JP6180120B2 - 拡張装置および拡張方法 - Google Patents
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Description
[1]被加工物
図1は、一実施形態の被加工物10がシート1上に貼着されている状態を示している。被加工物10は、例えば半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の円板状のウェーハである。被加工物10の表面には互いに直角に交差する複数の分割予定ライン101が格子状に設定され、本発明に係る被加工物10は、それら分割予定ライン101に沿って分割起点が形成され未分割のものか、または、その分割起点が形成された分割予定ライン101に沿って分割予定ライン101で区画された矩形状の領域が個々のチップ102に予め分割されたものとされる。
次に、被加工物10が貼着されたシート1を拡張するための図2に示す一実施形態に係る拡張装置を説明する。この拡張装置2は、四隅の角部が直角に形成された正方形状の固定基台20と、固定基台20上に配設され、被加工物10が貼着されたシート1が水平に載置される円板状の保持テーブル3と、保持テーブル3に載置されたシート1を挟持する第一挟持手段4A、第二挟持手段4B、第三挟持手段4C、第四挟持手段4Dと、これら挟持手段4A〜4Dごとに設けられ、第一および第二挟持手段4A〜4Bを第一方向にそれぞれ移動させる第一移動手段5A、第二移動手段5B、および第三および第四挟持手段4C〜4Dをそれぞれ第二方向に移動させる第三移動手段5C、第四移動手段5Dと、を具備している。
次いで、上記拡張装置2を用いて、分割予定ライン101に沿って個々のチップ102に分割された被加工物10が貼着されたシート1を拡張して、隣接するチップ102間に間隔を形成する一実施形態の拡張方法を説明する。
上記一実施形態の拡張方法では、第一拡張ステップと第二拡張ステップを同時進行させているが、第一拡張ステップを実施した後、第二拡張ステップを実施してもよいし、その逆でもよい。いずれの場合も拡張ステップを行っている過程では検出ステップを同時に行い、拡張している方向のチップ間の間隔を検出しながら行う。
図2で示した一実施形態の拡張装置2は、予め正方形状にカットしたシート1を保持テーブル3上に載置して被加工物10をセットする構成であるが、長尺なシートをロール状に巻いて蓄積したシートロールから保持テーブル3上にシートを引き出して載置し、その上に被加工物10を貼着してシートを拡張するといった動作を繰り返すと、連続的にシートの拡張を行うことができる。図8はそのような連続処理を可能とするように、上記拡張装置2の構成を変更したものであり、同一構成には同一の符号を付してある。
10…被加工物
101…分割予定ライン
102…チップ
103A,103C…チップ間距離
2…拡張装置
4A…第一挟持手段
4B…第二挟持手段
4C…第三挟持手段
4D…第四挟持手段
5A…第一移動手段
5B…第二移動手段
5C…第三移動手段
5D…第四移動手段
6…撮像手段
7…制御手段
Claims (2)
- 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、
第一方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、互いの対向面に前記第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に支持されたローラを有し、それらローラでそれぞれシートを挟持する第一挟持手段と、第二挟持手段と、
前記第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、互いの対向面に前記第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に支持されたローラを有し、それらローラでそれぞれ前記シートを挟持する第三挟持手段と、第四挟持手段と、
前記第一挟持手段と前記第二挟持手段を前記第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに前記第三挟持手段と前記第四挟持手段とを前記第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動手段と、
被加工物を撮像して撮像画像を形成する撮像手段と、
該撮像手段で形成された前記撮像画像における被加工物のチップ間距離に基づいて前記移動手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする拡張装置。 - 交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張方法であって、
第一方向において被加工物を挟んで互いに対向した第一挟持手段と第二挟持手段とでシートを挟持するとともに、該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向した第三挟持手段と第四挟持手段とでシートを挟持する挟持ステップと、
前記第一挟持手段と前記第二挟持手段とが前記シートを挟持した状態で該第一挟持手段と該第二挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シートを前記第一方向に拡張させる第一拡張ステップと、
前記第三挟持手段と前記第四挟持手段とが前記シートを挟持した状態で該第三挟持手段と該第四挟持手段とを互いに離反するよう移動させて該シートを前記第二方向に拡張させる第二拡張ステップと、
被加工物の上面を撮像手段で撮像し撮像画像を形成するとともに該撮像画像における被加工物のチップ間距離を検出する検出ステップと、
を備え、
前記第一拡張ステップと前記第二拡張ステップとでは、前記検出ステップで検出された前記チップ間距離に基づいて前記第一挟持手段と前記第二挟持手段と前記第三挟持手段と前記第四挟持手段とが移動させられ、
前記第一挟持手段および前記第二挟持手段は、互いの対向面に前記第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に支持されたローラを有し、それらローラでそれぞれシートを挟持する構成を具備し、前記第三挟持手段と前記第四挟持手段は、互いの対向面に前記第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に支持されたローラを有し、それらローラでそれぞれシートを挟持する構成を具備することを特徴とする拡張方法。
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