JP5077794B2 - プローブ組立体 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態1に係るプローブの構造説明図(断面図)である。図1において、10はプローブユニット、411は被検査チップ、421a及び421bは1つの被検査チップ411上のそれぞれ対向するパッド(図は周辺配列パッドの例を示す)、31は変換配線板、355a、356aは変換配線板上のプローブ側入出力電気端子である。
また、これらの異なる種類のプローブ構成を同一の樹脂フィルム上に一括してエッチングにより作製し、その後切断することにより、異なる種類のプローブ構成でも廉価に作製することが可能である。
図5に、本発明の第2の実施例に係るプローブ構造を示す。図5において、図2と異なる点は、プローブ付樹脂フィルム出力端子形状である。
10、10−1〜n プローブユニット
11,12、13 プローブ付樹脂フィルム
111、121,131 樹脂フィルム
112、132 導体パターン
113a、133 平行梁
113b、133b 固定部
113c、133c 垂直プローブ
113d アーム部
114、134 スリット
115、135 回転変形部
115c、135c 回転中心
116、126 プローブ先端部
117、127、137 出力端子
118 補強部
119a、119b、119c、119d、139a 切り欠き
137a 端子
137s スリット
15、16 固定シート
151、161 樹脂フィルム
151a スリット
171、172、173 プローブ支持棒
2 プローブカード
21 カード基板
30 変換配線基板
301 プローブ
302 プローブ整列固定機能
31 変換配線基板
32−1、32−2 プローブ端子
34−1、2 パターン
351、352 バイアホール
351a、352a ランド
355a、356a 電気端子
37−1 第1層
37−2 第2層
37−n 第n層
371 スルーホール
4 ウェーハ
41、411、412 被検査チップ
42、421a、421b チップパッド
Claims (3)
- 金属箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記金属箔をエッチング加工して樹脂フィルム上にプローブ機能を含む導電体から成る導電パターンを形成し、前記プローブ付樹脂フィルムを複数枚積層又は並列設置し半導体チップの電極パッドに前記プローブの先端部を一括接触させて半導体チップの回路検査を行うためのプローブ組立体において、
前記プローブとの間を導体パターンにより接続するとともに、前記プローブと同一平面内でかつ、当該プローブに対して、前記電極パッドとは第1の方向(z方向)の反対側に回路基板の接続用ランドと接触する電気端子部を備え、
前記電気端子部の第1の方向(z方向)における長さが前記回路基板の厚さと概略同一長であり、第2の方向(x方向)幅は前記回路基板に設けられたスルーホールの内径より僅かに大きく設定されており、
前記プローブ付樹脂フィルムを積層又は並列設置した時にそれぞれの第2の方向(x方向)における前記電気端子部の配置位置が、回路基板上の接続用ランドの一部又は全てと一致するべく配置されるように樹脂フィルムに各々独立の位置に形成されており、
前記プローブ付樹脂フィルムを積層した時の前記電気端子部の第3の方向(y方向)におけるピッチが、1つの前記プローブ付樹脂フィルムの厚さの整数倍である、
ことを特徴とするプローブ組立体。 - 前記プローブ付樹脂フィルムを積層又は並列設置した時の前記電気端子部の第3の方向(y方向)におけるピッチが、回路基板上の接続用ランドの一部又は全てと一致するべく配置されるように設置したことを特徴とする請求項1記載のプローブ組立体。
- プローブのパッドとの接触部近傍における断面形状より僅かに大きく、隣接するパッド方向(y方向)におけるパッド幅と少なくとも同一若しくは該パッド幅よりも小さい形状のスリットを有するプローブ配列用固定シートを設け、
前記プローブ配列用固定シートのスリットを被検査半導体チップの各々のパッドの一部又は全てに対応する位置に複数配置し、
前記プローブ配列用固定シートのスリットにあらかじめプローブ組立体の各々のプローブ先端部を通過させて設置した、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のプローブ組立体。
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