JP5030060B2 - 電気信号接続装置 - Google Patents
電気信号接続装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5030060B2 JP5030060B2 JP2007223243A JP2007223243A JP5030060B2 JP 5030060 B2 JP5030060 B2 JP 5030060B2 JP 2007223243 A JP2007223243 A JP 2007223243A JP 2007223243 A JP2007223243 A JP 2007223243A JP 5030060 B2 JP5030060 B2 JP 5030060B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- circuit board
- resin film
- support
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07364—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
- G01R1/07378—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate adapter, e.g. space transformers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
11a,11b、11c パッド
111a、111b パッド
2 回路基板
21 端子
22、201、202 穴
23 接続パッド
24 内層回路パターン
221〜227 穴配列の行数
250 範囲
3、30a、30b、30c 樹脂フィルム型プローブ
300、300−1〜300−3 樹脂フィルム型プローブ
301 樹脂フィルム
302 導体パターン
303−1〜303−n 平行梁
304−1〜304−m スリット
305 切り欠き
306 固定部
307 垂直プローブ
308 回転変形部
309 回転中心
31 プローブ先端部
310 プローブ先端部
311 出力端子
312 アーム部
313 補強部
314 切り欠き
32 出力端子
350 プローブ組立
4 プローブユニット
40 プローブ保持具
41、401 支持棒
42、403、404 固定用爪
402 支持板
5 固定枠
52、53、520、521、522、530 支持材
54、540 開口部
55、550、550A、550B 固定具
561、571 スリット
562、572 先端部
563、573 挿入部
564、574 係止部
6 整列シート
601 樹脂フィルム
611a、611b スリット
7 プローブカード
71 カード基板
72 端子
8 ウェーハ
81 被検査半導体チップ
82 パッド
91 プローブ
92 プローブ整列固定機能
93 変換基板
94 配線
Claims (3)
- 銅箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記銅箔をエッチング加工して樹脂フィルム上にプローブ機能を含む導電体から成る導電パターンを形成し、前記樹脂フィルムの一辺から突き出した導電体をプローブ先端部とし、前記プローブの反対側の辺から突き出した導電体をテスタに電気的に接続される回路基板への出力端子とした樹脂フィルム型プローブを使用したプローブにおいて、
1つ又は複数の被検査半導体チップのパッドに対応する複数の前記樹脂フィルム型プローブを積層又は並列配置した状態で複数の支持棒により保持したプローブユニットと、
複数の開口部を設けた格子状支持体であって前記開口部ごとに前記プローブユニットを独立に配置固定した前記格子状支持体から成り、
前記格子状支持体の前記回路基板と接続する側に複数の突起状の固定具を設け、前記回路基板の相当する穴に嵌合することにより前記格子状支持体を前記回路基板に固定し、
前記固定具の挿入部外径と相当する前記回路基板の穴の内径との嵌合時における差異が前記回路基板の中心近傍においてはゼロ又は微小であり、前記中心近傍以外の位置においては前記中心近傍における差異より大きく、また、
前記中心近傍以外の位置における前記固定具の挿入部外径と相当する前記回路基板の穴の内径との嵌合時における差異が、前記回路基板の外周に位置するに従って連続的又は断続的に大きくなることを特徴とする電気信号接続装置。 - 前記中心近傍以外の位置における前記固定具の作用が、前記回路基板面方向(xy方向)に拘束されず、
前記樹脂フィルム型プローブの前記出力端子が、前記格子状支持体を前記回路基板に固定した状態において前記出力端子が一定以上の押圧力にて前記回路基板端子と接触し、かつ前記回路基板面方向(xy方向)に拘束されていないことを特徴とする請求項1記載の電気信号接続装置。 - 少なくとも前記格子状支持体の熱膨張係数が半導体ウエーハの熱膨張係数と近似である材料から形成され、
プローブのパッドとの接触部近傍における断面形状より僅かに大きく、接触するパッドの少なくとも1方向のパッド幅と同一若しくは該パッド幅よりも小さい形状のスリットを有するプローブ整列シートを設け、前記プローブ整列シートのスリットを被検査半導体チップの各々のパッドの一部又は全てに対応する位置に複数配置したことを特徴とする請求項1記載の電気信号接続装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007223243A JP5030060B2 (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 電気信号接続装置 |
TW097127693A TW200907359A (en) | 2007-08-01 | 2008-07-21 | Electrical signal connector |
US12/180,695 US7622937B2 (en) | 2007-08-01 | 2008-07-28 | Electrical signal connector |
CN2008101350416A CN101359000B (zh) | 2007-08-01 | 2008-07-29 | 电气讯号接续装置 |
KR1020080075283A KR20090013717A (ko) | 2007-08-01 | 2008-07-31 | 전기 신호 접속 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007223243A JP5030060B2 (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 電気信号接続装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009036745A JP2009036745A (ja) | 2009-02-19 |
JP2009036745A5 JP2009036745A5 (ja) | 2010-10-07 |
JP5030060B2 true JP5030060B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=40331500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007223243A Expired - Fee Related JP5030060B2 (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 電気信号接続装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7622937B2 (ja) |
JP (1) | JP5030060B2 (ja) |
KR (1) | KR20090013717A (ja) |
CN (1) | CN101359000B (ja) |
TW (1) | TW200907359A (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5077794B2 (ja) * | 2007-08-02 | 2012-11-21 | 軍生 木本 | プローブ組立体 |
JP5099487B2 (ja) * | 2007-08-03 | 2012-12-19 | 軍生 木本 | 複数梁合成型接触子 |
JP5288248B2 (ja) | 2008-06-04 | 2013-09-11 | 軍生 木本 | 電気信号接続装置 |
JP5364877B2 (ja) * | 2009-04-28 | 2013-12-11 | 有限会社清田製作所 | 積層型プローブ |
WO2011036718A1 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 株式会社アドバンテスト | プローブ装置および試験装置 |
JP2011141126A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-07-21 | Toshiba Corp | プローブカード |
CN102156205B (zh) * | 2010-02-11 | 2013-06-19 | 旺矽科技股份有限公司 | 探针卡及用于该探针卡的印刷电路板 |
CN103048576A (zh) * | 2013-01-24 | 2013-04-17 | 昆山尼赛拉电子器材有限公司 | 端子检测治具 |
CN112309486B (zh) * | 2019-07-26 | 2024-04-12 | 第一检测有限公司 | 芯片测试装置 |
TWI749690B (zh) * | 2020-08-10 | 2021-12-11 | 京元電子股份有限公司 | 半導體元件預燒測試模組及其預燒測試裝置 |
CN115616259B (zh) * | 2022-09-26 | 2023-12-08 | 上海泽丰半导体科技有限公司 | 薄膜探针卡水平调节装置及薄膜探针卡 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5829128A (en) | 1993-11-16 | 1998-11-03 | Formfactor, Inc. | Method of mounting resilient contact structures to semiconductor devices |
US5084672A (en) * | 1989-02-21 | 1992-01-28 | Giga Probe, Inc. | Multi-point probe assembly for testing electronic device |
US5059898A (en) * | 1990-08-09 | 1991-10-22 | Tektronix, Inc. | Wafer probe with transparent loading member |
US6034534A (en) * | 1995-05-25 | 2000-03-07 | Kiyota; Shigeo | Laminated contact probe for inspection of ultra-microscopic pitch |
US5736850A (en) | 1995-09-11 | 1998-04-07 | Teradyne, Inc. | Configurable probe card for automatic test equipment |
JP3022312B2 (ja) | 1996-04-15 | 2000-03-21 | 日本電気株式会社 | プローブカードの製造方法 |
KR100471341B1 (ko) * | 1996-05-23 | 2005-07-21 | 제네시스 테크놀로지 가부시키가이샤 | 콘택트프로브및그것을구비한프로브장치 |
JP3172760B2 (ja) * | 1997-03-07 | 2001-06-04 | 東京エレクトロン株式会社 | バキュームコンタクタ |
US6586954B2 (en) * | 1998-02-10 | 2003-07-01 | Celadon Systems, Inc. | Probe tile for probing semiconductor wafer |
ATE260470T1 (de) | 1997-11-05 | 2004-03-15 | Feinmetall Gmbh | Prüfkopf für mikrostrukturen mit schnittstelle |
JP3323449B2 (ja) | 1998-11-18 | 2002-09-09 | 日本碍子株式会社 | 半導体用ソケット |
JP4185218B2 (ja) * | 1999-04-02 | 2008-11-26 | 株式会社ヨコオ | コンタクトプローブとその製造方法、および前記コンタクトプローブを用いたプローブ装置とその製造方法 |
US6330744B1 (en) | 1999-07-12 | 2001-12-18 | Pjc Technologies, Inc. | Customized electrical test probe head using uniform probe assemblies |
US6496612B1 (en) | 1999-09-23 | 2002-12-17 | Arizona State University | Electronically latching micro-magnetic switches and method of operating same |
JP4355074B2 (ja) | 1999-12-27 | 2009-10-28 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード |
US6496026B1 (en) * | 2000-02-25 | 2002-12-17 | Microconnect, Inc. | Method of manufacturing and testing an electronic device using a contact device having fingers and a mechanical ground |
JP2002296297A (ja) | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Isao Kimoto | 接触子組立体 |
JP4496456B2 (ja) | 2001-09-03 | 2010-07-07 | 軍生 木本 | プローバ装置 |
JP3829099B2 (ja) * | 2001-11-21 | 2006-10-04 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP4008408B2 (ja) | 2003-11-07 | 2007-11-14 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
JP4721099B2 (ja) * | 2004-03-16 | 2011-07-13 | 軍生 木本 | 電気信号接続装置及びこれを用いたプローブ組立体並びにプローバ装置 |
TWI286606B (en) * | 2004-03-16 | 2007-09-11 | Gunsei Kimoto | Electric signal connecting device, and probe assembly and prober device using it |
JP4107275B2 (ja) * | 2004-09-09 | 2008-06-25 | セイコーエプソン株式会社 | 検査用プローブ及び検査装置、検査用プローブの製造方法 |
JP4815192B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2011-11-16 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP5077794B2 (ja) * | 2007-08-02 | 2012-11-21 | 軍生 木本 | プローブ組立体 |
-
2007
- 2007-08-01 JP JP2007223243A patent/JP5030060B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-21 TW TW097127693A patent/TW200907359A/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-07-28 US US12/180,695 patent/US7622937B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-29 CN CN2008101350416A patent/CN101359000B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-31 KR KR1020080075283A patent/KR20090013717A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI375039B (ja) | 2012-10-21 |
US20090033348A1 (en) | 2009-02-05 |
TW200907359A (en) | 2009-02-16 |
CN101359000A (zh) | 2009-02-04 |
JP2009036745A (ja) | 2009-02-19 |
US7622937B2 (en) | 2009-11-24 |
KR20090013717A (ko) | 2009-02-05 |
CN101359000B (zh) | 2012-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5030060B2 (ja) | 電気信号接続装置 | |
JP4721099B2 (ja) | 電気信号接続装置及びこれを用いたプローブ組立体並びにプローバ装置 | |
JP4974021B2 (ja) | プローブ組立体 | |
US11782075B2 (en) | Probe card for a testing apparatus of electronic devices | |
US7423441B2 (en) | Contactor assembly | |
US8493086B2 (en) | Electrical signal connector | |
JP5024861B2 (ja) | プローブカード | |
JP5077794B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JP2012093375A (ja) | 接触子組立体を用いたlsiチップ検査装置 | |
JP2012093328A (ja) | プローブカード | |
JP4936275B2 (ja) | 接触子組立体 | |
JP4962929B2 (ja) | プローバ装置及びこれに用いるプローブ組立体 | |
JP2009257910A (ja) | 二重弾性機構プローブカードとその製造方法 | |
JP2020016631A (ja) | プローブユニット | |
JP2007225581A (ja) | 格子状配列プローブ組立体 | |
JP5077736B2 (ja) | 接触子組立体及びこれを用いたlsiチップ検査装置 | |
KR101363368B1 (ko) | 인쇄회로기판 검사장치 | |
JP5333829B2 (ja) | プローブ組立体 | |
KR101306839B1 (ko) | 신호 분기 기판을 갖는 프로브 카드 | |
JP2010091542A (ja) | プローブ組立体 | |
JP2014202557A (ja) | プローブユニット、プローブ装置、および試験装置 | |
KR20130118021A (ko) | 프로브 카드 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100730 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100730 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111014 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120417 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R155 | Notification before disposition of declining of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R155 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120619 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |