JP5228842B2 - 圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents
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Description
第4の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、第1〜第3のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータの製造方法であって、前記振動板、前記下部圧電層及び前記上部圧電層の積層方向から見て、前記下部電極と前記中間電極とが重なる面積と、前記上部電極と前記中間電極とが重なる面積とが、異なっていることを特徴とするものである。
第5の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、第1〜第4のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電アクチュエータが、ノズル、及び、前記ノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットに組み付けられた、前記圧力室内の液体に圧力を付与するためのものであって、前記第1活性部及び前記第2活性部が分極される前の状態の前記圧電アクチュエータが前記流路ユニットに組み付けられた後に、前記第1活性部分極工程及び前記第2活性部分極工程を行うことを特徴とするものである。
複数の圧力室10に対応して、複数の圧力室10のほぼ全域と対向するように配置されており、紙送り方向に関する長さが中間電極44の対向部44aよりも長い、略矩形の平面形状を有している。また、上部電極45は、走査方向に関するノズル15と反対側の端における一部分が、走査方向に圧力室10と対向しない部分まで延びており、この部分がFPC50に接続される接続端子45aとなっている。また、上部電極45は、FPC50を介してドライバIC51に接続されており、グランド電位と上記所定の電位(例えば、20V)との間でその電位が切り替えられる。
(i)図9(a)に示すように、下部電極43を上部電極45よりも低電位(例えば、上部電極45を30V程度、下部電極43を−30V程度)にするとともに、中間電極44を下部電極43と同電位(例えば、−30V程度)にすることによって、第2活性部R2を分極した後、図9(b)に示すように、本実施の形態と同様にして第1活性部R1を分極する方法、
(ii)図10(a)に示すように、下部電極43を上部電極45よりも低電位(上部電極45を30V程度、下部電極43を−30V程度)にするとともに、中間電極44を上部電極45と同電位(例えば、30V程度)にすることによって、第2活性部R2を分極した後、図10(b)に示すように、本実施の形態と同様にして第1活性部R1を分極する方法、
(iii)図11(a)に示すように、本実施の形態と同様にして、第1活性部R1を分極した後、図11(b)に示すように、下部電極43を上部電極45よりも低電位(例えば、上部電極45を30V程度、下部電極43を−30V程度)にするとともに、中間電極44を上部電極45と同電位(例えば、30V程度)にすることによって第2活性部R2を分極する方法などが考えられる。
31 流路ユニット
32 圧電アクチュエータ
40 振動板
41 下部圧電層
42 上部圧電層
43 下部電極
44 中間電極
45 上部電極
62 圧電アクチュエータ
72 圧電アクチュエータ
143 下部電極
144 中間電極
154 中間電極
Claims (5)
- 振動板と、
前記振動板の一表面側に配置された下部圧電層と、
前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、
前記下部圧電層の前記振動板側の面に形成された下部電極と、
前記下部圧電層と前記上部圧電層との間に形成されており、前記下部電極の一部分と対向する中間電極と、
前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面に形成されており、前記中間電極と対向しているとともに、前記中間電極と対向しない部分において前記下部電極と対向した上部電極とを備えており、
前記上部圧電層の前記上部電極と前記中間電極とに挟まれた部分が、前記中間電極から前記上部電極に向かって分極された第1活性部となっており、
前記下部圧電層及び前記上部圧電層の前記下部電極と前記上部電極とに挟まれており且つ前記中間電極と対向しない部分が、前記上部電極から前記下部電極に向かって分極された第2活性部となった圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記第2活性部を分極する第2活性部分極工程と、
前記第2活性部分極工程の後、前記第1活性部を分極する第1活性部分極工程とを備えており、
前記第2活性部分極工程において、前記下部電極を前記上部電極よりも低い電位とするとともに、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極の間の電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
前記第1活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に、分極電圧を印加することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 振動板と、
前記振動板の一表面側に配置された下部圧電層と、
前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、
前記下部圧電層の前記振動板側の面に形成された下部電極と、
前記下部圧電層と前記上部圧電層との間に形成されており、前記下部電極の一部分と対向する中間電極と、
前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面に形成されており、前記中間電極と対向しているとともに、前記中間電極と対向しない部分において前記下部電極と対向した上部電極とを備えており、
前記上部圧電層の前記上部電極と前記中間電極とに挟まれた部分が、前記上部電極から前記中間電極に向かって分極された第1活性部となっており、
前記下部圧電層及び前記上部圧電層の前記下部電極と前記上部電極とに挟まれており且つ前記中間電極と対向しない部分が、前記下部電極から前記上部電極に向かって分極された第2活性部となった圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記第2活性部を分極する第2活性部分極工程と、
前記第2活性部分極工程の後、前記第1活性部を分極する第1活性部分極工程とを備えており、
前記第2活性部分極工程において、前記上部電極を前記下部電極よりも低い電位とするとともに、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極の間の電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
前記第1活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極よりも低い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に、分極電圧を印加することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記中間電極が、前記下部電極の中央部と対向するように配置されており、
前記下部電極が、前記中間電極、及び、前記下部電極の前記中間電極と対向する部分よりも外側の部分と対向するように配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記振動板、前記下部圧電層及び前記上部圧電層の積層方向から見て、前記下部電極と前記中間電極とが重なる面積と、前記上部電極と前記中間電極とが重なる面積とが異なっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記圧電アクチュエータが、
ノズル、及び、前記ノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットに組み付けられた、前記圧力室内の液体に圧力を付与するためのものであって、
前記第1活性部及び前記第2活性部が分極される前の状態の前記圧電アクチュエータが前記流路ユニットに組み付けられた後に、前記第1活性部分極工程及び前記第2活性部分極工程を行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。
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JP2008302531A JP5228842B2 (ja) | 2008-11-27 | 2008-11-27 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
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JP2008302531A JP5228842B2 (ja) | 2008-11-27 | 2008-11-27 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
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JP2010129760A JP2010129760A (ja) | 2010-06-10 |
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