JP5128108B2 - 位置測定装置及び位置測定装置を作動させる方法 - Google Patents
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Description
20 走査ユニット
21 光源
22 出力レンズ
23 偏向ミラー
24 走査板
25.1 走査格子
25.2 走査格子
26.1 逆反射要素
26.2 逆反射要素
27.1 検出要素
27.2 検出要素
27.3 検出要素
28 光ファイバ
200 走査ユニット
201 光源
202 分割光学系
207.A 検出要素
207.B 検出要素
208 光ファイバ
210 ブロック
51 DFB半導体レーザー
51.1 屈折率格子
61 DBR半導体レーザー
61.1 ブラッグ格子
71 光源
72 ミラー
73 吸収要素
74 レーザー媒体
410 スケール本体
420 走査ユニット
421 光源
428 光ファイバ
429 光ファイバ
430 波長測定装置
435 ファイバカプラ
450 評価ユニット
510 スケール本体
520 走査ユニット
521 光源
528 光ファイバ
529 光ファイバ
530 位置測定装置
531 スケール本体
532 走査ユニット
535 ファイバカプラ
550 評価ユニット
610 スケール本体
621 光源
622 温度センサ
650 評価ユニット
Claims (9)
- 少なくとも1つの測定方向に互いに可動に配置されている2つの物体の位置を測定する位置測定装置にあって、この場合、この位置測定装置は、スケール本体と、光源及び移相に依存する位置信号を生成する1つ又は多数の光学構成要素及び/又は光電式構成要素を有する走査手段とを有する位置測定装置において、
光源(21;201;51;61;71;421;521;621)は、所定値より大きいコヒーレント長を有する半導体レーザーとして構成されていて、この半導体レーザーは、シングルモード動作でパルス動作することを特徴とする位置測定装置。 - 半導体レーザーは、200μmより大きいコヒーレント長を有することを特徴とする請求項1に記載の位置測定装置。
- 半導体レーザーは、5ns〜50nsの範囲内の1パルスの継続期間を有する光パルスを提供することを特徴とする請求項1に記載の位置測定装置。
- 異なる光路長を有する非対称な部分走査ビーム束が、走査手段を配置することによって形成されていて、これらの部分ビーム束が、重なり合って干渉する前に、これらの部分ビーム束が、これらの光路長を通過することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の位置測定装置。
- 走査手段は、スケール本体(10;100;410;510;610)に対して相対移動する走査ユニット(20;200;420;520)内に配置されていて、光源(21;201;51;61;71;421;521;621)は、走査ユニット(20;200;420;520)から離れて配置されていて、この場合、光源(21;201;51;61;71;421;521;621)は、光ファイバ(28;208;428;528)によって走査ユニット(20;200;420;520)に接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の位置測定装置。
- 光学位置測定に利用されるビームの波長を測定する手段が、位置測定装置に敷設されていることを特徴とする請求項1に記載の位置測定装置。
- 波長を測定する手段が、波長測定装置(430)として構成されていて、この波長測定装置(430)の測定値が、評価ユニット(450)に供給され、この評価ユニット(450)は、位置測定装置の測定学モデルに関連して波長による位置の誤差が補正されることを特徴とする請求項6に記載の位置測定装置。
- 波長を測定する手段は、追加の位置測定装置(530)として構成されていて、この位置測定装置(530)は、空間的に一定に敷設されている走査ユニット(532)及びスケール本体(531)を有し、それらの測定値が、評価ユニット(550)に供給され、さらにこの評価ユニット(550)は、波長による位置の誤差を補正することを特徴とする請求項6に記載の位置測定装置。
- 波長を測定する手段は、温度検出手段(622)を有し、光源(621)の温度が、温度検出手段(622)によって測定され、この検出された温度が、評価ユニット(650)に供給され、さらにこの評価ユニットは、波長と温度との既知の依存性のもとで波長による位置の誤差を補正することを特徴とする請求項6に記載の位置測定装置。
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