JP3874160B2 - 位置検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、干渉計を用いて光学的に検出対象の位置を検出する位置検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
干渉計を用いた位置検出装置は、高精度にしかも非接触で位置検出ができるというメリットがある。図5は干渉計を用いた位置検出装置の従来例の構成図である。
【0003】
図5において、ターゲットミラー1は位置固定され、光学回路2は検出対象(図示せず)に連動してC−C´方向に移動する。
レーザ光源21は、紙面に垂直な偏光成分をもつレーザ光を出射する。レンズ22はレーザ光源21の出射光を平衡光にする。ハーフミラー23はレンズ22を通過した光を透過光と反射光に分岐する。
【0004】
位置固定されたミラー24, 25はハーフミラー23の透過光を受け、受けた光を反射してハーフミラー23へ戻す。ミラー24はレーザ光源21の光軸と45゜の角度をなして配置されている。これに対して、ミラー25はレーザ光源21の光軸と45゜+θaの角度をなして配置されている。
【0005】
偏光ビームスプリッタ(以下PBS)26は、ハーフミラー23で反射された光を反射する。反射された光はλ/4板261を通り、ターゲットミラー1に進む。
λ/4板261を光が2回通過することで、垂直偏光→水平偏光へ、水平偏光→垂直偏光に変換する。λ/4板261を設けたことにより、PBS26で透過光と反射光を選択できる。
【0006】
コーナーキューブ27は、ターゲットミラー1で反射された後、λ/4板261、PBS26を透過した光を反射してPBS26へ戻す。
位相検出器28は、ハーフミラー23に戻ってきた光により生成された干渉縞を検出する。
ターゲットミラー1とコーナーキューブ27との距離をLとする。
【0007】
図4の位置検出装置で、レーザ光源21から出射された光は、つぎの経路をとる光がある。
レンズ22→ハーフミラー23→ミラー24→ミラー25→ハーフミラー23→位相検出器28
この経路をとる光を▲1▼の光とする。
レンズ22→ハーフミラー23→PBS26→λ/4板261→ターゲットミラー1→λ/4板261→PBS26→コーナーキューブ27→PBS26→λ/4板261→ターゲットミラー1→λ/4板261→PBS26→ハーフミラー23→位相検出器28
この経路をとる光を▲2▼の光とする。
【0008】
ミラー25の配置角度はミラー24の配置角度に対してθaだけずらしているため、▲1▼の経路をとって戻ってきた光aの波面と、▲2▼の経路をとって戻ってきた光bの波面がθaだけずれている。波面のずれにより光aとbとが干渉して干渉縞Sを作る。干渉縞のパターンを図6に示す、干渉縞のピッチPは次式で与えられる。
P=λ/θa (λはレーザ光の波長)
【0009】
位相検出器28は、干渉縞の配列方向に沿ってP/4ピッチだけ位相をずらして配置した2つの受光素子により干渉縞を検出する。受光素子は、例えばフォトダイオードである。図6に2つの受光素子281と282の配置を示す。
2つの受光素子281と282は受光量に応じた検出信号を出力する。受光素子281と282の検出信号はsinθとcosθ(θは位相)になる。位相θは、光学回路部2の移動量ΔLに応じて変調される。
【0010】
θは次式で与えられる。
sinθ=sin(2π・4ΔL/λ)
cosθ=cos(2π・4ΔL/λ)
これらの式で「4」があるのはターゲットミラー1とコーナーキューブ27の間を光が2往復していて、光学回路部2がΔLだけ移動すると、光路長は4ΔLだけ変わるためである。
【0011】
コンパレータ29は、受光素子281と282の検出信号K1sinθとK1cosθをパルス信号に変換する。変換されたパルス信号をパルスA及びパルスBとする。
位相カウンタ30は、パルスAとパルスBの固定時間T内での位相変化Δθ/2πを積算し、位相積算値n=Σ(Δθ/2π)を求める。
【0012】
積算開始からの相対距離L´は、
L´=n×λ/4
となる。更に位相カウンタ30は、パルスAとパルスBの位相の先後関係から検出対象の移動方向を判別する。
【0013】
図7は、図5の装置における各信号の波形図であり、横軸に相対距離L´を取っている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
温度や電流などの動作条件により、半導体レーザ・ダイオード24は発信モードが遷移(モードホップ)し、発信波長(λ)が変化することがある。モードホップ点が通常動作点近傍にあった場合に、わずかな条件の変化でモードホップ可能性がある。
【0015】
半導体レーザを干渉計に使用し、位置検出を行った場合、測長中にモードホップが発生すると、モードホップ前の波長をλ0、モードホップ後の波長をλ1、モードホップ後の位相積算値nとして、
ΔL=n×(λ0−λ1)/4
の測定誤差を生じることになる。
従って本発明が解決しようとする課題は、モードホップする可能性を予見し、これを事前に回避することができる位置検出装置を実現することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
検出対象の移動に連動して移動する一定ピッチの干渉縞を光の干渉を利用して生成する光学回路部と、
干渉縞の配列方向に沿ってずらして配置した複数の受光素子により干渉縞を検出し、検出対象の移動量に応じて変調される2種の変調信号を生成する位相検出器と、
この位相検出器出力の位相差を積算して前記移動量を計算する位相カウンタとを備えた位置検出装置において、
前記光学回路部の光源として設けられた半導体レーザ・ダイオードと、
制御入力電圧で規定される動作電流により半導体レーザ・ダイオードを駆動する電流源と、
前記制御入力電圧により動作電流を可変にするモードホップ制御手段とを具備し、
前記モードホップ制御手段は、前記制御入力電圧により前記動作電流を変更させた時の前記位相カウンタ出力の変化に基づいて前記光源のモードホップを検出することを特徴とする位置検出装置である。
【0017】
請求項2記載の発明は、
前記モードホップ制御手段は、前記光学回路部を固定した状態で前記制御入力電圧を一定振幅で変化させて動作電流を変更させた時の前記位相カウンタ出力の変化に基づいて前記光源のモードホップを検出することを特徴とする。
【0018】
請求項3記載の発明は、
前記モードホップ制御手段は、前記光学回路部を固定した状態で前記位相カウンタ出力を記録し、前記制御入力電圧を一定振幅で複数回変化させて動作電流を変更させた後に元に戻した時の前記位相カウンタ出力と前記記録出力とを比較し、同一であれば現在の制御入力電圧を維持し、同一でなければモードホップ点近傍と判断して前記制御入力電圧を変更することを特徴とする。
【0019】
請求項4記載の発明は、
現在の動作点に対してモードホップ間隔の略1/2離れた動作点を変更動作点とする切り替え手段を設けたことを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面により詳細に説明する。図1は本発明に係る位置検出装置の一実施例を示す構成ブロック図であり、図5で説明した従来装置と同一要素には同一符号を付して示す。
【0022】
本発明の特徴部は、モードホップ制御手段31を設け、半導体レーザ・ダイオード24の動作電流を規定する制御入力電圧Vを変化せしめ、位相カウンタ30の積算出力nの変化を監視する構成にある。
【0023】
レーザーの波長をλ0とすると、sinθ、cosθは、前述のように、
sinθ=sin(2π×4L/λ0)
cosθ=cos(2×4L/λ0)
となる。光学回路部2を固定状態にして制御入力電圧Vにより電流Iを変化させると、λ0は電流に応じて僅かに変化する。
【0024】
図2は、電流Iの変化に対応したsinθ、cosθの波形変化を示す。動作点が正常でモードホップをおこさない範囲▲1▼では、電流を元に戻すと、波長はλ0に戻るため、位相も電流変化前と同じ位相状態に戻り、位相カウンタ30の積算値nも変化しない。
【0025】
これに対してモードホップが発生する電流値では、波長はλ0からλ1へ瞬時に変化するため、▲2▼及び▲3▼に示すように、波形は不連続に変化する。この時の位相の変化δθは、
δθ=2π×4L(1/λ0‐1/λ1)
となる。この時の位相変化はLが十分大きければ2πを超えて、位相カウンタ30は正常な位相積算ができない。
4L>δθ/{2π(1/λ0‐1/λ1)}
よって電流を元の状態に戻してもnは元の位相積算値には戻らない。これにより動作点近傍のモードホップの有無を検出することが可能である。
【0026】
図3はモードホップ制御手段31の動作の手順を示すフローチャートであり、処理は定周期又はオンデマンドで実行される。まず指令Rにより光学回路部2が固定され、そのときの位相カウンタ出力nがX1として記録される。
【0027】
次のステップで制御入力電圧Vによりレーザー電流Iを所定の振幅で繰り返し変化させた後に元の値に戻す。この時の位相カウンタ出力nがX2として記録される。
次のステップでX1=X2?が判断され、X1=X2であれば動作点は正常と判断され、電流の変更は行われない。X1≠X2であれば動作点はモードホップ点近傍と判断され、次のステップで動作電流の変更が実行される。
【0028】
動作電流の変更方法は、あらかじめ1回の変更幅ΔIをセットしておき、図3のループPに示すようにX1=X2が成立するまでステップ状に電流値を変更して行く方法のほか、事前の測定で適正な変更電流値を測定しておき、この電流に切り替える手段を採用してもよい。
【0029】
図4は切り替え手段を採用する場合の説明図である。電流Iに対するレーザー波長λの関係を見るとモードホップ点には周期性あることが分かる。(A)はモードホップの中央近傍に動作点Iaがある場合を示している。
【0030】
Ibはモードホップの危険が検出されたときに移すための動作点であり、モードホップ発生の電流幅ΔImhの略1/2離れたΔImh/2の位置に設定されている。
【0031】
(B)はモードホップ発生の危険が検出された場合の動作点がIbにシフトされた場合を示しており、このような設定によりモードホップ発生点より最も離れた電流値を新たな動作点とすることができる。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば光学回路部を固定してレーザ電流を変化させたときの位相カウンタ出力の変化を監視することにより、特別なレーザ光の測定系を用意することなく、モードホップ発生を容易にチェックでき、事前に安全な動作点にシフトできる位置検出装置を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る位置検出装置の実施例を示す構成図である。
【図2】レーザ・ダイオード電流を変化させた時のモードホップ発生の波形図である。
【図3】本発明装置におけるモードホップ制御手段の動作を説明するフローチャート図である。
【図4】本発明装置において、モードホップ発生時の動作点切り替えに関する説明図である。
【図5】従来の位置検出装置の構成図である。
【図6】図5における干渉縞のパターンを示した図である。
【図7】図5における各信号の波形図である。
【符号の説明】
1 ターゲットミラー
2 光学回路部
24 レーザ光源
28 位相検出器
29 コンパレータ
30 位相カウンタ
31 モードホップ制御手段
Claims (4)
- 検出対象の移動に連動して移動する一定ピッチの干渉縞を光の干渉を利用して生成する光学回路部と、
干渉縞の配列方向に沿ってずらして配置した複数の受光素子により干渉縞を検出し、検出対象の移動量に応じて変調される2種の変調信号を生成する位相検出器と、
この位相検出器出力の位相差を積算して前記移動量を計算する位相カウンタとを備えた位置検出装置において、
前記光学回路部の光源として設けられた半導体レーザ・ダイオードと、
制御入力電圧で規定される動作電流により半導体レーザ・ダイオードを駆動する電流源と、
前記制御入力電圧により動作電流を可変にするモードホップ制御手段とを具備し、
前記モードホップ制御手段は、前記制御入力電圧により前記動作電流を変更させた時の前記位相カウンタ出力の変化に基づいて前記光源のモードホップを検出することを特徴とする位置検出装置。 - 前記モードホップ制御手段は、前記光学回路部を固定した状態で前記制御入力電圧を一定振幅で変化させて動作電流を変更させた時の前記位相カウンタ出力の変化に基づいて前記光源のモードホップを検出することを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記モードホップ制御手段は、前記光学回路部を固定した状態で前記位相カウンタ出力を記録し、前記制御入力電圧を一定振幅で複数回変化させて動作電流を変更させた後に元に戻した時の前記位相カウンタ出力と前記記録出力とを比較し、同一であれば現在の制御入力電圧を維持し、同一でなければモードホップ点近傍と判断して前記制御入力電圧を変更することを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 現在の動作点に対してモードホップ間隔の略1/2離れた動作点を変更動作点とする切り替え手段を設けたことを特徴とする請求項3記載の位置検出装置。
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