JP2000255677A - 基板収納用容器と基板収納用容器の蓋体の開閉方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蓋体２の開閉の際に発生するダストを低減し
た基板収納用容器を提供する。 【解決手段】 筐体１と蓋体２に挟まれた弾性体６の内
部の体積を調圧手段９により増加させ、筐体１内部を密
閉し蓋体２を固定する。次にこの体積を調圧手段９によ
り縮小させると、弾性体６が筐体１と蓋体２を圧接しな
くなるので筐体１内部が外部と通じ蓋体２が固定されな
くなる。これらのことにより、蓋体２の脱着に不要な力
が生じない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体基板収納用容
器、例えば基板運搬用ポッドに係り、ポッドの蓋体の開
閉方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】シリコン半導体基板は、その直径が世代
毎に拡大し次世代では３００ｍｍが検討されている。シ
リコン半導体基板のクリンルーム内の運搬においてもフ
ロント・オープニング・ユニファイド・ポッド（ＦＯＵ
Ｐ）の規格の統一を目指し開発が進められている。

【０００３】図９はＦＯＵＰに沿う従来の半導体基板収
納用容器である基板運搬用ポッドの断面図である。ポッ
ド本体４１とポッドの蓋体４２は、Ｏリング４３により
密着され、これにより外部の環境から基板４を保護して
いる。またポッド本体４１とポッドの蓋体４２はロック
機構５により固定される。基板４をポッド本体４１から
取り出す場合、ロック機構５が開放され、その後ポッド
の蓋体４２が取り去られる。その際、Ｏリング４３とポ
ッドの蓋体４２は密着しているので、互いに引き離すと
ダストが発生する。基板４がダスト発生個所のすぐそば
に存在しているので、ダストが基板４に付着するという
問題がある。また、ポッド本体４１が多少でも変形する
と、その構造に柔軟性がないため、ロック機構５が正常
に固定されないことがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事情に
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
蓋体の開閉の際に発生するダストを低減した基板収納用
容器を提供することにある。

【０００５】本発明の他の目的は、基板収納用容器の形
状がある程度変形しても基板収納用容器の蓋体を基板収
納用容器本体に固定することができる基板収納用容器を
提供することにある。

【０００６】本発明の他の目的は、ロック機構が不要な
基板収納用容器を提供することにある。

【０００７】本発明の他の目的は、基板収納用容器の蓋
体の開閉の際に発生するダストを低減する基板収納用容
器の蓋体の開閉方法を提供することにある。

【０００８】本発明の他の目的は、基板収納用容器の形
状がある程度変形しても基板収納用容器の蓋体を基板収
納用容器本体に固定することができる基板収納用容器の
蓋体の開閉方法を提供することにある。

【０００９】本発明の他の目的は、ロック機構が不要な
基板収納用容器の蓋体の開閉方法を提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】以上目的を達成するため
に、本発明の第１の特徴は、基板の出し入れ口を有する
筐体と、出し入れ口を密閉可能な蓋体と、出し入れ口の
周囲に位置し、内部の体積が増加すると筐体と蓋体に接
する弾性体と、この弾性体内の体積を増減する調圧手段
と、弾性体と調圧手段をつなぐパイプの開閉を行うバル
ブを有する基板収納用容器であることである。ここで弾
性体とは、自転車のタイヤや練り歯磨きのチューブのよ
うに、内部が中空になっており、この内部に流体の収納
が可能で、内部の圧力調整が可能な開口部を有する。こ
の開口部を除いて弾性体の内部と外部は隔てられる。内
部の体積は、内部の圧力と外部の圧力との差によって変
化し、外部の圧力より内部の圧力が大きいと内部の体積
は大きくなり小さいと内部の体積は小さくなる。なお、
弾性体内部に入れられる物質は流体であればよく、気体
でも液体でも良い。気体としては、空気、窒素ガス、ア
ルゴンガス等が、液体としては、水や油等が適してい
る。そして、以下の記述では「弾性体」を適宜「チュー
ブ」いう。また、調圧手段とは、チューブ内部の流体の
圧力を所望の圧力に上げたり下げたりする装置のことで
ある。圧力を上げる装置としては、コンプレッサで発生
する高圧な流体、あるいは流体が気体であれば高圧ボン
ベ内の高圧な気体をレギュレータとバルブで所望の圧力
まで下げるような装置が適当である。圧力を下げる装置
としては、真空ポンプで流体を排気しながらレギュレー
タとバルブで所望の圧力まで下げるような装置が適当で
ある。このことにより、蓋体を筐体から取り去る場合、
まず、チューブの内部のの圧力を下げることにより内部
の体積が収縮し、蓋体とチューブが密着しなくなる。次
にロック機構を開放することにより、蓋体が自由な状態
となる。この状態であれば蓋体を取り去るのに必要以上
の力は不要で衝撃は発生せず、その結果ダストを抑制し
た状態で蓋体を取り去ることが可能となる。チューブ
は、チューブ内の圧力がどこでも同じになるように筐体
と蓋体の隙間の形状に沿ってある程度変形するので、基
板収納用容器の形状がある程度変形しても蓋体を固定す
ることができ、着脱信頼性を向上させることができる。
そして、チューブの体積を増加させることにより筐体に
対する蓋体の位置を固定することができ、チューブの体
積を減少させることにより筐体に対して固定されていた
蓋体を、チューブの体積が減少した分だけ動けるのでロ
ック機構が不要となる。

【００１１】本発明の第１の特徴は、チューブとバルブ
とが、筐体または蓋体に搭載されていることにより効果
的である。このことにより、運搬に適した小型化が可能
になる。

【００１２】さらに、本発明の第１の特徴は、調圧手段
が脱着することによりいっそう効果的である。このこと
により、運搬に適した小型化と軽量化が可能になる。

【００１３】そして、本発明の第１の特徴は、チューブ
に対して蓋体が接触する方向と、ポッドの蓋体が開けら
れる方向が異なることによりさらに効果的である。この
ことにより、チューブの体積を増減させることにより筐
体に対して蓋体を容易に固定したり解放することがで
き、容易にロック機構を構成できる。

【００１４】本発明の第１の特徴は、筐体と蓋体が、チ
ューブと接する位置よりも外側に突起を有することによ
り効果的である。このことにより、チューブの体積を減
少させることにより筐体に対して蓋体が、チューブの体
積が減少した分だけ動いても、蓋体は脱落しにくいの
で、着脱信頼性を向上させることができる。

【００１５】本発明の第２の特徴は、筐体の基板の出し
入れ口の周囲に位置しこの筐体と蓋体に囲まれたチュー
ブの内部の体積を増加させるステップと、この体積を縮
小させるステップと、蓋体を脱着するステップを有する
基板収納用容器の蓋体の開閉方法であることである。

【００１６】このことにより、蓋体を筐体から取り去る
場合、まず、チューブの内部の圧力を下げることにより
内部の体積が縮小し、蓋体とチューブが密着しなくなる
ことにより、蓋体が自由な状態となる。この状態であれ
ば衝撃は発生せず、その結果ダストを抑制した状態で蓋
体を取り去ることが可能となる。チューブは、チューブ
内の圧力がどこでも同じになるように筐体と蓋体の隙間
の形状に沿ってある程度変形するので、基板運搬用ポッ
ドの形状がある程度変形しても蓋体を固定することがで
き、着脱信頼性を向上させることができる。そして、チ
ューブの体積を増加させることにより筐体に対する蓋体
の位置を固定することができ、チューブの体積を減少さ
せることにより蓋体がチューブの体積が減少した分だけ
動けるので、ロック機構が不要となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施の形態を説明する。以下の図面の記載において同一又
は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。た
だし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との
関係、各層の厚みとの比率等は現実のものとは異なるこ
とに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸
法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。ま
た、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率の異
なる部分が含まれるのはもちろんである。

【００１８】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施の形態に係る基板収納用容器の透視図である。
基板収納用容器として基板運搬用ポッドを例に説明す
る。図１（ａ）は上面からの透視図であり、図１（ｂ）
は側面からの透視図である。本発明の第１の実施の形態
に係る基板収納用容器である基板運搬用ポッドは、基板
４の出し入れ口を有する筐体であるポッド本体１と、出
し入れ口を覆うポッドの蓋体２と、出し入れ口の周囲に
位置し内部の体積が増加すると本体１と蓋体２に接する
弾性体であるチューブ６と、チューブ６内の体積を増減
する調圧手段９と、チューブ６と調圧手段９をつなぐパ
イプの開閉を行うバルブ７を有している。そして、チュ
ーブ６とバルブ７とが、本体１に搭載されている。基板
４は本体１に第１の実施の形態では６枚収納可能である
が収納可能な枚数は１枚から１００枚まで変更可能であ
る。基板４は基板支持部８で支持され、ストッパ３で位
置が決められる。ロック機構５により蓋体２が本体１か
ら脱落することを防止している。

【００１９】図２は本発明の第１の実施の形態に係る基
板収納用容器から基板を取り出す手順を示す図である。
基板４を取り出す際の蓋体２の開閉の方法では、チュー
ブ６の内部の体積を増加させるステップと、この体積を
縮小させるステップと、この体積を変動させないステッ
プと、蓋体２を脱着するステップを有する。本体１から
調圧手段９が脱着するので基板運搬時のポッドの小型軽
量化が可能になる。

【００２０】（イ）まず、図２（ａ）のように、基板４
は本体１の中に収納され、本体１の基板の出し入れ口が
蓋体２で閉じられている。蓋体２はロック機構５が閉め
られていることによって脱落しない。バルブ７は閉じら
れておりチューブ６内の空気の圧力は高く維持され、チ
ューブ６内の空気の体積は大きいまま変動せず、チュー
ブ６は本体１と蓋体２に圧接している。この圧接により
基板４は本体１、チューブ６と蓋体２で密閉されてい
る。

【００２１】（ロ）図２（ｂ）のように、バルブ７に調
圧手段９としてレギュレータ１１、バルブ１２と真空ポ
ンプ１３をコネクタ１０で接続する。バルブ７を開け
て、チューブ６の内部の空気の圧力を下げることで、チ
ューブ６内部の空気の体積が縮小する。この体積が縮小
することによってチューブ６と蓋体２は圧接しなくな
る。

【００２２】（ハ）図２（ｃ）のように、バルブ７は閉
じ、コネクタ１０以降の接続をはずす。チューブ６内の
空気の圧力は低く維持され、チューブ６内の空気の体積
は小さいまま変動しない。ロック機構５が開けられ、蓋
体２が本体１から脱離され蓋体２が開けられる。この開
放であれば衝撃は発生せず、その結果ダストの発生を抑
制した状態で蓋体２を取り去ることが可能である。基板
４が本体１から取り出される。図２（ｄ）のように、蓋
体２が本体に装着され、ロック機構５が閉じられ、蓋体
２が閉じられる。

【００２３】（ニ）図２（ｅ）のように、バルブ７に調
圧手段９としてレギュレータ１１、バルブ１２と高圧ボ
ンベ１４をコネクタ１０で接続する。バルブ７を開け
て、チューブ６の内部の空気の圧力を上げることで、チ
ューブ６内部の空気の体積が増加する。この体積が増加
することによってチューブ６が本体１と蓋体２を圧接す
るようになる。この圧接により基板４は本体１、チュー
ブ６と蓋体２で密閉される。この後、図２（ａ）のよう
に、バルブ７は閉じられて、チューブ６内の空気の圧力
は高く維持される。

【００２４】（第１の実施の形態の変形例１）図３は本
発明の第１の実施の形態の変形例１に係る基板収納用容
器から基板を取り出す手順を示す図である。基板収納用
容器として基板運搬用ポッドを例に説明する。変形例１
では、チューブ６の内部の圧力が外部の圧力と等しいと
チューブ６が本体１と蓋体２を圧接でき、内部の圧力が
外部の圧力より小さいとチューブ６が蓋体２を圧接しな
くなるようにゴムやバネ付きのベローズ等の弾性を有す
る材料をチューブ６に使用する。この使用により、高圧
側の調圧手段が省略でき、基板の取り出し手順が簡略化
できる。いわゆるノーマリ・オンで常時圧接が可能にな
る。

【００２５】（イ）図３（ａ）で図２（ａ）と異なるの
は、弾性を有する材料でチューブが造られ、チューブ６
内の空気の圧力が外部の圧力と同じに維持されること
で、チューブ６内の空気の体積は大きいまま変動せず、
チューブ６は本体１と蓋体２に圧接する。

【００２６】（ロ）図３（ｂ）で図２（ｂ）と異なるの
は、チューブ６の内部の空気の圧力を下げる際に、その
圧力を外部圧力より低くしなければならない点である。

【００２７】（ハ）図３（ｃ）（ｄ）は図２（ｃ）
（ｄ）と同様に処理される。

【００２８】（ニ）図３（ｅ）で図２（ｅ）と異なるの
は、バルブ７に高圧ボンベ１４等を接続せずにバルブ７
を開放して、チューブ６の内部の空気の圧力を上げて外
部の圧力と等しくすることで、チューブ６内部の空気の
体積を増加させる点である。ことによってチューブ６が
本体１と蓋体２を圧接するようになる。この後、図３
（ａ）のように、バルブ７は閉じられて、チューブ６内
の空気の圧力は一定に維持される。

【００２９】（第１の実施の形態の変形例２）図４は本
発明の第１の実施の形態の変形例２に係る基板収納用容
器から基板を取り出す手順を示す図である。基板収納用
容器として基板運搬用ポッドを例に説明する。変形例２
では、チューブ６の内部の圧力が外部の圧力と等しいと
チューブ６が蓋体２を圧接しなくなり、内部の圧力が外
部の圧力より大きいとチューブ６が蓋体２を圧接するよ
うにゴムやバネ付きのベローズ等の弾性を有する材料を
チューブ６に使用する。この使用により、低圧側の調圧
手段が省略でき、基板の取り出し手順が簡略化できる。
いわゆるノーマリ・オフで常時圧接しないことが可能に
なる。

【００３０】（イ）図４（ａ）で図２（ａ）と異なるの
は、弾性を有する材料でチューブが造られ、チューブ６
内の空気の圧力が外部の圧力より高く維持されること
で、チューブ６内の空気の体積は大きいまま変動せず、
チューブ６は本体１と蓋体２に圧接する。

【００３１】（ロ）図４（ｂ）で図２（ｂ）と異なるの
は、チューブ６の内部の空気の圧力を下げる際に、バル
ブ７に真空ポンプ１３等を接続せずにバルブ７を開放し
て、その圧力を外部圧力と等しくする点である。

【００３２】（ハ）図４（ｃ）（ｄ）は図２（ｃ）
（ｄ）と同様に処理される。

【００３３】（ニ）図４（ｅ）で図２（ｅ）と異なるの
は、チューブ６の内部の空気の圧力を上げる際に、その
圧力を外部圧力より高くしなければならない点である。

【００３４】（第２の実施の形態）図５は、本発明の第
２の実施の形態に係る基板収納用容器の透視図である。
基板収納用容器として基板運搬用ポッドを例に説明す
る。図５（ａ）は上面からの透視図であり、図５（ｂ）
は側面からの透視図である。本発明の第２の実施の形態
に係る基板運搬用ポッドは、基板４の出し入れ口を有す
る本体２１と、出し入れ口を覆う蓋体２２と、出し入れ
口の周囲に位置し内部の体積が増加すると本体２１と蓋
体２２に接するチューブ６と、チューブ６内の体積を増
減する調圧手段９と、チューブ６と調圧手段９をつなぐ
パイプの開閉を行うバルブ７を有している。そして、チ
ューブ６とバルブ７とが、本体２１に搭載されている。
また、チューブ６に対して蓋体２２が接触する方向と、
蓋体２２が開けられる方向が異なるので、ロック機構な
しでもチューブ６の圧接により蓋体２２が固定され、本
体２１から脱落することを防止する。

【００３５】図６は本発明の第２の実施の形態に係る基
板収納用容器の蓋体の開閉の基本動作を示す図である。
蓋体２２の開閉では、チューブ６の内部の体積を増加さ
せるステップと、この体積を縮小させるステップと、蓋
体２２を脱着するステップを有する。本体２１から調圧
手段９である高圧ボンベ１４や真空ポンプ１３等が脱着
するので基板運搬時のポッドの小型軽量化が可能にな
る。

【００３６】図６（ａ）は、チューブ６の内部の体積を
増加させるステップを示す図である。バルブ７に調圧手
段９としてレギュレータ１１、バルブ１２と高圧ボンベ
１４をコネクタ１０で接続する。バルブ７を開けて、チ
ューブ６の内部の空気の圧力を上げることで、チューブ
６内部の空気の体積が増加する。この体積が増加するこ
とによってチューブ６が本体２１と蓋体２２を圧接する
ようになる。この圧接により基板４が本体２１、チュー
ブ６と蓋体２２で密閉されるだけでなく、蓋体２２が本
体２１に固定する。

【００３７】図６（ｂ）は、チューブ６の内部の体積を
減少させるステップを示す図である。バルブ７に調圧手
段９としてレギュレータ１１、バルブ１２と真空ポンプ
１３をコネクタ１０で接続する。バルブ７を開けて、チ
ューブ６の内部の空気の圧力を下げることで、チューブ
６内部の空気の体積が縮小することによってチューブ６
と蓋体２２は圧接しなくなる。このことにより基板４が
密閉されなくなり、蓋体２２が本体２１から固定されな
くなる。

【００３８】図６（ｃ）は、ポッドの蓋体２２を脱着す
るステップを示す図である。バルブ７は閉じ、コネクタ
１０以降の接続をはずす。チューブ６内の空気の圧力は
低く維持され、チューブ６内の空気の体積は小さいまま
変動しない。蓋体２２が本体２１から脱離され蓋体２２
が開けられる。

【００３９】（第３の実施の形態）図７は、本発明の第
３の実施の形態に係る基板収納用容器の透視図である。
基板収納用容器として基板運搬用ポッドを例に説明す
る。図７（ａ）は上面からの透視図であり、図７（ｂ）
は側面からの透視図である。本発明の第３の実施の形態
に係る基板運搬用ポッドは、基板４の出し入れ口を有す
る本体３１と、出し入れ口を覆う蓋体３２と、出し入れ
口の周囲に位置し内部の体積が増加すると本体３１と蓋
体３２に接するチューブ６と、チューブ６内の体積を増
減する調圧手段９と、チューブ６と調圧手段９をつなぐ
パイプの開閉を行うバルブ７を有している。そして、チ
ューブ６とバルブ７とが、蓋体３２に搭載されている。
また、チューブ６に対して蓋体３２が接触する方向と、
蓋体３２が開けられる方向が異なるので、ロック機構な
しでもチューブ６の圧接により蓋体３２が固定され、本
体３１から脱落することを防止する。また、ポッドは、
本体３１と蓋体３２がチューブ６と接する位置よりも外
側に突起３３を有する。

【００４０】図８は本発明の第３の実施の形態に係る基
板収納用容器の蓋体の開閉の基本動作を示す図である。
蓋体３２の開閉では、チューブ６の内部の体積を増加さ
せるステップと、この体積を縮小させるステップと、蓋
体３２を脱着するステップを有する。本体３１から調圧
手段９である高圧ボンベ１４や真空ポンプ１３等が脱着
するので基板運搬時のポッドの小型軽量化が可能にな
る。

【００４１】図８（ａ）は、チューブ６の内部の体積を
増加させるステップを示す図である。図８（ａ）の示す
ステップは、図６（ａ）が示すステップと同様に処理さ
れる。ただ、チューブ６により本体３１と蓋体３２が密
着、および、固定されている状態で、蓋体３２を取り去
る方向に力が働いても、チューブ６が突起３３により押
さえられるため、蓋体３２が本体３１から滑脱すること
を防ぐことができる。

【００４２】図８（ｂ）は、チューブ６の内部の体積を
縮小させるステップを示す図である。図８（ｂ）の示す
ステップは、図６（ｂ）が示すステップと同様に処理さ
れる。ただ、基板４が密閉されなくなり、蓋体３２が本
体３１から固定されなくなっても、突起３３が蓋体３２
を保持するので蓋体３２が脱落することはない。なお、
チューブ６の内部の体積が縮小してもチューブ６が蓋体
３２から離れないように、チューブ６の環の長さを調節
している。

【００４３】図８（ｃ）は、ポッドの蓋体３２を脱着す
るステップを示す図である。図８（ｃ）の示すステップ
は、図６（ｃ）が示すステップと同様に処理される。

【００４４】（その他の実施の形態）上記のように、本
発明の実施の形態を記載したが、この開示の一部をなす
論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解す
べきでない。この開示から当業者には様々な代替しうる
実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになろう。

【００４５】既に述べた実施の形態の説明においては、
ポッドで基板を密閉する場合についてのみ述べたが、基
板が所定の位置に収納されるのであれば必ずしも密閉さ
れる必要はない。

【００４６】また、チューブ６とバルブ７の間のパイプ
上に圧力計や圧力の高低でオン・オフするスイッチを設
置することも有効である。このことにより、チューブ６
内の圧力が蓋体を本体に固定するのに十分な圧力である
かを調圧手段を用いることなく知ることができる。

【００４７】この様に、本発明はここでは記載していな
い様々な実施の形態を包含するということを理解すべき
である。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許
請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ限定される
ものである。

【００４８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、蓋
体の開閉の際に発生するダストを低減した基板収納用容
器を提供することができる。

【００４９】本発明によれば、基板収納用容器の形状が
ある程度変形しても蓋体を基板収納用容器本体に固定す
ることができる基板収納用容器を提供することができ
る。

【００５０】本発明によれば、ロック機構が不要な基板
収納用容器を提供することができる。

【００５１】本発明によれば、基板収納用容器の蓋体の
開閉の際に発生するダストを低減する基板収納用容器の
蓋体の開閉方法を提供することができる。

【００５２】本発明によれば、基板収納用容器の形状が
ある程度変形しても基板収納用容器の蓋体を基板収納用
容器本体に固定することができる基板収納用容器の蓋体
の開閉方法を提供することができる。

【００５３】本発明によれば、ロック機構が不要な基板
収納用容器の蓋体の開閉方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板収納用容
器の透視図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態に係る基板収納用容
器から基板を取り出す手順を示す図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態の変形例１に係る基
板収納用容器から基板を取り出す手順を示す図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態の変形例２に係る基
板収納用容器から基板を取り出す手順を示す図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係る基板収納用容
器の透視図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係る基板収納用容
器の蓋体の開閉の基本動作を示す図である。

【図７】本発明の第３の実施の形態に係る基板収納用容
器の透視図である。

【図８】本発明の第３の実施の形態に係る基板収納用容
器の蓋体の開閉の基本動作を示す図である。

【図９】従来の基板収納用容器の断面図である。

【符号の説明】

１、２１、３１ 筐体（ポッド本体） ２、２２、３２ 蓋体（ポッドの蓋体） ３ ストッパ ４ 基板 ５ ロック機構 ６ 弾性体（チューブ） ７、１２ バルブ ８ 基板支持部 ９ 調圧手段 １０ コネクタ １１ レギュレータ １３ 真空ポンプ １４ 高圧ボンベ ３３ 突起

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の出し入れ口を有する筐体と、 前記出し入れ口を密閉可能な蓋体と、 前記出し入れ口の周囲に位置し、内部の体積が増加する
   と前記筐体と前記蓋体に接する弾性体と、 前記弾性体内の体積を増減する調圧手段と、 前記弾性体と前記調圧手段をつなぐパイプの開閉を行う
   バルブを有することを特徴とする基板収納用容器。
2. 【請求項２】 前記弾性体と前記バルブとが、前記筐体
   に搭載されていることを特徴とする請求項１記載の基板
   収納用容器。
3. 【請求項３】 前記弾性体と前記バルブとが、前記蓋体
   に搭載されていることを特徴とする請求項１記載の基板
   収納用容器。
4. 【請求項４】 前記弾性体に対して前記蓋体が接触する
   方向と、前記蓋体が開けられる方向が異なることを特徴
   とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の基板収納用
   容器。
5. 【請求項５】 筐体の基板の出し入れ口の周囲に位置
   し、前記筐体と蓋体に囲まれた弾性体の内部の体積を増
   加させるステップと、前記体積を縮小させるステップ
   と、前記蓋体を脱着するステップを有することを特徴と
   する基板収納用容器の蓋体の開閉方法。