JP5884624B2 - 基板処理装置、調整方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
予め設定された保持位置にて基板が水平に保持されると共に、駆動部により進退可能、及び進退方向に対して左右方向に移動可能な保持部材を備え、この保持部材を前記処理モジュールに臨む受け渡し開始位置から当該処理モジュールに向かって移動させることにより、前記保持部材から前記載置台に基板を受け渡す搬送機構と、
前記載置位置に対して水平方向の位置が決められ、前進する保持部材上の基板が突き当たって、前記受け渡し開始位置と仮の受け渡し開始位置とのずれ量に応じて、前記保持部材に対する基板の位置がずれるように設定された位置合わせ用のガイド部と、
前記保持部材に保持された基板の位置を検出する位置検出部と、
基板が保持された保持部材を前記仮の受け渡し開始位置から決められた量だけ移動させて、当該基板を前記ガイド部に突き当て、突き当てた後における前記位置検出部の検出結果に基づいて基板処理時の前記受け渡し開始位置を求める制御部と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記ガイド部は、基板が突き当たるときに、基板の中心を通り、且つ、基板の進行方向に沿ったラインの左右に配置されていること。またこのとき、前記ガイド部は、その中心軸を上下方向に向けて、予め設定された距離だけ離れた位置に配置された2個の円柱からなり、前記保持部材は、これらの円柱の側壁面に基板の側面を突き当てること。
(b)前記駆動部は、上下方向にも前記保持部材を移動させ、前記保持部材が前記載置台に基板を受け渡す高さ位置を検出する高さ検出部を備え、前記ガイド部は、前記載置位置に対して上下方向の位置が決められ、前記制御部は、前記ガイド部に基板を突き当てる前に、保持部材が載置台に基板を受け渡す高さ位置を検出し、この検出結果に基づいて、前記ガイド部に基板を突き当てる高さ位置を求めること。このとき、前記処理モジュールは、基板の搬入出口を備えた筐体内に設けられ、前記ガイド部は、前記筐体の外側壁面における、前記搬入出口の上下方向にずれた位置に設けられていること。
(c)前記制御部は、前記位置検出部の検出結果に基づいて基板処理時の前記受け渡し開始位置を求めた後、この受け渡し開始位置を新たな仮の受け渡し開始位置として、再度、基板を前記ガイド部に突き当てて、前記位置検出部の検出結果から特定される前記ずれ量が予め設定されたしきい値以下となるまで、基板処理時の前記受け渡し開始位置を求める動作を繰り返すこと。
更に受け渡しモジュールTRSは1つのモジュールで構成されるものに限らず、複数のモジュールで構成されていてもよい。
更にまた露光を終えたウエハWは、インターフェイスブロックS3の受け渡しアームにより、タワーT2の受け渡しモジュールTRSを介して単位ブロックB5、B6に対して交互に搬入されることになる。
図4、図5に示すように、搬送アームA1、A2には、2枚のフォーク23A、23B、基台231、回転軸232、進退部233A、233B、及び昇降台234(図1参照)が設けられている。
図7、図8に示すように本例のガイド部45は、搬入出口42の下方側に設けられているので、フォーク23A、23Bに保持されたウエハWの側面をガイド部45に突き当てるためには、搬入出口42への進入位置よりも下方側へフォーク23A、23Bを降下させる必要がある。このとき、ガイド部45の高さ位置に対してフォーク23A、23Bの高さがずれていると、ウエハWを正しくガイド部45に突き当てることができず、その後の位置補正が行えなくなってしまうので、フォーク23A、23Bの高さ位置を把握する動作を実行する。
Δa[mm]={(a'点の画素数)−(a点の画素数)}×画素間隔[mm]
…(1)
Δb[mm]={(b'点の画素数)−(b点の画素数)}×画素間隔[mm]
…(2)
Δc[mm]={(c'点の画素数)−(c点の画素数)}×画素間隔[mm]
…(3)
Δd[mm]={(d'点の画素数)−(d点の画素数)}×画素間隔[mm]
…(4)
と表すことができる。なお、a点の画素数とは、センサ32A〜32DのウエハWの中心側における始点からa点までにおける画素の数である。
a点 (X1,Y1)=(X−Rsinθ1,Y−Rcosθ1) …(5)
a'点 (X1',Y1')=(X1−Δasinθ1,Y1−Δacosθ1)
=(X−(R+Δa)sinθ1,Y−(R+Δa)cosθ1) …(6)
b点 (X2,Y2)=(X−Rsinθ2,Y+Rcosθ2) …(7)
b'点 (X2',Y2')=(X2−Δbsinθ2,Y2+Δbcosθ2)
=(X−(R+Δb)sinθ2,Y+(R+Δb)cosθ2) …(8)
c点 (X3,Y3)=(X+Rsinθ3,Y+Rcosθ3) …(9)
c'点 (X3',Y3')=(X3+Δcsinθ3,Y3+Δccosθ3)
=(X+(R+Δc)sinθ3,Y+(R+Δc)cosθ3) …(10)
d点 (X4,Y4)=(X+Rsinθ4,Y−Rcosθ4) … (11)
d'点 (X4',Y4')=(X4+Δdsinθ4,Y4−Δdcosθ4)
=(X+(R+Δd)sinθ4,Y−(R+Δd)cosθ4) …(12)
したがって、式(6)、式(8)、式(10)、式(12)により、a'点(X1',Y1')、b'点(X2',Y2')、c'点(X3',Y3')、d'点(X4',Y4')の座標を求めることができる。
上記の式において、Xは、ウエハWが適正位置にあるときのウエハWの中心のX座標であり、Yは、ウエハWが適正位置にあるときのウエハWの中心のY座標である。また、X軸はフォーク23A、23Bの進退方向に一致し、Y軸は微調整の際に回転軸232を移動させる左右方向に一致している。
A1、A2 搬送アーム
ADH1〜ADH4
疎水化処理モジュール
23A、23B
フォーク
32A〜32D
43 熱板
430 載置位置
45 ガイド部
5 制御部
Claims (11)
- 予め設定された載置位置に円形の基板を水平に載置するための載置台を備え、この載置台上の基板の処理を行う処理モジュールと、
予め設定された保持位置にて基板が水平に保持されると共に、駆動部により進退可能、及び進退方向に対して左右方向に移動可能な保持部材を備え、この保持部材を前記処理モジュールに臨む受け渡し開始位置から当該処理モジュールに向かって移動させることにより、前記保持部材から前記載置台に基板を受け渡す搬送機構と、
前記載置位置に対して水平方向の位置が決められ、前進する保持部材上の基板が突き当たって、前記受け渡し開始位置と仮の受け渡し開始位置とのずれ量に応じて、前記保持部材に対する基板の位置がずれるように設定された位置合わせ用のガイド部と、
前記保持部材に保持された基板の位置を検出する位置検出部と、
基板が保持された保持部材を前記仮の受け渡し開始位置から決められた量だけ移動させて、当該基板を前記ガイド部に突き当て、突き当てた後における前記位置検出部の検出結果に基づいて基板処理時の前記受け渡し開始位置を求める制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記ガイド部は、基板が突き当たるときに、基板の中心を通り、且つ、基板の進行方向に沿ったラインの左右に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記ガイド部は、その中心軸を上下方向に向けて、予め設定された距離だけ離れた位置に配置された2個の円柱からなり、前記保持部材は、これらの円柱の側壁面に基板の側面を突き当てることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記駆動部は、上下方向にも前記保持部材を移動させ、
前記保持部材が前記載置台に基板を受け渡す高さ位置を検出する高さ検出部を備え、
前記ガイド部は、前記載置位置に対して上下方向の位置が決められ、
前記制御部は、前記ガイド部に基板を突き当てる前に、保持部材が載置台に基板を受け渡す高さ位置を検出し、この検出結果に基づいて、前記ガイド部に基板を突き当てる高さ位置を求めることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記処理モジュールは、基板の搬入出口を備えた筐体内に設けられ、前記ガイド部は、前記筐体の外側壁面における、前記搬入出口の上下方向にずれた位置に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記位置検出部の検出結果に基づいて基板処理時の前記受け渡し開始位置を求めた後、この受け渡し開始位置を新たな仮の受け渡し開始位置として、再度、基板を前記ガイド部に突き当てて、前記位置検出部の検出結果から特定される前記ずれ量が予め設定されたしきい値以下となるまで、基板処理時の前記受け渡し開始位置を求める動作を繰り返すことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 基板の処理を行う処理モジュールに設けられ、円形の基板を水平に載置して処理を行うための予め設定された載置位置に基板を載置するための基板の受け渡し位置の調整方法であって、
前記処理モジュールに臨む受け渡し開始位置から当該処理モジュールに向かって移動させることにより、前記載置位置に基板を受け渡すために設けられ、進退可能、及び進退方向に対して左右方向に移動可能な保持部材の予め設定された保持位置に、基板を水平に保持する工程と、
前記載置位置に対して水平方向の位置が決められ、前進する保持部材上の基板が突き当たって、前記受け渡し開始位置と仮の受け渡し開始位置とのずれ量に応じて、前記保持部材に対する基板の位置がずれるように設定された位置合わせ用のガイド部に、前記保持部材を前記仮の受け渡し開始位置から決められた量だけ移動させて、当該保持部材に保持された基板を前記ガイド部に突き当て、突き当てた後における保持部材に保持された基板の位置を検出する工程と、
この検出結果に基づいて基板処理時の前記受け渡し開始位置を求める工程と、を含むことを特徴とする調整方法。 - 前記ガイド部は、基板が突き当たるときに、基板の中心を通り、且つ、基板の進行方向に沿ったラインの左右に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の調整方法。
- 前記ガイド部は、前記載置位置に対して上下方向の位置が決められ、
前記ガイド部に基板を突き当てる前に、保持部材が載置台に基板を受け渡す高さ位置を検出する工程と、
この検出結果に基づいて、前記ガイド部に基板を突き当てる高さ位置を求める工程と、を含むことを特徴とする請求項7または8に記載の調整方法。 - 前記基板処理時の前記受け渡し開始位置を求めた後、この受け渡し開始位置を新たな仮の受け渡し開始位置とする工程と、
再度、基板を前記ガイド部に突き当てて、突き当てた後における保持部材に保持された基板の位置を検出する工程と、を含み、前記ずれ量が予め設定されたしきい値以下となるまで、これらの工程を繰り返すことを特徴とする請求項7ないし9のいずれか一つに記載の調整方法。 - 載置台上の予め設定された載置位置に円形の基板を水平に載置して基板の処理を行う処理モジュールを備えた基板処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは請求項7ないし10のいずれか一つに記載された調整方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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