JP7321883B2 - シートの拡張方法 - Google Patents
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Description
ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
矩形の該シート上に該ワークが貼着された状態に形成する準備ステップと、
該シートの少なくとも対向する2辺の外周部を折り曲げて該ワークの外周縁に該シートが2重となる重なり部を形成する折り曲げステップと、
対向する一対の挟持手段でそれぞれ該重なり部を挟持する挟持ステップと、
該挟持ステップを実施した後、一対の該挟持手段を互いに離反する方向に移動させて該シートを拡張する拡張ステップと、を含む、シートの拡張方法とする。
該シートは、基材と、該基材上に配設された粘着層と、を有し、
該準備ステップでは、該粘着層上に該シートが貼着され、
該折り曲げステップでは、該粘着層同士が重なるようにして該重なり部が形成され、
該挟持ステップでは、該シートの該基材側を該挟持手段で挟持することとする。
<ワーク及びシート>
図1は、被加工物としてのワーク10と、ワーク10が貼着されるシート1について示す図である。
ワーク10は、例えば半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の円板状のウェーハである。ワーク10の表面には互いに直角に交差する複数の分割予定ライン101が格子状に設定されるものである。
次に、図2に示すように、ワークが貼着されたシートを拡張するための拡張装置の一実施形態について説明する。この拡張装置2は、四隅の角部が直角に形成された正方形状の固定基台20と、固定基台20上に配設され、ワークが貼着されたシートが水平に載置される円板状の保持テーブル3と、保持テーブル3に載置される図示せぬシートを挟持する第一挟持手段4A、第二挟持手段4B、第三挟持手段4C、第四挟持手段4Dと、これら挟持手段4A~4Dごとに設けられ、第一および第二挟持手段4A~4Bを第一方向にそれぞれ移動させる第一移動手段5A、第二移動手段5B、および第三および第四挟持手段4C~4Dをそれぞれ第二方向に移動させる第三移動手段5C、第四移動手段5Dと、を具備している。
<準備ステップ>
図1に示すように、ワーク10をシート1に貼着させた状態とする。上述したように、ワーク10には分割予定ライン101に沿って分割起点が形成されるものである。シート1は矩形(四角形)に構成されるものである。
図3(A)に示すように、矩形のシート1は、もともと帯状に製造され、ロール巻きにて提供されたものを所定の長さ巻出してカットされたものであり、帯状の長手方向(巻き出し方向)が第二方向とされ、第二方向と直交する方向が第一方向として定義される。シート1は、第二方向において伸び難く、第一方向において伸びやすいものとなっている。
図5(A)に示すように、重なり部K1の部位が、上側挟持部の上側ローラー433と、下側挟持部の下側ローラー423にて挟持され、図5(B)に示すように、シート1の第一方向の両端が第一挟持手段4Aおよび第二挟持手段4Bにより挟持された状態となる。
次いで、図6(A)~(C)に示すように、第一方向において第一挟持手段4Aおよび第二挟持手段4Bを離反させるとともに、第二方向において第三挟持手段4C、第四挟持手段4Dを離反させることで、シート1を拡張(エキスパンド)する。この拡張により、図7に示すように、ワーク10が分割起点において破断し、チップ10aに個片化される。
次いで、図7に示すように、金属製のフレームFをシート1に貼着するとともに、図示せぬシートカッターによりフレームFの外周に沿ってシートをカットすることで、ワーク10とフレームFが一体となったワークユニットが構成される。
即ち、図1乃至図6に示すように、
ワーク10が貼着されたシート1の拡張方法であって、
矩形のシート1上にワーク10が貼着された状態に形成する準備ステップと、
シート1の少なくとも対向する2辺の外周部を折り曲げてワーク10の外周縁にシート1が2重となる重なり部K1を形成する折り曲げステップと、
対向する一対の挟持手段(第一挟持手段4A,第二挟持手段4B)でそれぞれ重なり部K1を挟持する挟持ステップと、
挟持ステップを実施した後、一対の挟持手段(第一挟持手段4A,第二挟持手段4B)を互いに離反する方向に移動させてシート1を拡張する拡張ステップと、を含む、シート1の拡張方法とするものである。
シート1は、基材11と、基材11上に配設された粘着層12と、を有し、
準備ステップでは、粘着層12上にシート1が貼着され、
折り曲げステップでは、粘着層12同士が重なるようにして重なり部K1が形成され、
挟持ステップでは、シート1の基材11側を挟持手段(第一挟持手段4A,第二挟持手段4B)で挟持する、こととするものである。
1a 表面
1b 裏面
1F 外周部
2 拡張装置
3 保持テーブル
4A 第一挟持手段
4B 第二挟持手段
4C 第三挟持手段
4D 第四挟持手段
10 ワーク
10a チップ
11 基材
12 粘着層
42 下側挟持機構
43 上側挟持機構
101 分割予定ライン
422 下側挟持部
423 下側ローラー
432 上側挟持部
433 上側ローラー
F フレーム
K1 重なり部
Claims (2)
- ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
矩形の該シート上に該ワークが貼着された状態に形成する準備ステップと、
該シートの少なくとも対向する2辺の外周部を折り曲げて該ワークの外周縁に該シートが2重となる重なり部を形成する折り曲げステップと、
対向する一対の挟持手段でそれぞれ該重なり部を挟持する挟持ステップと、
該挟持ステップを実施した後、一対の該挟持手段を互いに離反する方向に移動させて該シートを拡張する拡張ステップと、を含む、シートの拡張方法。 - 該シートは、基材と、該基材上に配設された粘着層と、を有し、
該準備ステップでは、該粘着層上に該シートが貼着され、
該折り曲げステップでは、該粘着層同士が重なるようにして該重なり部が形成され、
該挟持ステップでは、該シートの該基材側を該挟持手段で挟持する、
ことを特徴とする請求項1に記載のシートの拡張方法。
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JP2019191421A JP7321883B2 (ja) | 2019-10-18 | 2019-10-18 | シートの拡張方法 |
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013239664A (ja) | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割方法 |
JP2013239663A (ja) | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割方法 |
JP2014143313A (ja) | 2013-01-24 | 2014-08-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 拡張装置および拡張方法 |
JP3196099U (ja) | 2014-12-08 | 2015-02-19 | リンテック株式会社 | 離間装置 |
JP2015216151A (ja) | 2014-05-08 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持装置及びチップ間隔維持方法 |
JP2017195254A (ja) | 2016-04-19 | 2017-10-26 | 株式会社ディスコ | エキスパンドシート |
JP2018207003A (ja) | 2017-06-07 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法及び分割装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013239664A (ja) | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割方法 |
JP2013239663A (ja) | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割方法 |
JP2014143313A (ja) | 2013-01-24 | 2014-08-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 拡張装置および拡張方法 |
JP2015216151A (ja) | 2014-05-08 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持装置及びチップ間隔維持方法 |
JP3196099U (ja) | 2014-12-08 | 2015-02-19 | リンテック株式会社 | 離間装置 |
JP2017195254A (ja) | 2016-04-19 | 2017-10-26 | 株式会社ディスコ | エキスパンドシート |
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