JP2007132932A5

JP2007132932A5 -

Info

Publication number: JP2007132932A5
Application number: JP2006293620A
Authority: JP
Filing date: 2006-10-30
Publication date: 2009-11-12
Anticipated expiration: 2026-10-30

Claims

少なくとも１つの測定方向に互いに可動に配置されている２つの物体の位置を測定する位置測定装置にあって、この場合、この位置測定装置は、スケール本体，光源を有する走査手段及び移相に依存する位置信号を生成する１つ又は多数の光学構成要素及び／又は光電式構成要素を有する位置測定装置において、
光源（２１；２０１；５１；６１；７１；４２１；５２１；６２１）は、大きいコヒーレント長を有する半導体レーザーとして構成されていて、この半導体レーザーは、シングルモード動作でパルス動作することを特徴とする位置測定装置。
半導体レーザーは、200 μm より大きいコヒーレント長を有することを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
半導体レーザーは、5ns 〜50nsの範囲内のパルス期間を有する光パルスを提供することを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
異なる光路長を有する非対称な部分走査ビーム束が、走査手段を配置することによって形成されていて、これらの部分ビーム束が、重なり合って干渉する前に、これらの部分ビーム束が、これらの光路長を通過することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の位置測定装置。
走査手段は、スケール本体（１０；１００；４１０；５１０；６１０）に対して相対移動する走査ユニット（２０；２００；４２０；５２０）内に配置されていて、光源（２１；２０１；５１；６１；７１；４２１；５２１；６２１）は、走査ユニット（２０；２００；４２０；５２０）から離れて配置されていて、この場合、光源（２１；２０１；５１；６１；７１；４２１；５２１；６２１）は、光ファイバ（２８；２０８；４２８；５２８）によって走査ユニット（２０；２００；４２０；５２０）に接続されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の位置測定装置。
光学位置測定に利用されるビームの波長を測定する手段が、位置測定装置に敷設されていることを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
波長を測定する手段が、波長測定装置（４３０）として構成されていて、この波長測定装置（４３０）の測定値が、評価ユニット（４５０）に供給され、この評価ユニット（４５０）は、位置測定装置の測定学モデルに関連して波長による位置の誤差が補正されることを特徴とする請求項６に記載の位置測定装置。
波長を測定する手段は、追加の位置測定装置（５３０）として構成されていて、この位置測定装置（５３０）は、空間的に一定に敷設されている走査ユニット（５３２）及びスケール本体（５３１）を有し、それらの測定値が、評価ユニット（５５０）に供給され、さらにこの評価ユニット（５５０）は、波長による位置の誤差を補正することを特徴とする請求項６に記載の位置測定装置。
波長を測定する手段は、温度検出手段（６２２）を有し、光源（６２１）の温度が、温度検出手段（６２２）によって測定され、この検出された温度が、評価ユニット（６５０）に供給され、さらにこの評価ユニットは、波長と温度との既知の依存性のもとで波長による位置の誤差を補正することを特徴とする請求項６に記載の位置測定装置。