JP6107520B2 - 圧電アクチュエータ及び液体吐出装置 - Google Patents
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Description
10 圧力室
21 流路ユニット
22 圧電アクチュエータ
41 インク分離層
42〜44 圧電層
50 ドライバIC
45 下部電極
46 中間電極
47 上部電極
61 第1活性部
62 第2活性部
63 第3活性部
71 保護層
Claims (10)
- 第1圧電層と、
前記第1圧電層と積層された第2圧電層と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置された駆動電極と、
前記駆動電極との間で前記第1圧電層を挟み、所定の第1電位に保持される第1定電位電極と、
前記駆動電極と間で前記第2圧電層を挟み、前記第1電位と異なる第2電位に保持される第2定電位電極と、を備え、
中立面が、前記第1圧電層と前記第2圧電層との積層方向における、前記第1圧電層の中心面よりも前記第2圧電層と反対側に位置し、
前記第1圧電層の前記駆動電極と前記第1定電位電極とに挟まれた部分である第1活性部と、前記第2圧電層の前記駆動電極と前記第2定電位電極とに挟まれた部分である第2活性部とは、前記積層方向と平行に互いに逆向きに分極され、
前記駆動電極には、前記第1活性部及び前記第2活性部のうち一方の活性部に、分極方向と同じ向きの電界を発生させるような第1駆動電位と、前記第1活性部及び前記第2活性部のうち他方の活性部に、分極方向と逆向きの電界を発生させるような第2駆動電位のうち、いずれかの電位が選択的に付与されることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側に積層された別の層をさらに含んでいることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記別の層が、金属材料からなる金属層を含んでいることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記別の層が、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側に配置された第3圧電層と、
前記第3圧電層の前記第1圧電層と反対側に配置された前記金属層と、を含むことを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記積層方向から見て、前記駆動電極が、前記第1定電位電極及び前記第2定電位電極から所定方向にはみ出していることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記積層方向から見て、前記第1定電位電極及び前記第2定電位電極が、前記駆動電極から所定方向にはみ出していることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記所定方向に配列された複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータであって、
前記第1圧電層及び前記第2圧電層が、前記複数の圧力室を覆うように配置され、
複数の前記駆動電極、複数の前記第1定電位電極、及び、複数の前記第2定電位電極が、前記複数の圧力室と重なるように配置され、
前記第1定電位電極及び前記第2定電位電極の、前記駆動電極からはみ出した部分は、前記所定方向における前記圧力室の壁と重なる位置まで延び、
前記第1圧電層及び前記第2圧電層の、前記第1定電位電極の前記駆動電極からはみ出した部分と、前記第2定電位電極の前記駆動電極からはみ出した部分とに挟まれた部分である第3活性部が、前記第1圧電層及び前記第2圧電層と平行な向きに分極されていることを特徴とする請求項6に記載の圧電アクチュエータ。 - 複数の前記駆動電極が所定方向に沿って配列され、
前記第1定電位電極及び前記第2定電位電極は、複数の前記駆動電極にまたがって前記所定方向に延び、
前記第1定電位電極は、前記所定方向と直交する方向における一方側に、前記第2定電位電極からはみ出し、
前記第2定電位電極は、前記所定方向と直交する方向における他方側に、前記第1定電位電極からはみ出していることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1駆動電位が前記第1電位であり、
前記第2駆動電位が前記第2電位であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 - 圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するための駆動装置と、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室を覆うように配置された第1圧電層と、
前記第1圧電層と積層された第2圧電層と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に、前記圧力室と重なるように配置された駆動電極と、
前記駆動電極との間で、前記第1圧電層の前記圧力室と重なる部分を挟む第1定電位電極と、
前記駆動電極との間で、前記第2圧電層の前記圧力室と重なる部分を挟む第2定電位電極と、を備え、
中立面が、前記第1圧電層と前記第2圧電層との積層方向における、前記第1圧電層の中心面よりも前記第2圧電層と反対側に位置し、
前記第1圧電層の前記駆動電極と前記第1定電位電極とに挟まれた部分である第1活性部と、前記第2圧電層の前記駆動電極と前記第2定電位電極とに挟まれた部分である第2活性部とは、前記積層方向と平行に互いに逆向きに分極され、
前記駆動装置は、
前記第1定電位電極に、所定の第1電位を付与し、
前記第2定電位電極に、前記第1電位とは異なる第2電位を付与し、
前記駆動電極に、前記第1活性部及び前記第2活性部のうち一方の活性部に、分極方向と同じ向きの電界を発生させるような第1駆動電位と、前記第1活性部及び前記第2活性部のうち他方の活性部に、分極方向と逆向きの電界を発生させるような第2駆動電位のうち、いずれかの電位を選択的に付与することを特徴とする液体吐出装置。
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