面に接触する第1の支え面と、
該第1の円板状ワークより小さい径の第2の円板状ワークの外周に接触する第2の接触側面と、
該第2の円板状ワークの下面に接触する第2の支え面と、を備え、
該保持爪回転手段を用いて該保持爪回転軸を軸に該保持爪を回転させ、該第2の接触側面と該第2の支え面とを接触させ該第2の円板状ワークを保持する状態と、該第1の接触側面と該第1の支え面とを接触させ該第1の円板状ワークを保持する状態と、を切換え可能にしたエッジクランプ搬送機構。 - 該保持爪回転手段は、該保持爪の該第1の接触側面が該第1の円板状ワークの外周に接触する第1の回動角度と、該保持爪の該第2の接触側面が該第2の円板状ワークの外周に接触する第2の回動角度とで該保持爪の回転を停止させることを特徴とする請求項1記載のエッジクランプ搬送機構。
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