JP5220838B2 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
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Description
20 処理室
21 保持部
22 リフトピンプレート
23 リフトピン
24 ピストン機構
25 保持部材
25a 軸
25b 支持部分
25c 被押圧部材
25d バネ部材
26 保持プレート
26a 軸受け部
26b 軸受け孔
26c 内面壁
28 処理液供給管
28a ヘッド部分
29 処理液供給部
40 回転カップ
42 ドレインカップ
43 第1案内カップ
44 第2案内カップ
45 第3案内カップ
46a 第1処理液回収用タンク
46b 第2処理液回収用タンク
46c 第3処理液回収用タンク
46d 第4処理液回収用タンク
48 排気部
50 カップ外周筒
50a 支持部材
50b 駆動機構
50c 蓋部分
50m 開口
51 ガイド部材
52 洗浄部
52a 貯留部分
52b 洗浄液供給管
52c ドレン管
52d 上部開口
53 洗浄液供給部
53a 加温装置
56 排気部
58 排気部
60 シャッター
62 シャッター
70 FFU
80 アーム待機部
82 ノズルアーム
82a ノズル
82m 表面処理液供給管
84 アーム支持部
88 アーム洗浄部
88a 開口
89 表面処理液供給部
90 壁
94 シャッター
94a 開口
101 載置台
102 搬送アーム
103 棚ユニット
104 搬送アーム
200 液処理装置
210 処理室
220 保持部
230 カップ
240 ノズル
241 アーム
242 アーム支持部
250 FFU
260 排気部
Claims (7)
- 基板を水平状態に保持して回転させる基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を側方から囲み、基板から側方に飛散した処理液を受けるカップと、
前記基板保持部および前記カップが設けられた処理室と、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給するノズルと、
前記基板保持部に保持された基板の周囲にある、前記カップ内の雰囲気を排気する第1の排気部と、
前記ノズルを支持し、前記処理室内に進出した進出位置と前記処理室から退避した退避位置との間で水平方向に移動自在となっているアームと、
前記処理室に隣接して設けられ、当該処理室から退避した前記アームが待機するためのアーム待機部と、
前記処理室内において前記カップの外側に配設され、上方位置と下方位置との間で昇降可能となっているカップ外周筒と、
前記処理室内において前記カップ外周筒の外側に設けられた第2の排気部と、
を備え、
前記カップ外周筒は、前記上方位置にあるときに、前記カップよりも高い位置に位置し、前記処理室の内部空間のうちの前記基板保持部および前記カップの上方の空間を側方から囲み、
前記カップ外周筒が前記上方位置にあるときに、前記カップ外周筒の下部または下方に設けられた通気路を介して前記カップ外周筒に囲まれた空間の雰囲気が前記カップ外周筒の外側にある前記第2の排気部に送られることを特徴とする液処理装置。 - 前記カップ外周筒に前記アームが通過可能な開口が設けられ、前記ノズルに支持された前記ノズルを前記カップ外周筒の開口を通して前記基板の上方に位置させることができる、請求項1記載の液処理装置。
- 前記カップ外周筒を洗浄するための洗浄部を更に備えたことを特徴とする請求項1または2記載の液処理装置。
- 前記洗浄部は、洗浄液を貯留するための貯留部分を有し、
前記カップ外周筒が前記下方位置にあるときに当該カップ外周筒が前記貯留部分に貯留された洗浄液に浸され、前記カップ外周筒が上方位置にあるときに当該カップ外周筒が前記貯留部分に貯留された洗浄液から上方に離間し、前記カップ外周筒の下端と前記貯留部分に貯留された洗浄液の液面との間に、前記通気路をなす隙間が形成されることを特徴とする請求項3記載の液処理装置。 - 前記カップ外周筒の下部には前記通気路をなす通気用開口が設けられており、前記カップ外周筒が前記上方位置にあるときにこのカップ外周筒内の雰囲気は前記通気用開口を介して前記カップ外周筒の外側に送られて前記第2の排気部により排気されるようになっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記処理室と前記アーム待機部との間には鉛直方向に延びる壁が設けられており、
前記壁には、前記アームが通過可能な開口が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の液処理装置。 - 処理室の内部に設けられた基板保持部により基板を水平状態に保持させるとともに、当該基板がカップにより側方から囲まれた状態にする工程と、
前記処理室内において前記カップの外側に配設されているカップ外周筒を下方位置から上方位置に移動させ、この上方位置に移動させたカップ外周筒により、前記処理室の内部空間のうちの前記基板保持部および前記カップの上方の空間を側方から囲む工程と、
ノズルを支持するアームを、前記処理室に隣接して設けられたアーム待機部から前記処理室内に進出させて、前記ノズルを前記基板保持部により保持された前記基板の上方に位置させる工程と、
前記基板保持部により基板を回転させ、前記基板の上方にあるノズルにより、前記基板保持部により保持されて回転する基板に処理液を供給する工程と、
前記カップにより、前記ノズルから基板に供給された後に基板から側方に飛散する処理液を受けるとともに、第1の排気部により前記カップ内の雰囲気を排気し、さらに、前記処理室内において前記カップ外周筒の外側に設けられた第2の排気部により、前記カップ外周筒に囲まれた空間内の雰囲気を前記カップ外周筒の下部または下方に設けられた通気路を介して排気することと、
を備えたことを特徴とする液処理方法。
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