KR102396892B1 - 이간 장치 및 이간 방법 - Google Patents

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Abstract

(과제) 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것.
(해결 수단) 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 과 타방의 면 (AS2) 의 적어도 일방에, 복수의 피착체 (CP) 또는 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 가 첩부된 일체물 (WK) 에 있어서의 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 복수의 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 을 구비하고, 일체물 (WK) 을 유지하여 당해 일체물 (WK) 을 복수의 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받는 주고 받기 수단 (40) 을 가지고, 주고 받기 수단 (40) 은, 일체물 (WK) 에 있어서의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단 (41) 과, 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지한 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 상대 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단 (42) 과, 주고 받기용 유지 수단 (41) 에 의해 유지한 일체물 (WK) 을 반송하는 반송 수단 (43) 을 구비하고 있다.

Description

이간 장치 및 이간 방법{SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}
본 발명은, 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.
종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2014-232843호
그러나, 특허문헌 1 에 기재된 바와 같은 종래의 이간 장치에서는, 웨이퍼 (W) (피착체) 가 첩부된 다이싱 테이프 (S) (접착 시트) 는, 프레임 (F) 과 같은 프레임 형상 부재에 첩부되어 인장 수단 (26) (이간용 유지 수단) 에 대한 주고 받기가 행해지고 있기 때문에, 그러한 프레임 형상 부재가 없어지면, 접착 시트의 단부가 처지거나, 흔들리거나 하여, 당해 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 주고 받을 수 없게 된다는 문제를 일으킨다.
본 발명의 목적은, 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용하였다.
본 발명에 의하면, 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하고, 일체물을 이간용 유지 수단에 주고 받으므로, 접착 시트의 단부가 처지거나, 흔들리거나 하는 경우가 없어, 당해 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있다.
도 1(A) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. 도 1(B), 도 1(C) 는, 도 1(A) 의 측면도로서 그 동작 설명도이다.
도 2(A), 도 2(B) 는, 본 발명의 그 밖의 예의 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하여, 기준이 되는 도면을 기재하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z 축의 화살표 방향이고 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X 축의 화살표 방향이고 「우」가 그 역방향, 「전」이 Y 축의 화살표 방향이고 「후」가 그 역방향으로 한다.
본 발명의 이간 장치 (10) 는, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 에, 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 일체물 (WK) 에 있어서의 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 복수의 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 일체물 (WK) 을 유지하여 당해 일체물 (WK) 을 복수의 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받는 주고 받기 수단 (40) 과, 카메라나 투영기 등의 촬상 수단이나, 광학 센서나 초음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 수단 (50) 을 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태의 일체물 (WK) 은, 평면에서 보았을 때 정방형의 접착 시트 (AS) 의 중앙부에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부되어 있다.
이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 수단 (30) 에 지지된 하측 유지 부재 (21) 와, 하측 유지 부재 (21) 에 지지된 구동 기기로서의 회동 (回動) 모터 (22) 와, 그 출력 축 (22A) 에 지지된 상측 유지 부재 (23) 를 구비하고 있다.
이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되어, 상면측에서 하측 유지 부재 (21) 를 지지하는 유지 아암 (32) 을 구비하고 있다.
주고 받기 수단 (40) 은, 일체물 (WK) 에 있어서의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단 (41) 과, 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지한 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 상대 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단 (42) 과, 주고 받기용 유지 수단 (41) 에 의해 유지한 일체물 (WK) 을 반송하는 반송 수단 (43) 을 구비하고 있다.
주고 받기용 유지 수단 (41) 은, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시되지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지가 가능한 4 체 (體) 의 흡착 패드 (41A) 와, 각 흡착 패드 (41A) 를 지지하는 지지 아암 (41B) 을 구비하고 있다.
장력 부여 수단 (42) 은, X 축 방향 및 Y 축 방향의 2 축 방향으로 이동 가능한 슬라이더 (42B) 를 구비한 구동 기기로서의 4 체의 XY 테이블 (42A) 을 구비하고, 각 슬라이더 (42B) 각각에 지지 아암 (41B) 이 지지되어 있다.
반송 수단 (43) 은, 복수의 아암에 의해 구성된 구동 기기로서의 다관절 로봇 (43A) 과, 그 작업부인 선단 아암 (43B) 에 지지되어, 4 체의 XY 테이블 (42A) 을 지지하는 베이스 프레임 (43C) 을 구비하고 있다. 또한, 다관절 로봇 (43A) 은, 그 작업 범위 내에 있어서, 선단 아암 (43B) 에 의해 지지한 것을 어느 위치, 어느 각도로도 변위 가능한 이른바 6 축 로봇 등이어도 되고, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2016－81974 에 예시되어 있는 다관절 로봇 (111) 등을 예시할 수 있다.
이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.
먼저, 각 부재가 도 1(A), 도 1(B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대해, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」라고 한다) 가 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통하여 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 도시되지 않은 소정의 일체물 공급 위치에 공급된 일체물 (WK) 의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 에 흡착 패드 (41A) 를 맞닿게 한 후, 도시되지 않은 감압 수단을 구동시켜, 당해 접착 시트 (AS) 의 흡착 유지를 개시한다. 이어서, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시키고, 도 1(B) 중 실선으로 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (41A) 로 흡착 유지한 일체물 (WK) 을 각 이간용 유지 수단 (20) 의 상방으로 반송한 후, XY 테이블 (42A) 을 구동시키고, 소정의 토크로 흡착 패드 (41A) 를 접착 시트 (AS) 의 대각선 방향으로 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여한다.
이 때, 검지 수단 (50) 이 카메라 등을 구동시켜, 피착체 (CP) 의 검지를 실시함과 함께, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 당해 검지 수단 (50) 의 검지 결과를 기초로 하여, 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시하면서, 도 1(B) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 외연부에 소정의 장력을 부여한 상태의 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치 (載置) 한다. 주고 받기 수단 (40) 은, 예를 들어, 피착체 (CP) 전체의 중심 위치가 당해 이간 장치 (10) 의 소정의 위치 (예를 들어, 당해 이간 장치 (10) 의 센터의 위치) 로부터 위치 어긋나지 않도록, 또는, 피착체 (CP) 전체의 외곽변이나 각 피착체 (CP) 의 외곽변이 각각 X 축과 Y 축과 평행해지도록 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시한다.
그 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (22) 를 구동시켜, 하측 유지 부재 (21) 와 상측 유지 부재 (23) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하면, 주고 받기 수단 (40) 이 도시되지 않은 감압 수단의 구동을 정지시켜, 접착 시트 (AS) 의 흡착 유지를 해제한 후, 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 흡착 패드 (41A) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 다음으로, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시키고, 도 1(C) 에 나타내는 바와 같이, 이간용 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이 때, 각 피착체 (CP) 는, 접착 시트 (AS) 의 뒤틀림 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 검지 수단 (50) 의 검지 결과를 기초로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시켜, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 각 이간용 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다.
그리고, 픽업 장치나 반송 장치 등의 도시되지 않은 피착체 취출 수단에 의해, 모든 피착체 (CP) 또는 소정량의 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 분리되면, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시켜, 각각의 슬라이더 (31A) 를 초기 위치로 복귀시킨 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (22) 를 구동시켜, 상측 유지 부재 (23) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 이어서, 작업자 또는, 도시되지 않은 반송 수단이, 하측 유지 부재 (21) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 제거하고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.
이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하고, 일체물 (WK) 을 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받으므로, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 가 처지거나, 흔들리거나 하는 경우가 없어, 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 확실하게 이간용 유지 수단 (20) 에 유지시킬 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그 수단들 및 공정들에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 이룰 수 있는 한 전혀 한정되지 않고, 하물며, 상기 실시형태에서 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 이간용 유지 수단은, 복수 또는 단수로 구성되어, 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 유지 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되지 않는다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일하다).
본 발명의 이간 장치는, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측이고, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지한 피유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (60) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 주고 받기 수단 (40) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.
또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성으로 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 부여하여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.
이간 수단 (30A) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (33) 를 구비하고, 그 출력축 (33A) 에서 하측 유지 부재 (21) 를 지지하고 있다.
맞닿음 수단 (60) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 원통상의 맞닿음 부재 (61) 를 구비하고 있다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A), 도시되지 않은 감압 수단 및 XY 테이블 (42A) 을 구동시키고, 도 2(A) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (41A) 로 흡착 유지한 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하면서, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치한다. 그 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (22) 를 구동시키고, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 하측 유지 부재 (21) 와 상측 유지 부재 (23) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 후, 이간 수단 (30A) 이 각 직동 모터 (33) 를 구동시키고, 이간용 유지 수단 (20) 을 하강시켜 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 그 후, 도시되지 않은 피착체 취출 수단에 의해, 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 분리되면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동시켜, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨 후, 하측 유지 부재 (21) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 분리시키고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이간용 유지 수단 (20) 은, 타방의 면 (AS2) 이나, 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 의 양방의 면에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 구성이어도 되고, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 클롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 구성이어도 된다.
이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 이간용 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 이간용 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.
이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니라 단수여도 되며, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로, 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.
이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.
이간 수단 (30A) 은, 이간용 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (60) 을 이동시킴으로써, 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (50) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 따라 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 (相似) 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.
주고 받기 수단 (40) 은, 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시하지 않고, 외연부에 소정의 장력을 부여한 상태의 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치하도록 해도 된다.
장력 부여 수단 (42) 은, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 X 축 방향, Y 축 방향 또는 그 밖의 방향으로만 소정의 장력을 부여해도 되고, 소정의 토크가 아니라, 흡착 패드 (41A) 를 소정 거리 이동시켜 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여해도 되고, 접착 시트 (AS) 의 대각선 방향으로부터 어긋난 방향으로 흡착 패드 (41A) 를 이동시켜도 되고, 복수가 아니라 단수여도 되며, 이 경우, 예를 들어, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 각각 1 쌍씩 지지하여, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.
주고 받기용 유지 수단 (41) 은, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 클롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 구성이어도 된다.
장력 부여 수단 (42) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, XY 테이블 (42A) 을 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, XY 테이블 (42A) 이 출력하는 토크를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 토크값이 소정값이 되도록, 또는, XY 테이블 (42A) 의 슬라이더 (42B) 의 이동량을 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 이동량이 소정의 이동량이 되도록, 작업자가 XY 테이블 (42A) 을 구동시켜도 된다.
주고 받기 수단 (40) 이 접착 시트 (AS) 의 외연부에 부여하는 소정의 장력은, 당해 접착 시트 (AS) 의 외연부가 느슨해지지 않을 정도 이상의 장력이면, 그 값은 사용자가 임의로 결정할 수 있다.
검지 수단 (50) 은, 예를 들어, 작업자의 육안이어도 되고, 이 경우, 작업자의 육안으로 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하거나, 피착체 (CP) 의 위치와 당해 이간 장치 (10) 의 위치 맞춤을 실시하거나, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 하거나 하기 위해서, 버튼이나 레버 등을 조작하여, XY 테이블 (42A), 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시키도록 구성해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 된다.
맞닿음 수단 (60) 은, 각통 형상이나 타원통 형상 등의 외에, 원 기둥, 각 기둥, 타원 기둥 등의 그 밖의 형상의 맞닿음 부재 (61) 를 채용해도 된다.
이간 장치 (10) 는, 먼저, 주고 받기 수단 (40) 이 XY 테이블 (42A) 을 구동시켜, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 X 축 방향으로만 소정의 장력을 부여한 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (22) 를 구동시켜, X 축 방향으로 늘어선 이간용 유지 수단 (20) 만에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하고, 그 후, 동일하게 하여, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 Y 축 방향으로만 소정의 장력을 부여한 후, Y 축 방향으로 늘어선 이간용 유지 수단 (20) 만에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하도록 구성해도 된다 (이 경우, X 와 Y 는 반대여도 된다).
접착 시트 (AS) 가 소정의 에너지에 의해, 그 접착력이 저하되는 것인 경우, 도시되지 않은 피착체 취출 수단으로 접착 시트 (AS) 로부터 피착체 (CP) 를 분리하기 전에, 소정의 에너지를 부여 가능한 에너지 부여 수단으로 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시켜도 된다. 또한, 이와 같은 에너지 부여 수단은, 모든 파장의 전자파 (예를 들어 X 선이나 적외선 등), 가열 또는 냉각된 기체나 액체 등의 유체등을 에너지로 하여 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 접착 시트 (AS) 의 구성에 따라 당해 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킬 수 있는 에너지를 부여 가능한 것이면 어떤 것이어도 된다.
본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS) 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 접착 시트 (AS) 나 피착체 (CP) 는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 접착 시트 (AS) 는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 된다. 또, 접착 시트 (AS) 는, 예를 들어, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖거나 하는 3 층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 이른바 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그것들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되며, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 해석법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이아 터치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.
피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하고 있는 것이어도 되고, 이간 수단 (30, 30A), 그 밖의 기구 또는 사람의 손 등으로 외력을 부여한 시점에서 복수로 분할되어, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하는 것과 같은 분할되어 복수가 되는 것이어도 된다. 이와 같은 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 레이저를 조사하여, 당해 반도체 웨이퍼나 기판 등에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약층을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판 등에 커터날로 절입하고, 당해 수지나 유리판 등에 선상이나 격자상 등의 표리에 관통하지 않는 절입이나 절취선 등의 절단 예정 라인을 형성해 두어, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 수지나 유리판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 전혀 한정되는 것은 아니다.
상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.
10, 10A : 이간 장치
20 : 이간용 유지 수단
30, 30A : 이간 수단
40 : 주고 받기 수단
41 : 주고 받기용 유지 수단
42 : 장력 부여 수단
43 : 반송 수단
60 : 맞닿음 수단
AE1 : 단부
AE2 : 다른 단부
AS : 접착 시트
AS1 : 일방의 면
AS2 : 타방의 면
CE : 피착체 접착 영역
CP : 피착체
HE : 유지 영역
WK : 일체물

Claims (4)

  1. 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 유지하는 복수의 이간용 유지 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
    상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 복수의 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 수단을 가지고,
    상기 주고 받기 수단은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  2. 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 유지하는 이간용 유지 수단과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이고, 상기 이간용 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단 및 상기 맞닿음 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
    상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 수단을 가지고,
    상기 주고 받기 수단은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  3. 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 복수의 이간용 유지 수단에 의해 유지하는 이간용 유지 공정과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지고,
    상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 복수의 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 공정을 추가로 가지고,
    상기 주고 받기 공정은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 복수의 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지하는 주고 받기용 유지 공정과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 공정과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
  4. 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 이간용 유지 수단에 의해 유지하는 이간용 유지 공정과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측이고, 상기 이간용 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 이간용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지고,
    상기 일체물을 유지하여 당해 일체물을 상기 이간용 유지 수단에 주고 받는 주고 받기 공정을 추가로 가지고,
    상기 주고 받기 공정은, 상기 일체물에 있어서의 접착 시트의 다른 단부를 복수의 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지하는 주고 받기용 유지 공정과, 상기 접착 시트의 다른 단부를 유지한 상기 주고 받기용 유지 수단을 상대 이동시키고, 상기 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 상기 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 공정과, 상기 주고 받기용 유지 수단에 의해 유지한 상기 일체물을 반송하는 반송 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
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