JP6221358B2 - 基板検査方法、及び基板検査装置 - Google Patents
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Description
請求項2記載の発明は、前記基板検査方法は、前記電気検査が実施された後に、前記全ての配線パターンを、前記基板検査用治具を介して前記基板検査装置により接地されている状態にて、該基板検査用治具が離反されることを特徴とする請求項1記載の基板検査方法を提供する。
請求項3記載の発明は、電子部品が内蔵され、かつ前記電子部品に導通接続される配線パターンと前記電子部品に導通接続されない配線パターンとを含む複数の配線パターンが形成された基板の検査を行う基板検査装置であって、検査対象となる前記基板の配線パターンと前記基板検査装置とを導通接続するための二つの基板検査用治具と、前記基板検査用治具を前記基板と当接させるための移動機構と、前記配線パターンの電気的特性を検査するための検査手段と、前記移動機構と前記検査手段とを制御する制御手段とを有し、前記各基板検査用治具は、前記複数の配線パターンに設けられる検査点に一方端が当接する複数の接触子と、前記接触子の他方端が当接するとともに、前記基板検査装置と電気的に接続される電極部を有する電極体と、板状部材から多針状に前記接触子を突出させて前記接触子の一方端を前記検査点へ案内する検査側保持部と前記接触子の他方端を前記電極部へ案内する電極側保持部とを有する保持体とを有し、前記電子部品と導通接続される配線パターンの検査点と当接する接触子の突出量が、他の接触子の突出量よりも大きく形成され、前記制御手段が、前記移動機構により前記二つの基板検査用治具を移動させ、前記電子部品と導通接続される配線パターンの検査点と当接する接触子をその検査点と当接させて接地し、前記二つの基板検査用治具によって前記基板を挟持させて前記接触子を全ての前記配線パターンに当接させ、その後に前記基板検査装置からの電気信号を、前記基板検査用治具を介して前記基板と送受信することで前記基板の電気検査を実施することを特徴とする基板検査装置を提供する。
請求項4記載の発明は、前記接触子の突出量は、前記他の接触子の突出量よりも、接触子の寸法精度量と前記基板の撓み量を合わせた長さよりも長く設定されていることを特徴とする請求項3記載の基板検査装置を提供する。
請求項5記載の発明は、前記電子部品と接続される配線パターンが、該電子部品のGND端子と接続されていることを特徴とする請求項3又は4記載の基板検査装置を提供する。
請求項2の発明によれば、電気検査が実施された後に、全ての配線パターンを基板検査用治具を介して接地されている状態にて、基板検査用治具が離反されるので、基板から基板検査用治具が剥離する場合に生じる剥離放電による電子部品破壊を防止することができる。
請求項4記載の発明によれば、接触子の突出量は、他の接触子の突出量よりも、接触子の寸法精度量と前記基板の撓み量を合わせた長さよりも長く設定されているので、基板検査用治具が基板を挟持する際に、この接触子が他の接触子よりも先に確実に検査点へ当接することになる。
請求項5記載の発明によれば、電子部品と接続される配線パターンが、電子部品のGND端子と接続されているので、より確実に過電流から電子部品を保護することができる。
本発明が検査対象とする基板について簡単に説明する。図1には、本発明が検査対象とする基板の概略断面図を示す。本発明が検査対象とする基板は、所謂エンベデッド基板と呼ばれる基板であり、基板の内部に電子部品を内蔵していることを特徴としている。図1で示される基板CBでは、四本の配線パターンP(P1乃至P4)と電子部品EDが示されており、配線パターンP2と配線パターンP3が電子部品EDに接続されている。なお、この配線パターンP2が、電子部品EDのGND端子と導通接続されている。
以上が本発明にかかる基板検査装置及び検査用治具の構成の説明である。
まず、検査対象となる基板CBを設定する。このとき、検査対象の基板CBの電子部品EDと導通接続される配線パターンPに設定される検査点に当接する接触子35を特定する。この特定された接触子35は、電子部品EDと導通接続されていない配線パターンPに設定される検査点に当接する接触子35(他の接触子35)よりも、保持体3の板状部材からの突出量が所定の長さA分長くなるように設定されることになる。なお、基板CBの検査点に応じて、上側の基板検査用治具32と下側の基板検査用治具42が作成することになる。
32(42)・・・基板検査用治具
35(45)・・・接触子
A・・・・所定長さ
CB・・・基板
Claims (5)
- 電子部品が内蔵され、かつ前記電子部品に導通接続される配線パターンと前記電子部品に導通接続されない配線パターンとを含む複数の配線パターンが形成された基板を電気検査する基板検査装置と、検査対象となる前記基板の配線パターンと該基板検査装置とを電気的に接続する二つの基板検査用治具とを用いて、該基板の配線パターンの検査を行う基板検査方法であって、
前記各基板検査用治具は、前記複数の配線パターンに設けられる検査点に一方端が当接する複数の接触子と、前記接触子の他方端が当接するとともに、前記基板検査装置と電気的に接続される電極部を有する電極体と、板状部材から多針状に前記接触子を突出させて前記接触子の一方端を前記検査点へ案内する検査側保持部と前記接触子の他方端を前記電極部へ案内する電極側保持部とを有する保持体とを有し、前記電子部品と導通接続される配線パターンの検査点と当接する接触子の突出量が、他の接触子の突出量よりも大きく形成されており、
前記二つの基板検査用治具を移動させ、前記電子部品と導通接続される配線パターンの検査点と当接する接触子をその検査点と当接させて接地し、前記二つの基板検査用治具によって前記基板を挟持させて前記接触子を全ての前記配線パターンに当接させ、その後に前記基板検査装置からの電気信号を、前記基板検査用治具を介して前記基板と送受信することで前記基板の電気検査を実施することを特徴とする基板検査方法。 - 前記基板検査方法は、前記電気検査が実施された後に、前記全ての配線パターンを、前記基板検査用治具を介して前記基板検査装置により接地されている状態にて、該基板検査用治具が離反されることを特徴とする請求項1記載の基板検査方法。
- 電子部品が内蔵され、かつ前記電子部品に導通接続される配線パターンと前記電子部品に導通接続されない配線パターンとを含む複数の配線パターンが形成された基板の検査を行う基板検査装置であって、
検査対象となる前記基板の配線パターンと前記基板検査装置とを導通接続するための二つの基板検査用治具と、
前記基板検査用治具を前記基板と当接させるための移動機構と、
前記配線パターンの電気的特性を検査するための検査手段と、
前記移動機構と前記検査手段とを制御する制御手段とを有し、
前記各基板検査用治具は、
前記複数の配線パターンに設けられる検査点に一方端が当接する複数の接触子と、
前記接触子の他方端が当接するとともに、前記基板検査装置と電気的に接続される電極部を有する電極体と、
板状部材から多針状に前記接触子を突出させて前記接触子の一方端を前記検査点へ案内する検査側保持部と前記接触子の他方端を前記電極部へ案内する電極側保持部とを有する保持体とを有し、
前記電子部品と導通接続される配線パターンの検査点と当接する接触子の突出量が、他の接触子の突出量よりも大きく形成され、
前記制御手段が、前記移動機構により前記二つの基板検査用治具を移動させ、前記電子部品と導通接続される配線パターンの検査点と当接する接触子をその検査点と当接させて接地し、前記二つの基板検査用治具によって前記基板を挟持させて前記接触子を全ての前記配線パターンに当接させ、その後に前記基板検査装置からの電気信号を、前記基板検査用治具を介して前記基板と送受信することで前記基板の電気検査を実施することを特徴とする基板検査装置。 - 前記接触子の突出量は、前記他の接触子の突出量よりも、接触子の寸法精度量と前記基板の撓み量を合わせた長さよりも長く設定されていることを特徴とする請求項3記載の基板検査装置。
- 前記電子部品と接続される配線パターンが、該電子部品のGND端子と接続されていることを特徴とする請求項3又は4記載の基板検査装置。
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JPH0690872B2 (ja) * | 1986-08-18 | 1994-11-14 | 東京電気株式会社 | メモリ−カ−ド装置 |
US6229320B1 (en) * | 1994-11-18 | 2001-05-08 | Fujitsu Limited | IC socket, a test method using the same and an IC socket mounting mechanism |
US5831441A (en) * | 1995-06-30 | 1998-11-03 | Fujitsu Limited | Test board for testing a semiconductor device, method of testing the semiconductor device, contact device, test method using the contact device, and test jig for testing the semiconductor device |
US5705932A (en) * | 1995-10-10 | 1998-01-06 | Xilinx, Inc. | System for expanding space provided by test computer to test multiple integrated circuits simultaneously |
JP3165056B2 (ja) * | 1997-02-28 | 2001-05-14 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査装置および基板検査方法 |
JP3104906B2 (ja) * | 1997-05-13 | 2000-10-30 | 日本電産リード株式会社 | 基板位置ずれ検出装置および基板位置ずれ検出方法 |
JP3227697B2 (ja) * | 1998-01-16 | 2001-11-12 | ソニーケミカル株式会社 | 回路基板の検査方法及び装置 |
JPH11242064A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 実装基板検査装置 |
EP0962777A3 (en) * | 1998-06-02 | 2002-12-11 | Nihon Densan Read Kabushiki Kaisha, (Nidec-Read Corporation) | Printed circuit board testing apparatus |
JP2002048845A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 回路基板検査器 |
JP2003344474A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-03 | Oht Inc | 検査装置及び検査方法 |
JP2006011507A (ja) | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Nec Toppan Circuit Solutions Inc | 基板埋め込み部品のテストポイント設定方式 |
JP3775509B2 (ja) * | 2004-07-15 | 2006-05-17 | Jsr株式会社 | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法 |
JP2007183164A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Fujitsu Ltd | 半導体集積回路装置及びその試験方法 |
TW200729373A (en) * | 2006-01-20 | 2007-08-01 | Advanced Semiconductor Eng | Test module for wafer |
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JP2007315838A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Epson Imaging Devices Corp | 検査装置及び検査方法 |
US8624140B2 (en) * | 2006-07-10 | 2014-01-07 | Fujitsu Component Limited | Key switch and keyboard |
US7400135B1 (en) * | 2007-02-23 | 2008-07-15 | Quality One Test Fixturing, Inc. | Test fixture and method for circuit board testing |
JP5079592B2 (ja) | 2008-05-13 | 2012-11-21 | 日置電機株式会社 | データ生成装置およびデータ生成方法 |
JP5374079B2 (ja) * | 2008-06-20 | 2013-12-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査用接触構造体 |
US8275223B2 (en) * | 2009-02-02 | 2012-09-25 | Ibiden Co., Ltd. | Opto-electrical hybrid wiring board and method for manufacturing the same |
JP5365381B2 (ja) * | 2009-07-09 | 2013-12-11 | 大日本印刷株式会社 | 回路板の検査方法、回路板の検査装置 |
TWI400450B (zh) * | 2009-09-30 | 2013-07-01 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | 測試裝置 |
JP5648809B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2015-01-07 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査装置 |
US20130200915A1 (en) * | 2012-02-06 | 2013-08-08 | Peter G. Panagas | Test System with Test Trays and Automated Test Tray Handling |
US9285416B2 (en) * | 2012-04-02 | 2016-03-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing substrates |
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