JP4361516B2 - ウェーハ分割方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数の半導体素子などのチップを一体に形成したウェーハをチップ毎に細分割するウェーハ分割方法に関する。

半導体製造工程のダイシング工程は、格子状配列で多数の半導体素子などのチップを一体に形成したウェーハ（半導体ウェーハ）の裏面に伸縮性シートを貼付し、ウェーハ表面にダイシングホイールなどで格子状のダイシング溝（割断予定線）を形成して、このダイシング溝からウェーハをチップ毎に分断する。また、半導体製造工程のボンディング工程は、ダイシング工程でウェーハから細分割されたチップをリードフレームなどの基体にボンディングする。このボンディング工程の製造設備にダイボンダーが適用される。

ダイシング工程には、ウェーハにダイシング溝を形成しないレーザーダイシング工程がある。レーザーダイシング工程は、ウェーハ内部にレーザー光を集光させてクラック、溶融などの亀裂による線状の改質領域（割断予定線）を形成して、後工程でウェーハを改質領域からチップ毎に分割する。ウェーハ内部の改質領域は、ウェーハに軽く外力を加えると改質領域から簡単に分断されるようになっている（例えば、特許文献１参照）。

また、レーザーダイシング工程でウェーハに改質領域の割断予定線を縦横格子状に形成した後で、ウェーハをチップ毎に細分割する設備として、ダイボンダーのエキスパンド機構を使用した設備がある。例えば、図１１（Ａ）に示すように、周辺部が支持リング４で支持された伸縮性シート３の中央部表面にウェーハ１を貼着する。シート３の周辺部を円筒状のエキスパンドステージ５に載せ、支持リング４を下降させてシート３をウェーハ１を中心に３６０度放射状にエキスパンドする。このエキスパンドで図１１（Ｂ）に示すように、シート中央部上のウェーハ１が３６０度放射状にエキスパンドされて、ウェーハ１の個々の改質領域に引張り応力が発生し、この応力でウェーハ１が格子状の改質領域のところからチップ毎に分断される。ウェーハ１から分断された多数のチップ１’は、シート３と共に放射状にエキスパンドしてチップ間に隙間が生じる。
特開２００４−１１１６０１号公報

レーザーダイシングでウェーハ内部にのみ改質領域を形成した場合、チップ間が幅ゼロの改質領域のみとなり、１枚のウェーハにより多くのチップを形成することができ、チップを０．３ｍｍ角や０．２５ｍｍ角などと小形化することが容易になる。また、格子状に改質領域を形成したウェーハをエキスパンド機構を使ってチップ毎に細分割する場合、シート上でウェーハをエキスパンドする際に、ウェーハの中央部ほどエキスパンド量が少なくて割断性が悪い。そこで、ウェーハの中央部も良好にエキスパンドするには、大きな量のエキスパンドができる大型のエキスパンド機構が必要になる。この問題は、１枚のウェーハに形成するチップのサイズが小さく、同チップの数が多いほど顕著であり、０．３ｍｍ角や０．２５ｍｍ角などの小形チップにおいては分割できない場合があり、小形チップの歩留まり改善を難しくしていた。また、シートはエキスパンドできる伸縮性シートに限られ、ＰＥＴ材などのエキスパンドできないシートに貼着されたウェーハには適用できない。

本発明は、かかる実情に鑑みてなされたもので、目的とするところは、チップの小形化に対応させたウェーハ分割方法を提供することにある。

上記目的を達成する本発明方法は、シートに貼着されたウェーハを、当該ウェーハに形成された割断予定線に沿って分割するウェーハ分割方法であって、シートを介してウェーハの割断予定線部分を局部的に真空吸引可能な真空吸引口を有するウェーハ分割治具をシートに接触させ、ウェーハ分割治具を、真空吸引口を真空吸引動作させながら、割断予定線と直交する方向にウェーハ及びシートに対して相対移動させ、シートを介しウェーハの割断予定線部分を真空吸引して割断予定線部分に曲げ応力を発生させ、この曲げ応力で割断予定線部分を割断することを特徴とする。

ここで、シートは、既存のダイボンダーのエキスパンド機構に使用されているエキスパンド専用の伸縮性シート、既存のフルカットダイシング機構に使用されている伸縮性シートの他に、エキスパンドしないＰＥＴ材などの非伸縮性シートが適用できる。伸縮性シートを使用してエキスパンドさせた場合、ウェーハの割断予定線部分が局部的な真空吸引により発生する曲げ応力と伸縮性シートのエキスパンドによる引張り応力で確実に割断され、かつ、割断と同時に伸縮性シートが伸びて割断直後の対向する二つの割断面同士が離れ、割断直後の割断面同士が擦り合うチッピング現象が回避される。非伸縮性シートを使用した場合、ウェーハの割断予定線部分が局部的な真空吸引により発生する曲げ応力で割断される。いずれのシートにおいても、シートにウェーハを貼着した状態でウェーハに割断予定線を形成する、あるいは、割断予定線を形成したウェーハをシートに貼着する。ウェーハの割断予定線は、レーザーダイシング法でウェーハ内部に形成された改質領域や、ウェーハ表面または裏面にウェーハ裏面または表面近くまでダイシングホイールなどで形成されたハーフカットダイシング溝が適用できる。本発明では、シートを介してウェーハの割断予定線部分を局部的に真空吸引可能な真空吸引口を有するウェーハ分割治具をシートに接触させ、真空吸引口を真空吸引動作させながら、ウェーハ分割治具を割断予定線と直交する方向にウェーハ及びシートに対して相対移動させ、シートを介しウェーハの割断予定線部分を真空吸引して割断予定線部分に曲げ応力を発生させ、この曲げ応力で割断予定線部分を割断する。このような曲げ応力による割断力は、伸縮性シートをエキスパンドさせて割断予定線部分に発生させる引張り応力による割断力よりも強力となり、かつ、割断予定線に集中して作用するために、ウェーハを小形チップに細分割する際のウェーハ割断性に優れ、チップの小形化を容易にし、小形チップの歩留まり改善効果が期待できる。また、ウェーハの割断予定線は、小さな外力では分断されないように形成しておくことができる。例えば、ウェーハの割断予定線が改質領域の場合は、この改質領域を浅く形成しておくことが可能である。また、ウェーハの割断予定線がハーフカットダイシング溝の場合も、溝を浅く形成しておくことで、チップ毎の分割までに不本意に割断することが無くなる。

また、本発明においては、ウェーハは縦横格子状配列で複数条の割断予定線を有し、このウェーハの縦または横方向の割断予定線部分を一条ずつ順に真空吸引して分割した後、横または縦方向の割断予定線部分を一条ずつ順に真空吸引して分割することができる。

例えばウェーハの縦方向割断予定線部分を一条ずつ順に分割する場合、ウェーハ分割治具とウェーハおよびシートとを縦方向割断予定線と直交方向に相対移動させて縦方向割断予定線部分を一条ずつ割断する。次に、ウェーハ分割治具とウェーハおよびシートを相対的に９０度回転させて、横方向割断予定線部分を一条ずつ割断して、ウェーハを多数のチップに細分割する。

また、本発明においては、ウェーハの一条の割断予定線部分を真空吸引して分割するときに、シートを介し一条の割断予定線部分に押圧部材を真空吸引力で押圧させることができる。

ここでの押圧部材は、一条の割断予定線より長い直線状の硬質部材であり、ウェーハのシートを載せる作業台（後述の分割治具に相当）に設けた段状部分や、この作業台に付属させたスキージ、棒状体などが適用できる。この押圧部材が当接するシートに貼着されたウェーハには、シートと反対面に割断予定線を形成しておくことが望ましい。ウェーハの一条の割断予定線部分を局部的に真空吸引して曲げ応力を発生させる際、この割断予定線部分にシートを介し押圧部材が当接し、真空吸引力の作用で押圧部材が割断予定線部分を突き上げて、割断予定線部分を積極的に割断するようにすると、ウェーハの割断が容易、かつ、確実となる。

また、本発明方法においては、ウェーハの表裏両面にシートを貼着した状態で分割することも有効である。例えば、ウェーハの裏面にシートを貼着してウェーハの表面に割断予定線を形成して、分割する前にウェーハ表面に別のシート（以下、必要に応じてカバーシートと称する）を貼着する。このようにしてウェーハを裏面のシート側から局部的に真空吸引して割断する。この場合、ウェーハ表面側のカバーシートは、ウェーハに形成されたチップを裏面のシートに押し付けて裏面のシートから剥がれるのを抑制すると共に、ウェーハの割断予定線部分に引張り応力を発生させて、割断予定線部分の割断動作を安定したものにする。このようなカバーシートは、伸縮性シートが望ましい。

ウェーハがシートの表面に貼着され、当該ウェーハのシートが貼着された面と反対面に複数条の割断予定線が格子状に形成されている場合、本発明で用いるウェーハ分割治具は、シートの裏面に摺動自在に接触してシートを介しウェーハを保持する保持面と、ウェーハにおける複数条の割断予定線の最大長さ以上の長さで保持面に形成され、保持面にシートを介しウェーハを載置すると保持面とシートの間に空隙を形成する直線状の押圧部材と、この押圧部材に隣接させて保持面に形成され、真空吸引動作することで空隙を真空引きしてシートを介しウェーハを局部的に真空吸引する真空吸引口とを具備したものとすることができる。

ここでのウェーハ分割治具は、上面に真空吸引口を有する吸着ステージ的なもので、ウェーハおよびシートに対し相対移動する。例えば、伸縮性シートにウェーハを貼着してシートをエキスパンドしたエキスパンド機構と組み合わせて使用する場合、エキスパンドした水平なシートの下方にウェーハ分割治具が水平方向に移動可能に配置される。この分割治具の上面が保持面で、シートの下面に接触し摺動して水平方向に移動する。この保持面に形成した押圧部材がシートの下面に直線状に当接して摺動し、押圧部材に沿って保持面に形成した真空吸引口が真空吸引動作をしてシートを局部的に真空吸引し、ウェーハの一条の割断予定線部分を局部的に真空吸引して曲げ応力を発生させる。

ここでの押圧部材は、保持面に部分的に形成した凸段部分と凹段部分から成る一段の段差部分の凸段部分とすることができる。この場合、前記段差部分の凹段部分に真空吸引口を形成することができる。

例えば、ウェーハ分割治具の保持面は、ウェーハの厚さ程度の段差を持つ上段保持面と下段保持面を有し、この上段保持面と下段保持面の間に段差面が形成される。上段保持面と段差面の境界部分である凸段部分が直線状の押圧部材となり、段差面と下段保持面の境界部分である凹段部分での下段保持面に真空吸引口が形成される。例えばエキスパンド機構でエキスパンドされたシートの下面にウェーハ分割治具の保持面を当接させ、真空吸引口を真空吸引動作させると、保持面上でシートを介しウェーハが局部的に真空吸引される。保持面とシートの間には、上段保持面と下段保持面の間の段差面の部所で真空吸引状態にある空隙が生じ、凸段部分がシート下面に強く押し当てられた状態となる。ウェーハの一条の割断予定線部分に局部的に真空吸引力を作用させて曲げ応力を発生させながら、保持面とシートを相対移動させる。保持面の凸段部分がウェーハの一条の割断予定線部分の真下位置に相対移動すると、凸段部分の先端エッジによる突き上げ作用が増大して、割断予定線部分が割断する。

また、ウェーハ分割治具における押圧部材は、保持面から部分的に突出させた突状体とすることができる。この突状体はスキージや、シートとの相対接触で自転するローラなどが適用できる。この場合、突状体の両側方に真空吸引口を形成することができる。

例えば、ウェーハ分割治具の保持面は水平な平坦面で、この平坦面上にウェーハのシートが摺動するようにしてある。この平坦面の中央部上に直線状の突状体がウェーハ厚さ程度の高さで突出する。突状体がスキージの場合、スキージの上端部のみを平坦な保持面から突出させ、スキージの左右両側面に沿って真空吸引口を設ける。スキージの上端をウェーハのシート下面に当接させ、スキージの左右両側方の真空吸引口を真空吸引動作させて、シートを介しウェーハをスキージの左右両側から真空吸引させる。スキージの直線状の上端がウェーハの一条の割断予定線部分の真下に相対移動すると、この一条の割断予定線部分に両側方からの真空吸引力で大きな曲げ応力が発生し、かつ、スキージの突き上げ作用が強力となって、割断予定線部分が確実に割断される。

また、ウェーハがシートの表面に貼着され、当該ウェーハのシートが貼着された面に複数条の割断予定線が格子状に形成されている場合、本発明で用いるウェーハ分割治具は、シートの裏面に摺動自在に接触してシートを介しウェーハを保持する逆へ字状に連続する第１保持面および第２保持面と、第１保持面と第２保持面の境界部分に形成され、真空吸引動作することでシートを介しウェーハを局部的に真空吸引する真空吸引口とを具備したものとすることができる。

ここでのウェーハ分割治具は、ウェーハおよびシートに対し相対移動する吸着ステージが適用できる。この分割治具の逆へ字状に連続する第１保持面と第２保持面は、１８０度に近い鈍角で交差するもので、両者共に傾斜面か、一方を水平面にして他方を傾斜面にすることができる。第１保持面上にウェーハのシートを載せて第２保持面へと摺動させる際に、両保持面の境界部分にある真空吸引口で真空吸引動作をさせると、シートを介しウェーハが局部的に真空吸引されて局部的に曲げ応力が発生する。ウェーハの一条の割断予定線部分に前述の曲げ応力が発生したときに、この一条の割断線部分が割断される。

本発明方法によれば、シートを介しウェーハの割断予定線部分を局部的に真空吸引し、割断予定線部分に集中的に曲げ応力を発生させて割断するので、割断予定線がレーザーダイシング法でウェーハ内部に形成された改質領域の場合であっても、さらに、ウェーハの中央部の割断予定線部分であっても確実な割断ができ、ウェーハ分割性能の改善が図れる優れた効果がある。また、ウェーハ分割性能の改善で、ウェーハの割断予定線をレーザーダイシング法による改質領域で形成して、１枚のウェーハにより多くのチップを形成し、チップを０．３ｍｍ角や０．２５ｍｍ角などとより小形化することが容易になり、かつ、小形チップであっても確実性の高い分割が可能となって小形チップの歩留まり改善が図れる実用価値に優れる効果がある。

また、本発明で用いるウェーハ分割治具においては、ウェーハのシートを保持する保持面に同シートを局部的に真空吸引する真空吸引口を設けたシンプルな構造となり、小形で製作コストの安いウェーハ分割治具が提供できる。また、このような構造簡単で小形のウェーハ分割治具は、既存のダイボンダーにおけるエキスパンド機構への組み込みが容易であり、既存のダイボンダーに設備投資的有利に適用できる実用価値に優れた効果がある。

以下、本発明の実施の形態を図１〜図１０を参照して説明する。

図１〜図３で、第１のウェーハ分割方法、分割治具を説明する。図１は、ダイボンダーのエキスパンド機構で使用されるウェーハリング部品６とウェーハ分割治具１０の概要を示す平面図である。ウェーハリング部品６は、図１１に示す部品と同様のもので、伸縮性シート３の表面周辺部に支持リング４の裏面を接着剤で固定し、シート３の表面中央部に１枚のウェーハ１の裏面を貼着している。ウェーハ１の表面側に、格子状パターンで割断予定線２が形成される。１枚のウェーハ１は、全ての割断予定線２の部分で分割されて多数の矩形のチップとなる。

ウェーハ１の割断予定線２は、ウェーハ１の表面にレーザーダイシングで形成された改質領域である。格子状の割断予定線２は、複数条の縦方向割断予定線２ａと、複数条の横方向割断予定線２ｂである。ウェーハ１が略円形であることから、各割断予定線２は長さが相違する。ウェーハリング部品６は、図示しないエキスパンド機構に組み込まれて水平に設置され、シート３がウェーハ１から３６０度エキスパンドされた状態にある。このシート３の下面側にウェーハ分割治具１０が、シート３に対して水平方向に相対移動可能に配置される。

ウェーハ分割治具１０は、ウェーハ１の割断予定線２の最大長さより少し長い平面長方形の硬質材料ブロックで、図２（Ａ）に拡大断面形状を示す。ウェーハ分割治具１０は、上面となる保持面１１を有する。保持面１１は、図１のウェーハリング部品６における水平なシート３の下面に摺動自在に接触して、シート３を介しウェーハ１を保持する。保持面１１は、ウェーハ１の厚さ程度の段差で上段保持面１１ａと下段保持面１１ｂを有し、上段保持面１１ａと下段保持面１１ｂの間に略垂直な段差面１１ｃが形成される。上段保持面１１ａと段差面１１ｃの境界部分である凸段部分１２ａのエッジが直線状の押圧部材１２として形成される。直線状の凸段部分１２ａのエッジは、ウェーハ１における複数条の割断予定線２の最大長さ以上の長さを有する。また、段差面１１ｃと下段保持面１１ｂの境界に凹段部分が形成され、この凹段部分での下段保持面１１ｂに真空吸引口１３が形成される。真空吸引口１３は、分割治具１０を貫通し、外部の真空吸引系１４に連接される。

ウェーハ分割治具１０の保持面１１の全域が、水平なシート３の下面に接触する。ウェーハ１を貼着したシート３を保持面１１の上段保持面１１ａ上に接触させると、保持面１１の略中央部の凹段部分とシート３の間に空隙ｇが形成され、この空隙ｇを真空吸引口１３が真空吸引することで、シート３が下段保持面１１ｂにも接触する。保持面１１の中央部にある真空吸引口１３は、矩形穴や半円穴で、図３に示すように段差面１１ｃに沿って複数箇所に形成される。段差面１１ｃと下段保持面１１ｂの境界部分である凹段部分の両端開口部を略三角状のシール材１１ｄで塞いで、保持面１１の全域でシート３を真空吸着するときにできる空隙ｇの両端開口をシール材１１ｄで塞ぎ、空隙ｇにおける真空吸引力の低下を防止する。

ウェーハ分割治具１０によるウェーハ１の分割動作を説明する。図２（Ａ）に示すように、ウェーハ１の縦方向分割予定線２ａにウェーハ分割治具１０の直線状凸段部分１２ａのエッジが平行になるようにして、エキスパンド状態にある水平なシート３の下面に保持面１１を当接させる。保持面１１の真空吸引口１３で真空吸引動作しながら治具全体を図２で左方向に水平移動させる。保持面１１がシート３を局部的に真空吸着した状態でシート３の下面を摺動して移動し、ウェーハ１の端部が真空吸引口１３の真上へと移動すると、ウェーハ端部が真空吸引力を受け始める。さらに移動して、図２（Ｂ）に示すように、ウェーハ端部の最初の縦方向割断予定線２が直線状凸段部分１２ａのエッジの真上に移動すると、この縦方向割断予定線２の部分に集中して曲げ応力が発生し、この曲げ応力でウェーハ１が割断予定線２の部分から割断する。図２（Ｂ）に示す割断されたウェーハ端部１”はシート３に貼着されたままであり、シート３のエキスパンドによって割断と同時に元のウェーハ１から積極的に離れる。つまり、縦方向割断予定線２ａは、初めにシート３のエキスパンドによる引張り応力を受け、次に、真空吸引力による曲げ応力を受け、最終的に凸段部分１２ａのエッジの突き上げによる曲げ応力を受けて割断するので、割断が確実であり、割断による得られるチップのサイズが小さくても十分に対応できる。

図２（Ｂ）の状態でシート３に対してウェーハ分割治具１０を水平移動させて、複数条の縦方向割断予定線２ａを一条ずつ順次に割断（分割）する。この複数全ての縦方向割断予定線２ａを分割すると、次は、シート３をそのままにしてウェーハ分割治具１０を水平方向に９０度回転させ、直線状凸段部分１２ａのエッジを横方向割断予定線２ｂと平行にして、上記要領でシート３に対して横方向に水平移動させる。この水平移動で、ウェーハ１の複数条の横方向割断予定線２ｂが一条ずつ順次に割断（分割）されて、最終的にウェーハ１が多数の矩形チップに細分割される。

図４と図５で、第２のウェーハ分割方法、分割治具を説明する。図４の断面図に示すウェーハ分割治具１０は、平坦な保持面１１の中央部に保持面１１から突出させた突状体１２ｂで押圧部材１２を構成する。突状体１２ｂはスキージ１２’ｂの上端エッジであり、スキージの両側方に真空吸引口１３、１３を形成する。平坦な保持面１１上にウェーハ１のシート３が摺動する。この保持面１１の中央部上に直線状の突状体１２ｂがウェーハ厚さ程度の高さで突出する。直線状の突状体１２ｂは、ウェーハ１の最大長さの割断予定線２より少し長い。ウェーハ１のシート３を保持面１１に載せ、真空吸引口１３、１３を真空吸引動作させてシート３を保持面１１に吸着させると、突状体１２ｂがシート３を局部的に少し突き上げて保持面１１との間に空隙ｇを形成する。この空隙ｇの両端を塞ぐようにスキージ１２’ｂの両端側に、図５に示すようなシール材１１ｅを形成して、空隙ｇでの真空吸引力の低下を防止する。

図４に示すように、ウェーハ１のシート３を保持面１１に載せ、スキージ１２’ｂの前後両側面に沿う真空吸引口１３、１３を同時に真空吸引動作させて、シート３に保持面１１を摺動させながらウェーハ分割治具１０を水平移動させ、直線状の突状体１２ｂを縦または横方向の割断予定線２の真下へと移動させる。一条の割断予定線２の真下に突状体１２ｂが移動すると、突状体１２ｂの両側のシート３が共に下方に真空吸引されて、ウェーハ表面の割断予定線２に曲げ応力が集中して発生し、割断予定線２から割断する。この割断は、ウェーハ１を局部的に下から突状体１２ｂで逆Ｖ字状に突き上げるようにして行われるので、図２治具に比べより強力に行われる。実際、より小形のチップ（０．２５ｍｍ角の小形チップなど）に対しても確実な割断、分割が行える。

図６で、第３のウェーハ分割方法と分割治具を説明する。図６に示されるウェーハ１は、表面側にも伸縮性シート３’を貼着している。図６のウェーハ分割治具１０は、図２と同じ治具である。ウェーハ１の表面側のシート３’はカバーシートで、ウェーハ１の表面側に割断予定線２を形成した後に貼着される。このウェーハ１の裏面のシート３をウェーハ分割治具１０の保持面１１に摺動させ、真空吸引口１３で真空吸引させると、図２と同様にして押圧部材１２の真上にウェーハ１の一条の割断予定線２が移動したときに、割断予定線２の部分で曲げ応力が集中して発生して、割断予定線部分が割断する。この割断時にカバーシート３’がウェーハ１と割断されたチップ側とを表面側から抑えてシート３からの剥がれを抑制し、また、裏面のシート３とカバーシート３’をエキスパンドさせておくことによりカバーシート３’による引張り応力がウェーハ表面に作用して、割断予定線部分の割断がより確実、安定したものとなる。このようなカバーシート３’の作用効果は、割断されるチップが小形であるほど効果的であり、チップの小形化を容易にする。

次に、図７で、第４のウェーハ分割方法と分割治具を説明する。図７に示されるウェーハ１は図６と同様に表裏両面にシート３，３’を貼着している。図７のウェーハ分割治具１０は、図４と同様な治具で、図４のスキージ１２’ｂに代わりローラ１２ｃを押圧部材１２として使用している。このローラ１２ｃの両側に真空吸引口１３、１３が形成される。ローラ１２ｃは、保持面１１からウェーハ厚さ程度突出しており、突出した外周をシート３に接触させて水平移動させると従動回転する。

図７治具の場合、ウェーハ１の裏面のシート３を保持面１１に接触させ、ローラ１２ｃの前後両側方の真空吸引口１３、１３を同時に真空吸引動作させて、シート３に保持面１１を摺動させながらウェーハ分割治具１０を水平移動させる。この水平移動で直線状ローラ１２ｃがシート３との接触抵抗で自転してシート３の下面を移動するため、移動がスムーズになる。このローラ１２ｃをウェーハ１の縦または横方向の割断予定線２の真下に順に移動させる。一条の割断予定線２の真下にローラ１２ｃが移動すると、ローラ１２ｃの両側のシート３が共に下方に真空吸引されて、ウェーハ表面の割断予定線２に曲げ応力が集中して発生し、割断予定線２から割断する。この割断の場合も、ウェーハ１を局部的に下からローラ１２ｃで逆Ｖ字状に突き上げるようにして行われるので、図２治具に比べより強力に行われる。また、ウェーハ１を局部的に表面側のカバーシート３’と共に逆Ｖ字状に突き上げるローラ１２ｃは、ウェーハ裏面側のシート３下面を自転しながら移動するので、シート３に与えるダメージを少なくすることができる。

次に、図８〜図１０に基づいて第５のウェーハ分割方法と分割治具を説明する。

図８に示されるウェーハ１は、シート３が貼着される面側に割断予定線２を格子状に形成している。例えば、図１０では下面となっているウェーハ１の表面に割断予定線２を形成してから、ウェーハ１の表面にシート３を貼着する。このウェーハ１をシート３が下になるように上下反転させて、シート３を図９に示すウェーハ分割治具１０の上面である保持面１１に載せる。

図９のウェーハ分割治具１０の保持面１１は、シート３の裏面に摺動自在に接触してシート３を介しウェーハ１を保持する逆へ字状に連続する第１保持面１１ｐおよび第２保持面１１ｑで構成される。第１保持面１１ｐと第２保持面１１ｑの境界部分に真空吸引口１３を形成する。逆へ字状に連続する第１保持面１１ｐと第２保持面１１ｑは、１８０度に近い鈍角で交差する。図８に示す第１保持面１１ｐと第２保持面１１ｑは、１８０度に近い鈍角の略Ｖ形を成し、略Ｖ形両面の間の極浅い谷間に複数の真空吸引口１３を直線状に並べて形成している。この谷間の長さは、ウェーハ１の複数条の割断予定線２の最大長さよりも少し長い。

第１保持面１１ｐ上にウェーハのシートを載せて第２保持面１１ｑへと相対摺動させ、真空吸引口１３で真空吸引動作をさせると、シート３を介しウェーハ１が局部的に真空吸引されて曲げ応力が発生する。ウェーハ１の一条の割断予定線２の部分が真空吸引口１３の部所まで相対移動すると、ウェーハ１の図８で下面に形成された割断予定線２の部分が下方に曲げられて曲げ応力が発生し、この曲げ応力で割断予定線部分が割断される。

なお、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

本発明の第１のウェーハ分割方法と分割治具を説明するためのウェーハと治具の平面図である。 （Ａ）、（Ｂ）は図１のウェーハ分割治具の各動作時での拡大断面図である。 図１のウェーハ分割治具の斜視図である。 第２のウェーハ分割方法と分割治具を説明するためのウェーハと治具の動作時の断面図である。 図４のウェーハ分割治具の部分斜視図である。 第３のウェーハ分割方法と分割治具を説明するためのウェーハと治具の動作時の断面図である。 第４のウェーハ分割方法と分割治具を説明するためのウェーハと治具の動作時の断面図である。 第５のウェーハ分割方法と分割治具を説明するためのウェーハと治具の動作時の断面図である。 図８のウェーハ分割治具の部分斜視図である。 図８のウェーハとシートの分解図である。 （Ａ）、（Ｂ）はダイボンダーのエキスパンド機構によるウェーハ分割方法を説明するための各動作時の断面図である。

符号の説明

１ ウェーハ
２ 割断予定線（改質領域）
３、３’ シート
４ 支持リング
６ ウェーハリング部品
１０ ウェーハ分割治具
１１ 保持面
１１ａ 上段保持面
１１ｂ 下段保持面
１１ｃ 段差面
１１ｐ 第１保持面
１１ｑ 第２保持面
１２ 押圧部材
１２ａ 凸段部分
１２ｂ 突状体
１２ｃ ローラ
１３ 真空吸引口
１４ 真空吸引系

Claims (10)

1. シートに貼着されたウェーハを、当該ウェーハに形成された割断予定線に沿って分割するウェーハ分割方法であって、
   前記シートを介して前記ウェーハの前記割断予定線部分を局部的に真空吸引可能な真空吸引口を有するウェーハ分割治具を前記シートに接触させ、
   前記ウェーハ分割治具を、前記真空吸引口を真空吸引動作させながら、前記割断予定線と直交する方向に前記ウェーハ及びシートに対して相対移動させ、
   前記シートを介し前記ウェーハの前記割断予定線部分を真空吸引して割断予定線部分に曲げ応力を発生させ、この曲げ応力で割断予定線部分を割断することを特徴とするウェーハ分割方法。
2. 前記ウェーハの割断予定線が、レーザーダイシング法でウェーハ内部に形成した亀裂による改質領域であることを特徴とする請求項１記載のウェーハ分割方法。
3. 前記ウェーハは縦横格子状配列で複数条の前記割断予定線を有し、当該ウェーハの縦または横方向の割断予定線部分を一条ずつ順に真空吸引して分割した後、横または縦方向の割断予定線部分を一条ずつ順に真空吸引して分割することを特徴とする請求項１または２記載のウェーハ分割方法。
4. 前記ウェーハの一条の割断予定線部分を真空吸引すると共に、前記シートを介し前記一条の割断予定線部分に押圧部材を前記真空吸引力で押圧することを特徴とする請求項３記載のウェーハ分割方法。
5. 前記ウェーハの表裏両面にシートを貼着したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のウェーハ分割方法。
6. 前記ウェーハは前記シートの表面に貼着され、当該ウェーハの前記シートが貼着された面と反対面に複数条の割断予定線が格子状に形成され、
   前記ウェーハ分割治具は、前記シートの裏面に摺動自在に接触してシートを介し前記ウェーハを保持する保持面と、前記ウェーハにおける複数条の割断予定線の最大長さ以上の長さで前記保持面に形成され、前記保持面に前記シートを介し前記ウェーハを載置すると保持面とシートの間に空隙を形成する直線状の押圧部材と、この押圧部材に隣接させて前記保持面に形成され、真空吸引動作することで前記空隙を真空引きして前記シートを介し前記ウェーハを局部的に真空吸引する前記真空吸引口と、を具備したことを特徴とする請求項１記載のウェーハ分割方法。
7. 前記押圧部材は、前記保持面に部分的に形成した凸段部分と凹段部分から成る段差部分の前記凸段部分であることを特徴とする請求項６記載のウェーハ分割方法。
8. 前記押圧部材は、前記保持面から部分的に突出させた突状体であることを特徴とする請求項６記載のウェーハ分割方法。
9. 前記突状体の両側方に前記真空吸引口を形成したことを特徴とする請求項８記載のウェーハ分割方法。
10. 前記ウェーハは前記シートの表面に貼着され、当該ウェーハの前記シートが貼着された面に複数条の割断予定線が格子状に形成され、
    前記ウェーハ分割治具は、前記シートの裏面に摺動自在に接触してシートを介し前記ウェーハを保持する逆へ字状に連続する第１保持面および第２保持面と、前記第１保持面と第２保持面の境界部分に形成され、真空吸引動作することで前記シートを介し前記ウェーハを局部的に真空吸引する前記真空吸引口と、を具備したことを特徴とする請求項１記載のウェーハ分割方法。

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