JP5392187B2 - 圧電アクチュエータ及び液体噴射装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ及び液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5392187B2 JP5392187B2 JP2010123856A JP2010123856A JP5392187B2 JP 5392187 B2 JP5392187 B2 JP 5392187B2 JP 2010123856 A JP2010123856 A JP 2010123856A JP 2010123856 A JP2010123856 A JP 2010123856A JP 5392187 B2 JP5392187 B2 JP 5392187B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- end side
- piezoelectric
- actuator
- lead portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
3 インクジェットヘッド
31 流路ユニット
32 圧電アクチュエータ
40、41、42 圧電層
43 第1共通電極
43a 第1電極部分
43b 第1引き出し部分
44 第2共通電極
44a 第2電極部分
44b 第2引き出し部分
45 個別電極
47 第1表面電極
48 第2表面電極
80 アクチュエータユニット
80a 第1アクチュエータユニット
80b 第2アクチュエータユニット
Claims (6)
- 基材に接合された複数のアクチュエータユニットからなる圧電アクチュエータであって、
各アクチュエータユニットは、
厚み方向に積層された複数の圧電層からなる圧電体と、
前記圧電体の前記厚み方向における所定の位置に配置された複数の個別電極と、
前記圧電体の前記厚み方向における前記個別電極とは異なる位置に配置され、前記複数の個別電極の一部分とそれぞれ対向する複数の第1電極部分と、前記複数の第1電極部分と接続され、前記圧電層の面と平行な一方向における前記圧電層の第1端側まで引き出された第1引き出し部分を有し、所定の第1電位に保持される第1共通電極と、
前記圧電体の表面に配置され、前記第1引き出し部分の前記第1端側と接続され、前記表面の前記第1端側の縁に沿って延在した第1表面電極と、
前記圧電体の前記厚み方向における前記個別電極とは異なる位置に配置され、前記複数の第1電極部分が対向する部分とは異なる前記複数の個別電極の一部分とそれぞれ対向する複数の第2電極部分と、前記複数の第2電極部分と接続され、前記一方向における前記圧電層の前記第1端と反対の第2端側まで引き出された第2引き出し部分を有し、前記第1電位とは異なる第2電位に保持される第2共通電極と、
前記圧電体の前記表面に配置され、前記第2引き出し部分の前記第2端側と接続され、前記表面の前記第2端側の縁に沿って延在した第2表面電極と、を備えており、
複数の前記アクチュエータユニットは、前記一方向に沿って並んでおり、且つ、前記第1表面電極が延在する前記第1端同士または前記第2表面電極が延在する前記第2端同士が隣接するように前記基材上に配置されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記複数のアクチュエータユニットは、前記複数の個別電極に対して前記第1引き出し部分と前記第2引き出し部分の引き出された端が互いに逆になった2種類のアクチュエータユニットからなり、
前記2種類のアクチュエータユニットが、前記一方向に交互に並んでいることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。 - 液体を噴射する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットに、前記圧力室を覆うように配置された請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータと、を備えた液体噴射装置であって、
前記複数の圧力室は、前記一方向に沿って並んでいることを特徴とする液体噴射装置。 - 液体を噴射する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットに、前記圧力室を覆うように配置された請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータと、を備えた液体噴射装置であって、
前記複数の圧力室は、前記圧電層の面と平行であり、且つ、前記一方向と直交する方向に沿って並んで列を形成しており、
前記圧力室の列が、前記一方向に複数並んでいることを特徴とする液体噴射装置。 - 前記第1電極部分と前記第2電極部分は、前記圧電体の前記厚み方向における互いに異なる位置に配置されており、
前記一方向における前記第1端側よりも前記第2端側において、前記第1引き出し部分と前記第1電極部分の少なくともいずれか一方と接続され、前記圧電層の面と平行であり、且つ、前記一方向と直交する方向における前記圧電層の第3端側まで引き出された第3引き出し部分と、
前記一方向における前記第2端側よりも前記第1端側において、前記第2引き出し部分と前記第2電極部分の少なくともいずれか一方と接続され、前記圧電層の面と平行であり、且つ、前記直交する方向における前記圧電層の前記第3端側と反対の第4端側まで引き出された第4引き出し部分と、をさらに備えており、
前記第1表面電極は、さらに、前記第3引き出し部分の前記第3端側と接続され、前記圧電体の前記表面の前記第3端側の縁に沿って延在しており、
前記第2表面電極は、さらに、前記第4引き出し部分の前記第4端側と接続され、前記圧電体の前記表面の前記第4端側の縁に沿って延在していることを特徴とする請求項3または4に記載の液体噴射装置。 - 前記複数のアクチュエータユニットは、前記流路ユニット上に、前記一方向に沿って並んでいるとともに、さらに、前記直交する方向に沿って並んでおり、且つ、前記第1表面電極が延在する前記第3端同士または前記第2表面電極が延在する前記第4端同士が隣接するように配置されていることを特徴とする請求項5に記載の液体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010123856A JP5392187B2 (ja) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | 圧電アクチュエータ及び液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010123856A JP5392187B2 (ja) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | 圧電アクチュエータ及び液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011245820A JP2011245820A (ja) | 2011-12-08 |
JP5392187B2 true JP5392187B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=45411676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010123856A Active JP5392187B2 (ja) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | 圧電アクチュエータ及び液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5392187B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6264801B2 (ja) * | 2013-09-17 | 2018-01-24 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法 |
JP6187104B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-08-30 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
JP7151124B2 (ja) * | 2018-03-28 | 2022-10-12 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP7131021B2 (ja) * | 2018-03-28 | 2022-09-06 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006231678A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP5181465B2 (ja) * | 2006-11-15 | 2013-04-10 | ブラザー工業株式会社 | 記録ヘッドの駆動装置 |
JP2008238595A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド |
JP4915381B2 (ja) * | 2007-09-29 | 2012-04-11 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッド |
JP4557019B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2010-10-06 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
JP2009214510A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-09-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
JP4596030B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2010-12-08 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ及び液体移送装置、並びに、圧電アクチュエータの製造方法 |
-
2010
- 2010-05-31 JP JP2010123856A patent/JP5392187B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011245820A (ja) | 2011-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4596030B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及び液体移送装置、並びに、圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5051106B2 (ja) | 液滴噴射装置 | |
JP2011212865A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP6213335B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6455167B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2009202508A (ja) | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP2010155386A (ja) | 圧電アクチュエータ及び液体移送装置 | |
JP5428656B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2019064156A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP5392187B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及び液体噴射装置 | |
JP2016088084A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 | |
JP4110997B2 (ja) | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、および、インクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタ | |
JP5402476B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
US8313176B2 (en) | Liquid ejection head | |
JP2017132050A (ja) | 液体吐出装置 | |
JP5434932B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP4900218B2 (ja) | 液体移送装置及び圧電アクチュエータ | |
JP2011167875A (ja) | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP2011177930A (ja) | アクチュエータ装置及び記録ヘッド | |
JP4831186B2 (ja) | 液体移送装置の製造方法 | |
JP4973646B2 (ja) | 液体移送装置の製造方法及び圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP4893762B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP5228842B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP2014189017A (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6187104B2 (ja) | 液体吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130905 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130917 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5392187 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |