JP4815192B2 - 電気的接続装置 - Google Patents
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Description
このような電気的接続装置は、一般的に、テスタに接続された多数の電気接続部が設けられたプローブ基板と、該基板上に基端を当接させる多数のプローブとを備える。各プローブの先端が被検査体の電気回路の電極パッドに当接されることにより、被検査体とテスタとが接続され、所定の電気的検査が行われる。
また、前記リング状部材を確実に保持するために、該リング状部材を前記桟体に結合するための多数の締結部品510をリング状部材の周方向に配列する必要があることから、構成が複雑化する。
プローブとして、たわみ変形可能の単一の針部材を用いることができるが、各プローブと基板の電気接続部とのより確実な電気的接続を可能とする上で、前記したように、ばね部材を組み込んだプローブ組立体とすることが望ましい。
配線基板20は、テスタ16に接続される配線路(図示せず)が形成された全体に円形のポリイミド樹脂から成る従来よく知られた回路基板であり、その下面20aには、前記配線路に接続される電気接続部26(図6参照)が半導体ウエハ12の電極パッド14に対応してマトリックス状に配列されている。
この半導体ウエハ12の室温から85℃の変化を生じたときの該半導体ウエハの周辺部での径方向の最大伸び量をδとすると、このδは、次式で求められる。
また、ベース板部材24aおよびガイド板部材24cの結合に多数の締結手段を用いることなく、単一の締結手段を構成する中央ボルト50aを用いて両者を中央部で結合することができるので、その結合構造の簡素化が図られることから、比較的単純な構成によって、対応する電極パッド14とテスタ16との確実な電気的接続を得ることができる。
また、保持板として、3層構造の保持板24を示したが、必要に応じて、中間板部材24bを不要とすることができ、また、4層以上の多層構造とすることができる。
12 半導体ウエハ(被検査体)
14 電極パッド
16 テスタ
20 配線基板
22、122 プローブ(プローブ組立体)
24 保持板
24a ベース板部材
24b 中間板部材
24c ガイド板部材
26 電気接続部
34、38 貫通孔
42 長溝
Claims (6)
- 被検査体の電気的検査のために前記被検査体に設けられた電極パッドとテスタとを接続する電気的接続装置であって、
前記テスタに接続される配線路が設けられ、該配線路を経て前記テスタに接続される複数の電気接続部が一方の面に形成された基板と、
基端がそれぞれに対応する前記電気接続部に電気的に接続され、先端が前記被検査体の電極パッドに当接される複数のプローブと、
前記基板の前記一方の面に配置され、前記プローブを前記基板に保持するための保持板とを含み、
該保持板は、一方の面が前記基板の前記一方の面に向き合うように該基板に沿って配置され、前記プローブの前記基端を対応する前記電気接続部に位置決める貫通孔が形成されたベース板部材と、前記貫通孔に整合し前記プローブの前記先端を対応する前記被検査体の前記電極パッドに位置決める貫通孔が形成され、前記ベース部材の他方の面に沿って配置されたガイド板部材と、前記ベース板部材と前記ガイド板部材との間に配置された中間板部材とを備える積層構造を有し、
前記ガイド板部材は、セラミック板から成り、その中央部で前記ベース板部材に連結され、前記中央部を除く部分の前記ベース板部材に沿った熱伸縮が自在であり、
前記中間板部材には、複数のプローブを受け入れるべくその板厚方向に貫通しかつ前記中間板部材の面上で前記貫通方向とほぼ直角に伸びる複数の長溝が互いに平行に形成されており、
前記ガイド板部材の前記貫通孔の案内作用により、該貫通孔を貫通する前記プローブは前記ガイド板部材の熱伸縮に伴ってたわみ変形が可能であることを特徴とする、電気接続装置。 - 前記被検査体は半導体ウエハである、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記ベース板部材、中間板部材および前記ガイド板部材はセラミック板からなる、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記基板の他方の面には、該面に沿って支持板が配置されており、前記ガイド板部材は、該ガイド板部材の前記中央部および前記ベース板部材を貫通するねじ部材により、前記ベース板部材と共に前記支持板に保持されている、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブは、スリーブ部材と、該スリーブ部材の一端から突出するように前記スリーブ部材に摺動可能に収容される針部材と、前記スリーブ内に収容され前記針部材に突出方向への偏倚力を与えるばね部材とを備え、前記針部材は前記スリーブ部材に対し揺動可能に嵌合されている、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブは、前記スリーブ部材が前記ベース板部材の前記貫通孔を経て他端を前記基板の前記電気接続部に当接し、また前記針部材が前記ガイド板部材の前記貫通孔を経て先端を前記被検査体の前記電極パッドに当接させるように前記保持板に組み込まれ、前記針部材には前記ガイド板部材の前記貫通孔の縁部に係合して前記保持板からの脱落を防止する係止部が形成されている、請求項5に記載の電気的接続装置。
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