JP5130782B2 - 検査治具及び検査装置 - Google Patents
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Description
先端13aを両側から受け入れる複数のガイド孔46を有している。このガイド部材31は、保持プレート35の前面側に突出されたプローブ群32の先端部がガイド孔46内に挿入された状態でプローブ保持部33の前面(検査対象との対向面)に装着されている。
Claims (3)
- 検査対象から立設された複数のピンの先端面を介し、前記検査対象に設けられた配線パターンの電気的特性を検査するために用いられる検査治具であって、
前記複数のピンの配置位置にそれぞれ対応して設けられ、対応する前記ピンの前記先端面に導通される複数のプローブ群と、
前記複数のプローブ群を保持する保持部材と、
互いに電気的に接触される前記プローブ群と、前記ピンの先端とを両側から受け入れる複数のガイド孔を有するガイド部材と、
を備え、
前記プローブ群は、
対応する前記ピンの前記先端面の中央に位置合わせして配置された第1プローブと、
前記第1プローブの周囲に分散して配置されるとともに、該第1プローブと絶縁状態で配置された複数の第2プローブと、
を備え、
前記各プローブ群における前記複数の第2プローブは、前記第1プローブが対応する前記ピンの前記先端面の中心に電気的に接触されたときにすべての第2プローブが対応する前記ピンの前記先端面と電気的に接触可能なように、前記第1プローブを中心として前記第1プローブの周囲に点対称に配置され、
前記プローブ群における前記第1プローブ及び前記複数の第2プローブは、負荷される荷重に応じて夫々が独自に撓むように、夫々独立して配置されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具において、
前記プローブ群の前記第1プローブ及び前記複数の第2プローブの一方は、前記ピンに対する電流供給を行う電流供給用プローブとして用いられ、その他方は、前記ピンの電位を計測するための電位計測用プローブとして用いられることを特徴とする検査治具。 - 請求項1又は請求項2に記載の検査治具と、
前記検査治具の前記複数のプローブ群のうちのいずれか2つのプローブ群に含まれる前記第1プローブ及び前記複数の第2プローブの一方を介して前記ピンに電流を供給するとともに、その他方を介して前記ピンの電位を計測する検査処理部と、
を備えることを特徴とする検査装置。
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