JP6462414B2 - 分割装置 - Google Patents
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Description
以下に、図1〜8を用いて、図1に示したウエーハWを分割装置1により分割する場合の分割装置1の動作について説明する。なお、本実施形態においては、載置テーブル3に備える球状体30は直径が6mmの擬似真球であり、また、図8に示す気圧差発生手段6は、流路81により吸引源8と第1の空間R1とを連通させ、第1の空間R1を外気圧より低圧にし、外気圧と第1の空間R1の気体の圧力との圧力差によりウエーハを載置面31に向かって押圧しウエーハWを分割するものである。
以下に、図1〜7及び図9〜10を用いて、実施形態1で分割したウエーハと同様のウエーハWを分割装置1により分割する場合の分割装置1の動作について説明する。なお、本実施形態においては載置テーブル3に備える球状体30は、直径が6mmの擬似真球であり、また、図10に示す気圧差発生手段6は、載置テーブル3を収容しシートFの上方に第2の空間R2を形成するチャンバー61と、チャンバー61に高圧気体を供給する気体供給源63と、を備え、気体供給源63により第2の空間R2に高圧気体を供給し第2の空間R2を高圧にし、シートの下面Fbが接する気体の圧力を外気の圧力と同じくし、シートの上面Faが接する気体の圧力とシートの下面Fbが接する気体の圧力との圧力差によりウエーハWを載置面31に向かって押圧しウエーハWを分割するものである。また、図9〜10では移動手段7は省略し、昇降手段5は簡略化して示している。
つまり、ウエーハWよりも大きい粘着テープTを載置面31に載置しかつ基台32の外周部32eに接触させることで第1の空間R1を形成させても良い。
3:載置テーブル
30:球状体 頂点:30a 31:載置面 32:基台 32a:底板 32b:側板 32c:側板上面 32d:貫通孔 32e:外周部
4:分割手段
5:昇降手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:昇降部
6:気圧差発生手段
61: チャンバー 61a:側壁 61b:天壁 61c:気体導入口 61d:下面部 63:気体供給源 64:気体供給路
7:移動手段 70:ボールネジ 71:ガイドレール 72:モータ 73:可動板
81:流路 83:吸引源
W:ウエーハ Wa:ウエーハの表面 Wb:ウエーハの裏面 Wc:分割起点
T:粘着テープ S:分割予定ライン C:チップ M:端材
F:シート Fa:シートの上面 Fb:シートの下面
R1:第1の空間 R2:第2の空間
Claims (3)
- 分割予定ラインにより区画された領域にデバイスを形成し該分割予定ラインに沿って分割起点を形成したウエーハを載置する載置テーブルと、該載置テーブルに載置したウエーハを該分割起点を起点として分割する分割手段と、を備えた分割装置であって、
ウエーハは、6角形のチップに分割されるもの、又は、多角形のチップへの分割により端材が生じるものであり、
該載置テーブルは、複数の球状体と、密接させた該複数の球状体の各面の頂点を繋いでなる載置面と、該複数の球状体を密接させて配設させる基台と、を備え、
該分割手段は、該載置面に載置されるシートと、該シートを境に該載置面側となる該シートの下面が接する気体の圧力とウエーハ側となる該シートの上面が接する気体の圧力との気圧差を発生させる気圧差発生手段と、を備え、
該気圧差発生手段により該載置面に載置された該シートの下面が接する気体より該シートの上面が接する気体の圧力を高くすることで該載置面に向かってウエーハを押圧しウエーハに形成した該分割起点を起点として分割する分割装置。 - 前記気圧差発生手段は、
前記基台に、前記基台と前記複数の球状体の各面と前記シートの下面とで形成される第1の空間を吸引源に連通させる流路を備え、
前記シートを前記基台の外周部に接触させた状態で、該流路により該吸引源と該第1の空間とを連通させ、該第1の空間を外気圧より低圧にし、外気圧と該第1の空間の気体の圧力との圧力差によりウエーハを前記載置面に向かって押圧しウエーハを分割する請求項1記載の分割装置。 - 前記気圧差発生手段は、
前記載置テーブルを収容し前記シートの上方に第2の空間を形成するチャンバーと、該チャンバーに高圧気体を供給する気体供給源と、を備え、
該気体供給源により該第2の空間に高圧気体を供給し該第2の空間を高圧にし、前記シートの下面が接する気体の圧力を外気の圧力と同じくし、該第2の空間の気体の圧力と前記シートの下面が接する気体の圧力との圧力差によりウエーハを前記載置面に向かって押圧しウエーハを分割する請求項1記載の分割装置。
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