JP7404996B2 - 圧電アクチュエータ、及び、その製造方法 - Google Patents
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Description
(a)「前記第1方向において、前記第1部分(本発明の第1活性部)の前記一端と前記第1部分の前記他端との間の位置」(例えば、特許文献1の図6において、第2活性部63の一端は、X方向において、第1活性部61の一端と第1活性部61の他端との間の位置にある。即ち、第2活性部63は、第1活性部61におけるX方向の他方の端部とZ方向に重なっている。)
(b)「前記第1方向において、前記第1部分(本発明の第1活性部)の前記他端と同じ位置」(例えば、特許文献1の図16(a),(b)において、第2活性部63の一端は、X方向において、第1活性部61の他端と同じ位置にある。即ち、第2活性部63は、第1活性部61におけるX方向の他方の端部とX方向に隣接している。)
(c)「前記第1方向において、前記第1部分(本発明の第1活性部)の前記他端と前記第3部分(本発明の第3活性部)の前記他端との間の位置であって、前記第1部分の前記他端から前記第3部分の前記一端までの前記第1方向の距離が、前記第2部分の前記他端から前記第1部分の前記一端までの前記第1方向の距離よりも短くなる位置」(例えば、特許文献1の図16(c)において、第2活性部63の一端は、X方向において、第1活性部61の他端61bと第2活性部63の他端63bとの間の位置であり(即ち、第2活性部63は、第1活性部61からX方向の他方に離隔し)、かつ、第2活性部63と第1活性部61とのX方向の間隔t3が、第2活性部62と第1活性部61とのX方向の間隔t2よりも短くなる位置にある。)
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第2電極は、第2厚肉部と、前記第2厚肉部よりも前記第1方向の厚みが小さい第2薄肉部と、を有し、前記第2電極は、前記第2方向において、前記第1活性部における前記第2方向の一方の端部を形成する一端と、前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部を形成する他端と、を有し、前記第2薄肉部は、前記第2電極の前記他端に形成され、前記第2電極の前記一端に形成されていないことを特徴とする。
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第3電極は、第3厚肉部と、前記第3厚肉部よりも前記第1方向の厚みが小さい第3薄肉部と、を有し、前記第3電極は、前記第2方向において、前記第3活性部における前記第2方向の一方の端部を形成する一端と、前記第2活性部における前記第2方向の他方の端部を形成する他端と、を有し、前記第3薄肉部は、前記第3電極の前記一端に形成され、前記第3電極の前記他端に形成されていないことを特徴とする。
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第2電極を、前記第2方向の一方から他方に向かってスキージを移動させ、スクリーン印刷により形成する工程を備えたことを特徴とする。
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第3電極を、前記第2方向の他方から一方に向かってスキージを移動させ、スクリーン印刷により形成する工程を備えたことを特徴とする。
先ず、図1を参照し、本発明の第1実施形態に係る圧電アクチュエータ22を備えたヘッド3を含む、プリンタ1の全体構成について説明する。
続いて、図8を参照し、本発明の第2実施形態に係る圧電アクチュエータ222について説明する。
続いて、図9(a)を参照し、本発明の第3実施形態に係る圧電アクチュエータ322について説明する。
続いて、図9(b)を参照し、本発明の第4実施形態に係る圧電アクチュエータ422について説明する。
続いて、図9(c)を参照し、本発明の第5実施形態に係る圧電アクチュエータ522について説明する。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
40 圧電体
41~43 圧電層
51 駆動電極(第1電極)
51x 一端
51y 他端
51t 厚肉部(第1厚肉部)
51s 薄肉部(第1薄肉部)
52 高電位電極(第2電極)
52ax 一端
52ay 他端
52t 厚肉部(第2厚肉部)
52s 薄肉部(第2薄肉部)
53 低電位電極(第3電極)
53ax 一端
53ay 他端
53t 厚肉部(第3厚肉部)
53s 薄肉部(第3薄肉部)
60 アクチュエータ部
61 第1活性部
62 第2活性部
63 第3活性部
100 スキージ
Claims (13)
- 第1方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、
第1電極と、
前記第1方向において前記第1電極から離隔した第2電極と、
前記第1方向において前記第1電極から離隔した第3電極と、を備えた圧電アクチュエータであって、
前記圧電体は、前記第1方向において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれた第1活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第2活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第3活性部であって、前記第1方向と直交する第2方向において前記第2活性部から離隔した第3活性部と、を有し、前記第1活性部は、前記第2方向において前記第2活性部と前記第3活性部との間に配置された部分を有し、
前記第2活性部は、前記第1活性部から前記第2方向の一方に離隔し、
前記第3活性部は、下記(a)~(c)のいずれかの位置にあり、
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第2電極は、第2厚肉部と、前記第2厚肉部よりも前記第1方向の厚みが小さい第2薄肉部と、を有し、
前記第2電極は、前記第2方向において、前記第1活性部における前記第2方向の一方の端部を形成する一端と、前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部を形成する他端と、を有し、
前記第2薄肉部は、前記第2電極の前記他端に形成され、前記第2電極の前記一端に形成されていないことを特徴とする、圧電アクチュエータ。 - 前記第3電極は、第3厚肉部と、前記第3厚肉部よりも前記第1方向の厚みが小さい第3薄肉部と、を有し、
前記第3電極は、前記第2方向において、前記第3活性部における前記第2方向の一方の端部を形成する一端と、前記第2活性部における前記第2方向の他方の端部を形成する他端と、を有し、
前記第3薄肉部は、前記第3電極の前記一端に形成され、前記第3電極の前記他端に形成されていないことを特徴とする、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。 - 第1方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、
第1電極と、
前記第1方向において前記第1電極から離隔した第2電極と、
前記第1方向において前記第1電極から離隔した第3電極と、を備えた圧電アクチュエータであって、
前記圧電体は、前記第1方向において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれた第1活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第2活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第3活性部であって、前記第1方向と直交する第2方向において前記第2活性部から離隔した第3活性部と、を有し、前記第1活性部は、前記第2方向において前記第2活性部と前記第3活性部との間に配置された部分を有し、
前記第2活性部は、前記第1活性部から前記第2方向の一方に離隔し、
前記第3活性部は、下記(a)~(c)のいずれかの位置にあり、
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第3電極は、第3厚肉部と、前記第3厚肉部よりも前記第1方向の厚みが小さい第3薄肉部と、を有し、
前記第3電極は、前記第2方向において、前記第3活性部における前記第2方向の一方の端部を形成する一端と、前記第2活性部における前記第2方向の他方の端部を形成する他端と、を有し、
前記第3薄肉部は、前記第3電極の前記一端に形成され、前記第3電極の前記他端に形成されていないことを特徴とする、圧電アクチュエータ。 - 前記第2電極は、第2厚肉部と、前記第2厚肉部よりも前記第1方向の厚みが小さい第2薄肉部と、を有し、
前記第2電極は、前記第2方向において、前記第1活性部における前記第2方向の一方の端部を形成する一端と、前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部を形成する他端と、を有し、
前記第2薄肉部は、前記第2電極の前記他端に形成され、前記第2電極の前記一端に形成されていないことを特徴とする、請求項3に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第3活性部は、
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置にあり、
前記第2厚肉部と前記第3厚肉部とは、前記第1方向に互いに重ならず、前記第2方向に互いに隣接し、
前記第2薄肉部は、前記第3厚肉部と前記第1方向に重なり、
前記第3薄肉部は、前記第2厚肉部と前記第1方向に重なることを特徴とする、請求項2又は4に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第3活性部は、
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置にあり、
前記第2厚肉部と前記第3厚肉部とは、前記第2方向に互いに離隔し、
前記第2薄肉部と前記第3薄肉部とが、前記第2方向における前記第2厚肉部と前記第3厚肉部との間において、前記第1方向に互いに重なることを特徴とする、請求項2又は4に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1電極は、第1厚肉部と、前記第1厚肉部よりも前記第1方向の厚みが小さい第1薄肉部と、を有し、
前記第1電極は、前記第2方向において、前記第2活性部における前記第2方向の一方の端部を形成する一端と、前記第3活性部における前記第2方向の他方の端部を形成する他端と、を有し、
前記第1薄肉部は、前記第1電極の前記一端に形成され、前記第1電極の前記他端に形成されていないことを特徴とする、請求項1~6のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔は、前記第2薄肉部の前記第2方向の長さ以下であることを特徴とする、請求項1、2、4、5、6のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔は、前記第3薄肉部の前記第2方向の長さ以下であることを特徴とする、請求項2、3、4、5、6のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 複数の前記第1電極が、前記第2方向に配列され、
前記複数の第1電極のそれぞれに対し、前記第2薄肉部が前記第2厚肉部に対して前記第2方向の同じ側に配置されていることを特徴とする、請求項1、2、4、5、6、8のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 複数の前記第1電極が、前記第2方向に配列され、
前記複数の第1電極のそれぞれに対し、前記第3薄肉部が前記第3厚肉部に対して前記第2方向の同じ側に配置されていることを特徴とする、請求項2、3、4、5、6、9のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 第1方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、第1電極と、前記第1方向において前記第1電極から離隔した第2電極と、前記第1方向において前記第1電極から離隔した第3電極と、を備えた圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記圧電体は、前記第1方向において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれた第1活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第2活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第3活性部であって、前記第1方向と直交する第2方向において前記第2活性部から離隔した第3活性部と、を有し、前記第1活性部は、前記第2方向において前記第2活性部と前記第3活性部との間に配置された部分を有し、
前記第2活性部は、前記第1活性部から前記第2方向の一方に離隔し、
前記第3活性部は、下記(a)~(c)のいずれかの位置にあり、
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第2電極を、前記第2方向の一方から他方に向かってスキージを移動させ、スクリーン印刷により形成する工程を備えたことを特徴とする、圧電アクチュエータの製造方法。 - 第1方向に積層された複数の圧電層を有する圧電体と、第1電極と、前記第1方向において前記第1電極から離隔した第2電極と、前記第1方向において前記第1電極から離隔した第3電極と、を備えた圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記圧電体は、前記第1方向において前記第1電極と前記第2電極とに挟まれた第1活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第2活性部と、前記第1方向において前記第1電極と前記第3電極とに挟まれた第3活性部であって、前記第1方向と直交する第2方向において前記第2活性部から離隔した第3活性部と、を有し、前記第1活性部は、前記第2方向において前記第2活性部と前記第3活性部との間に配置された部分を有し、
前記第2活性部は、前記第1活性部から前記第2方向の一方に離隔し、
前記第3活性部は、下記(a)~(c)のいずれかの位置にあり、
(a)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第1方向に重なる位置
(b)前記第1活性部における前記第2方向の他方の端部と前記第2方向に隣接する位置
(c)前記第1活性部から前記第2方向の他方に離隔し、かつ、前記第3活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔が前記第2活性部と前記第1活性部との前記第2方向の間隔よりも短くなる位置
前記第3電極を、前記第2方向の他方から一方に向かってスキージを移動させ、スクリーン印刷により形成する工程を備えたことを特徴とする、圧電アクチュエータの製造方法。
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