JP5517344B2 - プローブカードの搬送機構、プローブカードの搬送方法及びプローブ装置 - Google Patents
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Description
本実施形態のプローブカード搬送機構(以下、単に「搬送機構」と称す。)10は、例えば図1の(a)、(b)に示すように本実施形態のプローブ装置50に設けられて、プローブカードを交換する際に用いられる。
11 第1のカード搬送機構
12 第2のカード搬送機構
13 カード保持具
14A、14B、14C、14D 基板
15A、15B、15C、15D 直進駆動機構
16A、16B、16C 昇降機構
50 プローブ装置
52 載置台
51C 開閉扉
Claims (7)
- プローブ装置のインサートリングにカードホルダ付きのプローブカードを着脱するために上記プローブカードを搬送する第1のカード搬送機構と、上記第1のカード搬送機構と上記インサートリングとの間で上記プローブカードを搬送する第2のカード搬送機構と、を備えたプローブカードの搬送機構であって、
上記第1のカード搬送機構は、テストヘッドを上記インサートリングまで旋回させる旋回駆動機構の下側に上記プローブ装置の側面に隣接させて設けられ且つ上記第2のカード搬送機構との間で上記プローブカードの受け渡しを行う進退動可能なカード保持具を有し、上記カード保持具は、上記プローブカードを検出する第1センサと、上記カードホルダに形成された凹部に嵌入して上記プローブカードを位置決めする第1位置決めピンと、を有し、
上記第2のカード搬送機構は、上記第1のカード搬送機構と上記インサートリングの間で上記プローブカードを搬送する際に水平方向及び上下方向に移動する載置台と、上記載置台の周囲に互いに所定間隔を空けて昇降可能に設けられ且つ上記第1のカード搬送機機構と上記載置台との間で上記プローブカードを受け渡す第1、第2、第3昇降機構と、を有し、また、
上記第1、第2、第3昇降機構は、それぞれ上記カードホルダを受けて上記プローブカードを支持する支持面を有する支持体と、これらの支持面を上記載置台の載置面より低い位置と高い位置の間で昇降させるシリンダ機構とを有し、且つ、
上記第1、第2昇降機構の上記支持体は、それぞれの支持面より低い位置に形成された低位面にそれぞれ設けられ且つ上記プローブカードを検出する第2センサと、上記低位面に上記支持面より上方に突出させてそれぞれ設けられ且つ上記支持面で受ける上記カードホルダに形成された凹部に嵌入して上記インサートリングに対して上記プローブカードを位置決めする第2位置決めピンと、をそれぞれ有する
ことを特徴とするプローブカードの搬送機構。 - 上記第1のカード搬送機構は、上記プローブ装置の上記旋回駆動機構側の側面に形成された開口部を開閉する開閉扉の外側に配置され、上記開閉扉は、上記第1のカード搬送機構のカード保持具が上記プローブ装置内に進出する時にのみ上記開口部を開くことを特徴とする請求項1に記載のプローブカードの搬送機構。
- 上記第1のカード搬送機構は、積層された複数の基板と、上記各基板を直進させる直進駆動機構と、を有し、上記カード保持具は、最上段の上記基板上に設けられ、上記直進駆動機構を介して直進することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブカードの搬送機構。
- プローブ装置に用いられるテストヘッドを上記プローブ装置のインサートリングまで旋回させる旋回駆動機構の下側に上記プローブ装置の側面に隣接させて設けられた第1のカード搬送機構を構成するカード保持具にカードホルダ付きプローブカードを設置する工程と、
上記第1のカード搬送機構のカード保持具が直進して上記プローブ装置内に設けられた第2のカード搬送機構を構成する上下方向、水平方向へ移動可能な載置台及びその周囲に互いに所定間隔を空けて昇降可能に設けられた第1、第2、第3昇降機構の真上まで上記プローブカードを搬送する工程と、
上記第2のカード搬送機構では上記第1、第2昇降機構の支持体の支持面より低い位置に形成された低位面それぞれに設けられたセンサを介して上記プローブカードを検出し、上記第1、第2、第3昇降機構の支持体がそれぞれ上記載置台の載置面より低い位置から高い位置まで上昇する工程と、上記載置台が上記第1、第2、第3昇降機構と同時に上昇して上記第1、第2昇降機構それぞれの支持体の低位面に設けられた位置決めピンが上記カードホルダに上記位置決めピンに対応して形成された凹部に嵌入して上記インサートリングに対する上記プローブカードの位置決めを行うと共に上記第1、第2、第3昇降機構それぞれの支持体の支持面で上記プローブカードを支持する工程と、
上記第1、第2、第3昇降機構の内側に設けられた載置台が上記第1、第2、第3昇降機構と同時に上昇して上記プローブカードを上記カード保持具から受け取る共に上記カード保持具が上記載置台から後退する工程と、
上記載置台及び上記第1、第2、第3昇降機構が同時に上昇して上記プローブカードを上記インサートリングまで搬送する工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブカードの搬送方法。 - 上記インサートリングに装着された上記プローブカードを取り外す時には、上記第1、第2のカード搬送機構が上記の工程と逆の工程を辿って上記プローブカードを上記インサートリングから上記旋回駆動機構の下側へ搬送することを特徴とする請求項4に記載のプローブカードの搬送方法。
- 上記プローブ装置の上記旋回駆動機構側の側面には開閉扉が設けられ、上記第1、第2のカード搬送機構を介して上記プローブカードを搬送する時に上記開閉扉が開くことを特徴とする請求項4または請求項5に記載のプローブカードの搬送方法。
- インサートリングに装着されたプローブカードと、上記プローブカードの下方に移動可能に設けられた被検査体の載置台と、上記プローブカードと導通させるためにテストヘッドを上記インサートリングまで旋回させる旋回駆動機構と、上記プローブカードを着脱するために上記旋回駆動機構の下側と上記インサートリングとの間で上記プローブカードを搬送するプローブカードの搬送機構と、を備えたプローブ装置であって、
上記プローブカードの搬送機構は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構によって構成されている
ことを特徴とするプローブ装置。
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