JP2011187866A - 処理基板収納ポッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 開口を有する本体容器と、開口を密閉する蓋部材であって、蓋部材の側面上に刻設される細長い第一溝と、第一溝の一端に、開口に挿嵌された際における蓋部材の内面と連通するように延在する第二溝とを有する係合溝を備える蓋部材と、第一溝に沿って摺動可能であって、蓋部材の開口への挿嵌に伴って第二溝を通って係合溝内に進入する係合部材を有するラッチ機構と、ポッド内外と流体的に連通し、不活性ガス供給管と接合された際に、不活性ガスをポッド内に導入可能な給気弁部材と、不活性ガスをポッド内から排気可能な排気弁部材とを備え、ラッチ機構は、係合溝内に進入した後に、第一溝に沿って移動して第一溝の他端まで係合部材が到達することにより、蓋部材を容器本体に固定し、給気弁部材は蓋部材に取り付けられる処理基板収納ポッドにより解決する。
【選択図】 図1A
Description
蓋部材2は、十分な厚さを有し、開口3aの形状に対応する多角形状(代表的には四角形)を有し、開口3aを塞ぐ部材である。蓋部材2の相対する側面のうち、一対の側面2d,2eに被係合部たる係合溝2cが刻設されている。一般的には、係合溝2cは複数個配置される。係合溝2cのそれぞれは、所定の深さで刻設される細長い第一溝2c1と、第一溝2c1に対して角度をもって刻設される第二溝2c2とが組み合わされたL字形状の溝である。L字形状の溝とは、すなわち、以下の構成である。ここで、蓋部材2が開口3aに挿嵌された際において、ポッド1の内部空間に対向する蓋部材2の面を蓋部材2の内面2aとする。内面2aと反対側の蓋部材2の面を、蓋部材2の外面2bとする。
2 本体容器
3 蓋部材
4 ラッチ機構
5 棚
6 給気弁部材
7 排気弁部材
Claims (2)
- 開口を有する本体容器と、
該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材であって、該蓋部材の側面上に刻設される第一溝と、該第一溝の一端に、該開口に挿嵌された際における該蓋部材の内面と連通する第二溝とを有する係合溝を備える蓋部材と、
該第一溝に沿って摺動可能であって、該蓋部材の該開口への挿嵌に伴って該第二溝を通って該係合溝内に進入する係合部材を有するラッチ機構と、
該ポッド内外と流体的に連通し、不活性ガス供給管と接合された際に、不活性ガスをポッド内に導入可能な給気弁部材と、不活性ガスをポッド内から排気可能な排気弁部材とを備え、
該ラッチ機構は、該係合溝内に進入した後に、該第一溝に沿って移動して該第一溝の他端まで該係合部材が到達することにより、該蓋部材を該容器本体に固定し、
該給気弁部材は該蓋部材に取り付けられていることを特徴とする処理基板収納ポッド。 - 請求項1に記載の処理基板収納ポッドであって、
該排気弁部材は、該開口と反対側の該本体容器の下部に配置されていることを特徴とする処理基板収納ポッド。
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