JP4831186B2 - 液体移送装置の製造方法 - Google Patents
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Description
3 インクジェットヘッド
31 流路ユニット
32 圧電アクチュエータ
43 下部電極
44 中間電極
45 上部電極
R1 第1活性部
R2 第2活性部
Claims (5)
- 圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットに設けられ、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備えた液体移送装置の製造方法であって、
前記圧電アクチュエータは、
互いに積層された第1圧電層と第2圧電層に挟まれ、且つ、前記圧力室の中央部分と重なって配置され、第1電位が付与される第1定電位電極と、
前記第1圧電層の前記第1定電位電極と反対側の面において、前記圧力室の、少なくとも前記第1定電位電極と重なる部分よりも外側部分と重なって配置され、前記第1電位と異なる第2電位が付与される第2定電位電極と、
前記第2圧電層の前記第1定電位電極と反対側の面に配置され、前記第1定電位電極と前記第2圧電層を挟んで対向するとともに、前記第2定電位電極とも前記第1圧電層と前記第2圧電層の両方を挟んで対向し、前記第1電位と前記第2電位とが選択的に付与される個別電極と、
前記第2圧電層の、前記第1定電位電極と前記個別電極とに挟まれ、前記圧力室の前記中央部分と重なった部分からなる第1活性部と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層の、前記第1活性部よりも外側において前記第2定電位電極と前記個別電極とに挟まれ、前記圧力室の前記外側部分と重なった部分からなる第2活性部と、を有しており、
前記流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程と、
前記圧電アクチュエータを作製するアクチュエータ作製工程と、
前記アクチュエータ作製工程において作製された前記圧電アクチュエータの前記第1定電位電極を、平面視で、前記流路ユニット作製工程において作製された前記流路ユニットの前記圧力室の中央部分と重なるように位置合わせして、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータを接合する接合工程と、を備えていることを特徴とする液体移送装置の製造方法。 - 前記アクチュエータ作製工程において、光が透過する圧電材料で前記圧電アクチュエータを形成し、
前記接合工程において、前記圧電アクチュエータに向かって光を照射することで、前記第1定電位電極の位置を検出して、前記第1定電位電極を前記流路ユニットの前記圧力室の中央部分と重なるように位置合わせして、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータを接合することを特徴とする請求項1に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記アクチュエータ作製工程において、前記圧電アクチュエータの平面視で、前記個別電極、前記第1定電位電極、及び、前記第2定電位電極が形成される領域以外の領域に、前記第1定電位電極の中心から前記流路ユニットと接合されることとなる面に平行な一方向に関して所定距離だけ離隔した第1マークを形成し、
前記接合工程において、前記第1定電位電極の位置を算出可能な前記第1マークの位置に基づいて、前記第1定電位電極を前記流路ユニットの前記圧力室の中央部分と重なるように位置合わせして、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータを接合することを特徴とする請求項1または2に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記流路ユニット作製工程において、前記流路ユニットの平面視で、前記圧力室の中心から前記一方向に関して前記所定距離だけ離隔した第2マークを形成し、
前記接合工程において、平面視で、前記第1マークと前記第2マークが重なるように位置合わせして、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータを接合することを特徴とする請求項3に記載の液体移送装置の製造方法。 - 前記圧電アクチュエータは、前記第1定電位電極が形成された第1圧電シートと、前記第2定電位電極が形成された第2圧電シートと、前記個別電極が形成された第3圧電シートと、を積層して構成されており、
前記第1マークは、前記第1圧電シートに形成されていることを特徴とする請求項3または4に記載の液体移送装置の製造方法。
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