JP5117420B2 - Method for producing copper fine particle dispersed aqueous solution and method for storing copper fine particle dispersed aqueous solution - Google Patents
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Description
本発明は、ナノサイズの銅微粒子が水溶液中に分散されている銅微粒子分散水溶液の製造方法、及び該銅微粒子分散水溶液の保管方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a copper fine particle dispersed aqueous solution in which nano-sized copper fine particles are dispersed in an aqueous solution, and a method for storing the copper fine particle dispersed aqueous solution.
ナノサイズ（粒径が１μｍ以下）の金属、合金等の微粒子は、バルク材料にはない様々な特異な特性を持つことが知られている。そしてこの特性を生かした様々な工学的応用が、現在、エレクトロニクス、バイオ、エネルギー等の各分野で、大いに期待されている。 It is known that nano-sized (particle size is 1 μm or less) fine particles such as metals and alloys have various unique characteristics not found in bulk materials. Various engineering applications that take advantage of this property are now highly expected in fields such as electronics, biotechnology, and energy.
中でも、銅及びその合金からなるナノサイズの微粒子は、導電回路、バンプ、ビア、パッド等の実装部品の形成材料、高密度磁気記憶媒体やアンテナ用の磁性素子、ガス改質フィルタや燃料電池電極用の触媒材料として、大いに期待されている。 Among these, nano-sized fine particles made of copper and its alloys are used as materials for forming mounting parts such as conductive circuits, bumps, vias, pads, magnetic elements for high-density magnetic storage media and antennas, gas reforming filters, and fuel cell electrodes. It is highly expected as a catalyst material.
また、最近では、銅微粒子を含有するインクを使用して、配線パターンをインクジェットプリンタ法により形成し、焼成して配線を形成する技術が注目されている。しかし、インクジェットプリンタ法に使用するインクとして、銅微粒子を含有するインクを使用する場合、インク中において分散性が長期間保たれることが重要である。そのため、インク中において銅微粒子分散性を長期間保つ銅微粒子分散溶液、及び該銅微粒子分散溶液の製造方法が提案されている。 In recent years, attention has been focused on a technique for forming a wiring pattern by an ink jet printer method using an ink containing copper fine particles and baking it to form a wiring. However, when an ink containing copper fine particles is used as the ink used in the ink jet printer method, it is important that the dispersibility is maintained in the ink for a long period of time. Therefore, a copper fine particle dispersion solution that maintains the copper fine particle dispersibility in the ink for a long period of time and a method for producing the copper fine particle dispersion solution have been proposed.
特許文献１では、銅の酸化物、水酸化物または塩をポリエチレングリコールまたは１，２−エタンジオール（エチレングリコール）溶液中で、核生成のためのパラジウムイオンと、分散剤としてのポリエチレンイミンを添加して、加熱還元することにより、液相中で銅微粒子を合成する方法が提案されている。
また、特許文献２では、アルキルアミンを分散剤に使用して、アミン化合物で覆われた金属微粒子を製造する方法及び該金属微粒子分散溶液が提案されている。また、特許文献３には、セルロース誘導体を含む水溶液中で金属イオンを還元することにより、セルロース誘導体で覆われた金属微粒子を製造する方法及び該金属微粒子分散溶液が提案されている。
In Patent Document 1, copper oxide, hydroxide or salt is added in polyethylene glycol or 1,2-ethanediol (ethylene glycol) solution, and palladium ions for nucleation and polyethyleneimine as a dispersant are added. Thus, a method for synthesizing copper fine particles in a liquid phase by heat reduction has been proposed.
Patent Document 2 proposes a method for producing metal fine particles covered with an amine compound by using alkylamine as a dispersant and the metal fine particle dispersion solution. Patent Document 3 proposes a method for producing metal fine particles covered with a cellulose derivative by reducing metal ions in an aqueous solution containing the cellulose derivative, and the metal fine particle dispersion solution.
一方、上述のインクジェット回路形成技術のように金属微粒子の焼成により導電性の金属部材を形成する場合や、微粒子焼成体をガス改質フィルタに使用する場合などには、焼成後の粒子焼成体において、微粒子自体が表面に露出して粒子同士が直接接合している必要がある。そのため、これらの技術に使用される微粒子については、その表面を覆っている分散剤が、熱処理時に容易に分解除去される必要がある。
尚、下記特許文献４には、酸化銅を原料として、分散剤、ｐＨ調製溶液、及び還元剤を添加してｐＨを１０以上とした後に、加熱還流して金属銅微粒子を析出する方法が開示されている。
下記特許文献５には、銅イオン含有水溶液とアルカリ溶液とを反応させて水酸化銅スラリーとし、当該水酸化銅スラリーに還元剤を添加して第１還元処理で亜酸化銅スラリーとし、当該亜酸化銅スラリーを回収、洗浄して得た亜酸化銅スラリーに還元剤を添加して第２還元処理で銅粉を得る銅粉製造方法開示されている。
On the other hand, in the case where a conductive metal member is formed by firing fine metal particles as in the ink jet circuit forming technique described above, or when the fine particle fired body is used for a gas reforming filter, It is necessary that the fine particles themselves are exposed on the surface and the particles are directly bonded to each other. Therefore, for the fine particles used in these techniques, the dispersant covering the surface needs to be easily decomposed and removed during the heat treatment.
Patent Document 4 listed below discloses a method in which copper oxide is used as a raw material, a dispersant, a pH adjusting solution, and a reducing agent are added to adjust the pH to 10 or more, and then heated to reflux to deposit metal copper fine particles. Has been.
In Patent Document 5 below, a copper ion-containing aqueous solution and an alkali solution are reacted to form a copper hydroxide slurry, and a reducing agent is added to the copper hydroxide slurry to form a cuprous oxide slurry in the first reduction treatment. A copper powder manufacturing method is disclosed in which a reducing agent is added to a cuprous oxide slurry obtained by collecting and washing a copper oxide slurry to obtain copper powder by a second reduction treatment.
上記したように、銅（金属）微粒子を分散させた銅（金属）微粒子分散インクのパターニングと焼成により、導電性配線パターンやフィルタを形成する場合、インクの溶媒として分散性の良好な溶媒を選択する必要がある。そこで、分散性向上のために分散剤を使用し、銅（金属）微粒子は溶媒中で少なくともその表面の一部が分散剤で覆われた状態で存在している。良好な導電性を得るためには、この分散剤は熱処理時に容易に分解除去される必要がある。しかしながら、上述の銅（金属）微粒子分散インクでは２５０℃以上の高温で熱処理をしなければ、分散剤を分解除去して導電性の良好な導電性配線等を得ることができないという問題点があった。 As described above, when forming conductive wiring patterns and filters by patterning and baking copper (metal) fine particle-dispersed ink in which copper (metal) fine particles are dispersed, select a solvent with good dispersibility as the ink solvent. There is a need to. Therefore, a dispersant is used to improve dispersibility, and the copper (metal) fine particles exist in a solvent in a state where at least a part of the surface is covered with the dispersant. In order to obtain good conductivity, the dispersant needs to be easily decomposed and removed during heat treatment. However, the above-described copper (metal) fine particle-dispersed ink has a problem that, unless heat treatment is performed at a high temperature of 250 ° C. or higher, the dispersant cannot be decomposed and removed to obtain a conductive wiring having good conductivity. It was.
上記したような高温での熱処理を行うと、銅（金属）微粒子をパターニングした基板（例えば、汎用樹脂基板）に設置されている他の部品が壊れたり、更に基板自体が溶融もしくは変形したりしてしまうという問題があった。また、上記したような高温での熱処理を行うには、高エネルギーが必要であり、またこのような高温処理に耐えうる炉が必要であるなど、コスト面での問題も生じていた。 When heat treatment is performed at a high temperature as described above, other components installed on a substrate (for example, a general-purpose resin substrate) patterned with copper (metal) fine particles may be broken, or the substrate itself may be melted or deformed. There was a problem that. Further, in order to perform the heat treatment at a high temperature as described above, high energy is required, and a problem in terms of cost has arisen such that a furnace capable of withstanding such a high temperature treatment is necessary.
一方、銅（金属）微粒子が分散剤で覆われていない、銅（金属）微粒子分散溶液（銅（金属）微粒子分散インク）を使用した場合、分散溶液中で互いに凝集した銅（金属）微粒子がインクジェットプリンタのノズルを閉塞させるという問題があった。また、焼結時に銅（金属）微粒子同士が不均一に凝集して焼結性が不均一になるという問題があった。
また、上記特許文献４、５で得られるのは銅微粒子であるので、銅微粒子の分散溶液を得るには更に水溶液への分散性を考慮した分散を行う必要がある。
On the other hand, when using a copper (metal) fine particle dispersion solution (copper (metal) fine particle dispersion ink) in which the copper (metal) fine particles are not covered with a dispersant, the copper (metal) fine particles aggregated with each other in the dispersion solution. There has been a problem of blocking the nozzles of the ink jet printer. In addition, there is a problem that the copper (metal) fine particles are aggregated non-uniformly during sintering and the sinterability becomes non-uniform.
Moreover, since what is obtained by the said patent documents 4 and 5 is a copper fine particle, in order to obtain the dispersion solution of a copper fine particle, it is necessary to perform the dispersion | distribution which considered the dispersibility to aqueous solution further.
本発明は、上記問題点を解決し、還元反応終了後の水溶液の一部の水分等の除去による濃縮操作により得られる、分散性の高い銅微粒子分散水溶液を基材上に配置して乾燥後、２５０℃以下の比較的低温で焼成しても導電性に優れ、不純物の少ない導電部材を得ることが可能であり、更に、焼成の際に水素ガス等の還元性雰囲気下を必ずしも必要とせず、不活性ガス雰囲気下で焼成が可能である銅微粒子分散水溶液の製造方法、及び該銅微粒子分散水溶液の保管方法を提供することを目的とする。 The present invention solves the above-mentioned problems, and after drying by disposing a highly dispersible aqueous solution of copper fine particles on a substrate, obtained by a concentration operation by removing a part of water or the like of the aqueous solution after completion of the reduction reaction. In addition, it is possible to obtain a conductive member that is excellent in conductivity and has few impurities even when fired at a relatively low temperature of 250 ° C. or lower, and does not necessarily require a reducing atmosphere such as hydrogen gas during firing. Another object of the present invention is to provide a method for producing a copper fine particle dispersed aqueous solution that can be fired in an inert gas atmosphere and a method for storing the copper fine particle dispersed aqueous solution.
本発明者らは上述した従来の問題点について鋭意研究を重ねた結果、銅イオン原料、分散剤、ｐＨ調整剤、及び還元剤として、銅イオン以外に炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなる化合物を使用して、水溶液中で銅イオンから還元剤を使用した無電解還元により還元して得られる銅微粒子分散水溶液は、分散水溶液中での粒子分散性が良好であり、かつ２５０℃以下の比較的低温で焼成しても導電性に優れ、不純物の少ない導電部材を得ることが可能であることを見出し、本発明に到達した。 As a result of intensive studies on the above-mentioned conventional problems, the present inventors have selected as a copper ion raw material, a dispersant, a pH adjuster, and a reducing agent from carbon, hydrogen, oxygen, and nitrogen in addition to copper ions. In addition, copper fine particle dispersed aqueous solution obtained by reducing by electroless reduction using a reducing agent from copper ions in aqueous solution using a compound composed of two or more elements has good particle dispersibility in the dispersed aqueous solution. In addition, the inventors have found that it is possible to obtain a conductive member that is excellent in conductivity and has few impurities even when fired at a relatively low temperature of 250 ° C. or lower, and has reached the present invention.
すなわち本発明は、以下の（１）ないし（８）に記載する発明を要旨とする。
（１）一次粒子の平均粒径１〜１５０ｎｍの銅微粒子が少なくともその表面の一部が、炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなる分散剤で覆われて水溶液中に分散されている、銅微粒子分散水溶液の製造方法であって、
（ｉ）水酸化銅、硝酸銅、亜硝酸銅、酢酸銅、蟻酸銅、クエン酸銅、しゅう酸銅、グルコン酸銅、安息香酸銅、酒石酸銅、オレイン酸銅、及びアセチルアセトン銅から選択された１種又は２種以上から形成される銅イオンを前記分散剤の存在下で、炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなるｐＨ調整剤によりｐＨ９．２以上に調整したアンモニア水溶液中でアンモニアとの下記反応により、水溶性の銅アンミン錯体を得る工程（工程１）、
Ｃｕ２＋＋４ＮＨ３ → [Ｃｕ(ＮＨ３)４]２＋
又は Ｃｕ２＋＋４ＮＨ４（ＯＨ） → [Ｃｕ(ＮＨ３)４]２＋ ＋４Ｈ２Ｏ
（ii）前記工程１で得られた銅アンミン錯体を含む水溶液に、還元剤としてヒドラジンを添加して下記の還元反応により、少なくとも表面の一部が前記分散剤で覆われた銅微粒子を形成する工程（工程２）、
Ｃｕ(ＮＨ３)２ ２＋＋２ｅ−→ Ｃｕ＋２ＮＨ３
又は Ｃｕ(ＮＨ３)２ ２＋＋２ｅ−＋２Ｈ２Ｏ→ Ｃｕ＋２ＮＨ４（ＯＨ）
（iii）工程２で得られた銅微粒子分散水溶液に対して超音波照射、逆浸透膜によるろ過、限外ろ過膜によるろ過、及び真空脱水から選択された１種または２種以上の濃縮操作を行うことにより、
該銅微粒子分散水溶液中の水分の一部を除去して、
又は、該銅微粒子分散水溶液に存在する水分の一部と、炭素数が３〜８のアルコール、分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコール、及びアルカノールアミンから選択される１種又は２種以上の一部を除去して、
水溶液中の銅微粒子濃度が１〜６０質量％の分散水溶液を得る工程（工程３）
を含むことを特徴とする、銅微粒子分散水溶液の製造方法（以下、第１の態様ということがある）。
That is, the gist of the present invention is the invention described in the following (1) to ( 8 ).
(1) An aqueous solution in which at least a part of the surface of copper fine particles having an average primary particle diameter of 1 to 150 nm is covered with a dispersant composed of two or more elements selected from carbon, hydrogen, oxygen, and nitrogen. A method for producing a copper fine particle-dispersed aqueous solution dispersed in
(I) selected from copper hydroxide, copper nitrate, copper nitrite, copper acetate, copper formate, copper citrate, copper oxalate, copper gluconate, copper benzoate, copper tartrate, copper oleate, and copper acetylacetone copper ions formed from one or more in the presence of the dispersant, carbon, hydrogen, oxygen, and adjusted to pH9.2 or by pH adjustment agent comprising two or more elements selected from nitrogen A step of obtaining a water-soluble copper ammine complex by the following reaction with ammonia in an aqueous ammonia solution (step 1),
Cu 2+ + 4NH 3 → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+
Or Cu 2+ + 4NH 4 (OH) → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+ + 4H 2 O
(Ii) an aqueous solution containing copper ammine complex obtained in the step 1, by a reduction reaction of the following was added hydrazine as a reducing agent to form a copper fine particles at least part of the surface is covered with the dispersant Process (process 2),
Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − → Cu + 2NH 3
Or Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − + 2H 2 O → Cu + 2NH 4 (OH)
(Iii) One or more concentration operations selected from ultrasonic irradiation, filtration with a reverse osmosis membrane, filtration with an ultrafiltration membrane, and vacuum dehydration with respect to the aqueous copper fine particle dispersion obtained in Step 2 By doing
Removing a portion of the water in the aqueous copper fine particle dispersion;
Alternatively, one or two kinds selected from a part of water present in the aqueous copper fine particle dispersion, an alcohol having 3 to 8 carbon atoms, a polyhydric alcohol having two or more hydroxyl groups in the molecule, and an alkanolamine. Remove some of the above,
Step of obtaining a dispersed aqueous solution having a copper fine particle concentration in the aqueous solution of 1 to 60% by mass (Step 3)
A method for producing a copper fine particle-dispersed aqueous solution (hereinafter sometimes referred to as a first aspect).
（２）前記ｐＨ調整剤が酢酸アンモニウム、炭酸アンモニウム、蟻酸アンモニウム、プロピオン酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、シュウ酸アンモニウム、及びカルバミン酸アンモニウムから選択された１種又は２種以上である前記（１）に記載の銅微粒子分散水溶液の製造方法。
（３）前記銅イオンが、水酸化銅から形成されるイオンである前記（１）又は（２）に記載の銅微粒子分散水溶液の製造方法。
（４）前記分散剤が、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、デンプン、及びゼラチンの中から選択される１種又は２種以上の有機化合物であることを特徴とする、前記（１）ないし（３）のいずれかに記載の銅微粒子分散水溶液の製造方法。
（５）前記分散剤の添加量が、銅イオン１００重量部に対して０．１〜５００重量部であることを特徴とする、前記（１）ないし（４）のいずれかに記載の銅微粒子分散水溶液の製造方法。
（６）前記銅微粒子分散水溶液に、炭素数が３〜８のアルコール、分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコール、及びアルカノールアミンから選択される１種又は２種以上からなる有機溶媒が１〜３０質量％含まれていることを特徴とする、前記（１）ないし（５）のいずれかに記載の銅微粒子分散水溶液の製造方法。
（７）前記炭素数が３〜８のアルコールが１−プロパノール、２−プロパノール、２−ブタノール、及び２−メチル２−プロパノールから選択された１種又は２種以上であり、
前記分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコールが、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、２−ブテン−１，４−ジオール、２，３−ブタンジオール、ペンタンジオール、ヘキサンジオール、オクタンジオール、グリセロール、１，１，１−トリスヒドロキシメチルエタン、２−エチル−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，３−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、グリセロール、トレイトレイトール、エリトリトール、ペンタエリスリトール、ペンチトール、キシリトール、リビトール、アラビトール、ヘキシトール、マンニトール、ソルビトール、ズルシトール、グリセリンアルデヒド、ジオキシアセトン、トレオース、エリトルロース、エリトロース、アラビノース、リボース、リブロース、キシロース、キシルロース、リキソース、グルコース、フルクトース、マンノース、イドース、ソルボース、グロース、タロース、タガトース、ガラクトース、アロース、アルトロース、ラクトース、イソマルトース、グルコヘプトース、ヘプトース、マルトトリオース、ラクツロース、及びトレハロースの中から選択される１種又は２種以上であり、並びに、
前記アルカノールアミンが、ジメタノールアミン、トリメタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、及びＮ−ｎ−ブチルジエタノールアミンの中から選択される１種又は２種以上である、前記（６）に記載の銅微粒子分散水溶液の製造方法。
（８）前記（１）ないし（７）のいずれかで得られた銅微粒子分散水溶液が入った保管容器へ、乾燥状態の不活性ガスを充填して気密封止することを特徴とする、銅微粒子分散水溶液の保管方法（以下、第２の態様ということがある）。
(2) In the above (1), the pH adjuster is one or more selected from ammonium acetate, ammonium carbonate, ammonium formate, ammonium propionate, ammonium hydrogen carbonate, ammonium oxalate, and ammonium carbamate. The manufacturing method of copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution of description.
(3) The manufacturing method of the copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution as described in said (1) or (2) whose said copper ion is an ion formed from copper hydroxide.
( 4 ) The dispersant is one or more selected from polyvinylpyrrolidone, polyethyleneimine, polyacrylic acid, carboxymethylcellulose, polyacrylamide, polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, polyethylene oxide, starch, and gelatin. The method for producing a copper fine particle dispersed aqueous solution according to any one of (1) to (3) , wherein the method is an organic compound.
( 5 ) The copper fine particles according to any one of (1) to ( 4 ) above, wherein the amount of the dispersant added is 0.1 to 500 parts by weight with respect to 100 parts by weight of copper ions. A method for producing a dispersed aqueous solution.
( 6 ) The organic solvent which consists of 1 type, or 2 or more types selected from the C3-C8 alcohol, the polyhydric alcohol which has a 2 or more hydroxyl group in a molecule | numerator, and an alkanolamine in the said copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution. 1-30 mass% is contained, The manufacturing method of the copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution in any one of said (1) thru | or ( 5 ) characterized by the above-mentioned.
( 7 ) The alcohol having 3 to 8 carbon atoms is one or more selected from 1-propanol, 2-propanol, 2-butanol, and 2-methyl 2-propanol,
The polyhydric alcohol having two or more hydroxyl groups in the molecule is ethylene glycol, diethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1, 4-butanediol, 2-butene-1,4-diol, 2,3-butanediol, pentanediol, hexanediol, octanediol, glycerol, 1,1,1-trishydroxymethylethane, 2-ethyl-2- Hydroxymethyl-1,3-propanediol, 1,2,6-hexanetriol, 1,2,3-hexanetriol, 1,2,4-butanetriol, glycerol, threitolitol, erythritol, pentaerythritol, pentitol , Xylitol, ribitol, arabitol, hex Thor, mannitol, sorbitol, dulcitol, glyceraldehyde, dioxyacetone, threose, erythrulose, erythrose, arabinose, ribose, ribulose, xylose, xylulose, lyxose, glucose, fructose, mannose, idose, sorbose, growth, talose, tagatose, galactose , Allose, altrose, lactose, isomaltose, glucoheptose, heptose, maltotriose, lactulose, and trehalose, and
The alkanolamine is selected from dimethanolamine, trimethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, and Nn-butyldiethanolamine. The manufacturing method of the copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution as described in said ( 6 ) which is 1 type or 2 types or more.
( 8 ) A copper container that is filled with an inert gas in a dry state and hermetically sealed in a storage container containing the aqueous copper fine particle dispersion obtained in any one of (1) to (7). A method for storing a fine particle-dispersed aqueous solution (hereinafter sometimes referred to as a second embodiment).
本発明の製造方法によれば、銅微粒子が分散剤で覆われた分散性の高い銅微粒子分散水溶液を得ることができる。本発明において、還元反応はｐＨが９．２以上に保たれるので、銅イオンの酸化反応は抑制されて酸化銅であるＣｕ２Ｏ及びＣｕＯが生成せず、更に還元反応系において銅、並びに、炭素、水素、酸素、及び窒素以外の元素を含む化合物は添加されないので、本発明の製造方法で得られる銅微粒子分散水溶液の一部の水分等の除去による濃縮後、基材上に配置して乾燥後、２５０℃以下の比較的低温で焼成しても導電性に優れ、不純物の少ない導電部材を得ることができる。更に、焼成の際に水素ガス等の還元性雰囲気下を必ずしも必要とせず、不活性ガス雰囲気下で焼成を行うことが可能である。また、本発明の製造方法で得られる銅微粒子分散水溶液が入った保管容器は、乾燥状態の不活性ガスを充填して気密封止するので、還元反応後においても、銅微粒子分散水溶液中の銅が酸化されてＣｕ２Ｏ及びＣｕＯが生成することはないので，保存の安定性を確保することが出来る。 According to the production method of the present invention, it is possible to obtain a copper fine particle dispersed aqueous solution having high dispersibility in which copper fine particles are covered with a dispersant. In the present invention, since the pH of the reduction reaction is maintained at 9.2 or higher, the oxidation reaction of copper ions is suppressed and Cu 2 O and CuO, which are copper oxides, are not generated. Further, in the reduction reaction system, carbon, hydrogen, oxygen, and since the compounds containing elements other than nitrogen is not added, after concentration by removing such a part of the moisture of the copper fine particle dispersion solution obtained by the process of the present invention, disposed on a substrate After drying, a conductive member having excellent conductivity and few impurities can be obtained even when fired at a relatively low temperature of 250 ° C. or lower. Furthermore, it is not always necessary to have a reducing atmosphere such as hydrogen gas during firing, and firing can be performed in an inert gas atmosphere. In addition, since the storage container containing the copper fine particle dispersed aqueous solution obtained by the production method of the present invention is hermetically sealed by filling with a dry inert gas, the copper in the copper fine particle dispersed aqueous solution can be sealed even after the reduction reaction. Is not oxidized to form Cu 2 O and CuO, so that the storage stability can be ensured.
〔１〕第１の態様である「銅微粒子分散水溶液の製造方法」について
第１の態様である「銅微粒子分散水溶液の製造方法」は、
一次粒子の平均粒径１〜１５０ｎｍの銅微粒子が少なくともその表面の一部が、炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなる分散剤で覆われて水溶液中に分散されている、銅微粒子分散水溶液の製造方法であって、
（ｉ）水酸化銅、硝酸銅、亜硝酸銅、酢酸銅、蟻酸銅、クエン酸銅、しゅう酸銅、グルコン酸銅、安息香酸銅、酒石酸銅、オレイン酸銅、及びアセチルアセトン銅から選択された１種又は２種以上から形成される銅イオンを前記分散剤の存在下で、炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなるｐＨ調整剤によりｐＨ９．２以上に調整したアンモニア水溶液中でアンモニアとの下記反応により、水溶性の銅アンミン錯体を得る工程（工程１）、
Ｃｕ２＋＋４ＮＨ３ → [Ｃｕ(ＮＨ３)４]２＋
又は Ｃｕ２＋＋４ＮＨ４（ＯＨ） → [Ｃｕ(ＮＨ３)４]２＋ ＋４Ｈ２Ｏ
（ii）前記工程１で得られた銅アンミン錯体を含む水溶液に、還元剤としてヒドラジンを添加して下記の還元反応により、少なくとも表面の一部が前記分散剤で覆われた銅微粒子を形成する工程（工程２）、
Ｃｕ(ＮＨ３)２ ２＋＋２ｅ−→ Ｃｕ＋２ＮＨ３
又は Ｃｕ(ＮＨ３)２ ２＋＋２ｅ−＋２Ｈ２Ｏ→ Ｃｕ＋２ＮＨ４（ＯＨ）
（iii）工程２で得られた銅微粒子分散水溶液に対して超音波照射、逆浸透膜によるろ過、限外ろ過膜によるろ過、及び真空脱水から選択された１種または２種以上の濃縮操作を行うことにより、
該銅微粒子分散水溶液中の水分の一部を除去して、
又は、該銅微粒子分散水溶液に存在する水分の一部と、炭素数が３〜８のアルコール、分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコール、及びアルカノールアミンから選択される１種又は２種以上の一部を除去して、
水溶液中の銅微粒子濃度が１〜６０質量％の分散水溶液を得る工程（工程３）
を含むことを特徴とする。
[1] Regarding the “method for producing a copper fine particle dispersed aqueous solution” as the first aspect, “the method for producing a copper fine particle dispersed aqueous solution” as the first aspect is:
Copper fine particles having an average primary particle diameter of 1 to 150 nm are dispersed in an aqueous solution in which at least a part of the surface is covered with a dispersant composed of two or more elements selected from carbon, hydrogen, oxygen, and nitrogen. A method for producing a copper fine particle-dispersed aqueous solution,
(I) selected from copper hydroxide, copper nitrate, copper nitrite, copper acetate, copper formate, copper citrate, copper oxalate, copper gluconate, copper benzoate, copper tartrate, copper oleate, and copper acetylacetone copper ions formed from one or more in the presence of the dispersant, carbon, hydrogen, oxygen, and adjusted to pH9.2 or by pH adjustment agent comprising two or more elements selected from nitrogen A step of obtaining a water-soluble copper ammine complex by the following reaction with ammonia in an aqueous ammonia solution (step 1),
Cu 2+ + 4NH 3 → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+
Or Cu 2+ + 4NH 4 (OH) → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+ + 4H 2 O
(Ii) an aqueous solution containing copper ammine complex obtained in the step 1, by a reduction reaction of the following was added hydrazine as a reducing agent to form a copper fine particles at least part of the surface is covered with the dispersant Process (process 2),
Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − → Cu + 2NH 3
Or Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − + 2H 2 O → Cu + 2NH 4 (OH)
(Iii) One or more concentration operations selected from ultrasonic irradiation, filtration with a reverse osmosis membrane, filtration with an ultrafiltration membrane, and vacuum dehydration with respect to the aqueous copper fine particle dispersion obtained in Step 2 By doing
Removing a portion of the water in the aqueous copper fine particle dispersion;
Alternatively, one or two kinds selected from a part of water present in the aqueous copper fine particle dispersion, an alcohol having 3 to 8 carbon atoms, a polyhydric alcohol having two or more hydroxyl groups in the molecule, and an alkanolamine. Remove some of the above,
Step of obtaining a dispersed aqueous solution having a copper fine particle concentration in the aqueous solution of 1 to 60% by mass (Step 3)
It is characterized by including.
（１）「一次粒子の平均粒径１〜１５０ｎｍの銅微粒子が少なくともその表面の一部が分散剤で覆われて水溶液中に分散されている」について
（ｉ）「一次粒子の平均粒径１〜１５０ｎｍの銅微粒子」について
第１の態様の「銅微粒子分散水溶液の製造方法」で得られる銅微粒子は、一次粒子の平均粒径１〜１５０ｎｍの微粒子である。
ここで、一次粒子の平均粒径とは、二次粒子を構成する銅微粒子の一次粒子の直径の意味である。該一次粒子径は、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ））を用いて測定することができる。
また、平均粒径とは、一次粒子の数平均粒径を意味する。微粒子の一次粒子の平均粒径は、１〜１５０ｎｍであるが、製造と取り扱い等の実用的な面からは、１〜１００ｎｍの微粒子が好ましい。
(1) “Immediate particle size of primary particles is about 1 to 150 nm in which at least part of the surface is covered with a dispersant and dispersed in an aqueous solution” (i) “Average particle size of primary particles 1 About ˜150 nm copper fine particles The copper fine particles obtained by the “method for producing a copper fine particle-dispersed aqueous solution” of the first aspect are fine particles having an average primary particle diameter of 1 to 150 nm.
Here, the average particle size of the primary particles means the diameter of the primary particles of the copper fine particles constituting the secondary particles. The primary particle diameter can be measured using a transmission electron microscope (TEM (Transmission Electron Microscope)).
Moreover, an average particle diameter means the number average particle diameter of a primary particle. The average primary particle size of the fine particles is 1 to 150 nm, but from a practical aspect such as production and handling, fine particles of 1 to 100 nm are preferable.
（ｉｉ）「銅微粒子が少なくともその表面の一部が分散剤で覆われて水溶液中に分散されている」について
本発明において、銅微粒子は、分散剤に覆われた状態で水溶液中に分散している。分散剤は、水溶液中で銅微粒子の凝集を防止して分散性を良好に維持する作用を有する。
尚、この場合の「分散剤が銅微粒子の表面を覆うように存在」における「覆う」は、当該技術分野において、「被覆され」、「囲まれた」、「保護された」等の記載表現が使用されることもある。
また、上記「分散剤が銅微粒子の表面を覆う」とは、銅微粒子の全表面が分散剤で覆われていなくとも、その一部が覆われていても分散効果は顕著に発揮される。
(Ii) “Copper fine particles are at least partially covered with a dispersant and dispersed in an aqueous solution” In the present invention, copper fine particles are dispersed in an aqueous solution while being covered with a dispersant. ing. The dispersant has an action of preventing the aggregation of copper fine particles in an aqueous solution and maintaining good dispersibility.
In this case, “covering” in “the dispersing agent is present so as to cover the surface of the copper fine particles” is described in the technical field as “coated”, “enclosed”, “protected”, etc. May be used.
In addition, the above “dispersing agent covers the surface of the copper fine particles” means that the dispersion effect is remarkably exhibited even if the entire surface of the copper fine particles is not covered with the dispersing agent but part of it is covered.
このような分散剤が銅微粒子を分散させるメカニズムは完全に解明されているものではないが、例えば分散剤に存在する官能基の非共有電子対を有する原子部分が銅微粒子の表面に吸着して、分子層を形成し、互いに銅微粒子同士の接近をさせない、斥力が発生していることが予想される。 The mechanism by which such a dispersing agent disperses copper fine particles is not completely elucidated, but for example, an atomic part having an unshared electron pair of a functional group present in the dispersing agent is adsorbed on the surface of the copper fine particles. It is expected that repulsive force is generated that forms a molecular layer and does not allow copper fine particles to approach each other.
（ｉｉｉ）分散剤について
本発明において、還元反応により銅微粒子を形成する際に、分散剤を使用する。
分散剤は、水に対して溶解性を有していると共に、反応系中で析出した銅微粒子の表面を覆うように存在して、銅微粒子の凝集を防止して分散性を良好に維持する作用を有する。本発明の分散剤は上記作用を有し、かつ水溶液中で上記作用を奏するものであれば、特に制限されるものではない。
分散剤としては、その化学構造にもよるが分子量が１００〜１００，０００程度の、水に対して溶解性を有し、かつ水溶液で銅イオンから還元反応で析出した銅微粒子を良好に分散させることが可能なもので、かつ炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなる化合物（高分子化合物も含む）の分散剤であればいずれも使用可能である。
(Iii) About Dispersant In the present invention, a dispersant is used when forming copper fine particles by a reduction reaction.
The dispersant is soluble in water and is present so as to cover the surface of the copper fine particles deposited in the reaction system, thereby preventing the copper fine particles from aggregating and maintaining good dispersibility. Has an effect. The dispersant of the present invention is not particularly limited as long as it has the above action and exhibits the above action in an aqueous solution.
As a dispersing agent, although depending on its chemical structure, it has a molecular weight of about 100 to 100,000, has good solubility in water, and well disperses copper fine particles precipitated by reduction reaction from copper ions in an aqueous solution. Any dispersant can be used as long as it is a dispersant of a compound (including a polymer compound) composed of two or more elements selected from carbon, hydrogen, oxygen, and nitrogen.
上記分散剤として好ましいのは、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン等のアミン系の高分子；ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等のカルボン酸基を有する炭化水素系高分子；ポリアクリルアミド等のアクリルアミド；ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、更にはデンプン、及びゼラチンの中から選択される１種又は２種以上である。
上記例示した分散剤化合物の具体例として、ポリビニルピロリドン（分子量：１０００〜５００、０００）、ポリエチレンイミン（分子量：１００〜１００，０００）、カルボキシメチルセルロース（アルカリセルロースのヒドロキシル基Ｎａ塩のカルボキシメチル基への置換度：０．４以上、分子量：１０００〜１００，０００）、ポリアクリルアミド（分子量：１００〜６，０００，０００）、ポリビニルアルコール（分子量：１０００〜１００，０００）、ポリエチレングリコール（分子量：１００〜５０，０００）、ポリエチレンオキシド（分子量：５０，０００〜９００，０００）、ゼラチン（平均分子量：６１，０００〜６７，０００）、水溶性のデンプン等が挙げられる。
The dispersant is preferably an amine polymer such as polyvinylpyrrolidone or polyethyleneimine; a hydrocarbon polymer having a carboxylic acid group such as polyacrylic acid or carboxymethylcellulose; an acrylamide such as polyacrylamide; One or more selected from ethylene oxide, starch, and gelatin.
Specific examples of the dispersant compound exemplified above include polyvinylpyrrolidone (molecular weight: 1000 to 500,000), polyethyleneimine (molecular weight: 100 to 100,000), carboxymethylcellulose (to the carboxymethyl group of the hydroxyl group Na salt of alkali cellulose). Substitution degree: 0.4 or more, molecular weight: 1000 to 100,000, polyacrylamide (molecular weight: 100 to 6,000,000), polyvinyl alcohol (molecular weight: 1000 to 100,000), polyethylene glycol (molecular weight: 100) -50,000), polyethylene oxide (molecular weight: 50,000-900,000), gelatin (average molecular weight: 61,000-67,000), water-soluble starch and the like.
上記かっこ内にそれぞれの分散剤の数平均分子量を示すが、このような分子量範囲にあるものは水溶性を有するので、本発明において好適に使用できる。尚、これらの２種以上を混合して使用することもできる。
また、分散剤の添加量は、還元反応水溶液から生成する銅微粒子の濃度にもよるが、該銅原子１００重量部に対して、０．１〜５００重量部が好ましく、０．５〜１００重量部がより好ましい。分散剤の添加量が前記０．１未満では凝集を抑制する効果が十分に得られない場合があり、一方、前記５００重量部を超える場合には、分散上に支障がなくとも、銅微粒子分散水溶液を塗布後、乾燥・焼成時に、過剰の分散剤が、銅微粒子の焼結を阻害して、膜質の緻密さを低下する場合があると共に、分散剤の焼成残渣が、金属被膜中に残存して、導電性を低下するおそれがある。
The number average molecular weights of the respective dispersants are shown in the parentheses, but those having such a molecular weight range are water-soluble, and can be suitably used in the present invention. In addition, these 2 or more types can also be mixed and used.
Moreover, although the addition amount of a dispersing agent is based also on the density | concentration of the copper fine particle produced | generated from reduction reaction aqueous solution, 0.1-500 weight part is preferable with respect to 100 weight part of this copper atom, 0.5-100 weight Part is more preferred. If the added amount of the dispersant is less than 0.1, the effect of suppressing aggregation may not be sufficiently obtained. On the other hand, if it exceeds 500 parts by weight, the copper fine particles are dispersed even if there is no problem in dispersion. After applying an aqueous solution, during drying and firing, an excessive dispersant may inhibit the sintering of the copper fine particles and reduce the denseness of the film quality, and the firing residue of the dispersant remains in the metal film. As a result, the conductivity may be reduced.
尚、銅微粒子分散水溶液中において前記重量比が（分散剤／銅微粒子）０．００１〜５の範囲であることについては、銅微粒子分散水溶液から、分散剤で覆われた銅微粒子を遠心分離等の操作により回収して定量分析により、確認することが可能である。
その具体的例として、微粒子分散溶液をサンプリングして、遠心分離操作により分散剤で覆われた銅微粒子を分析用サンプルとして回収し、酸化性の溶液中で、分散剤が反応しない条件下で銅微粒子を溶解した溶液を調製し、該溶液を液体クロマトグラフィー等により定量分析すれば、重量比（分散剤／銅微粒子）を測定することができる。
また、前記銅微粒子分析用サンプルを、銅微粒子から分散剤を溶剤中に抽出した後に、必要がある場合には蒸発等の濃縮操作を行い、液体クロマトグラフィー、又は分散剤中の特定の元素（窒素、イオウ等）をＸ線光電子分光（ＸＰＳ（Ｘ−ｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ））、オージェ電子分光分析（ＡＥＳ（Ａｕｇｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ））等の分析により行うことが可能である。
In addition, about the weight ratio in the range of (dispersant / copper fine particles) 0.001 to 5 in the copper fine particle dispersed aqueous solution, the copper fine particles covered with the dispersant are centrifuged from the copper fine particle dispersed aqueous solution, etc. It is possible to collect by the above operation and confirm by quantitative analysis.
As a specific example, a fine particle dispersion solution is sampled, and copper fine particles covered with a dispersant are collected as an analytical sample by a centrifugal separation operation. If a solution in which fine particles are dissolved is prepared and the solution is quantitatively analyzed by liquid chromatography or the like, the weight ratio (dispersant / copper fine particles) can be measured.
Moreover, after extracting the dispersing agent from the copper fine particles into the solvent, the copper fine particle analysis sample is subjected to a concentration operation such as evaporation if necessary, and subjected to liquid chromatography or a specific element ( Nitrogen, sulfur, etc.) can be analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)), Auger Electron Spectroscopy (AES (Auger Electron Spectroscopy)), and the like.
前記銅微粒子分散水溶液には、炭素数が３〜８のアルコール、分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコール、及びアルカノールアミンから選択される１種又は２種以上からなる有機溶媒を０〜３０質量％含有させることができる。
銅微粒子分散水溶液にこのような有機溶媒が含有されていると、該銅微粒子分散水溶液をそのまま又は濃縮後にパターニングして焼成する際に還元作用を発揮するので、電気抵抗値の低い焼結体を得ることができる。
前記炭素数が３〜８のアルコールは、１−プロパノール、２−プロパノール、２−ブタノール、及び２−メチル２−プロパノールから選択された１種又は２種以上が例示でき、
分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコールは、エチレングリコ−ル、ジエチレングリコ−ル、１，２−プロパンジオ−ル、１，３−プロパンジオ−ル、１，２−ブタンジオ−ル、１，３−ブタンジオ−ル、１，４−ブタンジオ−ル、２−ブテン−１，４−ジオール、２，３−ブタンジオ−ル、ペンタンジオ−ル、ヘキサンジオ−ル、オクタンジオ−ル、グリセロール、１，１，１−トリスヒドロキシメチルエタン、２−エチル−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，３−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、グリセロ−ル、トレイトレイトール、エリトリト−ル、ペンタエリスリト−ル、ペンチト−ル、キシリトール、リビトール、アラビトール、ヘキシト−ル、マンニトール、ソルビトール、ズルシトール、グリセリンアルデヒド、ジオキシアセトン、トレオース、エリトルロース、エリトロース、アラビノース、リボース、リブロース、キシロース、キシルロース、リキソース、グルコ−ス、フルクト−ス、マンノース、イドース、ソルボース、グロース、タロース、タガトース、ガラクトース、アロース、アルトロース、ラクト−ス、イソマルト−ス、グルコヘプト−ス、ヘプト−ス、マルトトリオース、ラクツロース、及びトレハロースの中から選択される１種又は２種以上が例示でき、並びに、
アルカノールアミンは、ジメタノールアミン、トリメタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、及びＮ−ｎ−ブチルジエタノールアミンの中から選択される１種又は２種以上が例示できる。
The copper fine particle-dispersed aqueous solution contains an organic solvent composed of one or more selected from alcohols having 3 to 8 carbon atoms, polyhydric alcohols having two or more hydroxyl groups in the molecule, and alkanolamines. 30 mass% can be contained.
When such an organic solvent is contained in the copper fine particle dispersed aqueous solution, the copper fine particle dispersed aqueous solution exhibits a reducing action when it is patterned and baked as it is or after concentration. Obtainable.
Examples of the alcohol having 3 to 8 carbon atoms include one or more selected from 1-propanol, 2-propanol, 2-butanol, and 2-methyl 2-propanol,
Polyhydric alcohols having two or more hydroxyl groups in the molecule are ethylene glycol, diethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,2-butanediol, , 3-butanediol, 1,4-butanediol, 2-butene-1,4-diol, 2,3-butanediol, pentanediol, hexanediol, octanediol, glycerol, 1,1 , 1-trishydroxymethylethane, 2-ethyl-2-hydroxymethyl-1,3-propanediol, 1,2,6-hexanetriol, 1,2,3-hexanetriol, 1,2,4-butanetriol Glycerol, tray tray, erythritol, pentaerythritol, pentitol, xylitol, ribitol, arabitol, hexite , Mannitol, sorbitol, dulcitol, glyceraldehyde, dioxyacetone, threose, erythrulose, erythrose, arabinose, ribose, ribulose, xylose, xylulose, lyxose, glucose, fructose, mannose, idose, sorbose, growth, talose , Tagatose, galactose, allose, altrose, lactose, isomaltose, glucoheptose, heptose, maltotriose, lactulose, and trehalose can be exemplified, And
The alkanolamine is selected from dimethanolamine, trimethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, and Nn-butyldiethanolamine 1 A seed | species or 2 or more types can be illustrated.
（２）工程１
工程１は、銅イオンを分散剤の存在下で、ｐＨ調整剤によりｐＨ９．２以上に調整したアンモニア水溶液中でアンモニアとの下記反応により、水溶性の銅アンミン錯体を得る工程である。
Ｃｕ２＋＋４ＮＨ３→［Ｃｕ（ＮＨ３）４］２＋
又はＣｕ２＋＋４ＮＨ４（ＯＨ）→［Ｃｕ（ＮＨ３）４］２＋＋４Ｈ２Ｏ
（ｉ）銅イオン
工程１で使用する「銅イオン」は、水酸化銅、硝酸銅、亜硝酸銅、酢酸銅、蟻酸銅、クエン酸銅、しゅう酸銅、グルコン酸銅、安息香酸銅、酒石酸銅、オレイン酸銅、及びアセチルアセトン銅から選択された１種又は２種以上から形成され、銅元素と、炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された元素が含まれている。
(2) Step 1
Step 1 is a step of obtaining a water-soluble copper ammine complex by the following reaction with ammonia in an aqueous ammonia solution adjusted to pH 9.2 or higher with a pH adjuster in the presence of a dispersant.
Cu 2+ + 4NH 3 → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+
Or Cu 2+ + 4NH 4 (OH) → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+ + 4H 2 O
(I) "Copper ion" used in the copper ion step 1 is copper hydroxide, copper nitrate, copper nitrite, copper acetate, copper formate, copper citrate, copper oxalate, copper gluconate, copper benzoate, tartaric acid It is formed from one or more selected from copper, copper oleate, and acetylacetone copper, and contains an element selected from copper element and carbon, hydrogen, oxygen, and nitrogen.
（ii）ｐＨ調整剤
工程１で使用するｐＨ調整剤は、炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなる化合物であり、このような化合物として、酢酸アンモニウム、炭酸アンモニウム、蟻酸アンモニウム、プロピオン酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、シュウ酸アンモニウム、カルバミン酸アンモニウム等が例示でき、これらを２種以上混合して使用することも出来る。
(Ii) pH adjuster The pH adjuster used in step 1 is a compound composed of two or more elements selected from carbon, hydrogen, oxygen, and nitrogen. Examples of such compounds include ammonium acetate and ammonium carbonate. Ammonium formate, ammonium propionate, ammonium hydrogen carbonate, ammonium oxalate, ammonium carbamate and the like can be exemplified, and two or more of these can be used in combination.
（ｉｉｉ）工程１における銅アンミン錯体の生成について
銅イオンを分散剤の存在下、アンモニア水溶液中でアンモニア（又は水酸化アンモニウム）との下記反応により、水溶性の銅アンミン錯体を得る場合に、ｐＨ調整剤によりｐＨ９．２以上に調整される。このようなアルカリ性の水溶液においては酸化反応が抑制されて銅原子にアンモニアイオンが配位し、水溶性の銅アンミン錯体が形成される。
この場合、ｐＨは９．２以上が好ましく、１１以上が更に好ましい。
ｐＨが９．２未満であると、水酸化物イオン（ＯＨ−）濃度が低くなる結果、銅アンミン錯体が生成しづらくなり、また銅原子表面での酸化反応が進行し易くなる結果、酸化銅が形成されるので好ましくない。
工程１における反応は、アンモニアが溶解している、ｐＨが調整された水溶液に、前記銅イオンを含む水溶液を連続的に滴下してもよく、一度に添加してもよい。
前記銅イオンを含む水溶液中の好ましい銅イオン濃度は、実用上０．０１〜１モル／Ｌ（リットル）程度であり、アンモニアが溶解している水溶液中の好ましいアンモニア濃度は０．０００１〜１０モル／Ｌ（リットル）程度である。
(Iii) Formation of copper ammine complex in step 1 When obtaining a water-soluble copper ammine complex by the following reaction of copper ions with ammonia (or ammonium hydroxide) in an aqueous ammonia solution in the presence of a dispersant. The pH is adjusted to 9.2 or higher with a regulator. In such an alkaline aqueous solution, the oxidation reaction is suppressed, and ammonia ions are coordinated to the copper atom to form a water-soluble copper ammine complex.
In this case, the pH is preferably 9.2 or more, and more preferably 11 or more.
If the pH is less than 9.2, the concentration of hydroxide ions (OH − ) decreases, so that it is difficult to form a copper ammine complex, and the oxidation reaction on the surface of the copper atoms tends to proceed. As a result, copper oxide Is not preferable.
In the reaction in Step 1, the aqueous solution containing copper ions may be continuously dropped into an aqueous solution in which ammonia is dissolved and the pH is adjusted, or may be added at once.
The preferable copper ion concentration in the aqueous solution containing copper ions is practically about 0.01 to 1 mol / L (liter), and the preferable ammonia concentration in the aqueous solution in which ammonia is dissolved is 0.0001 to 10 mol. / L (liter).
（３）工程２
工程２は、前記銅アンミン錯体を、還元剤を使用した無電解還元により下記の還元反応により、分散液中で少なくとも表面の一部が分散剤で覆われた状態で銅微粒子を形成する工程である。
Ｃｕ（ＮＨ３）２ ２＋＋２ｅ− → Ｃｕ＋２ＮＨ３
又は Ｃｕ（ＮＨ３）２ ２＋＋２ｅ−＋２Ｈ２Ｏ→ Ｃｕ＋２ＮＨ４（ＯＨ）
すなわち、工程１で形成された銅アンミン錯体が溶解している水溶液中に還元剤を添加して銅微粒子を形成する工程である。還元反応により生成した一次粒子の粒子径が１〜１５０ｎｍ程度の銅微粒子は、分散剤の作用により、二次凝集が抑制されて水溶液中に均一に分散される。
還元反応が行われる反応系には少なくとも、銅アンミン錯体、還元剤、及び分散剤が存在していればよい。
還元剤としては、本発明で得られる銅微粒子の分散水溶液をパターニングして高温で焼結する際の条件を考慮すると、炭素、窒素、水素、及び酸素の中から選ばれる、窒素と水素元素からなる、ヒドラジンが使用される。この還元剤は水溶液として、銅アンミン錯体と分散剤が溶解している水溶液に連続的に滴下するのが望ましいが、一度に添加することもできる。この場合、前記還元剤水溶液中の還元剤濃度は０．１〜１００ｇ／Ｌ程度が望ましい。
(3) Step 2
Step 2 is a step of forming copper fine particles in a state where at least a part of the surface of the copper ammine complex is covered with the dispersant by electroless reduction using a reducing agent, by the following reduction reaction. is there.
Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − → Cu + 2NH 3
Or Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − + 2H 2 O → Cu + 2NH 4 (OH)
That is, it is a step of forming copper fine particles by adding a reducing agent to the aqueous solution in which the copper ammine complex formed in Step 1 is dissolved. The copper fine particles having a primary particle size of about 1 to 150 nm generated by the reduction reaction are uniformly dispersed in the aqueous solution with the secondary aggregation suppressed by the action of the dispersant.
It is sufficient that at least the copper ammine complex, the reducing agent, and the dispersing agent exist in the reaction system in which the reduction reaction is performed.
As the reducing agent, considering the conditions when patterning the aqueous dispersion of copper fine particles obtained in the present invention and sintering at high temperature, selected from carbon, nitrogen, hydrogen, and oxygen, from nitrogen and hydrogen elements Hydrazine is used. This reducing agent is preferably added dropwise as an aqueous solution to an aqueous solution in which the copper ammine complex and the dispersant are dissolved, but it can also be added at once. In this case, the reducing agent concentration in the reducing agent aqueous solution is preferably about 0.1 to 100 g / L.
還元反応は撹拌下に行われるが、酸化反応を防止するために窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス雰囲気中でおこなわれることが望ましい。還元反応は、好ましくは数分ないし数十分間行い、その後反応容器を氷水中で冷却し、その後数時間ないし１５時間程度常温で静置して終了させることができる。常温で静置することにより、液中に存在する未反応の銅イオンが粒子成長反応でほぼ完全に消費されるため、粒子の生成効率を上げることができる。
このような還元反応をほぼ同一条件で行えば、再現性よく銅微粒子が分散した水溶液を得ることができる。
尚、銅微粒子の一次粒子の平均粒径の制御は、銅イオン、分散剤、還元剤の種類と配合濃度の調整、及び金属イオンを還元反応させる際の、かく拌速度、温度、時間、ｐＨ等の調整により行うことが可能である。具体的には、例えば、水溶液中で、分散剤としてポリビニルピロリドン（ＰＶＰ（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｐｙｒｒｏｌｉｄｏｎｅ）、数平均分子量約３５００）の存在下に銅イオン（酢酸第二銅等）を水素化ホウ素ナトリウムで還元する際に、還元温度が８０℃程度であれば、一次粒子の平均粒径が１００ｎｍの銅微粒子を得ることが可能である。
The reduction reaction is carried out with stirring, but it is desirable to carry out in an inert gas atmosphere such as nitrogen gas or argon gas in order to prevent the oxidation reaction. The reduction reaction is preferably carried out for several minutes to several tens of minutes, after which the reaction vessel is cooled in ice water, and then allowed to stand at room temperature for several hours to 15 hours. By standing at room temperature, unreacted copper ions present in the liquid are almost completely consumed by the particle growth reaction, so that the generation efficiency of the particles can be increased.
If such a reduction reaction is performed under substantially the same conditions, an aqueous solution in which copper fine particles are dispersed can be obtained with good reproducibility.
In addition, the control of the average particle diameter of the primary particles of the copper fine particles is performed by adjusting the types and blending concentrations of copper ions, dispersants, reducing agents, and the reduction reaction of metal ions, the stirring speed, temperature, time, pH. It is possible to carry out by adjusting such as. Specifically, for example, when reducing copper ions (cupric acetate, etc.) with sodium borohydride in an aqueous solution in the presence of polyvinylpyrrolidone (PVP (Polyvinylpyrrolidone), number average molecular weight of about 3500) as a dispersant. In addition, if the reduction temperature is about 80 ° C., it is possible to obtain copper fine particles having an average primary particle size of 100 nm.
（４）銅微粒子分散水液の撹拌による分散性の向上
かくして得られた銅微粒子分散水溶液中には、一次粒子の平均粒径１〜１５０ｎｍの銅微粒子が少なくともその表面の一部が分散剤で覆われて水溶液中に、二次凝集性が少ない状態で分散されているが、更に撹拌して分散性を向上することが望ましい。
銅微粒子分散水溶液の撹拌方法としては、公知の撹拌方法を採用することができるが、超音波照射方法を採用するのが好ましい。
上記超音波照射時間は、特に制限はなく任意に選択することが可能である。例えば、超音波照射時間を５〜６０分間の間で任意に設定すると照射時間が長い方が平均二次凝集サイズが小さくなる傾向にある。
(4) Improvement of dispersibility by stirring of copper fine particle-dispersed aqueous liquid In the copper fine particle-dispersed aqueous solution thus obtained, at least part of the surface of the copper fine particles having an average primary particle diameter of 1 to 150 nm is a dispersant. Although it is covered and dispersed in the aqueous solution in a state of low secondary aggregation, it is desirable to further improve the dispersibility by stirring.
As a stirring method for the copper fine particle-dispersed aqueous solution, a known stirring method can be adopted, but an ultrasonic irradiation method is preferably adopted.
The ultrasonic irradiation time is not particularly limited and can be arbitrarily selected. For example, if the ultrasonic irradiation time is arbitrarily set between 5 and 60 minutes, the average secondary aggregation size tends to be smaller as the irradiation time is longer.
（５）工程３
上記工程２で得られた微粒子分散水溶液は工程３において、一部の水分等を除去することにより濃縮して、使用される。このような濃縮操作としては超音波照射、逆浸透膜、限外ろ過膜、真空脱水、及び凍結乾燥、更にこれらの２種以上の同時利用等の操作が挙げられる。
尚、前記銅微粒子分散水溶液に、炭素数が３〜８のアルコール、分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコール、アルカノールアミンから選択される１種又は２種以上からなる有機溶媒が１〜３０質量％含まれている場合には、水分を加熱除去する際に共沸現象を利用して、効率よく水分除去を行うことが可能になる。このような場合には、水分及び前記有機溶媒についても、前記濃縮操作によって、除去することが可能である。
このような濃縮操作により、水溶液中の銅微粒子濃度が０．０１〜５質量％の分散水溶液中の水分の一部を除去して、水溶液中の銅微粒子濃度が１〜６０質量％、更には３〜６０質量％の分散溶液を得ることが可能である。
また、焼結用の微粒子分散水溶液の濃度調整として、工程３の濃縮前に微粒子分散水溶液に有機溶媒を添加することができ、工程３の濃縮後の微粒子分散水溶液に有機溶媒を添加することもできる。
(5) Step 3
In step 3, the fine particle-dispersed aqueous solution obtained in the above step 2 is used after being concentrated by removing a part of moisture and the like . Examples of such a concentration operation include operations such as ultrasonic irradiation, reverse osmosis membrane, ultrafiltration membrane, vacuum dehydration, and lyophilization, and simultaneous use of two or more of these.
In addition, the organic solvent which consists of 1 type or 2 or more types selected from the C3-C8 alcohol, the polyhydric alcohol which has a 2 or more hydroxyl group in a molecule | numerator, and an alkanolamine in the said copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution is 1-. In the case where 30% by mass is contained, it is possible to efficiently remove moisture by using an azeotropic phenomenon when moisture is removed by heating. In such a case, moisture and the organic solvent can also be removed by the concentration operation.
By such a concentration operation, a part of the water in the dispersed aqueous solution having a copper fine particle concentration of 0.01 to 5% by mass in the aqueous solution is removed, so that the copper fine particle concentration in the aqueous solution is 1 to 60% by mass, It is possible to obtain a 3-60 mass% dispersion.
In addition, as a concentration adjustment of the fine particle dispersed aqueous solution for sintering, an organic solvent can be added to the fine particle dispersed aqueous solution before the concentration in Step 3, and an organic solvent can be added to the fine particle dispersed aqueous solution after the concentration in Step 3. it can.
（６）銅微粒子分散水液の焼結について
本発明の製造方法により得られる微粒子分散水溶液は、分散性と保存安定性に優れているので、インクジェット用インク、エッチングレジスト、ソルダーレジスト、誘電体パターン、電極（導体回路）パターン、電子部品の配線パターン、導電性ペースト、導電性インク、導電フィルム等に広く用いることができる。特に、本発明の銅微粒子分散水溶液は、例えば、インクジェット法等により基材上に配置して、乾燥後、焼成して金属含有薄膜又は金属含有細線等の導電部材として使用するのに適している。
本発明の銅微粒子分散水溶液を使用すると、従来よりも低い焼成温度、例えば２５０℃以下、更に２２０℃以下の比較的低温でも焼成することが可能となり、また、水素ガス等の還元性ガスを必ずしも使用する必要がなく、不活性ガス中における焼成を採用しても、導電性と基板密着性に優れる導電部材を形成することが可能となる。上記基材は特に制限はなく使用目的等により、ガラス、ポリイミド等が使用でき、乾燥と焼成は、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行うことができる。
(6) Sintering of copper fine particle-dispersed aqueous solution The fine particle-dispersed aqueous solution obtained by the production method of the present invention is excellent in dispersibility and storage stability, so that it is an ink-jet ink, etching resist, solder resist, dielectric pattern. It can be widely used for electrode (conductor circuit) patterns, wiring patterns for electronic components, conductive pastes, conductive inks, conductive films, and the like. In particular, the copper fine particle-dispersed aqueous solution of the present invention is suitable for use as a conductive member such as a metal-containing thin film or a metal-containing thin wire after being placed on a substrate by, for example, an ink jet method, dried and fired. .
When the aqueous copper fine particle dispersion of the present invention is used, it is possible to perform firing even at a relatively low firing temperature, for example, 250 ° C. or less, and even a relatively low temperature of 220 ° C. or less, and a reducing gas such as hydrogen gas is not necessarily used. There is no need to use it, and even when firing in an inert gas is employed, it is possible to form a conductive member having excellent conductivity and substrate adhesion. There is no restriction | limiting in particular in the said base material, Glass, a polyimide, etc. can be used by a use purpose etc., Drying and baking can be performed in inert gas atmosphere, such as argon.
〔２〕第２の態様である「銅微粒子分散水溶液の保管方法」
本発明の製造方法で得られた銅微粒子分散水溶液は、銅微粒子分散水溶液が入った保管容器へ、乾燥状態の不活性ガスを充填して気密封止して保管することが望ましい。このことにより、銅微粒子分散水溶液中の銅が酸化するのを防ぎ、少なくとも３カ月間は保存安定性を確保することが出来る。
[2] "Storage method of copper fine particle dispersed aqueous solution" as the second aspect
The aqueous copper fine particle dispersion obtained by the production method of the present invention is preferably stored in a storage container containing the aqueous copper fine particle dispersion, filled with a dry inert gas and hermetically sealed. This prevents copper in the aqueous copper fine particle dispersion from being oxidized and ensures storage stability for at least 3 months.
次に、実施例により本発明をより具体的に説明する。尚、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
［実施例１］
（１）銅微粒子分散水溶液の調製
水酸化銅（Ｃｕ（ＯＨ）２）０．２ｇを濃度０．５ｍｏｌ／Ｌのアンモニア水５０ｍｌに溶解させ、さらに０．５ｍｏｌ／Ｌの酢酸アンモニウムを添加してｐＨを１０に調整し、銅アンミン錯体を含む溶液とした。一方、ヒドラジン０．４ｇ及びポリビニルピロリドン０．５ｇを蒸留水１００ｍｌに添加して攪拌溶解させ、ヒドラジン水溶液を作製した。上記銅アンミン錯体を含む溶液にヒドラジン水溶液を滴下し、よく攪拌しながら反応させ、銅微粒子が水溶液中に分散した銅微粒子分散液を得た。
（２）銅微粒子分散水溶液の濃縮
この銅微粒子分散液を、３０℃において、１．６ＭＨｚ、１２Ｗの超音波を液面下から気相に向かって１時間照射して銅微粒子の濃縮を行い、銅微粒子濃度が１０質量％の銅微粒子分散水溶液を得た。該銅微粒子分散水溶液を超音波照射装置（（株）エスエムテー製、型式：ＵＨ−６００Ｓ）を用いて、４０分間撹拌を行った。
Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. The present invention is not limited to these examples.
[Example 1]
(1) Preparation of copper fine particle dispersed aqueous solution 0.2 g of copper hydroxide (Cu (OH) 2 ) was dissolved in 50 ml of ammonia water having a concentration of 0.5 mol / L, and 0.5 mol / L ammonium acetate was further added. The pH was adjusted to 10 to obtain a solution containing a copper ammine complex. On the other hand, 0.4 g of hydrazine and 0.5 g of polyvinylpyrrolidone were added to 100 ml of distilled water and dissolved by stirring to prepare a hydrazine aqueous solution. A hydrazine aqueous solution was added dropwise to the solution containing the copper ammine complex and allowed to react with good stirring to obtain a copper fine particle dispersion in which copper fine particles were dispersed in the aqueous solution.
(2) Concentration of aqueous copper fine particle dispersion This copper fine particle dispersion was irradiated with ultrasonic waves at 1.6 MHz and 12 W for 1 hour from below the liquid surface toward the gas phase at 30 ° C. to concentrate the copper fine particles, A copper fine particle dispersed aqueous solution having a copper fine particle concentration of 10% by mass was obtained. The copper fine particle-dispersed aqueous solution was stirred for 40 minutes using an ultrasonic irradiation apparatus (manufactured by SMT Co., Ltd., model: UH-600S).
（３）焼成膜の作製
上記濃縮して得られた銅微粒子分散水溶液を、撹拌終了後、１５分経過してから、インクジェット用ヘッド（メクト社製：ＭＩＣＲＯＪＥＴ（登録商標） Ｍｏｄｅｌ ＭＪ−０４０）に入れ、幅が７００ｍｍ、厚みが１００μｍの透明なポリエチレンナフタレート樹脂（ＰＥＮ）フィルム（帝人デュポンフィルム（株）製、品番；Ｑ５１）上に微粒子分散液で格子状パターンを形成した。このときの格子状パターンは、線の幅が１０μｍであり、線間のピッチが１００μｍとなるように形成した。
形成した配線パターンを、アルゴンガス雰囲気中において、約１５０℃で３０分間保持して塗膜を乾燥させた後、さらに窒素雰囲気中、２００℃で１時間熱処理を行った。その後熱処理炉中でゆっくりと室温まで炉冷し、配線回路パターンを得た。
（４）焼結膜の導電性評価
直流四端子法（使用測定機：ケースレー社製、デジタルマルチメータＤＭＭ２０００型（四端子電気抵抗測定モード））を用いて、焼結して得られた上記配線回路パターンの配線の電気抵抗を測定した。測定値は、８．１×１０−５（Ω・ｃｍ）であった。
(3) Preparation of fired film The copper fine particle dispersion aqueous solution obtained by the above concentration was added to an ink jet head (Mect: MICROJET (registered trademark) Model MJ-040) after 15 minutes had passed after the completion of stirring. A lattice pattern was formed with a fine particle dispersion on a transparent polyethylene naphthalate resin (PEN) film (manufactured by Teijin DuPont Films, product number: Q51) having a width of 700 mm and a thickness of 100 μm. The grid pattern at this time was formed such that the line width was 10 μm and the pitch between the lines was 100 μm.
The formed wiring pattern was held at about 150 ° C. for 30 minutes in an argon gas atmosphere to dry the coating film, and then heat-treated at 200 ° C. for 1 hour in a nitrogen atmosphere. Thereafter, the furnace was slowly cooled to room temperature in a heat treatment furnace to obtain a wiring circuit pattern.
(4) Conductivity evaluation of sintered film The above wiring circuit obtained by sintering using a DC four-terminal method (use measuring machine: digital multimeter DMM2000 type (four-terminal electric resistance measurement mode) manufactured by Keithley) The electrical resistance of the pattern wiring was measured. The measured value was 8.1 × 10 −5 (Ω · cm).
［実施例２］
水酸化銅０．２ｇを濃度１ｍｏｌ／Ｌのアンモニア水５０ｍｌに溶解させ、さらに１ｍｏｌ／Ｌの炭酸アンモニウムを添加してｐＨを１１に調整し、銅アンミン錯体を含む溶液を調製した。
次に、ヒドラジン０．４ｇ及びポリビニルピロリドン０．５ｇを蒸留水１００ｍｌに添加して攪拌溶解させ、ヒドラジン水溶液を作製した。上記銅アンミン錯体を含む溶液にヒドラジン水溶液を滴下し、よく攪拌しながら反応させ、銅微粒子が水溶液中に分散した銅微粒子分散水溶液を得た。この銅微粒子分散水溶液を、３０℃において、１．６ＭＨｚ、１２Ｗの超音波を液面下から気相に向かって１時間照射して銅微粒子の濃縮を行い、銅微粒子濃度が１０質量％の銅微粒子分散水溶液を得た。この銅微粒子分散水溶液を実施例１で行ったと同様の撹拌を行った後、実施例１と同じ方法で配線回路パターンを形成し、その配線の電気抵抗を測定した。測定値は、７．４×１０−５（Ω・ｃｍ）であった。
[Example 2]
0.2 g of copper hydroxide was dissolved in 50 ml of ammonia water having a concentration of 1 mol / L, and 1 mol / L ammonium carbonate was further added to adjust the pH to 11, thereby preparing a solution containing a copper ammine complex.
Next, 0.4 g of hydrazine and 0.5 g of polyvinyl pyrrolidone were added to 100 ml of distilled water and dissolved by stirring to prepare a hydrazine aqueous solution. A hydrazine aqueous solution was added dropwise to the solution containing the copper ammine complex and allowed to react while stirring well to obtain a copper fine particle dispersed aqueous solution in which copper fine particles were dispersed in the aqueous solution. This copper fine particle dispersed aqueous solution was irradiated with ultrasonic waves of 1.6 MHz and 12 W at 30 ° C. for 1 hour from below the liquid surface to the gas phase to concentrate the copper fine particles, and the copper fine particle concentration was 10% by mass. A fine particle dispersed aqueous solution was obtained. After stirring this copper fine particle dispersed aqueous solution in the same manner as in Example 1, a wiring circuit pattern was formed by the same method as in Example 1, and the electrical resistance of the wiring was measured. The measured value was 7.4 × 10 −5 (Ω · cm).
［実施例３］
実施例１（１）に記載したのと同様の方法で調製した銅微粒子分散水溶液に、エチレングリコール濃度が２０質量％となるようにエチレングリコールを添加した。この銅微粒子分散液を、３０℃において、１．６ＭＨｚ、１２Ｗの超音波を液面下から気相に向かって４０分間照射して銅微粒子の濃縮を行い、銅微粒子濃度が１０質量％の銅微粒子分散水溶液を得た。
この銅微粒子分散水溶液を実施例１で行ったと同様の撹拌を行った後、実施例１と同じ方法で配線回路パターンを形成し、その配線の電気抵抗を測定した。測定値は、３．８×１０−５（Ω・ｃｍ）であった。
[Example 3]
Ethylene glycol was added to an aqueous copper fine particle dispersion prepared by the same method as described in Example 1 (1) so that the ethylene glycol concentration was 20% by mass. This copper fine particle dispersion is irradiated with ultrasonic waves of 1.6 MHz and 12 W at 30 ° C. for 40 minutes from the liquid surface toward the gas phase to concentrate the copper fine particles, and the copper fine particle concentration is 10% by mass. A fine particle dispersed aqueous solution was obtained.
After stirring this copper fine particle dispersed aqueous solution in the same manner as in Example 1, a wiring circuit pattern was formed by the same method as in Example 1, and the electrical resistance of the wiring was measured. The measured value was 3.8 × 10 −5 (Ω · cm).
［実施例４］
実施例１に記載したのと同様の方法で調製した銅微粒子濃度が１０質量％の銅微粒子分散水溶液１０ｍｌに、エチレングリコール２．８ｍｌを添加して、銅微粒子濃度が８質量％の銅微粒子分散水溶液１２．８ｍｌを得た。この銅微粒子分散水溶液を実施例１で行ったと同様の撹拌を行った後、実施例１と同じ方法で配線回路パターンを形成し、その配線の電気抵抗を測定した。測定値は、２．５×１０−５（Ω・ｃｍ）であった。
[Example 4]
2.8 ml of ethylene glycol was added to 10 ml of a copper fine particle dispersion aqueous solution having a copper fine particle concentration of 10% by mass prepared by the same method as described in Example 1, and a copper fine particle dispersion having a copper fine particle concentration of 8% by mass was then added. 12.8 ml of aqueous solution was obtained. After stirring this copper fine particle dispersed aqueous solution in the same manner as in Example 1, a wiring circuit pattern was formed by the same method as in Example 1, and the electrical resistance of the wiring was measured. The measured value was 2.5 × 10 −5 (Ω · cm).
［比較例１］
比較用の銅微粒子分散水溶液として、（株）アルバック製、銅ナノ粒子分散液（商品名：Ｃｕナノメタルインク「Ｃｕ１Ｔ」）を用いた。この銅ナノ粒子分散液を、実施例１と同様の条件でＰＥＮフィルム上に格子状パターンを形成したが、パターン形成後、インクが基板を溶解することにより線が滲んで線の幅が１０μｍから５０μｍまで広がり、所望の微細な配線回路パターンを得ることができなかった。
[Comparative Example 1]
As a copper fine particle dispersion aqueous solution for comparison, a copper nanoparticle dispersion (trade name: Cu nanometal ink “Cu1T”) manufactured by ULVAC, Inc. was used. With this copper nanoparticle dispersion, a lattice-like pattern was formed on the PEN film under the same conditions as in Example 1. However, after the pattern was formed, the ink was dissolved in the substrate, so that the line was blurred and the line width was 10 μm. It spreads to 50 μm, and a desired fine wiring circuit pattern could not be obtained.
［比較例２］
１ｍｏｌ／Ｌの炭酸アンモニウムの代わりに１ｍｏｌ／Ｌの硫酸アンモニウムを添加してｐＨを１１に調整した以外は実施例２に記載したのと同じ方法で銅微粒子分散水溶液を作製し、配線回路パターンを形成した。
得られた配線回路パターンについて、実施例１と同様に配線の電気抵抗を測定したところ、導電性を示さなかった。
[Comparative Example 2]
A copper fine particle dispersed aqueous solution was prepared in the same manner as described in Example 2 except that 1 mol / L ammonium sulfate was added instead of 1 mol / L ammonium carbonate to adjust the pH to 11, and a wiring circuit pattern was formed. did.
For the obtained wiring circuit pattern, the electrical resistance of the wiring was measured in the same manner as in Example 1. As a result, it did not show conductivity.
上記のように、実施例１、２で形成した配線回路は、２００℃での熱処理により良好な電気伝導性を示すことが確認された。一方、ｐＨ調整剤にイオウ化合物を含む比較例２で形成した配線回路は、導電性を示さなかった。 As described above, it was confirmed that the wiring circuits formed in Examples 1 and 2 showed good electrical conductivity by heat treatment at 200 ° C. On the other hand, the wiring circuit formed in Comparative Example 2 containing a sulfur compound in the pH adjuster did not exhibit conductivity.
［実施例５］
実施例１に記載したのと同様の方法で銅微粒子分散水溶液を作製し、作製した銅微粒子分散水溶液を、ゴム栓付きのブローバッグ内に移し、乾燥窒素ガスを充填して気密封止した。この状態で銅微粒子分散水溶液を３０日間保管した後、実施例１に記載したのと同様の方法で配線回路パターンを形成した。配線回路パターン形成の際には、シリコンゴム管のついた注射針をブローバッグのゴム栓に刺してインクを吸出し、インクジェットカートリッジへの充填を行うことで、銅微粒子分散水溶液を大気に晒さずにインクジェットカー
トリッジに移送した。このようにして得られた配線回路パターンについて、実施例１と同様に配線の電気抵抗を測定した。測定値は、５．２×１０−５（Ω・ｃｍ）であった。
[Example 5]
A copper fine particle-dispersed aqueous solution was prepared in the same manner as described in Example 1, and the prepared copper fine particle-dispersed aqueous solution was transferred into a blow bag equipped with a rubber stopper, filled with dry nitrogen gas, and hermetically sealed. After storing the copper fine particle dispersed aqueous solution in this state for 30 days, a wiring circuit pattern was formed in the same manner as described in Example 1. When forming a wiring circuit pattern, the injection needle with a silicone rubber tube is inserted into the rubber stopper of the blow bag to suck out the ink and fill the ink jet cartridge without exposing the aqueous copper fine particle dispersion to the atmosphere. It was transferred to an inkjet cartridge. For the wiring circuit pattern thus obtained, the electrical resistance of the wiring was measured in the same manner as in Example 1. The measured value was 5.2 × 10 −5 (Ω · cm).
［比較例３］
実施例１に記載したのと同様の方法で銅微粒子分散水溶液を作製し、作製した銅微粒子分散水溶液をガラスビンに入れ、大気中で１時間静置した後、実施例１に記載したのと同様の方法で配線回路パターンを形成した。得られた配線回路パターンについて、実施例１と同様に配線の電気抵抗を測定した。測定値は、８．３×１０−３（Ω・ｃｍ）であった。
[Comparative Example 3]
A copper fine particle-dispersed aqueous solution was prepared in the same manner as described in Example 1, and the prepared copper fine particle-dispersed aqueous solution was placed in a glass bottle and allowed to stand in the air for 1 hour, and then the same as described in Example 1 A wiring circuit pattern was formed by the method described above. For the obtained wiring circuit pattern, the electrical resistance of the wiring was measured in the same manner as in Example 1. The measured value was 8.3 × 10 −3 (Ω · cm).
［比較例４］
実施例１に記載したのと同様の方法で銅微粒子分散水溶液を作製し、作製した銅微粒子分散水溶液をガラスビンに入れ、大気中で３０日間保管した。３０日後に銅微粒子分散水溶液を観察すると、ガラスビンの底に沈殿物が生じていた。この銅微粒子分散水溶液をインクジェットカートリッジに充填し、配線回路パターン形成を試みたが、インクジェットヘッド内でインク詰まりが発生し、配線回路パターンは形成できなかった。
[Comparative Example 4]
A copper fine particle-dispersed aqueous solution was prepared in the same manner as described in Example 1, and the prepared copper fine particle-dispersed aqueous solution was placed in a glass bottle and stored in the air for 30 days. When the copper fine particle-dispersed aqueous solution was observed 30 days later, a precipitate was formed at the bottom of the glass bottle. The copper fine particle-dispersed aqueous solution was filled into an ink jet cartridge and an attempt was made to form a wiring circuit pattern. However, ink clogging occurred in the ink jet head, and the wiring circuit pattern could not be formed.
実施例５のように、銅微粒子分散水溶液が入った保管容器へ、乾燥状態の不活性ガスを充填して気密封止して保管した銅微粒子分散水溶液から形成した配線回路は、２００℃での熱処理により良好な電気伝導性を示すことが確認された。一方、比較例３のように銅微粒子分散水溶液を大気に晒して保管した場合は、銅微粒子分散水溶液から形成した配線回路の導電性が低く、さらに、比較例４のように、銅微粒子分散水溶液を長期間大気中に晒して保管した場合は、銅微粒子分散水溶液が変質し、保存安定性が悪かった。 As in Example 5, the wiring circuit formed from the copper fine particle dispersed aqueous solution stored in the storage container containing the copper fine particle dispersed aqueous solution and filled with an inert gas in a dry state and hermetically sealed is 200 ° C. It was confirmed that the heat treatment showed good electrical conductivity. On the other hand, when the copper fine particle dispersed aqueous solution is stored exposed to the air as in Comparative Example 3, the conductivity of the wiring circuit formed from the copper fine particle dispersed aqueous solution is low. Further, as in Comparative Example 4, the copper fine particle dispersed aqueous solution is used. Was stored in the atmosphere for a long period of time, the aqueous copper fine particle dispersion was altered and the storage stability was poor.
Claims (8)
（ｉ）水酸化銅、硝酸銅、亜硝酸銅、酢酸銅、蟻酸銅、クエン酸銅、しゅう酸銅、グルコン酸銅、安息香酸銅、酒石酸銅、オレイン酸銅、及びアセチルアセトン銅から選択された１種又は２種以上から形成される銅イオンを前記分散剤の存在下で、炭素、水素、酸素、及び窒素から選択された２種以上の元素からなるｐＨ調整剤によりｐＨ９．２以上に調整したアンモニア水溶液中でアンモニアとの下記反応により、水溶性の銅アンミン錯体を得る工程（工程１）、
Ｃｕ２＋＋４ＮＨ３ → [Ｃｕ(ＮＨ３)４]２＋
又は Ｃｕ２＋＋４ＮＨ４（ＯＨ） → [Ｃｕ(ＮＨ３)４]２＋ ＋４Ｈ２Ｏ
（ii）前記工程１で得られた銅アンミン錯体を含む水溶液に、還元剤としてヒドラジンを添加して下記の還元反応により、少なくとも表面の一部が前記分散剤で覆われた銅微粒子を形成する工程（工程２）、
Ｃｕ(ＮＨ３)２ ２＋＋２ｅ−→ Ｃｕ＋２ＮＨ３
又は Ｃｕ(ＮＨ３)２ ２＋＋２ｅ−＋２Ｈ２Ｏ→ Ｃｕ＋２ＮＨ４（ＯＨ）
（iii）工程２で得られた銅微粒子分散水溶液に対して超音波照射、逆浸透膜によるろ過、限外ろ過膜によるろ過、及び真空脱水から選択された１種または２種以上の濃縮操作を行うことにより、
該銅微粒子分散水溶液中の水分の一部を除去して、
又は、該銅微粒子分散水溶液に存在する水分の一部と、炭素数が３〜８のアルコール、分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコール、及びアルカノールアミンから選択される１種又は２種以上の一部を除去して、
水溶液中の銅微粒子濃度が１〜６０質量％の分散水溶液を得る工程（工程３）
を含むことを特徴とする、銅微粒子分散水溶液の製造方法。 Copper fine particles having an average primary particle diameter of 1 to 150 nm are dispersed in an aqueous solution in which at least a part of the surface is covered with a dispersant composed of two or more elements selected from carbon, hydrogen, oxygen, and nitrogen. A method for producing a copper fine particle-dispersed aqueous solution,
(I) selected from copper hydroxide, copper nitrate, copper nitrite, copper acetate, copper formate, copper citrate, copper oxalate, copper gluconate, copper benzoate, copper tartrate, copper oleate, and copper acetylacetone copper ions formed from one or more in the presence of the dispersant, carbon, hydrogen, oxygen, and adjusted to pH9.2 or by pH adjustment agent comprising two or more elements selected from nitrogen A step of obtaining a water-soluble copper ammine complex by the following reaction with ammonia in an aqueous ammonia solution (step 1),
Cu 2+ + 4NH 3 → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+
Or Cu 2+ + 4NH 4 (OH) → [Cu (NH 3 ) 4 ] 2+ + 4H 2 O
(Ii) an aqueous solution containing copper ammine complex obtained in the step 1, by a reduction reaction of the following was added hydrazine as a reducing agent to form a copper fine particles at least part of the surface is covered with the dispersant Process (process 2),
Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − → Cu + 2NH 3
Or Cu (NH 3 ) 2 2+ + 2e − + 2H 2 O → Cu + 2NH 4 (OH)
(Iii) One or more concentration operations selected from ultrasonic irradiation, filtration with a reverse osmosis membrane, filtration with an ultrafiltration membrane, and vacuum dehydration with respect to the aqueous copper fine particle dispersion obtained in Step 2 By doing
Removing a portion of the water in the aqueous copper fine particle dispersion;
Alternatively, one or two kinds selected from a part of water present in the aqueous copper fine particle dispersion, an alcohol having 3 to 8 carbon atoms, a polyhydric alcohol having two or more hydroxyl groups in the molecule, and an alkanolamine. Remove some of the above,
Step of obtaining a dispersed aqueous solution having a copper fine particle concentration in the aqueous solution of 1 to 60% by mass (Step 3)
The manufacturing method of the copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution characterized by including this.
前記分子中に２以上の水酸基を有する多価アルコールが、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、２−ブテン−１，４−ジオール、２，３−ブタンジオール、ペンタンジオール、ヘキサンジオール、オクタンジオール、グリセロール、１，１，１−トリスヒドロキシメチルエタン、２−エチル−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，３−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、グリセロール、トレイトレイトール、エリトリトール、ペンタエリスリトール、ペンチトール、キシリトール、リビトール、アラビトール、ヘキシトール、マンニトール、ソルビトール、ズルシトール、グリセリンアルデヒド、ジオキシアセトン、トレオース、エリトルロース、エリトロース、アラビノース、リボース、リブロース、キシロース、キシルロース、リキソース、グルコース、フルクトース、マンノース、イドース、ソルボース、グロース、タロース、タガトース、ガラクトース、アロース、アルトロース、ラクトース、イソマルトース、グルコヘプトース、ヘプトース、マルトトリオース、ラクツロース、及びトレハロースの中から選択される１種又は２種以上であり、並びに、
前記アルカノールアミンが、ジメタノールアミン、トリメタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、及びＮ−ｎ−ブチルジエタノールアミンの中から選択される１種又は２種以上である、請求項６に記載の銅微粒子分散水溶液の製造方法。 The alcohol having 3 to 8 carbon atoms is one or more selected from 1-propanol, 2-propanol, 2-butanol, and 2-methyl 2-propanol;
The polyhydric alcohol having two or more hydroxyl groups in the molecule is ethylene glycol, diethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1, 4-butanediol, 2-butene-1,4-diol, 2,3-butanediol, pentanediol, hexanediol, octanediol, glycerol, 1,1,1-trishydroxymethylethane, 2-ethyl-2- Hydroxymethyl-1,3-propanediol, 1,2,6-hexanetriol, 1,2,3-hexanetriol, 1,2,4-butanetriol, glycerol, threitolitol, erythritol, pentaerythritol, pentitol , Xylitol, ribitol, arabitol, hex Thor, mannitol, sorbitol, dulcitol, glyceraldehyde, dioxyacetone, threose, erythrulose, erythrose, arabinose, ribose, ribulose, xylose, xylulose, lyxose, glucose, fructose, mannose, idose, sorbose, growth, talose, tagatose, galactose , Allose, altrose, lactose, isomaltose, glucoheptose, heptose, maltotriose, lactulose, and trehalose, and
The alkanolamine is selected from dimethanolamine, trimethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, and Nn-butyldiethanolamine. The manufacturing method of the copper fine particle dispersion | distribution aqueous solution of Claim 6 which is 1 type (s) or 2 or more types.
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