JP7305277B2

JP7305277B2 - 拡張装置

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Publication number: JP7305277B2
Application number: JP2019196280A
Authority: JP
Inventors: テウベ
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-10-29
Filing date: 2019-10-29
Publication date: 2023-07-10
Anticipated expiration: 2039-10-29
Also published as: JP2021072311A

Description

本発明は、ワークが貼り付けられたシートを拡張する拡張装置に関する。

半導体ウェーハ等の板状のワークを分割予定ラインに沿って分割する方法として、伸縮性を有する樹脂製のシートにワークの一面を貼り付けた状態でシートを拡張する方法がある。シートの形状は、例えば、ワークの一面よりも大きな面積を有する矩形形状であり、ワークは、当該シートの一面の中央部に貼り付けられる。

シートを拡張するためには、通常、シート拡張装置が用いられる。シート拡張装置は、円盤状のチャックテーブルを有する。チャックテーブルは、円盤状の多孔質プレートを有し、この多孔質プレートの円形の上面は、負圧によりシートを吸引して保持する保持面として機能する。なお、保持面の大きさはシートの一面の面積よりも小さく、シートの他面側を保持面で保持すると、シートの外周部はチャックテーブルの外周部からはみ出す。

チャックテーブルの外周部には、シートの外周部を各々挟持する第１の挟持ユニット及び第２の挟持ユニットが設けられている。第１の挟持ユニット及び第２の挟持ユニットは、チャックテーブルの保持面を横断する第１の方向において、チャックテーブルを間に挟む様に配置されている。

加えて、チャックテーブルの外周部には、シートの外周部を各々挟持する第３の挟持ユニット及び第４の挟持ユニットが、保持面を横断し且つ第１の方向に直交する第２の方向において、チャックテーブルを間に挟む様に設けられている。

ワークを分割する場合には、まず、格子状に設定された複数の分割予定ラインの一つが第１の方向と平行になり、当該一つの分割予定ラインに直交する他の分割予定ラインが第２の方向と平行になる様に、シート及びワークを保持面に載置する。このとき、ワークが上方に露出し、シートの他面側が保持面に接触する。保持面に負圧を発生させると、ワークはシートを介して保持面で保持される。

次いで、シートの外周部を各挟持ユニットでそれぞれ挟持する。そして、チャックテーブルでの吸引を解除した後、第１の挟持ユニット及び第２の挟持ユニットを第１の方向で互いに離れる向きに移動させ、第３の挟持ユニット及び第４の挟持ユニットを第２の方向で互いに離れる向きに移動させる。

例えば、分割予定ラインに沿う様にワークの内部に脆弱な改質領域が形成されている場合、第１から第４の挟持ユニットを移動させてシートを拡張することで、改質領域を分割起点としてワークを複数のチップに分割できる(例えば、特許文献１参照)。

特開２０１４－１４３２９７号公報

しかし、各挟持ユニットがシートを挟持するときに、保持面の外周部からはみ出したシートの外周部には、たるみが発生している場合がある。シートにたるみが発生している状態で、シートを各挟持ユニットで挟持すると、第１及び第２の方向でシートを予め定められた長さだけ拡張できなくなる。

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、チャックテーブルの外側にはみ出したシートの外周部を挟持するときに、シートのたるみを低減することを目的とする。

本発明の一態様によれば、上面の中央部にワークが貼り付けられたシートを拡張する拡張装置であって、該ワークが貼り付けられている該シートの該上面とは反対側に位置する該シートの下面を吸引して保持する保持テーブルと、該保持テーブルの保持面を横断する第１の方向において該保持テーブルを間に挟む様に設けられ、該第１の方向で該保持テーブルの外側にはみ出している該シートの外周部の被挟持領域をそれぞれ挟持する第１の挟持ユニット及び第２の挟持ユニットと、該保持面を横断し該第１の方向に直交する第２の方向において該保持テーブルを間に挟む様に設けられ、該第２の方向で該保持テーブルの外側にはみ出している該シートの外周部の被挟持領域をそれぞれ挟持する第３の挟持ユニット及び第４の挟持ユニットと、該第１の挟持ユニット及び該第２の挟持ユニットを該第１の方向に沿って互いに離れる向きに移動させ、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットを該第２の方向に沿って互いに離れる向きに移動させる移動装置と、該保持テーブルの上方に設けられ、該保持テーブルの上方から、該第１の挟持ユニット、該第２の挟持ユニット、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットにより挟持される該シートの各被挟持領域の該上面側に向かって気体を供給する上方気体供給部と、該保持テーブルの下方に設けられ、該保持テーブルの下方から、該第１の挟持ユニット、該第２の挟持ユニット、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットにより挟持される該シートの各被挟持領域の該下面側に向かって気体を供給する下方気体供給部と、を備える拡張装置が提供される。

好ましくは、該第１の挟持ユニット、該第２の挟持ユニット、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットは、対応する被挟持領域に面する様に設けられ、且つ、気体を吸引可能な内部吸引ユニットを有する。

また、好ましくは、該拡張装置は、該保持テーブルの外周部よりも外側に各々設けられ、気体を吸引可能な複数の外部吸引ユニットを更に備える。

本発明の一態様に係る拡張装置は、保持テーブルの上方からシートの各被挟持領域のうち上面側に向かって気体を供給する上方気体供給部と、保持テーブルの下方からシートの各被挟持領域のうち下面側に向かって気体を供給する下方気体供給部とを備える。上方気体供給部及び下方気体供給部から気体を供給することで、シートの内側から外側に向かう気体の流れが形成される。これにより、被挟持領域近傍のシートのたるみを低減できる。

拡張装置の斜視図である。上方気体供給部及び下方気体供給部とチャックテーブルとの位置関係を示す斜視図である。図３（Ａ）は送風工程での拡張装置の上面図であり、図３（Ｂ）は送風工程での拡張装置の一部断面側面図である。挟持工程での拡張装置の一部断面側面図である。図５（Ａ）は拡張工程直前の拡張装置の上面図であり、図５（Ｂ）は拡張工程での拡張装置の一部断面側面図である。図６（Ａ）は第２の実施形態に係る拡張装置の一部断面側面図であり、図６（Ｂ）は第３の実施形態に係る拡張装置の一部断面側面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、第１の実施形態で使用する拡張装置２について説明する。図１は、拡張装置２の斜視図である。なお、図１では、拡張装置２の構成要素の一部を省略している。

拡張装置２は、各構造を支持する基台４を備える。基台４の上面４ａの中央部には、昇降機構６が配置されている。昇降機構６は、円柱形状のピストンと、ピストンを上下移動させるエアシリンダとを含む。昇降機構６の上端部には、板状のワーク１１（図３（Ａ）等参照）が保持される円盤状のチャックテーブル（保持テーブル）８が固定されている。

チャックテーブル８は、円盤状の多孔質プレート（不図示）を有する。多孔質プレートには、流路（不図示）を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されている。吸引源を動作させると、多孔質プレートの上面には負圧が発生する。

この負圧により、多孔質プレートの上面は、ワーク１１等（図３（Ａ）等参照）を吸引して保持する保持面８ａ（図２等参照）として機能する。なお、保持面８ａの大きさは、ワーク１１の一面（例えば、裏面１１ｂ）の大きさと略同じである。

チャックテーブル８の近傍には、基台４に対して移動可能な第１の移動基台１０が設けられている。第１の移動基台１０は、基台４に設けられた第１の移動機構１２と連結されている。

第１の移動機構１２は、第１の移動基台１０の底部がスライド可能に取り付けられたガイドレール（不図示）と、ボールネジとを含み、このボールネジには、第１の移動基台１０に設けられたナット部（不図示）が回転可能な態様で連結されている。

第１の移動機構１２は、ボールネジの一端に取り付けられたパルスモータを更に含む。パルスモータを駆動させれば、ボールネジが回転し、第１の移動基台１０は、チャックテーブル８の保持面８ａを横断する第１の方向Ｄ１に沿って移動する。第１の方向Ｄ１は、例えば、保持面８ａに略平行な方向である。

第１の移動基台１０には、ワーク１１に貼り付けられた保護テープ（シート）１７（図３（Ａ）等参照）を挟持する第１の挟持ユニット１４が設けられている。第１の挟持ユニット１４は、第１の上側ユニット１６と第１の下側ユニット１８とを有する。

第１の上側ユニット１６は、略Ｌ字状の第１の上側アーム部１６ａを含む。第１の上側アーム部１６ａの先端部には、下面側が保護テープ１７に接触する第１の上側接触部１６ｂが固定されている。

第１の上側接触部１６ｂは、平面視においてチャックテーブル８の外側の領域に配置されている。また、第１の上側接触部１６ｂは、保持面８ａを横断し且つ第１の方向Ｄ１に直交する第２の方向Ｄ２に沿って直線状に配置されている。本実施形態において第１の上側接触部１６ｂの第２の方向Ｄ２の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

第２の方向Ｄ２も、第１の方向Ｄ１と同様に、保持面８ａに平行な方向である。なお、第１の上側接触部１６ｂの下部には、第２の方向Ｄ２に沿って複数のローラー（不図示）が設けられている。各ローラーは、高さが第１の方向Ｄ１に沿う円柱形状である。

第１の上側アーム部１６ａの基端部には、第１の移動基台１０に設けられた第１の上側昇降機構１６ｃが連結されている。第１の上側昇降機構１６ｃは、拡張装置２の高さ方向に沿うボールネジと、当該ボールネジの上端部に設けられたパルスモータとを含む。ボールネジは、第１の上側アーム部１６ａの基端部に設けられたナット部に回転可能な態様で連結されている。

第１の上側ユニット１６と同様に、第１の下側ユニット１８は、略Ｌ字状の第１の下側アーム部１８ａを含む。第１の下側アーム部１８ａの先端部には、上面側が保護テープ１７に接触する第１の下側接触部１８ｂが固定されている。

第１の下側接触部１８ｂは、第１の上側接触部１６ｂと対面する態様で、第１の上側接触部１６ｂの下方に配置されている。また、第１の下側接触部１８ｂは直線状の長手部を有し、当該長手部は第２の方向Ｄ２に沿って配置されている。本実施形態において第１の下側接触部１８ｂの第２の方向Ｄ２の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

なお、第１の下側接触部１８ｂの上部には、第２の方向Ｄ２に沿って複数のローラーが設けられている。各ローラーは、高さが第１の方向Ｄ１に沿う円柱形状である。ところで、第１の下側アーム部１８ａの基端部には、第１の移動基台１０に設けられた第１の下側昇降機構１８ｃが連結されている。

第１の下側昇降機構１８ｃは、拡張装置２の高さ方向に沿うボールネジと、当該ボールネジの下端部に設けられたパルスモータとを含む。ボールネジは、第１の下側アーム部１８ａの基端部に設けられたナット部に回転可能な態様で連結されている。

第１の挟持ユニット１４で保護テープ１７を挟持するには、第１の上側昇降機構１６ｃで第１の上側接触部１６ｂを下降させ、第１の下側昇降機構１８ｃで第１の下側接触部１８ｂを上昇させる。これにより、第１の上側接触部１６ｂ及び第１の下側接触部１８ｂの各ローラーにより、保護テープ１７の外周部の一部（被挟持領域Ｐ_１（図３（Ａ）等参照））が上下方向で挟持される。

第１の方向Ｄ１においてチャックテーブル８を間に挟む様に、第１の挟持ユニット１４及び第２の挟持ユニット２４が設けられている。第２の挟持ユニット２４も、第１の挟持ユニット１４と同様に保護テープ１７を挟持する。

第２の挟持ユニット２４の構成は、第１の挟持ユニット１４の構成と同様である。第２の挟持ユニット２４は、第２の移動基台２０に設けられている。第２の移動基台２０は、第２の移動機構２２によって第１の方向Ｄ１に沿って移動する。

第２の挟持ユニット２４は、第２の上側ユニット２６と第２の下側ユニット２８とを有する。第２の上側ユニット２６は、略Ｌ字状の第２の上側アーム部２６ａを含む。第２の上側アーム部２６ａの先端部には、保護テープ１７に接触する第２の上側接触部２６ｂが固定されている。

第２の上側接触部２６ｂは、平面視においてチャックテーブル８の外側の領域に配置されている。また、第２の上側接触部２６ｂは、直線状の長手部を有し、当該長手部は第２の方向Ｄ２に沿って配置されている。本実施形態において第２の上側接触部２６ｂの第２の方向Ｄ２の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

なお、第２の上側接触部２６ｂの下部には、第２の方向Ｄ２に沿って複数のローラー（不図示）が設けられている。各ローラーは、高さが第１の方向Ｄ１に沿う円柱形状である。また、第２の上側アーム部２６ａの基端部には、第２の移動基台２０に設けられた第２の上側昇降機構２６ｃが連結されている。第２の上側昇降機構２６ｃは、第１の上側昇降機構１６ｃと同じであるので説明を省略する。

第２の上側ユニット２６と同様に、第２の下側ユニット２８は、略Ｌ字状の第２の下側アーム部２８ａを含む。第２の下側アーム部２８ａの先端部には、保護テープ１７に接触する第２の下側接触部２８ｂが固定されている。

第２の下側接触部２８ｂは、第２の上側接触部２６ｂと対面する態様で、第２の上側接触部２６ｂの下方に配置されている。また、第２の下側接触部２８ｂは、直線状の長手部を有し、当該長手部は第２の方向Ｄ２に沿って配置されている。本実施形態において第２の下側接触部２８ｂの第２の方向Ｄ２の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

なお、第２の下側接触部２８ｂの上部には、第２の方向Ｄ２に沿って複数のローラーが設けられている。各ローラーは、高さが第１の方向Ｄ１に沿う円柱形状である。また、第２の下側アーム部２８ａの基端部には、第２の移動基台２０に設けられた第２の下側昇降機構２８ｃが連結されている。第２の下側昇降機構２８ｃは、第１の下側昇降機構１８ｃと同じであるので説明を省略する。

第２の挟持ユニット２４で保護テープ１７を挟持するには、第２の上側昇降機構２６ｃで第２の上側接触部２６ｂを下降させ、第２の下側昇降機構２８ｃで第２の下側接触部２８ｂを上昇させる。これにより、第２の上側接触部２６ｂ及び第２の下側接触部２８ｂの各ローラーにより、保護テープ１７の外周部の別の一部（被挟持領域Ｐ_２（図３（Ａ）等参照））が上下方向で挟持される。

第１の挟持ユニット１４及び第２の挟持ユニット２４で保護テープ１７を挟持した状態で、第１の移動機構１２及び第２の移動機構２２により、第１の挟持ユニット１４及び第２の挟持ユニット２４を第１の方向Ｄ１に沿って互いに離れる向きに移動させれば、保護テープ１７を第１の方向Ｄ１に拡張できる。

第２の方向Ｄ２においてチャックテーブル８を間に挟む様に、第３の挟持ユニット３４及び第４の挟持ユニット４４が設けられている。第３の挟持ユニット３４は、第３の移動基台３０に設けられている。

第３の移動基台３０は、第３の移動機構３２によって第２の方向Ｄ２に移動する。第３の移動機構３２は、第２の方向Ｄ２に沿うボールネジ、当該ボールネジの一端に設けられたパルスモータ等で構成されている。

第３の挟持ユニット３４は、第３の上側ユニット３６と第３の下側ユニット３８とを有する。第３の上側ユニット３６は、第２の方向Ｄ２に沿う直線状の第３の上側アーム部３６ａを含む。第３の上側アーム部３６ａの先端部には、保護テープ１７に接触する第３の上側接触部３６ｂが固定されている。

第３の上側接触部３６ｂは、平面視においてチャックテーブル８の外側の領域に配置されている。また、第３の上側接触部３６ｂは直線状の長手部を有し、当該長手部は第１の方向Ｄ１に沿って配置されている。本実施形態において第３の上側接触部３６ｂの第１の方向Ｄ１の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

なお、第３の上側接触部３６ｂの下部には、第１の方向Ｄ１に沿って複数のローラー（不図示）が設けられている。各ローラーは、高さが第２の方向Ｄ２に沿う円柱形状である。また、第３の上側アーム部３６ａの基端部には、第３の移動基台３０に設けられた第３の上側昇降機構３６ｃが連結されている。第３の上側昇降機構３６ｃは、第１の上側昇降機構１６ｃと同じであるので説明を省略する。

第３の上側ユニット３６と同様に、第３の下側ユニット３８は、第２の方向Ｄ２に沿う直線状の第３の下側アーム部３８ａを含む。第３の下側アーム部３８ａの先端部には、保護テープ１７に接触する第３の下側接触部３８ｂが固定されている。

第３の下側接触部３８ｂは、第３の上側接触部３６ｂと対面する態様で、第３の上側接触部３６ｂの下方に配置されている。また、第３の下側接触部３８ｂは、直線状の長手部を有し、当該長手部は第１の方向Ｄ１に沿って配置されている。本実施形態において第３の下側接触部３８ｂの第１の方向Ｄ１の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

なお、第３の下側接触部３８ｂの上部には、第１の方向Ｄ１に沿って複数のローラーが設けられている。各ローラーは、高さが第２の方向Ｄ２に沿う円柱形状である。また、第３の下側アーム部３８ａの基端部には、第３の移動基台３０に設けられた第３の下側昇降機構３８ｃが連結されている。第３の下側昇降機構３８ｃは、第１の下側昇降機構１８ｃと同じであるので説明を省略する。

第３の挟持ユニット３４で保護テープ１７を挟持するには、第３の上側昇降機構３６ｃで第３の上側接触部３６ｂを下降させ、第３の下側昇降機構３８ｃで第３の下側接触部３８ｂを上昇させる。これにより、第３の上側接触部３６ｂ及び第３の下側接触部３８ｂの各ローターにより、保護テープ１７の外周部の他の一部（被挟持領域Ｐ_３（図３（Ａ）等参照））が上下方向で挟持される。

第４の挟持ユニット４４は、第４の移動基台４０に設けられている。第４の移動基台４０は、第４の移動機構４２によって第２の方向Ｄ２に移動する。第４の移動機構４２は、第２の方向Ｄ２に沿うボールネジ、当該ボールネジの一端に設けられたパルスモータ等で構成されている。なお、第４の移動機構４２、第３の移動機構３２、第２の移動機構２２及び第１の移動機構１２は、各挟持ユニットを移動させる移動装置を構成する。

第４の挟持ユニット４４は、第４の上側ユニット４６と第４の下側ユニット４８とを有する。第４の上側ユニット４６は、第２の方向Ｄ２に沿う直線状の第４の上側アーム部４６ａを含む。第４の上側アーム部４６ａの先端部には、保護テープ１７に接触する第４の上側接触部４６ｂが固定されている。なお、図１では、第４の上側接触部４６ｂの一部が省略されている。

第４の上側接触部４６ｂは、平面視においてチャックテーブル８の外側の領域に配置されている。また、第４の上側接触部４６ｂは直線状の長手部を有し、当該長手部は第１の方向Ｄ１に沿って配置されている。本実施形態において第４の上側接触部４６ｂの第１の方向Ｄ１の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

なお、第４の上側接触部４６ｂの下部には、第１の方向Ｄ１に沿って複数のローラー（不図示）が設けられている。各ローラーは、高さが第２の方向Ｄ２に沿う円柱形状である。第４の上側アーム部４６ａの基端部には、第４の移動基台４０に設けられた第４の上側昇降機構４６ｃが連結されている。第４の上側昇降機構４６ｃは、第１の上側昇降機構１６ｃと同じであるので説明を省略する。

第４の上側ユニット４６と同様に、第４の下側ユニット４８は、第２の方向Ｄ２に沿う直線状の第４の下側アーム部４８ａを含む。第４の下側アーム部４８ａの先端部には、保護テープ１７に接触する第４の下側接触部４８ｂが固定されている。

第４の下側接触部４８ｂは、第４の上側接触部４６ｂと対面する態様で、第４の上側接触部４６ｂの下方に配置されている。また、第４の下側接触部４８ｂは、直線状の長手部を有し、当該長手部は第１の方向Ｄ１に沿って配置されている。本実施形態において第４の下側接触部４８ｂの第１の方向Ｄ１の長さは、３５０ｍｍ以上３８０ｍｍ以下である。

なお、第４の下側接触部４８ｂの上部には、第１の方向Ｄ１に沿って複数のローラーが設けられている。各ローラーは、高さが第２の方向Ｄ２に沿う円柱形状である。また、第４の下側アーム部４８ａの基端部には、第４の移動基台４０に設けられた第４の下側昇降機構４８ｃが連結されている。第４の下側昇降機構４８ｃは、第１の下側昇降機構１８ｃと同じであるので説明を省略する。

第４の挟持ユニット４４で保護テープ１７を挟持するには、第４の上側昇降機構４６ｃで第４の上側接触部４６ｂを下降させ、第４の下側昇降機構４８ｃで第４の下側接触部４８ｂを上昇させる。これにより、第４の上側接触部４６ｂ及び第４の下側接触部４８ｂの各ローラーにより、保護テープ１７の外周部の別の他の一部（被挟持領域Ｐ_４（図３（Ａ）等参照））が上下方向で挟持される。

第３の挟持ユニット３４及び第４の挟持ユニット４４で保護テープ１７を挟持した状態で、第３の移動機構３２及び第４の移動機構４２により、第３の挟持ユニット３４及び第４の挟持ユニット４４を第２の方向Ｄ２に沿って互いに離れる向きに移動させれば、保護テープ１７を第２の方向Ｄ２に拡張できる。

チャックテーブル８の上方には上方気体供給部５０が設けられており、チャックテーブル８の下方には下方気体供給部５２が設けられている。図２は、上方気体供給部５０及び下方気体供給部５２と、チャックテーブル８との位置関係を示す斜視図である。

上方気体供給部５０は、第１の上方気体噴射ユニット５０ａを有する。第１の上方気体噴射ユニット５０ａの噴射口は被挟持領域Ｐ_１の一面１７ａ（図３（Ａ）等参照）側に向かって配置されており、第１の上方気体噴射ユニット５０ａは、チャックテーブル８の上方から被挟持領域Ｐ_１の一面１７ａ側に向かって気体を噴射（供給）する。なお、被挟持領域Ｐ_１は、例えば、保護テープ１７の外周部のうち第１の上側接触部１６ｂ及び第１の下側接触部１８ｂの間に位置する領域である。

また、上方気体供給部５０は、第２の上方気体噴射ユニット５０ｂを有する。第２の上方気体噴射ユニット５０ｂの噴射口は被挟持領域Ｐ_２の一面１７ａ側に向かって配置されており、第２の上方気体噴射ユニット５０ｂは、チャックテーブル８の上方から被挟持領域Ｐ_２の一面１７ａ側に向かって気体を噴射（供給）する。なお、被挟持領域Ｐ_２は、例えば、保護テープ１７の外周部のうち第２の上側接触部２６ｂ及び第２の下側接触部２８ｂの間に位置する領域である。

更に、上方気体供給部５０は、第３の上方気体噴射ユニット５０ｃを有する。第３の上方気体噴射ユニット５０ｃの噴射口は被挟持領域Ｐ_３の一面１７ａ側に向かって配置されており、第３の上方気体噴射ユニット５０ｃは、チャックテーブル８の上方から被挟持領域Ｐ_３の一面１７ａ側に向かって気体を噴射（供給）する。なお、被挟持領域Ｐ_３は、例えば、保護テープ１７の外周部のうち第３の上側接触部３６ｂ及び第３の下側接触部３８ｂの間に位置する領域である。

加えて、上方気体供給部５０は、第４の上方気体噴射ユニット５０ｄを有する。第４の上方気体噴射ユニット５０ｄの噴射口は被挟持領域Ｐ_４の一面１７ａ側に向かって配置されており、第４の上方気体噴射ユニット５０ｄは、チャックテーブル８の上方から被挟持領域Ｐ_４の一面１７ａ側に向かって気体を噴射（供給）する。なお、被挟持領域Ｐ_４は、例えば、保護テープ１７の外周部のうち第４の上側接触部４６ｂ及び第４の下側接触部４８ｂの間に位置する領域である。

噴射される気体は、例えばエアーＡであり（図３（Ａ）等参照）、第１の上方気体噴射ユニット５０ａから第４の上方気体噴射ユニット５０ｄの各々は、例えば、圧縮エアーを噴射するエアー噴射装置である。

各エアー噴射装置は、圧縮エアー供給源（不図示）に一端が接続されたエアー流路（不図示）と、このエアー流路の他端に接続されたノズルとを含む。各エアー噴射装置は、被挟持領域に対応する範囲であって、保護テープ１７の一辺の１／４以上１／３以下（例えば、１００ｍｍ）の範囲にエアーＡを噴射する。

各エアー噴射装置のエアー流路には、電磁弁（不図示）と、流量計（不図示）とが接続されており、エアーＡの噴射時間、流量等は、拡張装置２に接続されたコンピュータ等の制御部（不図示）により制御される。

上方気体供給部５０と同様に、下方気体供給部５２は、噴射口が被挟持領域Ｐ_１の他面１７ｂ（図３（Ａ）等参照）側に向かって配置された第１の下方気体噴射ユニット５２ａを有する。第１の下方気体噴射ユニット５２ａは、チャックテーブル８の下方から被挟持領域Ｐ_１の他面１７ｂ側に向かって気体を噴射（供給）する。

また、下方気体供給部５２は、噴射口が被挟持領域Ｐ_２の他面１７ｂ側に向かって配置された第２の下方気体噴射ユニット５２ｂを有する。第２の下方気体噴射ユニット５２ｂは、チャックテーブル８の下方から被挟持領域Ｐ_２の他面１７ｂ側に向かって気体を噴射（供給）する。

更に、下方気体供給部５２は、噴射口が被挟持領域Ｐ_３の他面１７ｂ側に向かって配置された第３の下方気体噴射ユニット５２ｃを有する。第３の下方気体噴射ユニット５２ｃは、チャックテーブル８の下方から被挟持領域Ｐ_３の他面１７ｂ側に向かって気体を噴射（供給）する。

加えて、下方気体供給部５２は、噴射口が被挟持領域Ｐ_４の他面１７ｂ側に向かって配置された第４の下方気体噴射ユニット５２ｄを有する。第４の下方気体噴射ユニット５２ｄは、チャックテーブル８の下方から被挟持領域Ｐ_４の他面１７ｂ側に向かって気体を噴射（供給）する。

第１の下方気体噴射ユニット５２ａから第４の下方気体噴射ユニット５２ｄの各々は、例えば、上方気体噴射ユニットと同様の構成を有するエアー噴射装置であり、被挟持領域に対応する範囲であって、保護テープ１７の一辺の１／４以上１／３以下の範囲にエアーＡを噴射する。各エアー噴射装置のエアー流路に接続された電磁弁等の動作を制御することにより、エアーＡの噴射時間、流量等が制御される。

次に、拡張装置２を用いて加工されるワーク１１について説明する。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示す様に、ワーク１１は、例えば、シリコン等の材料でなる円盤状のウェーハである。ワーク１１の表面１１ａ側には、格子状に複数の分割予定ライン１３が設定されている。

複数の分割予定ライン１３で区画された各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス１５が形成されている。また、ワーク１１には、各分割予定ライン１３に沿って、分割の起点となる改質領域（即ち、機械的強度が比較的低い領域）が形成されている。

改質領域は、例えば、ワーク１１を透過する波長を有するレーザービームをワーク１１の内部に集光させた状態で、レーザービームの集光点とワーク１１とを分割予定ライン１３に沿って相対的に移動させることで形成できる。

なお、ワーク１１は、各分割予定ライン１３に沿って切断されていてもよい。例えば、環状の切削ブレード（不図示）を分割予定ライン１３に沿って切り込み、切削ブレードとワーク１１とを分割予定ライン１３に沿って相対的に移動させることで、ワーク１１を切断できる。

ワーク１１の裏面１１ｂ側には、保護テープ１７の一面（上面）１７ａ側が貼り付けられている。本実施形態のワーク１１は、保護テープ１７の一面１７ａの中央部に貼り付けられている。なお、ワーク１１の裏面１１ｂ側には、ＤＡＦ（Die Attach Film）が設けられてもよい。

保護テープ１７は、略矩形形状を有する。本実施形態の保護テープ１７は、一辺の長さが３９０ｍｍ以上４００ｍｍ以下の略正方形形状を有する。保護テープ１７の一面１７ａは、ワーク１１の表面１１ａ又は裏面１１ｂよりも大きい。

保護テープ１７を介してワーク１１の裏面１１ｂ側を保持面８ａで保持すると、保護テープ１７の外周部は、第１の方向Ｄ１の一方側及び他方側と、第２の方向Ｄ２の一方側と他方側とで保持面８ａの外側にはみ出す。

保護テープ１７は、樹脂で形成されており、伸縮性を有する。保護テープ１７は、例えば、基材層及び粘着層（糊層）の積層構造を有する。本実施形態の基材層は、ポリオレフィン（ＰＯ）等の樹脂で形成されており、厚さが８０μｍである。

基材層の一面の全体、又は、基材層の外周部には、粘着層（糊層）が形成されている。本実施形態の粘着層は、粘着性の樹脂（例えば、紫外線（ＵＶ）硬化型樹脂）で形成されており、厚さが３０μｍである。

次に、拡張装置２を用いて保護テープ１７を拡張する拡張方法について説明する。まず、ワーク１１の裏面１１ｂ側を、保護テープ１７の一面（上面）１７ａ側の中央部に貼り付ける（貼り付け工程（Ｓ１０））。

貼り付け工程（Ｓ１０）の後、保護テープ１７の一面１７ａとは反対側に位置する他面（下面）１７ｂを、チャックテーブル８の保持面８ａで保持する（保持工程（Ｓ２０））。保持工程（Ｓ２０）では、保護テープ１７のうちワーク１１の貼り付け領域に対応する他面１７ｂの中央部が、保持面８ａで保持される。なお、保持面８ａの外側にはみ出している保護テープ１７の外周部は、重力により垂れ下がっている場合がある。

保持工程（Ｓ２０）の後、上方気体供給部５０及び下方気体供給部５２を動作させて、保護テープ１７の外周部に気体を供給する（即ち、送風する）（送風工程（Ｓ３０））。例えば、３秒以上１０秒以下の間、０．１ＭＰａ以上０．２ＭＰａ以下の噴射圧力で、上方気体供給部５０及び下方気体供給部５２から気体を供給する。

図３（Ａ）は、送風工程（Ｓ３０）での拡張装置２の上面図であり、図３（Ｂ）は、送風工程（Ｓ３０）での拡張装置２の一部断面側面図である。なお、図３（Ｂ）以降の図では、図１で説明したローラーを省略している。

送風工程（Ｓ３０）により、保護テープ１７の内側から外側に向かう気体の流れが形成される。保護テープ１７の外周部が重力により垂れ下がっていた場合には、保護テープ１７の外周部が浮上して中央部と略同じ高さとなる。

加えて、送風工程（Ｓ３０）では、気体の流れにより、第１の挟持ユニット１４から第４の挟持ユニット４４で挟持される保護テープ１７の被挟持領域Ｐ_１からＰ_４近傍の保護テープ１７のたるみが低減される。

送風工程（Ｓ３０）を継続しながら、第１の挟持ユニット１４から第４の挟持ユニット４４で、たるみが低減された状態の保護テープ１７の外周部をそれぞれ挟持する（挟持工程（Ｓ４０））。図４は、挟持工程（Ｓ４０）での拡張装置２の一部断面側面図である。

挟持工程（Ｓ４０）の後、上方気体供給部５０及び下方気体供給部５２の動作を停止させて、送風を止める。更に、チャックテーブル８に接続されている吸引源の動作を停止させる。これにより、保持面８ａでの保護テープ１７の吸引が解除される。

その後、第１の移動機構１２及び第２の移動機構２２を動作させて、第１の挟持ユニット１４及び第２の挟持ユニット２４を第１の方向Ｄ１に沿って互いに離れる向きに移動させる。これと同時に、第３の移動機構３２及び第４の移動機構４２を動作させて、第３の挟持ユニット３４及び第４の挟持ユニット４４を第２の方向Ｄ２に沿って互いに離れる向きに移動させる（拡張工程（Ｓ５０））。

拡張工程（Ｓ５０）では、保護テープ１７が第１の方向Ｄ１及び第２の方向Ｄ２において外側に引き延ばされて拡張される。図５（Ａ）は、拡張工程（Ｓ５０）直前の拡張装置２の上面図であり、図５（Ｂ）は、拡張工程（Ｓ５０）での拡張装置２の一部断面側面図である。

保護テープ１７を拡張すると、ワーク１１には、保護テープ１７の拡張方向に対応する外力が付与される。ワーク１１の各分割予定ライン１３に沿って改質領域が形成されている場合には、ワーク１１は、付与された外力によって複数のチップ１９へと分割される。

なお、ワーク１１が各分割予定ライン１３に沿って既に複数のチップ１９に分割されている場合には、拡張工程（Ｓ５０）で、各チップ１９の間隔が、第１の方向Ｄ１及び第２の方向Ｄ２に沿って拡張される。

拡張工程（Ｓ５０）の後、保護テープ１７の他面１７ｂ側に紫外線を照射して粘着力を低下させる。その後、例えば、コレット（不図示）を用いて、各チップ１９を保護テープ１７から取り出す。

上述の様に第１の実施形態に係る拡張装置２では、上方気体供給部５０及び下方気体供給部５２から気体を供給することで、保護テープ１７の内側から外側に向かう気体の流れを形成する。

これにより、被挟持領域Ｐ１からＰ４近傍の保護テープ１７のたるみを低減した状態で、各挟持ユニットにより保護テープ１７を挟持できる。それゆえ、第１の方向Ｄ１及び第２の方向Ｄ２で予め定められた長さだけ正確に保護テープ１７を拡張できる。

次に、第２の実施形態について説明する。図６（Ａ）は、第２の実施形態に係る拡張装置２の一部断面側面図である。第２の実施形態において、第１の挟持ユニット１４、第２の挟持ユニット２４、第３の挟持ユニット３４及び第４の挟持ユニット４４の各々は、各被挟持領域Ｐ_１からＰ_４に面する様に設けられ且つ気体を吸引可能な内部吸引ユニットを有する。

各内部吸引ユニットの流路の一端には、エジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されており、当該流路の他端には、１又は複数の吸引ノズルが接続されている。各吸引ノズルは、ローラーの隙間から気体を吸引する。

第１の上側接触部１６ｂは、その内部に第１の上側内部吸引ユニット６０の一部である第１の上側吸引ノズルを有する。また、第１の下側接触部１８ｂは、その内部に第１の下側内部吸引ユニット６２の一部である第１の下側吸引ノズルを有する。

同様に、第２の上側接触部２６ｂは、その内部に第２の上側内部吸引ユニット７０の一部である第２の上側吸引ノズルを有し、第２の下側接触部２８ｂは、その内部に第２の下側内部吸引ユニット７２の一部である第２の下側吸引ノズルを有する。

また、第３の上側接触部３６ｂは、その内部に第３の上側内部吸引ユニット（不図示）の一部である第３の上側吸引ノズルを有し、第３の下側接触部３８ｂは、その内部に第３の下側内部吸引ユニット（不図示）の一部である第３の下側吸引ノズルを有する。

更に、第４の上側接触部４６ｂは、第４の上側内部吸引ユニット（不図示）の一部である第４の上側吸引ノズルを有し、第４の下側接触部４８ｂは、その内部に第４の下側内部吸引ユニット（不図示）の一部である第４の下側吸引ノズルを有する。

第２の実施形態に係る拡張装置２を用いて保護テープ１７を拡張する拡張方法では、送風工程（Ｓ３０）において、被挟持領域Ｐ_１からＰ_４に気体を供給しつつ、各内部吸引ユニットを用いて気体を吸引する。

これにより、内部吸引ユニットで気体を吸引しない場合に比べて、保護テープ１７と各接触部との間で気体の流れの乱れが生じ難くなり、保護テープ１７と各接触部との間に気体がスムーズに入り込み易くなる。その結果、内部吸引ユニットで気体を吸引しない場合に比べて、保護テープ１７のたるみを低減できる。

送風工程（Ｓ３０）における気体の供給及び気体の吸引は、第１の挟持ユニット１４から第４の挟持ユニット４４で保護テープ１７の外周部が挟持されるまで継続される。他の工程は、第１実施形態と同じであるので、説明を省略する。

次に、第３の実施形態について説明する。図６（Ｂ）は、第３の実施形態に係る拡張装置２の一部断面側面図である。第３の実施形態に係る拡張装置２は、チャックテーブル８の外周部よりも外側に各々設けられた複数の外部吸引ユニットを更に備える。

各外部吸引ユニットの流路の一端には、エジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されており、当該流路の他端には、１又は複数のノズルが接続されている。第１の上側ユニット１６及び第１の下側ユニット１８に対してチャックテーブル８とは反対側には、第１の外部吸引ユニット８０の一部である第１の外側吸引ノズルが設けられている。第１の外側吸引ノズルは、第１の上方気体噴射ユニット５０ａ及び第１の下方気体噴射ユニット５２ａから供給される気体を吸引する。

同様に、第２の上側ユニット２６及び第２の下側ユニット２８に対してチャックテーブル８とは反対側には、第２の外部吸引ユニット９０の一部である第２の外側吸引ノズルが設けられている。第２の外側吸引ノズルは、第２の上方気体噴射ユニット５０ｂ及び第２の下方気体噴射ユニット５２ｂから供給される気体を吸引する。

また、第３の上側ユニット３６及び第３の下側ユニット３８に対してチャックテーブル８とは反対側には、第３の外部吸引ユニット（不図示）の一部である外側吸引ノズルが設けられている。第３の外側吸引ノズルは、第３の上方気体噴射ユニット５０ｃ及び第３の下方気体噴射ユニット５２ｃから供給される気体を吸引する。

更に、第４の上側ユニット４６及び第４の下側ユニット４８に対してチャックテーブル８とは反対側には、第４の外部吸引ユニット（不図示）の一部である第４の外側吸引ノズルが設けられている。第４の外側吸引ノズルは、第４の上方気体噴射ユニット５０ｄ及び第４の下方気体噴射ユニット５２ｄから供給される気体を吸引する。

第３の実施形態でも、内部吸引ユニットで気体を吸引しない場合に比べて、保護テープ１７と各接触部との間で気体の流れの乱れが生じ難くなり、保護テープ１７と各接触部との間に気体がスムーズに入り込み易くなる。それゆえ、内部吸引ユニットで気体を吸引しない場合に比べて、保護テープ１７のたるみを低減できる。

その他、第１から第３の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。一例において、チャックテーブル８の外周部において、周方向に互いに離れた態様で４つのクランプ機構（不図示）を設けてもよい。

この場合、貼り付け工程（Ｓ１０）後、且つ、保持工程（Ｓ２０）前に、４つのクランプ機構で保護テープ１７の四隅を挟持し、保護テープ１７の一面１７ａの対角線方向に沿って外側に保護テープ１７を引っ張る。これにより保護テープ１７を張った状態とした後、保持工程（Ｓ２０）及び送風工程（Ｓ３０）を行う。

送風工程（Ｓ３０）では、保護テープ１７の四隅を張った状態としつつ、保護テープ１７の被挟持領域Ｐ_１からＰ_４近傍の保護テープ１７のたるみを低減できる。送風工程（Ｓ３０）を継続しながら挟持工程（Ｓ４０）を行い、クランプ機構による保護テープ１７の挟持を解除し、更に、保持面８ａでの吸引保持を解除した後に、拡張工程（Ｓ５０）を行う。

２拡張装置
４基台
４ａ上面
６昇降機構
８チャックテーブル（保持テーブル）
８ａ保持面
１０第１の移動基台
１２第１の移動機構
１４第１の挟持ユニット
１６第１の上側ユニット
１６ａ第１の上側アーム部
１６ｂ第１の上側接触部
１６ｃ第１の上側昇降機構
１８第１の下側ユニット
１８ａ第１の下側アーム部
１８ｂ第１の下側接触部
１８ｃ第１の下側昇降機構
２０第２の移動基台
２２第２の移動機構
２４第２の挟持ユニット
２６第２の上側ユニット
２６ａ第２の上側アーム部
２６ｂ第２の上側接触部
２６ｃ第２の上側昇降機構
２８第２の下側ユニット
２８ａ第２の下側アーム部
２８ｂ第２の下側接触部
２８ｃ第２の下側昇降機構
３０第３の移動基台
３２第３の移動機構
３４第３の挟持ユニット
３６第３の上側ユニット
３６ａ第３の上側アーム部
３６ｂ第３の上側接触部
３６ｃ第３の上側昇降機構
３８第３の下側ユニット
３８ａ第３の下側アーム部
３８ｂ第３の下側接触部
３８ｃ第３の下側昇降機構
４０第４の移動基台
４２第４の移動機構
４４第４の挟持ユニット
４６第４の上側ユニット
４６ａ第４の上側アーム部
４６ｂ第４の上側接触部
４６ｃ第４の上側昇降機構
４８第４の下側ユニット
４８ａ第４の下側アーム部
４８ｂ第４の下側接触部
４８ｃ第４の下側昇降機構
５０上方気体供給部
５０ａ第１の上方気体噴射ユニット
５０ｂ第２の上方気体噴射ユニット
５０ｃ第３の上方気体噴射ユニット
５０ｄ第４の上方気体噴射ユニット
５２下方気体供給部
５２ａ第１の下方気体噴射ユニット
５２ｂ第２の下方気体噴射ユニット
５２ｃ第３の下方気体噴射ユニット
５２ｄ第４の下方気体噴射ユニット
６０第１の上側内部吸引ユニット
６２第１の下側内部吸引ユニット
７０第２の上側内部吸引ユニット
７２第２の下側内部吸引ユニット
８０第１の外部吸引ユニット
９０第２の外部吸引ユニット
１１ワーク
１１ａ表面
１１ｂ裏面
１３分割予定ライン
１５デバイス
１７保護テープ（シート）
１７ａ一面（上面）
１７ｂ他面（下面）
１９チップ
Ａエアー
Ｄ１第１の方向
Ｄ２第２の方向
Ｐ_１，Ｐ_２，Ｐ_３，Ｐ_４被挟持領域

Claims

上面の中央部にワークが貼り付けられたシートを拡張する拡張装置であって、
該ワークが貼り付けられている該シートの該上面とは反対側に位置する該シートの下面を吸引して保持する保持テーブルと、
該保持テーブルの保持面を横断する第１の方向において該保持テーブルを間に挟む様に設けられ、該第１の方向で該保持テーブルの外側にはみ出している該シートの外周部の被挟持領域をそれぞれ挟持する第１の挟持ユニット及び第２の挟持ユニットと、
該保持面を横断し該第１の方向に直交する第２の方向において該保持テーブルを間に挟む様に設けられ、該第２の方向で該保持テーブルの外側にはみ出している該シートの外周部の被挟持領域をそれぞれ挟持する第３の挟持ユニット及び第４の挟持ユニットと、
該第１の挟持ユニット及び該第２の挟持ユニットを該第１の方向に沿って互いに離れる向きに移動させ、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットを該第２の方向に沿って互いに離れる向きに移動させる移動装置と、
該保持テーブルの上方に設けられ、該保持テーブルの上方から、該第１の挟持ユニット、該第２の挟持ユニット、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットにより挟持される該シートの各被挟持領域の該上面側に向かって気体を供給する上方気体供給部と、
該保持テーブルの下方に設けられ、該保持テーブルの下方から、該第１の挟持ユニット、該第２の挟持ユニット、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットにより挟持される該シートの各被挟持領域の該下面側に向かって気体を供給する下方気体供給部と、
を備えることを特徴とする拡張装置。
該第１の挟持ユニット、該第２の挟持ユニット、該第３の挟持ユニット及び該第４の挟持ユニットは、対応する被挟持領域に面する様に設けられ、且つ、気体を吸引可能な内部吸引ユニットを有することを特徴とする請求項１に記載の拡張装置。
該拡張装置は、該保持テーブルの外周部よりも外側に各々設けられ、気体を吸引可能な複数の外部吸引ユニットを更に備えることを特徴とする請求項１に記載の拡張装置。