JP4956328B2 - 搬送アームの移動位置の調整方法及び位置検出用治具 - Google Patents
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Description
40 スピンチャック
61 冷却板
70 チャック
90 載置板
150 静電容量センサ
152〜155 静電容量検出電極
A 載置部
S 位置検出用ウェハ
W ウェハ
Claims (14)
- 基板を載置する載置部に対し基板を搬送する搬送アームの移動位置の調整方法であって、
目標物との間の静電容量を検出して当該目標物に対する相対的な位置を検出可能な静電容量センサを有する基板形状の位置検出用治具を、搬送アームに支持させる工程と、
前記搬送アームにより前記位置検出用治具を搬送し、前記載置部に載置する工程と、
前記位置検出用治具の中心部に設けられた前記静電容量センサの第1の電極と、当該第1の電極を囲む複数の第2の電極により、前記載置部の中心に、当該載置部の上面とは異なる高さに形成された目標物に対する前記位置検出用治具の位置を検出し、
前記位置検出用治具の載置位置に基づいて、前記位置検出用治具の搬送時の前記搬送アームの移動位置を調整する工程と、を有することを特徴とする、搬送アームの移動位置の調整方法。 - 前記位置検出用治具を、前記搬送アームに支持させる工程と、前記搬送アームにより前記位置検出用治具を搬送し、前記載置部に載置する工程との間に、
前記搬送アームに設けられた基板の支持部に対応する位置に配置された、位置検出用治具の静電容量センサの第3電極により、前記支持部に対する前記位置検出用治具の位置を検出し、当該位置検出用治具が前記支持部に適正に支持されているか否かを検出することを特徴とする、請求項1に記載の搬送アームの移動位置の調整方法。 - 搬送アームにより位置検出用治具を載置部の上方まで移動させ、その後前記搬送アームにより位置検出用治具を下降させて載置部に載置する場合において、
位置検出用治具を下降させる前に、位置検出用治具の前記第1の電極及び前記第2の電極により、載置部に形成された前記目標物に対する位置検出用治具の位置を検出し、前記載置部の上方における位置検出用治具の水平方向の位置を検出する工程を有することを特徴とする、請求項2に記載の搬送アームの移動位置の調整方法。 - 搬送アームにより位置検出用治具を載置部の上方まで移動させ、その後前記位置検出用治具を載置部の昇降部材に受け渡し、その後位置検出用治具を昇降部材により下降させて載置部に載置する場合において、
位置検出用治具を下降させる前に、位置検出用治具の静電容量センサの第4の電極により、目標物としての昇降部材に対する位置検出用治具の位置を検出し、前記載置部の上方における位置検出用治具の水平方向の位置を検出する工程を有することを特徴とする、請求項2に記載の搬送アームの移動位置の調整方法。 - 搬送アームにより位置検出用治具を載置部の上方まで移動させ、その後前記搬送アームにより位置検出用治具を下降させて載置部に載置する場合において、
前記搬送アームに設けられた基板の支持部と位置検出用治具の前記第3の電極との距離の変動を検出して、搬送アームと載置部との間で位置検出用治具を授受するときの上下方向の位置を検出する工程と、
当該位置検出用治具の授受のときの上下方向の位置に基づいて、搬送アームの移動位置を調整する工程と、を有することを特徴とする、請求項2または3のいずれかに記載の搬送アームの移動位置の調整方法。 - 搬送アームから載置部に位置検出用治具が受け渡されたときと、載置部から搬送アームに位置検出用治具が受け渡されたときの上下方向の位置を検出することを特徴とする、請求項5に記載の搬送アームの移動位置の調整方法。
- 搬送アームにより位置検出用治具を載置部の上方まで移動させ、その後前記位置検出用治具を載置部の昇降部材に受け渡し、その後前記位置検出用治具を昇降部材により下降させて載置部に載置する場合において、
搬送アームの位置検出用治具の支持部と位置検出用治具の前記第3の電極との距離の変動を検出して、搬送アームと昇降部材との間で位置検出用治具を授受するときの上下方向の位置を検出する工程と、
当該位置検出用治具の授受のときの上下方向の位置に基づいて、搬送アームの移動位置を調整する工程と、を有することを特徴とする、請求項2または4のいずれかに記載の搬送アームの移動位置の調整方法。 - 搬送アームから昇降部材に位置検出用治具が受け渡されたときと、昇降部材から搬送アームに位置検出用治具が受け渡されたときの上下方向の位置を検出することを特徴とする、請求項7に記載の搬送アームの移動位置の調整方法。
- 搬送アームにより位置検出用治具を載置部の上方まで移動させ、その後位置検出用治具を下降させて載置部に載置する場合において、
搬送アームにより位置検出用治具を載置部の上方に移動させた際に、位置検出用治具の静電容量センサの第5の電極により、載置部に形成された目標物との距離を検出し、前記載置部の上方における位置検出用治具の上下方向の位置を検出する工程と、
当該位置検出用治具の上下方向の位置に基づいて、搬送アームが載置部の上方に移動する際の上下方向の位置を調整する工程と、を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載の搬送アームの移動位置の調整方法。 - 搬送アームにより位置検出用治具を載置部の上方に移動させた際に、前記位置検出用治具の前記複数第5の電極により、前記載置部に形成された複数の目標物との距離を検出して、搬送アームにおける位置検出用治具の水平性を検出する工程を有することを特徴とする、請求項9に記載の搬送アームの移動位置の調整方法。
- 前記載置部が、載置した基板を回転させる機能を有する場合には、
前記位置検出用治具の中心に加速度センサが設けられ、
前記載置部に位置検出用治具を載置し、当該載置部により位置検出用治具を回転させ、前記静電容量センサに代えて加速度センサにより位置検出用治具の回転の加速度を検出して、前記載置部における位置検出用治具の載置位置を検出することを特徴とする、請求項1〜10のいずれかに記載の搬送アームの移動位置の調整方法。 - 基板を載置する載置部に対し基板を搬送する搬送アームの移動位置の調整を行うための位置検出用治具であって、
搬送アームが搬送可能な基板形状を有し、
目標物との間の静電容量を検出する静電容量センサを有し、
前記静電容量センサは、目標物との間で静電容量を形成する静電容量検出電極と、前記静電容量検出電極に接続され、静電容量の検出動作を制御する制御回路と、を有し、
前記静電容量検出電極は、
載置部の中心に、当該載置部の上面とは異なる高さに形成された目標物との相対的な位置を検出可能な、前記基板形状の中心部に設けられた第1の電極及び前記第1の電極を囲む複数の第2の電極と、搬送アームの支持部に対応する位置に設けられた第3の電極を有することを特徴とする、位置検出用治具。 - 前記静電容量検出電極は、載置部上で基板を昇降する昇降部材との相対的な位置を検出可能な第4の電極を有することを特徴とする、請求項12に記載の位置検出用治具。
- 前記静電容量検出電極は、載置部の上面の複数の目標物に対応する位置に設けられた複数の第5の電極を有することを特徴とする、請求項12または13のいずれかに記載の位置検出用治具。
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