JP5361162B2 - グラファイトナノチューブの製造方法 - Google Patents
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以下、本発明の第1実施形態について、図1乃至図3を参照して説明する。図1は画像表示装置1全体の1画素に対応する部分を示す斜視図である。図2は図1の画像表示装置1のA部分を拡大して示す断面図である。図3は図2の電子放出部を示す断面図である。図1、図2及び図3中の矢印X、Y、Zは互いに直交する三方向を示している。なお、各図において説明のため、適宜、構成を拡大、縮小または省略して示している。
電子放出素子10と表示部30とは、図示しないスペーサにより所定の間隙を確保して接合されている。その間隙は例えば約10−8トール程度の減圧状態とされ、図示しないゲッターによりこの減圧状態が維持されている。
まず、スパッタ法等により、基板11上にニッケルを成膜し、導電触媒層12を形成する。ついで、導電触媒層12上、及び導電触媒層12が形成されていない基板11の上面全体に絶縁層13を形成する。ついで、スパッタ法等により、絶縁層13の表面に、導電触媒層12で使用した触媒金属とは異なるアルミ等の金属を成膜し、ゲート電極14を形成する。
アノード電極32、カソード電極としての導電触媒層12及びゲート電極14にそれぞれ所定の電圧Va(例えば1〜15KV)、Vd(例えば0〜100V)が印加される(以上、図2を参照する)と、電界が生じる。ここで、導電触媒層12に成長したカーボン材料としてのグラファイトナノチューブ21の側壁部21bに露出したグラフェンシート22の端面22aは細いため、ここに電気力線が集中する。これにより強い電界が得られ、この電界に引き出されて、カーボン材料としてのグラファイトナノチューブ21の側壁部21bなどから、電子が放出される。この電子はゲート電極14に導かれて蛍光体33〜35が塗布されたアノード電極32に入射する。こうして蛍光体33〜35が励起され、発光する。この発光により透明なアノード基板31を通して所望の画像が表示される。ここで、ゲート電極14に印加する電圧をマトリクス制御することで発光を制御することができ、画素毎の階調表示が可能となっている。
次に本発明の第2実施形態に係るカーボンナノファイバとしてのグラファイトナノチューブ21及びこの製造方法について図4を参照して説明する。図4はカーボン層19の一部を拡大して示す断面図である。また、各図において説明のため、適宜、構成を拡大、縮小または省略して示している。なお、本実施形態の画像表示装置1の構成等については上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
次に本発明の第3実施形態に係るカーボンナノファイバとしてのグラファイトナノファイバ26、カーボンナノチューブ27、及びこれらの製造方法について図8、図9を参照して説明する。図8、図9はカーボン層19の一部を拡大して示す断面図である。また、各図において説明のため、適宜、構成を拡大、縮小または省略して示している。なお、本実施形態の画像表示装置1において、電子放出部としてのグラファイトナノファイバ26、カーボンナノチューブ27以外の部分の構成等については上記第1実施形態の画像表示装置1と同様であるため、説明を省略する。
次に本発明の第4実施形態について、図11及び図12を参照して説明する。なお、基板11上に直接導電触媒層12が形成される点以外は上記第1乃至第3実施形態と同様であるため、詳細な説明を省略する。
次に本発明の第5実施形態について、図13乃至図15を参照して説明する。なお、カーボンナノファイバ20がパターニングされて所定領域にのみ形成される点以外は上記第1乃至第3実施形態と同様であるため、詳細な説明を省略する。
次に本発明の第6実施形態について、図16及び図17を参照して説明する。なお、電界または磁界を水平にかける点以外は上記第1乃至第3実施形態と同様であるため、詳細な説明を省略する。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
(1)
繊維状または管状を成す導電性繊維物質の製造方法であって、
基板の表面に、直接、導電性を有する触媒層を成膜し、
前記触媒層を加熱し、
減圧雰囲気下において、前記触媒層の周囲に混合ガスを導入し、
プラズマを発生させて前記触媒層に対してCVDを行い、前記導電性繊維物質を形成することを特徴とする導電性繊維物質の製造方法。
(2)
繊維状または管状を成す導電性繊維物質の製造方法であって、
基板上に形成された導電性を有する触媒層上にレジストによるパターニング処理を施し、
前記触媒層を加熱し、
減圧雰囲気下において、前記触媒層の周囲に混合ガスを導入し、
プラズマを発生させて前記触媒層に対してCVDを行い、前記レジストで被覆されていない所定領域にのみ前記導電性繊維物質を形成することを特徴とする導電性繊維物質の製造方法。
(3)
繊維状または管状を成す導電性繊維物質の製造方法であって、
基板上に導電性を有する触媒層を形成し、
前記触媒層を加熱し、
減圧雰囲気下において、前記触媒層の周囲に混合ガスを導入し、
プラズマを発生させて前記触媒層に対してCVDを行うとともに、実質的に前記基板の表面方向に沿う方向に電界または磁界を加え、前記電界または磁界の方向に沿って延びる前記導電性繊維物質を形成することを特徴とする導電性繊維物質の製造方法。
(4)
前記導電性繊維物質が形成される領域の一部または全部に、触媒物質が配置されていることを特徴とする(3)記載の導電性繊維物質の製造方法。
(5)
前記導電性繊維物質は、カーボンナノチューブ、グラファイトナノチューブ、グラファイトナノファイバ、からなる群より選択された少なくとも一つの物質を含むことを特徴とする(1)乃至(4)記載いずれかに記載の導電性繊維物質の製造方法。
(6)
前記触媒層は、鉄、ニッケル、コバルト、又はこれらのうち少なくとも一つを有する合金を含むことを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載の導電性繊維物質の製造方法。
(7)
前記触媒層の成膜方法がスパッタリング法であることを特徴とする(1)乃至(6)記載の導電性繊維物質の製造方法。
(8)
前記基板はシリコン基板またはガラス基板であることを特徴とする(1)乃至(7)の導電性繊維物質の製造方法。
Claims (4)
- グラファイトナノチューブの製造方法であって、
基板上に形成された導電性を有する触媒層上にレジストによるパターニング処理を施し、
前記触媒層を400〜450℃に加熱し、
減圧雰囲気下において、前記触媒層の周囲に混合ガスを導入し、
プラズマを発生させて前記触媒層に対してCVDを行い、前記レジストで被覆されていない所定領域にのみ前記グラファイトナノチューブを形成することを特徴とするグラファイトナノチューブの製造方法。 - グラファイトナノチューブの製造方法であって、
シリコン基板またはガラス基板である基板の表面に、直接、導電性を有する触媒層を成膜し、
前記触媒層を400〜450℃に加熱し、
減圧雰囲気下において、前記触媒層の周囲に混合ガスを導入し、
プラズマを発生させて前記触媒層に対してCVDを行い、前記グラファイトナノチュー
ブを形成することを特徴とするグラファイトナノチューブの製造方法。 - 前記触媒層は、鉄、ニッケル、コバルト、又はこれらのうち少なくとも一つを有する合金を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のグラファイトナノチューブの製造方法。
- 前記触媒層の成膜方法がスパッタリング法であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載のグラファイトナノチューブの製造方法。
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