JP2018182063A - エキスパンドシート及びエキスパンド方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被加工物を確実に個々のチップへと分割しうるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成しうるエキスパンドシート及びエキスパンドシートを用いたエキスパンド方法を提供する。【解決手段】本発明に係るエキスパンドシート1は、被加工物対応領域2よりも外周領域3のエキスパンド性が低いため、エキスパンドシート1をエキスパンドする際に、外力を効率よく被加工物対応領域2に作用させ、被加工物対応領域2に貼着された被加工物Wに十分な外力を加えることが可能となる。よって、チップサイズが例えば1mm以下と小さい場合であっても、被加工物Wを確実に個々のチップCへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物WのチップC間に十分な間隔を形成することが可能となる。【選択図】図1
Description
本発明は、ウェーハに貼着されるエキスパンドシート及びエキスパンドシートを用いたエキスパンド方法に関する。
ウェーハなどの被加工物は、その表面において格子状の分割予定ラインによって区画された領域にそれぞれデバイスが形成されており、分割予定ラインに沿って分割することによって、デバイスを有する個々のチップに分割される。ウェーハを個々のチップに分割する方法としては、分割予定ラインに沿ってその内部にレーザ光を集光して改質層を形成して、ウェーハに外力を加えることによりチップ間の間隔を拡張させて分割する方法がある。
ウェーハに外力を加える装置として、例えば下記の特許文献1にエキスパンドシートの四辺を挟持して引っ張る拡張装置が提案されている。この拡張装置では、エキスパンドシートに分割前のウェーハを貼着して、エキスパンドシートの四辺を挟持して拡張することにより改質層を起点にウェーハを個々のチップに分割することができる。また、チップに分割済みで全体として分割前の形状を維持した状態でエキスパンドシートに貼着されたウェーハのチップ間隔を拡張させる場合においても、上記拡張装置を利用することができる。
しかし、個片化されるチップが、例えば1mm角以下とチップサイズが小さい場合には、上記の拡張装置を用いても、エキスパンドでウェーハを個々のチップへ分割したり分割済みのウェーハのチップ間に十分な間隔を形成したりすることが困難となっている。
本発明の目的は、被加工物を確実に個々のチップへと分割しうるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成しうるエキスパンドシート及びエキスパンドシートを用いたエキスパンド方法を提供することである。
本発明は、被加工物に貼着されるエキスパンドシートであって、被加工物に対応した被加工物対応領域と、該被加工物対応領域を囲繞する外周領域と、を有し、該外周領域は該被加工物対応領域よりもエキスパンド性が低いことを特徴とする。
本発明は、上記エキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、該エキスパンドシートの上記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、該被加工物貼着ステップを実施した後、該エキスパンドシートの上記外周領域の外周部分を保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該外周領域を押圧することで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えた。
また、本発明は、上記エキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、該エキスパンドシートの上記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、該被加工物貼着ステップを実施した後、被加工物を挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段と該第一方向に直交する第二方向で被加工物を挟んで対面する一対の第二挟持手段とで該エキスパンドシートの上記外周領域を挟持する挟持ステップと、該挟持ステップを実施した後、一対の該第一挟持手段を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の該第二挟持手段を互いに離反する方向に移動させることで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えた。
本発明に係るエキスパンドシートは、被加工物対応領域よりも外周領域のエキスパンド性が低いため、エキスパンドシートをエキスパンドする際に、外力を効率よく被加工物対応領域に作用させることができるため、被加工物対応領域に貼着された被加工物に十分な外力を加えることが可能となる。よって、チップサイズが例えば1mm以下と小さい場合であっても、被加工物を確実に個々のチップへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
本発明に係るエキスパンド方法は、エキスパンドシートの被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、エキスパンドシートの外周領域の外周部分を保持する保持ステップと、外周領域を押圧することで被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、エキスパンドシートを例えば放射状にエキスパンドする際に、外周領域よりも被加工物対応領域に放射方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域に貼着された被加工物に放射方向の外力を十分に加えることができる。よって、チップサイズが例えば1mm以下と小さい場合であっても、被加工物を確実に個々のチップへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
また、本発明に係るエキスパンド方法は、エキスパンドシートの被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、被加工物を挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段と第一方向に直交する第二方向で被加工物を挟んで対面する一対の第二挟持手段とでエキスパンドシートの外周領域を挟持する挟持ステップと、一対の第一挟持手段を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の第二挟持手段を互いに離反する方向に移動させることで被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、エキスパンドシートを第一方向及び第二方向にエキスパンドする際に、外周領域よりも被加工物対応領域に第一方向及び第二方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域に貼着された被加工物に第一方向及び第二方向の外力を十分に加えることができる。よって、上記同様に、チップサイズが例えば1mm以下と小さい場合であっても、被加工物を確実に個々のチップへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物Wのチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
1 エキスパンドシート
図1に示すエキスパンドシート1は、例えば図2に示す被加工物Wに貼着されるエキスパンドシートである。エキスパンドシート1は、被加工物Wよりも大きいサイズを有し、例えば正方形状にカットされている。エキスパンドシート1は、被加工物Wに対応した被加工物対応領域2と、被加工物対応領域2を囲繞する外周領域3とを有している。エキスパンドシート1は、正方形状にカットされている他、被加工物対応領域2と外周領域3とが交互に複数隣接して配置されロール状に巻回されていてもよい。
図1に示すエキスパンドシート1は、例えば図2に示す被加工物Wに貼着されるエキスパンドシートである。エキスパンドシート1は、被加工物Wよりも大きいサイズを有し、例えば正方形状にカットされている。エキスパンドシート1は、被加工物Wに対応した被加工物対応領域2と、被加工物対応領域2を囲繞する外周領域3とを有している。エキスパンドシート1は、正方形状にカットされている他、被加工物対応領域2と外周領域3とが交互に複数隣接して配置されロール状に巻回されていてもよい。
図示の例における被加工物対応領域2は、被加工物Wが貼着される円形状の領域であり、被加工物Wの直径と例えば略同径に形成されている。被加工物対応領域2は、例えばポリオレフィンやポリ塩化ビニル等からなる基材層2aの上に糊層2bが積層された2層構造となっており、エキスパンド性を有している。なお、加工しようとする被加工物Wのサイズや形状に応じて、被加工物対応領域2の範囲を適宜変更することができる。
上記実施形態に示す被加工物対応領域2は、基材層2aの上に糊層2bを積層して構成しているが、かかる構成に限定されず、糊層2bを設けずにタック力を有するシリコンシートで被加工物対応領域2を構成してもよい。これにより、糊層2bを用いる場合と比較して被加工物Wが被加工物対応領域2に強固に貼着されないため、エキスパンドシート1から分割済みの被加工物Wのチップを容易にピックアップすることが可能となる。
外周領域3は、例えばPET樹脂や伸縮性の低いゴム等で構成され、少なくとも被加工物対応領域2よりも硬質で、かつ被加工物対応領域2よりもエキスパンド性が低く、被加工物対応領域2と比べて外力が作用しにくい領域となっている。このように構成されるエキスパンドシート1の被加工物対応領域2に被加工物Wを貼着してから、例えば放射状に引っ張ると、放射方向の外力を被加工物対応領域2に効率よく作用させることができるため、被加工物対応領域2に貼着された被加工物Wに十分な外力を加えることが可能となる。したがって、チップサイズが例えば1mm以下と小さい場合であっても、被加工物Wを確実に個々のチップに分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物Wのチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
2 エキスパンド方法の第1例
次に、エキスパンドシート1を用いた被加工物Wのエキスパンド方法の第1例について説明する。図2に示す被加工物Wは、円形板状の基板を有し、その表面Waに交差する複数の分割予定ラインSで区画された各領域にそれぞれデバイスDが形成されている。一方、被加工物Wの表面Waと反対側の裏面Wbは、所定の加工が施される被加工面となっている。本発明の適用対象となる被加工物Wは、分割予定ラインSに沿って分割起点(例えば改質層)が形成された被加工物、または分割予定ラインSに沿って個々のチップに分割された被加工物である。
次に、エキスパンドシート1を用いた被加工物Wのエキスパンド方法の第1例について説明する。図2に示す被加工物Wは、円形板状の基板を有し、その表面Waに交差する複数の分割予定ラインSで区画された各領域にそれぞれデバイスDが形成されている。一方、被加工物Wの表面Waと反対側の裏面Wbは、所定の加工が施される被加工面となっている。本発明の適用対象となる被加工物Wは、分割予定ラインSに沿って分割起点(例えば改質層)が形成された被加工物、または分割予定ラインSに沿って個々のチップに分割された被加工物である。
(1) 被加工物貼着ステップ
図2に示すように、中央が開口した環状のフレームFの下面にエキスパンドシート1を貼着し、フレームFの中央からエキスパンドシート1の被加工物対応領域2及び外周領域3を露出させる。続いて、エキスパンドシート1の被加工物対応領域2に被加工物Wの裏面Wb側から貼着して、表面Waを上向きにさせる。エキスパンドシート1への被加工物Wの貼着の仕方は、特に限定されず、例えば図示しない貼り付けテーブル上に裏面Wb側を上にして被加工物Wを載置するとともに、この被加工物WにフレームFの中央から露出したエキスパンドシート1の被加工物対応領域2を位置づけて、被加工物WとフレームFとに対してプレスローラー等によりエキスパンドシート1を押し付けて貼着するようにしてもよい。このようにして、被加工物Wの外周からエキスパンドシート1の外周領域3がはみ出した状態で、エキスパンドシート1の被加工物対応領域2に被加工物Wを貼着する。
図2に示すように、中央が開口した環状のフレームFの下面にエキスパンドシート1を貼着し、フレームFの中央からエキスパンドシート1の被加工物対応領域2及び外周領域3を露出させる。続いて、エキスパンドシート1の被加工物対応領域2に被加工物Wの裏面Wb側から貼着して、表面Waを上向きにさせる。エキスパンドシート1への被加工物Wの貼着の仕方は、特に限定されず、例えば図示しない貼り付けテーブル上に裏面Wb側を上にして被加工物Wを載置するとともに、この被加工物WにフレームFの中央から露出したエキスパンドシート1の被加工物対応領域2を位置づけて、被加工物WとフレームFとに対してプレスローラー等によりエキスパンドシート1を押し付けて貼着するようにしてもよい。このようにして、被加工物Wの外周からエキスパンドシート1の外周領域3がはみ出した状態で、エキスパンドシート1の被加工物対応領域2に被加工物Wを貼着する。
上記フレームFのほか、刺繍枠タイプのフレームを用いて被加工物貼着ステップを実施してもよい。刺繍枠タイプのフレームは、例えば大径リングと小径リングとを含み、大径リングの内周面と小径リングの外周面との間にエキスパンドシート1を挟み込んで支持することできる。
(2) 保持ステップ
被加工物貼着ステップを実施した後、図3(a)に示すように、フレームFと一体となった被加工物Wを例えば拡張手段10に搬送する。本実施形態に示す被加工物Wは、分割予定ラインSに沿って改質層Mが形成されているものとする。拡張手段10は、被加工物Wを下方から支持する支持テーブル11と、支持テーブル11の外周側に配設されフレームFが載置されるフレーム載置台12と、フレーム載置台12に載置されたフレームFをクランプするクランプ部13と、フレーム載置台12の下部に連結されフレーム載置台12を上下方向に昇降させる昇降手段14とを備えている。昇降手段14は、シリンダ140と、シリンダ140により昇降駆動されるピストン141とにより構成され、ピストン141が上下に移動することにより、フレーム載置台12を昇降させることができる。
被加工物貼着ステップを実施した後、図3(a)に示すように、フレームFと一体となった被加工物Wを例えば拡張手段10に搬送する。本実施形態に示す被加工物Wは、分割予定ラインSに沿って改質層Mが形成されているものとする。拡張手段10は、被加工物Wを下方から支持する支持テーブル11と、支持テーブル11の外周側に配設されフレームFが載置されるフレーム載置台12と、フレーム載置台12に載置されたフレームFをクランプするクランプ部13と、フレーム載置台12の下部に連結されフレーム載置台12を上下方向に昇降させる昇降手段14とを備えている。昇降手段14は、シリンダ140と、シリンダ140により昇降駆動されるピストン141とにより構成され、ピストン141が上下に移動することにより、フレーム載置台12を昇降させることができる。
エキスパンドシート1を介して被加工物Wの裏面Wb側を支持テーブル11に載置するとともに、フレームF側をフレーム載置台12に載置する。これにより、支持テーブル11の上にエキスパンドシート1の被加工物対応領域2が位置付けられ、フレーム載置台12の上にエキスパンドシート1の外周領域3の外周部分3aが位置付けられる。その後、クランプ部13によりフレームFの上部を押さえて動かないように固定することにより、エキスパンドシート1の外周領域3の外周部分3aを保持する。
(3) エキスパンドステップ
保持ステップを実施した後、図3(b)に示すように、ピストン141が下方に移動し、支持テーブル11に対して相対的にフレーム載置台12を下降させて、外周領域3の外周部分3aを下方に押圧することで、被加工物対応領域2を放射状にエキスパンドさせる。このとき、外周領域3は被加工物対応領域2と比べてエキスパンド性が低くなっていることから、被加工物対応領域2に外力を効率よく作用させることができる。すなわち、被加工物対応領域2が放射状に拡張されると、被加工物Wに対して放射方向の外力が十分に付与されるため、被加工物Wが図3(a)に示した改質層Mを起点にして個々のチップCに分割される。また、エキスパンド後にさらにエキスパンドシート1を拡張することにより、隣り合うチップCの間隔を広げることもできる。個々のチップCは、エキスパンドシート1からピックアップされ、次のステップ(例えば実装ステップ)に移送される。
保持ステップを実施した後、図3(b)に示すように、ピストン141が下方に移動し、支持テーブル11に対して相対的にフレーム載置台12を下降させて、外周領域3の外周部分3aを下方に押圧することで、被加工物対応領域2を放射状にエキスパンドさせる。このとき、外周領域3は被加工物対応領域2と比べてエキスパンド性が低くなっていることから、被加工物対応領域2に外力を効率よく作用させることができる。すなわち、被加工物対応領域2が放射状に拡張されると、被加工物Wに対して放射方向の外力が十分に付与されるため、被加工物Wが図3(a)に示した改質層Mを起点にして個々のチップCに分割される。また、エキスパンド後にさらにエキスパンドシート1を拡張することにより、隣り合うチップCの間隔を広げることもできる。個々のチップCは、エキスパンドシート1からピックアップされ、次のステップ(例えば実装ステップ)に移送される。
このように、本発明に係るエキスパンド方法の第1例は、エキスパンドシート1の被加工物対応領域2に被加工物Wを貼着する被加工物貼着ステップと、エキスパンドシート1の外周領域3の外周部分3aを保持する保持ステップと、外周領域3を押圧することで被加工物対応領域2をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、例えば拡張手段10を用いてエキスパンドシート1を放射状にエキスパンドする際に、外周領域3よりも被加工物対応領域2に放射方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域2に貼着された被加工物Wに放射方向の外力を十分に加えることができ、チップサイズが例えば1mm以下と小さい場合であっても、被加工物Wを確実に個々のチップCへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物WのチップC間に十分な間隔を形成することが可能となる。
3 エキスパンド方法の第2例
次に、図4〜図6を参照しながら、エキスパンドシート4を用いた被加工物Wのエキスパンド方法の第2例について説明する。図4に示すエキスパンドシート4は、例えば、ロール部(図示せず)にロール状に巻かれており、水平方向に引き出されて使用される。エキスパンドシート4の材質は上記エキスパンドシート1と同様である。すなわち、エキスパンドシート4は、被加工物Wに対応した被加工物対応領域5と、被加工物対応領域5を囲繞する外周領域6とを有している。
次に、図4〜図6を参照しながら、エキスパンドシート4を用いた被加工物Wのエキスパンド方法の第2例について説明する。図4に示すエキスパンドシート4は、例えば、ロール部(図示せず)にロール状に巻かれており、水平方向に引き出されて使用される。エキスパンドシート4の材質は上記エキスパンドシート1と同様である。すなわち、エキスパンドシート4は、被加工物Wに対応した被加工物対応領域5と、被加工物対応領域5を囲繞する外周領域6とを有している。
(1)被加工物貼着ステップ
まず、ロール部からエキスパンドシート4を例えば第一方向に引き出し、図示しない保持テーブルの上にエキスパンドシート4を水平に載置する。次いで、エキスパンドシート4の被加工物対応領域5に被加工物Wの裏面Wb側から貼着して、表面Waを上向きにさせる。このようにして、被加工物Wの外周からエキスパンドシート4の外周領域6がはみ出した状態で、被加工物対応領域5に被加工物Wを貼着する。この貼着時は、縦横の分割予定ラインSの方向を、第一方向または第二方向と平行にするとよい。
まず、ロール部からエキスパンドシート4を例えば第一方向に引き出し、図示しない保持テーブルの上にエキスパンドシート4を水平に載置する。次いで、エキスパンドシート4の被加工物対応領域5に被加工物Wの裏面Wb側から貼着して、表面Waを上向きにさせる。このようにして、被加工物Wの外周からエキスパンドシート4の外周領域6がはみ出した状態で、被加工物対応領域5に被加工物Wを貼着する。この貼着時は、縦横の分割予定ラインSの方向を、第一方向または第二方向と平行にするとよい。
(2)挟持ステップ
被加工物貼着ステップを実施した後、図5に示すように、拡張手段20を用いて、エキスパンドシート4の外周領域6における四辺を挟持する。拡張手段20は、エキスパンドシート4に貼着された被加工物Wを挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段21と第一方向に直交する第二方向でエキスパンドシート4に被加工物Wを挟んで対面する一対の第二挟持手段22と、各第一挟持手段21を支持する2つの可動基台23aと、各第二挟持手段22を支持する2つの可動基台23bと、各第一挟持手段21を第一方向において互いに離反する向きに移動させる2つの第一方向移動手段24と、各第二挟持手段22を第二方向において互いに離反する向きに移動させる2つの第二方向移動手段25とを備えている。
被加工物貼着ステップを実施した後、図5に示すように、拡張手段20を用いて、エキスパンドシート4の外周領域6における四辺を挟持する。拡張手段20は、エキスパンドシート4に貼着された被加工物Wを挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段21と第一方向に直交する第二方向でエキスパンドシート4に被加工物Wを挟んで対面する一対の第二挟持手段22と、各第一挟持手段21を支持する2つの可動基台23aと、各第二挟持手段22を支持する2つの可動基台23bと、各第一挟持手段21を第一方向において互いに離反する向きに移動させる2つの第一方向移動手段24と、各第二挟持手段22を第二方向において互いに離反する向きに移動させる2つの第二方向移動手段25とを備えている。
各第一挟持手段21は、エキスパンドシート4の上面を押圧する上側挟持部210と、エキスパンドシート4の下面を押圧する図6(a)に示す下側挟持部211と、一端が上側挟持部210,下側挟持部211にそれぞれ連結され他端に可動基台23aが接続されたL字形状のアーム部212と、上側挟持部210の下面及び下側挟持部211の上面に第二方向と平行な方向に整列して配設された複数のローラ213とをそれぞれ備えている。複数のローラ213は、第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能となっている。図5に示す一対のアーム部212は、左右対称となるように配置され、各アーム部212は、エキスパンドシート4の上下から挟んだ状態で第一方向と直交する第二方向に延在している。
各第二挟持手段22は、エキスパンドシート4の上面を押圧する上側挟持部220と、エキスパンドシート4の下面を押圧する図6(b)に示す下側挟持部221と、一端が上側挟持部220,下側挟持部221にそれぞれ連結され他端に可動基台23bが接続されたアーム部222と、上側挟持部220の下面及び下側挟持部221の上面に第一方向と平行な方向に整列して配設された複数のローラ223とをそれぞれ備えている。各アーム部222は、エキスパンドシート4の上下から挟んだ状態で第一方向と直交する第二方向に延在している。
各第一方向移動手段24は、第一方向に延在するボールネジ240と、ボールネジ240の一端に接続されたモータ241と、ボールネジ240の他端を回転可能に支持する軸受部242とをそれぞれ備えている。可動基台23aの内部に形成されたナットにはボールネジ240が螺合しており、モータ241によりボールネジ240を駆動することで可動基台23aとともに第一挟持手段21を第一方向に往復移動させることができる。
各第二方向移動手段25は、第二方向に延在するボールネジ250と、ボールネジ250の一端に接続されたモータ251と、ボールネジ250の他端を回転可能に支持する軸受部252とをそれぞれ備えている。可動基台23bの内部に形成されたナットにはボールネジ250が螺合しており、モータ251によりボールネジ250を駆動することで可動基台23bとともに第二挟持手段22を第二方向に往復移動させることができる。
このように構成される拡張手段20によりエキスパンドシート4を挟持するときは、各第一方向移動手段24を作動させ、一対の第一挟持手段21が互いに接近するように第一方向に水平移動させる。また、各第二方向移動手段25を作動させ、一対の第二挟持手段22が互いに接近するように第二方向に水平移動させる。このとき、第一方向に延在するエキスパンドシート4は、図6(a)及び(b)に示すように、各第一挟持手段21の各上側挟持部210と各下側挟持部211との間および各第二挟持手段22の各上側挟持部220と各下側挟持部221との間に位置付けられている。次いで、図示しない昇降機構によって、各下側挟持部211,221を上昇させるとともに、各上側挟持部210,220を下降させ、上下の各ローラ213,223がエキスパンドシート4の上下面を挟持する。このようにして、一対の第一挟持手段21と一対の第二挟持手段22とでエキスパンドシート4の外周領域6を挟持する。
(3)エキスパンドステップ
挟持ステップを実施した後、図5に示した各第一方向移動手段24を作動させ、一対の第一挟持手段21を第一方向において互いに離反するように移動させる。これにより、図6(a)に示すように、各下側挟持部211のローラ213と各上側挟持部210のローラ213とによって挟持されたエキスパンドシート4をそれぞれ外側に引っ張り、被加工物対応領域5を第一方向にエキスパンドさせる。このとき、外周領域6は被加工物対応領域5と比べてエキスパンド性が低くなっていることから、被加工物対応領域5に外力を効率よく作用させることができる。すなわち、被加工物対応領域5が第一方向に拡張されると、被加工物Wに対して第一方向の外力が十分に付与されるため、例えば分割予定ラインSに沿って改質層が形成されている場合は、改質層を起点にして被加工物Wが破断される。
挟持ステップを実施した後、図5に示した各第一方向移動手段24を作動させ、一対の第一挟持手段21を第一方向において互いに離反するように移動させる。これにより、図6(a)に示すように、各下側挟持部211のローラ213と各上側挟持部210のローラ213とによって挟持されたエキスパンドシート4をそれぞれ外側に引っ張り、被加工物対応領域5を第一方向にエキスパンドさせる。このとき、外周領域6は被加工物対応領域5と比べてエキスパンド性が低くなっていることから、被加工物対応領域5に外力を効率よく作用させることができる。すなわち、被加工物対応領域5が第一方向に拡張されると、被加工物Wに対して第一方向の外力が十分に付与されるため、例えば分割予定ラインSに沿って改質層が形成されている場合は、改質層を起点にして被加工物Wが破断される。
第一方向におけるエキスパンドシート4の拡張とともに、図5に示した各第二方向移動手段25を作動させ、一対の第二挟持手段22を第二方向において互いに離反するように移動させる。これにより、図6(b)に示すように、各下側挟持部221のローラ223と各上側挟持部220のローラ223とによって挟持されたエキスパンドシート4をそれぞれ外側に引っ張り、被加工物対応領域5を第二方向にエキスパンドさせる。このとき、被加工物対応領域5が第二方向に拡張されると、上記同様に、被加工物Wに対して第二方向の外力が十分に付与されるため、改質層を起点にして被加工物Wが破断される。このようして、エキスパンドシート4を第一方向及び第二方向にエキスパンドすることによって被加工物Wが個々のチップCに分割される。また、分割後にさらにエキスパンドシート4を拡張することにより、隣り合うチップCの間隔を広げることもできる。個々のチップCは、エキスパンドシート4からピックアップされ、次のステップ(例えば実装ステップ)に移送される。
本実施形態に示す第2例のエキスパンドステップでは、エキスパンドシート4の第一方向の拡張と第二方向の拡張とを同時に行っているが、この場合に限定されず、エキスパンドシート4の第一方向の拡張を行った後にエキスパンドシート4の第二方向の拡張を行ってもよいし、第二方向の拡張をしてから第一方向の拡張を行ってもよい。また、エキスパンドシート4の第一方向の拡張量と第二方向の拡張量とは、等しくてもよいし、異なっていてもよい。
このように、本発明に係るエキスパンド方法の第2例は、エキスパンドシート4の被加工物対応領域5に被加工物Wを貼着する被加工物貼着ステップと、被加工物Wを挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段21と第一方向に直交する第二方向で被加工物Wを挟んで対面する一対の第二挟持手段22とでエキスパンドシート4の外周領域6を挟持する挟持ステップと、一対の第一挟持手段21を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の第二挟持手段22を互いに離反する方向に移動させることで被加工物対応領域5をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、例えば拡張手段20を用いてエキスパンドシート4を第一方向及び第二方向にエキスパンドする際に、外周領域6よりも被加工物対応領域5に第一方向及び第二方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域5に貼着された被加工物Wに第一方向及び第二方向の外力を十分に加えることができ、第1例と同様に、被加工物Wを確実に個々のチップCへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物WのチップC間に十分な間隔を形成することが可能となる。
1:エキスパンドシート 2:被加工物対応領域 2a:基材層 2b:糊層
3:外周領域 3a:外周部分 4:エキスパンドシート
5:被加工物対応領域 6:外周領域
10:拡張手段 11:支持テーブル 12:フレーム載置台
13:クランプ部 14:昇降手段 140:シリンダ 141:ピストン
20:拡張手段 21:第一挟持手段 210:上側挟持部 211:下側挟持部
212:アーム部 213:ローラ
22:第二挟持手段 220:上側挟持部 221:下側挟持部 222:アーム部
23a,23b:可動基台
24:第一方向移動手段 240:ボールネジ 241:モータ 242:軸受部
25:第二方向移動手段 250:ボールネジ 251:モータ 252:軸受部
3:外周領域 3a:外周部分 4:エキスパンドシート
5:被加工物対応領域 6:外周領域
10:拡張手段 11:支持テーブル 12:フレーム載置台
13:クランプ部 14:昇降手段 140:シリンダ 141:ピストン
20:拡張手段 21:第一挟持手段 210:上側挟持部 211:下側挟持部
212:アーム部 213:ローラ
22:第二挟持手段 220:上側挟持部 221:下側挟持部 222:アーム部
23a,23b:可動基台
24:第一方向移動手段 240:ボールネジ 241:モータ 242:軸受部
25:第二方向移動手段 250:ボールネジ 251:モータ 252:軸受部
Claims (3)
- 被加工物に貼着されるエキスパンドシートであって、
被加工物に対応した被加工物対応領域と、該被加工物対応領域を囲繞する外周領域と、を有し、該外周領域は該被加工物対応領域よりもエキスパンド性が低いことを特徴とするエキスパンドシート。 - 請求項1に記載のエキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、
該エキスパンドシートの前記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、
該被加工物貼着ステップを実施した後、該エキスパンドシートの前記外周領域の外周部分を保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該外周領域を押圧することで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えたエキスパンド方法。 - 請求項1に記載のエキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、
該エキスパンドシートの前記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、
該被加工物貼着ステップを実施した後、被加工物を挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段と該第一方向に直交する第二方向で被加工物を挟んで対面する一対の第二挟持手段とで該エキスパンドシートの前記外周領域を挟持する挟持ステップと、
該挟持ステップを実施した後、一対の該第一挟持手段を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の該第二挟持手段を互いに離反する方向に移動させることで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えたエキスパンド方法。
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-
2017
- 2017-04-13 JP JP2017079584A patent/JP2018182063A/ja active Pending
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