JP6029334B2 - 分割装置 - Google Patents
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Description
13a 分割予定ライン
13b 分割予定ライン
20 レーザー照射ユニット
30 分割装置
32 載置台
36 ハウジング
37 透明部
42 密閉空間
44 気体供給源
45 排気経路
50 凸状部材
52 突端部
60 凸状部材移動機構
70 撮像ユニット
80 載置台回転移動機構
F 環状フレーム
T エキスパンドシート
U 板状物ユニット
Claims (2)
- 分割起点が形成された板状物と該板状物が貼着されるエキスパンドシートと該エキスパンドシートの外周が貼着される環状フレームとからなる板状物ユニットの該板状物側を表面側、該エキスパンドシート側を裏面側とし、該板状物ユニットの該板状物を該分割起点に沿って分割する分割装置であって、
板状物ユニットの環状フレームが載置されて板状物が貼着された領域のエキスパンドシートを露出した状態に支持する載置台と、
該載置台に載置された該環状フレームを固定するフレーム固定手段と、
該載置台に載置された該環状フレームを含む該板状物ユニットの該エキスパンドシートとともに該板状物ユニットの該板状物を収容する密閉空間を該板状物ユニットの該表面側に画成するハウジングと、
該密閉空間に気体を供給して該板状物ユニットの該エキスパンドシートを該板状物ユニットの該裏面側に拡張する気体供給源と、
該気体供給源から該密閉空間に気体が供給されて該エキスパンドシートが該裏面側に拡張された状態で、該板状物ユニットの該裏面側で該エキスパンドシートを介して該板状物を押圧して分割する凸状部材と、
該凸状部材を少なくとも該板状物に対応する領域で移動させる凸状部材移動手段と、を備え、
該凸状部材は、列状の尖端を備える突端部を複数有し、それぞれの突端部が該板状物を押圧する機能を有する、
ことを特徴とする分割装置。 - 前記凸状部材移動手段は、前記凸状部材を一方向に移動させるものであり、
前記ハウジングは、前記載置台に載置される前記環状フレームを含む前記板状物ユニットの該板状物に対面した透明部を有し、
前記分割装置は、
該ハウジングの該透明部を介して該板状物を撮像する撮像手段と、
前記載置台を回転移動させる載置台回転移動手段と、を備えることで、
該板状物ユニットの前記分割起点と該凸状部材との位置合わせを実施する、
ことを特徴とする請求項1に記載の分割装置。
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