JP5694118B2 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
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Description
そして、アーム支持部242は図示しない駆動機構により正逆両方向に回転駆動させられるようになっている。このことにより、アーム241はアーム支持部242を中心として正逆両方向に回転可能となり、このアーム241は、保持部220により保持されたウエハWに処理液を供給する進出位置(図15の実線参照)とカップ230から退避した退避位置(図15の二点鎖線参照)との間でアーム支持部242を中心として回転移動を行うようになる(図15の矢印参照)。
前記アーム洗浄部は、前記ノズル支持アームの移動方向における前記収容部分よりも前記処理室から遠い後方位置に、前記ノズル支持アームに乾燥用ガスを吹き付ける乾燥ブロックを有していてもよい。
この際に、前記アーム洗浄部は、前記処理室における前記カップと前記アーム待機部との間の領域または前記アーム待機部に位置固定で設けられていてもよい。
また、前記処理室と前記アーム待機部との間には鉛直方向に延びる壁が設けられており、前記壁には、前記ノズル支持アームが通過可能な開口が設けられており、前記壁に前記アーム洗浄部が取り付けられていてもよい。
前記洗浄ボックス内に、前記ノズル支持アームの上部に向けて洗浄液を噴射する第1の洗浄液ノズルと、前記ノズル支持アームの下部に向けて洗浄液を噴射する第2の洗浄液ノズルとが設けられていてもよい。
本発明による別の液処理方法は、処理室の内部に設けられた基板保持部により基板を保持させる工程と、ノズルを支持するノズル支持アームを前記処理室内に進出させる工程と、前記処理室内に進出したノズル支持アームのノズルにより、前記基板保持部により保持された基板に流体を供給する工程と、アーム洗浄部により、前記ノズル支持アームが退避位置にあるときに当該ノズル支持アームの洗浄を行う工程と、を備えたことを特徴とする。
このバネ部材25dは、軸25aを中心として保持部材25を図6Aにおける時計回りの方向に回転させるような力を保持部材25に付勢するようになっている。これにより、保持部材25に何ら力が加えられていない場合には、保持部材25が保持プレート26に対して傾斜した状態となり、保持部材25におけるウエハWを側方から支持するための支持部分25b(後述)は保持プレート26の中心から遠ざかった状態となる。
20 処理室
21 基板保持部
40、42、43、44、45 カップ
82 ノズル支持アーム
82a ノズル
88、88’、120アーム洗浄部
Claims (8)
- 基板を保持する基板保持部および当該基板保持部の周囲に配設されるカップが内部に設けられた処理室と、
前記基板保持部に保持された基板に対して流体を供給するためのノズルと、
前記ノズルを支持し、前記ノズルが前記基板保持部により保持された基板の上方に位置する進出位置と、前記進出位置から後退した退避位置をとることができるように設けられたノズル支持アームと、
前記ノズル支持アームを長手方向に進退するよう移動させるアーム駆動機構と、
前記退避位置に位置する前記ノズル支持アームの外周を包囲するように構成され前記包囲されているノズル支持アームの洗浄対象部に向けて洗浄液を噴射する少なくとも1つの洗浄液ノズルが設けられた洗浄ボックスと、前記洗浄ボックスに隣接して前記ノズル支持アームの進退方向に関して前記洗浄ボックスよりも前記進出位置側に構成され、前記ノズル支持アームの外周面に向けて乾燥用ガスを噴射するガス噴射孔が設けられた乾燥ブロックと、を有するアーム洗浄部と、
前記アーム駆動機構は、前記退避位置に向けて前記ノズル支持アームを移動させ、前記アーム洗浄部は、前記ノズル支持アームの洗浄対象部に対して前記洗浄液ノズルから洗浄液を噴射し、前記洗浄対象部の全てが前記洗浄ボックス内に収容されて前記洗浄液の噴射が行われた後、前記アーム駆動機構は、前記進出位置に向けて前記ノズル支持アームを移動させ、前記アーム洗浄部は、前記乾燥ブロックを通過している前記洗浄対象部に対して前記ガス噴射孔から乾燥用ガスを噴射することを特徴とする液処理装置。 - 前記処理室に隣接して設けられ、当該処理室から退避した前記ノズル支持アームが待機するためのアーム待機部を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記アーム洗浄部は、前記処理室における前記カップと前記アーム待機部との間の領域または前記アーム待機部に位置固定で設けられていることを特徴とする請求項2記載の液処理装置。
- 前記処理室と前記アーム待機部との間には鉛直方向に延びる壁が設けられており、
前記壁には、前記ノズル支持アームが通過可能な開口が設けられており、
前記壁に前記アーム洗浄部が取り付けられていることを特徴とする請求項2または3記載の液処理装置。 - 前記処理室内において前記カップの周囲に配設され、上方位置と下方位置との間で昇降可能となっており、前記ノズル支持アームが通過可能な開口が設けられた円筒状のカップ外周筒を更に備え、
前記アーム洗浄部は前記カップ外周筒の外側に設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液処理装置。 - 前記乾燥ブロックは、前記ガス噴射孔から噴射された乾燥用ガスが前記洗浄ボックス側に向けて流れるように構成されている、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記洗浄ボックス内に、前記ノズル支持アームの上部に向けて洗浄液を噴射する第1の洗浄液ノズルと、前記ノズル支持アームの下部に向けて洗浄液を噴射する第2の洗浄液ノズルとが設けられている、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 基板保持部および前記基板保持部の周囲に配設されるカップが内部に設けられた処理室の前記基板保持部に保持された基板に対して流体を供給するためのノズルを支持し、前記ノズルが前記基板保持部により保持された基板の上方に位置する進出位置と、前記進出位置から後退した退避位置をとることができるように設けられたノズル支持アームを洗浄する液処理方法であって、
前記退避位置に向けて前記ノズル支持アームを移動させ、
前記退避位置に位置する前記ノズル支持アームの外周を包囲するように構成され前記包囲されているノズル支持アームの洗浄対象部に向けて洗浄液を噴射する少なくとも1つの洗浄液ノズルが設けられた洗浄ボックスにおいて、前記ノズル支持アームの洗浄対象部に対して前記洗浄液ノズルから洗浄液を噴射し、
前記洗浄対象部の全てが前記洗浄ボックス内に収容されて前記洗浄液の噴射が行われた後、前記進出位置に向けて前記ノズル支持アームを移動させ、
前記洗浄ボックスに隣接して前記ノズル支持アームの進退方向に関して前記洗浄ボックスよりも前記進出位置側に構成され、前記ノズル支持アームの外周面に向けて乾燥用ガスを噴射するガス噴射孔が設けられた乾燥ブロックにおいて、通過している前記洗浄対象部に対して前記ガス噴射孔から乾燥用ガスを噴射することを特徴とする液処理方法。
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