JP5511444B2 - 処理基板収納ポッド - Google Patents
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Description
蓋部材2は、十分な厚さを有し、開口3aの形状に対応する多角形状(代表的には四角形)を有し、開口3aを塞ぐ部材である。蓋部材2の相対する側面のうち、一対の側面2d,2eに被係合部たる係合溝2cが刻設されている。一般的には、係合溝2cは複数個配置される。係合溝2cのそれぞれは、所定の深さで刻設される細長い第一溝2c1と、第一溝2c1に対して角度をもって刻設される第二溝2c2とが組み合わされたL字形状の溝である。L字形状の溝とは、すなわち、以下の構成である。ここで、蓋部材2が開口3aに挿嵌された際において、ポッド1の内部空間に対向する蓋部材2の面を蓋部材2の内面2aとする。内面2aと反対側の蓋部材2の面を、蓋部材2の外面2bとする。
2 本体容器
3 蓋部材
4 ラッチ機構
5 棚
6 給気弁部材
7 排気弁部材
Claims (1)
- 開口と、その開口の周囲に取り付けられるフランジ枠とを有する本体容器と、
前記開口に挿嵌されて前記開口を密閉可能な蓋部材であって、前記蓋部材の側面上に刻設される第一溝と、前記第一溝の一端に、前記開口に挿嵌された際における前記蓋部材の内面と連通する第二溝とを有する係合溝を備える蓋部材と、
前記第一溝に沿って摺動可能であって、前記蓋部材の前記開口への挿嵌に伴って前記第二溝を通って前記係合溝内に進入する係合部材を有するラッチ機構と、
前記ポッド内外と流体的に連通し不活性ガス供給管と接合された際に、不活性ガスをポッド内に導入可能な給気弁部材と、不活性ガスをポッド内から排気可能な排気弁部材とを前記蓋部材に備える処理基板収納ポッドであって、
前記フランジ枠は、前記第一溝が延在する方向に沿って延在するガイドレールを有し、
前記ラッチ機構は、前記ラッチ機構がその長手方向に摺動可能となる摺動面を有するガイド溝であって、前記ガイドレールと係合する前記ガイド溝を有し、
前記ラッチ機構は、前記係合部材が前記第二溝に沿って前記係合溝内に進入した後に、前記摺動面が前記ガイドレールに沿って摺動することにより前記ラッチ機構が該第一溝に沿って移動することで前記ラッチ機構の長手方向に移動し、前記第一溝の他端まで前記係合部材が到達すると、前記第一溝により前記係合部材の移動が制限されて前記蓋部材が前記本体容器に固定される処理基板収納ポッド。
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