JP2007258450A - ウエーハの保持機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハの保持機構は、ウエーハの外周縁を保持する少なくとも3個の保持部材と、少なくとも3個の保持部材を放射方向に案内する案内部を備え該案内部に沿って移動可能に支持する支持プレートと、少なくとも3個の保持部材を案内部に沿って移動せしめる移動手段とを具備している。
【選択図】図6
Description
しかるに、ウエーハの厚さを50μm以下に形成すると破損し易くなり、ウエーハの搬送等の取り扱いが困難になるという問題がある。
ことを特徴とするウエーハの保持機構が提供される。
また、上記保持部材は、係合凹部と連続して上側に形成されウエーハの外周縁を係合凹部に案内するテーパー面を備えている。
上記支持プレートには、上記保持部材の保持部より下方に突出する複数の間隔形成ピンが設けられている。
上記移動手段は、少なくとも3個の保持部材とそれぞれ一端部が回動可能に連結された少なくとも3個のリンクと、該3個のリンクの他端部と回動可能に連結され上記支持プレートの中心部に回動可能に配設された回動プレートと、該回動プレートを回動せしめる駆動手段とを具備している。
先ず、本発明によるウエーハの保持機構によって保持される表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハの加工方法について説明する。
図1には、所定の厚さに加工される前のウエーハとしての半導体ウエーハの斜視図が示されている。図1に示す半導体ウエーハ10は、例えば厚さが700μmのシリコンウエーハからなっており、表面10aに複数のストリート101が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート101によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス102が形成されている。このように構成された半導体ウエーハ10は、デバイス102が形成されているデバイス領域104と、該デバイス領域104を囲繞する外周余剰領域105を備えている。
図6乃至図8に示すウエーハ搬送手段6は、本発明に従って構成された保持機構7と、該保持機構7を支持する作動アーム8を具備しており、作動アーム8の基端部が図3に示すように回動軸9に連結されている。なお、回動軸9は図示しない回転駆動手段によって回動せしめられるとともに、図示しない移動手段によって上下方向に移動せしめられるようになっている。
ウエーハ搬送手段6は図3に示す状態から図示しない回転駆動機構によって回動軸9を所定角度回動し、作動アーム8の先端部に装着された保持機構7を被加工物搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル5に保持されている半導体ウエーハ10の上方に移動する。次に、図示しない移動手段によって回動軸9を下方に移動することにより、図9に示すように保持機構7の3個の間隔形成ピン738がチャックテーブル5の外周部上面に載置される。この結果、保持機構7を構成する保持部材71の保持部711は、チャックテーブル5の外周部上面から僅かに浮いた状態となる。
20:装置ハウジング
3:研削ユニット
31:ユニットハウジング
32:ホイールマウント
33:研削ホイール
332:環状の研削砥石
4:ターンテーブル
5:チャックテーブル
6:ウエーハ搬送手段
7:保持機構
71:保持部材
72:支持プレート
721:長穴
73:移動手段
731:リンク
732:回動プレート
733:エアーシリンダー
738:間隔形成ピン
74:弾性支持手段
741:支持柱
742:コイルバネ
8:作動アーム
9:回動軸
10:半導体ウエーハ
101:ストリート
102:デバイス
104:デバイス領域
105:余剰領域
104b:円形状の凹部
105b:環状の補強部
Claims (5)
- ウエーハの外周縁を保持する少なくとも3個の保持部材と、該少なくとも3個の保持部材を放射方向に案内する案内部を備え該案内部に沿って移動可能に支持する支持プレートと、該少なくとも3個の保持部材を該案内部に沿って移動せしめる移動手段と、を具備している、
ことを特徴とするウエーハの保持機構。 - 該支持プレートの該案内部は放射方向に長い長穴からなり、該保持部材はウエーハの外周縁に係合する係合凹部を備えた係合部と該係合部の上面から立設して設けられ該支持プレートに設けられた長穴に嵌挿される被案内支持部とからなっている、請求項1記載のウエーハの保持機構。
- 該保持部材は、該係合凹部と連続して上側に形成されウエーハの外周縁を係合凹部に案内するテーパー面を備えている、請求項2記載のウエーハの保持機構。
- 該支持プレートには、該保持部材の保持部より下方に突出する複数の間隔形成ピンが設けられている、請求項1から3のいずれかに記載のウエーハの保持機構。
- 該移動手段は、該少なくとも3個の保持部材とそれぞれ一端部が回動可能に連結された少なくとも3個のリンクと、該3個のリンクの他端部と回動可能に連結され該支持プレートの中心部に回動可能に配設された回動プレートと、該回動プレートを回動せしめる駆動手段とを具備している、請求項1から4のいずれかに記載のウエーハの保持機構。
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