JP5343488B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
前記天板の一部をなし、前記筐体の一縁側に引き出せるように設けられたヘッドプレートと、
このヘッドプレートに着脱自在に設けられたプローブカードと、を備え、
前記ヘッドプレートの引き出し方向側の端縁のうち、少なくともプローブカードから見て引き出し方向に位置している部位は、作業者の身体の一部が入り込めるように切り欠かれていると共に、検査時には前記筐体の一縁よりもプローブカード側に位置していることを特徴とする。
他の発明のプローブ装置は、基板を筐体内の載置台に載せて上昇させ、基板の被処理チップの電極パッドと筐体の天板に設けられたプローブカードのプローブとを接触させて被処理チップの電気的特性の検査を行うプローブ装置において、
前記天板の一部をなし、前記筐体の一縁側に引き出せるように設けられ、その一部が筐体から飛び出す位置まで引き出された後、引き出し方向側とは反対側の端縁側にて、水平軸の周りに下側に回動できるように構成されたヘッドプレートと、
このヘッドプレートに着脱自在に設けられたプローブカードと、を備え、
前記ヘッドプレートの引き出し方向側の端縁のうち、少なくともプローブカードから見て引き出し方向に位置している部位は、検査時には前記筐体の一縁よりもプローブカード側に位置していることを特徴とする。
本発明の実施の形態の一つである、図11に示すプローブ装置では、プローブ装置本体102の筐体122に既述の実施形態と同様に引き出し可能なヘッドプレート107を備えており、筐体122にヘッドプレート107の引き出し方向の中心線からみて左右に並ぶように、ヘッドプレート107の移動を支持するためのガイドレール190を設けると共にヘッドプレート107のプレート下面172に左右のガイドレール190上を夫々回動する滑車部材191が設けられている。また筐体122にはプレート下面172を図示しない吸引路を介して真空吸着する吸着部192がガイドレール190に沿うように複数設けられている。このプローブ装置では、滑車部材191がガイドレール190によってガイドされることによってヘッドプレート107が移動する。ヘッドプレート107を固定する場合には吸着ユニット192によってヘッドプレート107を吸着する。このようなプローブ装置であっても、作業者は切り込み部107bに入り込み、装着用開口部107aへと接近して第1の実施形態と同様に図示しないプローブカードの交換作業を行うことができる。
2 プローブ装置本体
4 ウェハチャック
5 上側撮像ユニット
6 プローブカード
7 ヘッドプレート
7a 装着用開口部
7b 切り込み部
7d 保持部
8 テストヘッド
8a ポゴピンユニット
22 筐体
22a 天板
22b 位置決め穴
24 テーブルユニット
26 溝部
27 凹状移動部
28 当接部材
60 プローブ
73 第1カムフォロア
73a ストッパピン
73b 弾性部材
73c 挿入穴
73d 抜け止め部
74 第2カムフォロア
75 第3カムフォロア
75a 係止ピン
190 ガイドレール
191 滑車部材
192 吸着ユニット
322c 切り欠き部
W ウェハ
Claims (4)
- 基板を筐体内の載置台に載せて上昇させ、基板の被処理チップの電極パッドと筐体の天板に設けられたプローブカードのプローブとを接触させて被処理チップの電気的特性の検査を行うプローブ装置において、
前記天板の一部をなし、前記筐体の一縁側に引き出せるように設けられたヘッドプレートと、
このヘッドプレートに着脱自在に設けられたプローブカードと、を備え、
前記ヘッドプレートの引き出し方向側の端縁のうち、少なくともプローブカードから見て引き出し方向に位置している部位は、作業者の身体の一部が入り込めるように切り欠かれていると共に、検査時には前記筐体の一縁よりもプローブカード側に位置していることを特徴とするプローブ装置。 - 基板を筐体内の載置台に載せて上昇させ、基板の被処理チップの電極パッドと筐体の天板に設けられたプローブカードのプローブとを接触させて被処理チップの電気的特性の検査を行うプローブ装置において、
前記天板の一部をなし、前記筐体の一縁側に引き出せるように設けられ、その一部が筐体から飛び出す位置まで引き出された後、引き出し方向側とは反対側の端縁側にて、水平軸の周りに下側に回動できるように構成されたヘッドプレートと、
このヘッドプレートに着脱自在に設けられたプローブカードと、を備え、
前記ヘッドプレートの引き出し方向側の端縁のうち、少なくともプローブカードから見て引き出し方向に位置している部位は、検査時には前記筐体の一縁よりもプローブカード側に位置していることを特徴とするプローブ装置。 - 前記ヘッドプレートの引き出し方向側の端縁のうち、少なくともプローブカードから見て引き出し方向に位置している部位は、作業者の身体の一部が入り込めるように切り欠かれていることを特徴とする請求項2に記載のプローブ装置。
- 前記筐体の一縁側の側壁の上縁部は、前記ヘッドプレートを引き出した際にこのヘッドプレートに取り付けられた前記プローブカードが、前記筐体の外に通過できる切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載のプローブ装置。
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