JP3319012B2 - ウエハ搬送制御方法 - Google Patents
ウエハ搬送制御方法Info
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Description
ウエハ自動搬送の搬送の制御方法に関し、特に、ウエハ
キャリア(以下キャリアという)内のウエハ搬出に適用
する技術に関するものである。
棚状のキャリア内のポケットに水平多段状に収納されて
おり、キャリア単位で管理されている。ウエハに各種処
理を施す場合、キャリア内のウエハを一枚づつ取り出し
て、処理装置まで搬送する装置として、マイクロコンピ
ュータにより自動制御され動作する自動搬送装置(以下
ロボットという)が使用される。
リア内の全てのポケットにウエハを入れておきキャリア
単位でウエハを管理する。ウエハには現在約300工程
ほどの処理が行われ、適宜検査を行い不良なウエハをキ
ャリアから取り除いていき補充は行わない。不良ウエハ
の生じる確率はそれぞれの処理装置によって決まるが、
キャリア内の全てのポケットにウエハが入っている確率
は工程を進むほど下がっていく。また、近年ユーザ固有
のASICのような多品種小数のICが製造されるとき
は、1枚のウエハから数百個のICチップができるの
で、数枚のウエハに固有の処理をすればよい。上記のよ
うに、ウエハはキャリア単位で処理されるので、この場
合には、はじめからキャリアには数枚のウエハしか入っ
ていない。このように、キャリア内のウエハが無いポケ
ットの数は、工程の進み具合や製品の種類によって大き
く変わるが、搬送にかかるタクトタイムは出来るだけ短
くすることが要求されているため、ロボットはウエハの
無いポケットをスキップする必要がある。
4に設けられたハンド1が、キャリア2内のウエハ3を
搬出する概略を説明する搬送装置概略図である。図2
(A)及び同図(B)は、図1に示すハンド1の詳細図
である。図3(A)乃至同図(D)と図4(A)及び同
図(B)とは、キャリア2内でのハンド1の位置を示す
図である。図1において、ロボット4は、PTP制御の
円筒座標ロボットである。ロボット4は、関節腕6の屈
伸によりハンド1を直線Xに沿って動かす。ロボット4
は、肩7を昇降することによってハンド1を直線Zと平
行に動かす。直線Xと直線Zは直交している。ロボット
4は、肩7を中心として旋回することによって、肩7と
ハンド1との距離を半径とした円周C方向に沿ってハン
ド1を動かす。キャリア2は、正面からのみウエハ3の
出し入れが可能であり、正面はロボット4側に向いてお
り、正面と直線Xとは垂直となるように設置し、かつ、
各々のウエハ3,3の群の中心を結ぶ線Z1は、直線X
と直交するように設置するとともに、ウエハ3とハンド
1とは平行となるように配置されている。図2(A)が
示すように、ハンド1にはウエハの重心を保持するのに
十分な保持部1aがある。図2(B)が示すように、保
持部1aは、キャリア2内のウエハ3,3の間に挿入で
きるように薄くなっている。
て、キャリア2内のウエハ3を下から順に搬出する。ま
ず、旋回動作及び昇降動作をして、搬出しようとするポ
ケットP内のウエハ3の裏面に当たらない高さに、ハン
ド1を構える。続いて、関節腕6を伸ばしてハンド1を
前進させて、保持部1aをウエハ3の下に挿入する。次
に、ハンド1を、ウエハ3が保持部1aのみに支えられ
るまで、遅い速度で上昇させ、吸着部5でウエハ3を吸
着して保持する。最後に、関節腕6を曲げてハンド1を
後退させ、保持しているウエハ3を目的の位置まで搬送
する。
すと、図3(A)に示すようにハンド1を構え、図3
(B)及び図4(A)に示すようにハンド1を前進し、
図3(C)及び図4(B)に示すようにハンド1を上昇
し、図3(D)に示すようにハンド1を後退する。図3
(A)のハンド1の位置をハンド位置HAとし、図3
(B)及び図4(A)のハンド1の位置をハンド位置H
Bとし、図3(C)及び図4(B)のハンド1の位置を
ハンド位置HCとし、図3(D)のハンド1の位置をハ
ンド位置HDとする。図4(A)及び同図(B)におい
て、P1,P2,・・・・,Pn,・・・・,PNのポ
ケットPは、キャリア2の下側から順に番号がつけられ
ており、n番目のポケットPnにある上記のハンド1の
位置をそれぞれハンド位置HAn、ハンド位置HBn、
ハンド位置HCn及びハンド位置HDnとする。
トP3、P5及びP6に示すように、ウエハ3が無い場
合について説明する。このようにウエハが無いことがあ
るために、ロボット4は、各々のポケットにおけるウエ
ハ3の有無を検出する必要があり、例えばポケット3に
ウエハ3が無ければ、このポケットP3を飛ばして次の
ポケットP4に進む必要がある。
ウエハ3の有無検出の手段として、特開平2−1487
52号公報に記載されたようなハンドが設けられてい
る。つまり、図2(A)及び同図(B)に示すように、
ウエハ保持部1aに取り付けられた第1光ファイバー8
とハンド本体1bに取り付けられた第2光ファイバー9
とを対向させたウエハ搭載確認用センサを設け、第1光
ファイバー8又は第2光ファイバー9のいずれか一方の
投光用光ファイバーから投光された光を、スリット11
を通って、他方の受光用光ファイバーに送るようにし、
この光路10がウエハ3によって遮られることを利用
し、ウエハ3の有無検出を行っていた。
作順序の説明を示す。同図において、k=1乃至Nは、
ポケットP1乃至PNに対応させた番号であって、k=
1のとき、すなわちポケットP1のウエハ3を搬送する
場合、ハンド1は、ハンド位置HA1で構え、前進し、
ハンド位置HB1に達し、ウエハに衝撃を与えないよう
な遅い速度で上昇し、ハンド位置HC1に達する。ハン
ド位置HC1において、ウエハ3の有無検出を行う。
図2(A)に示す吸着部5によって、ウエハ3を吸着
し、後退して、ハンド位置HD1に達し、ウエハ3を目
的の位置に搬送する。搬送が終了すると、ハンド1は、
k=2すなわちポケット2のハンド位置HA2で構え、
以下上記の動作を繰り返す。ポケットP3のようにウエ
ハ3が無い時も、上記のウエハが有る時と同様に、遅い
速度で上昇して、次のポケットP4に進み、ハンド位置
HC4で停止する。
ポケットP5及びポケットP6にウエハ3が無い場合に
は、ハンド1の動作位置は同図(B)に示すとおりとな
り、キャリア内でのハンド1の上昇速度は同図(C)に
示すとおりになる。同図(C)において、ハンド1の上
昇速度は、ウエハ3の有無にかかわらず、上昇開始位置
からある一定距離までの間で加速した後に速度V1の定
速度動作を続け、停止位置の前方の一定距離の位置から
減速して停止する。
ド1がウエハ3が無いポケットをスキップするとき、ウ
エハ3があるポケットと同じ低速で上昇させているとと
もに、ウエハが無いポケットが連続しているときは各ポ
ケットで停止させているために、搬送のタクトタイムが
長かった。
方法は、ウエハキャリアのポケットに収納されたウエハ
の有無を検出してロボットのハンドの動きを制御するこ
とによって搬送する制御方法において、図7の動作順序
説明図(クレーム対応図)に示すように制御する。
ハ搬送制御方法は、以下のステップを順次に実行する。
ポケットPnのウエハを搬送しようとするとき、ハンド
を予め定めたハンド位置HAnからウエハを搭載できる
ポケットPnのハンド位置HBnまで前進させて、その
ハンド位置HBnでウエハの有無を検出するウエハ有無
検出ステップを実行する。
ドをウエハに衝撃を与えない遅い速度でウエハを搭載す
るハンド位置HCnまで上昇させて停止させ、ハンドが
ウエハを搭載していることを確認するウエハ搭載確認ス
テップを実行する。
ドをウエハ有無検出を行いながらウエハの無いポケット
をm個スキップさせて高速度で上昇させて、ウエハが有
ることを検出するとウエハに衝撃を与えない低速度に減
速させるスキップウエハ有無検出ステップを実行する。
減速後にハンドを低速度でウエハを搭載するハンド位置
HCn+mまで少し上昇させて停止させ、ハンドがウエ
ハを搭載していることを確認するスキップウエハ搭載確
認ステップを実行する。(ウエハ搭載を確認した後に、
ハンドを後退させて、ウエハを目的の位置まで搬送する
搬送ステップを実行する。続いて、ウエハを目的の位置
に搬送した後に、ハンドを予め定められた位置に復帰さ
せる復帰ステップを実行する。)さらにウエハが有る場
合も無い場合も、ウエハ有無検出ステップから復帰ステ
ップまでを繰り返して実行する。
ハ搬送制御方法は、図7に示すウエハ有無検出ステッ
プ、ウエハ搭載確認ステップ、スキップウエハ有無検出
ステップ及びスキップウエハ搭載確認ステップにおい
て、図10に示すウエハ検出手段を用いる。ウエハ搭載
確認ステップ及びスキップウエハ搭載確認ステップのウ
エハを搭載するハンド位置HCnにウエハが存在するこ
とを、ハンド1に設けられた投光用の第1光ファイバー
8と第1の受光用の第2光ファイバー9とによって形成
される第1光路10にウエハが存在するか否かによって
検出する。ウエハ有無検出ステップ及びスキップウエハ
有無検出ステップのウエハを搭載できる位置でウエハが
存在することを、ハンド1に設けられた投光用の第1光
ファイバー8と第2の受光用の第3光ファイバー12と
によって形成される第2光路14にウエハが存在するか
否かによって検出する。
ハ搬送制御方法は、図7に示すウエハ有無検出ステッ
プ、ウエハ搭載確認ステップ、スキップウエハ有無検出
ステップ及びスキップウエハ搭載確認ステップにおい
て、図11に示すウエハ検出手段を用いる。ハンド1に
設けられた第1電極20及び第2電極20とこの2つの
電極に接近するウエハとによって形成される静電容量C
が、予め定めた大きい値C1よりも大きくなったとき
に、図7に示すウエハ搭載確認ステップ及びスキップウ
エハ搭載確認ステップのウエハを搭載するハンド位置H
Cnに、ウエハが存在することを検出する。また、静電
容量Cが、予め定めた小さい値C2よりも大きくなった
ときに、図7に示すウエハ有無検出ステップ及びスキッ
プウエハ有無検出ステップのウエハを搭載できる位置
に、ウエハが存在することを検出する。
本発明の方法に使用するウエハ検出手段の実施例1を示
す図であって、同図(A)は平面図、同図(B)は側面
図、同図(C)は動作説明図である。図8(A)乃至同
図(C)に示すように、保持部1aには、第1光ファイ
バー8、第4光ファイバー13、第1スリット11、第
2スリット15及び吸着部5が設けられている。ハンド
本体1bには、第2光ファイバー9、第3光ファイバー
12及び光透過形センサ16が設けられている。第1光
ファイバー8の一端8a、第2光ファイバー9の一端9
a及び第1スリット11は直線X1上に中心があり、第
4光ファイバー13の一端13a、第3光ファイバー1
2の一端12a及び第2スリット15は直線X2上に中
心がある。第1光ファイバー8、第2光ファイバー9、
第3光ファイバー12及び第4光ファイバー13の他端
は光透過形センサ16に接続されている。
ファイバー9の一端9aは対向して設けられたウエハ搭
載確認センサ(以下、搭載センサという)であって、第
1光ファイバー8の一端8aから投光された光は第1ス
リット11を通って第2光ファイバー9の一端9aまで
送られて第1光路10をつくる。この第1光路10がウ
エハ3によって遮られることを、光透過形センサ16に
よって検出し、搭載センサ出力DAを得る。
3光ファイバー12の一端12aは対向して設けられた
ウエハ有無検出センサ(以下、有無センサという)であ
って、第4光ファイバー13の一端13aから投光され
た光は第2スリット15を通って第3光ファイバー12
の一端12aまで送られて第2光路14をつくる。この
第2光路14がウエハ3によって遮られることを、光透
過形センサ16によって検出し、有無センサ出力DSを
得る。
4光ファイバー13の一端13aまでの距離は、図8
(B)及び同図(C)に示すように、第2光ファイバー
9の一端9aから第1光ファイバー8の一端8aまでの
距離に比べて長い。第2光路14と保持部1aの表面と
のなす角θ2は、第1光路10と保持部1aの表面との
なす角θ1に比べて大きい。有無センサ出力DSがON
となる保持部1aの表面とウエハ3の裏面との距離であ
る第2検出距離L2は、ハンド1が後述する早い速度か
ら停止するまでに必要な距離よりも長くするとともに、
各ハンド位置(例えばHB1)における保持部1aの表
面と各ハンド位置に対するポケット(例えばP2)のウ
エハ3の裏面との距離よりも短くする。搭載センサ出力
DAがONとなるのは保持部1aにウエハ3が乗ったと
きであり、搭載センサ出力DAがONとなる第1検出距
離L1がほぼゼロとなる。
バー8及び第4光ファイバー13を投光用光ファイバー
とし、第2光ファイバー9及び第3光ファイバー12を
受光用光ファイバーとしているが、これらを反対にして
もよい。
御方法の動作順序説明図(クレーム対応図)を図7に示
す。同図に示すように、一般に、ポケットPnのウエハ
3を搬送する場合、ハンド1は、ハンド位置HAnで構
え、前進し、ハンド位置HBnに達する。
にウエハ3が有るとき、図8(C)に示すように、保持
部1aとウエハ3との距離が第2検出距離L2よりも短
いので、有無センサ出力DSはONとなり、ハンド位置
HB1であらかじめポケットP1にウエハ3が有ること
を検出することができる。次に、ハンド位置HC1まで
ウエハ3に衝撃を与えないようにハンド1を遅い速度で
上昇し、保持部1aにウエハ3が搭載されていることを
検出して、搭載センサ出力DAがONになると、図8
(A)に示す吸着部5によって、ウエハ3を吸着し、後
退してハンド位置HD1に達し、ウエハ3を目的の位置
に搬送する。搬送が終了するとハンド1は、ハンド位置
HA2で構え、以下上記の動作を繰り返す。
にウエハ3が無いとき、保持部1aから第2検出距離L
2までの距離内にウエハ3が無いので、有無センサ出力
DSはOFFとなり、ハンド位置HB3であらかじめポ
ケットP3にウエハ3が無いことが検出でき、第2検出
距離L2内にウエハ3が現れるまで、高速度V2の定速
度で上昇することが可能となり、有無センサDSがON
になると、上昇速度を減速し低速度V1の定速度で少し
上昇し、ハンド位置HC4で停止する。
ポケットP5及びポケットP6にウエハ3が無い場合の
ハンド1の動作位置及びキャリア内での上昇速度をそれ
ぞれ同図(B)及び同図(C)に示す。同図(C)にお
いて、ハンド位置HBnにおいて有無センサ出力DSが
ONであれば、ハンド1の上昇速度は、上昇開始位置か
らある一定距離までの間で加速した後に低速度V1の定
速度動作を続け、停止位置の前方の一定距離の位置から
減速して停止する。ハンド位置HBnで有無センサ出力
DSがOFFであれば、ハンド1の上昇速度は、上昇開
始位置からある一定距離で加速し、高速度V2の定速度
動作を続け、有無センサ出力DSがONになると、高速
度V2から低速度V1まで一定距離の間で減速し、低速
度V1で若干定速度動作した後、一定距離の間で減速し
て停止する。
図9(A)乃至(C)に示すように、ハンドがウエハが
無いポケットを高速でスキップすることが出来るととも
に、ウエハが無いポケットが連続しているときは各ポケ
ットで減速や停止をすること無くスキップすることが出
来るので、搬送のタクトタイムが短くなる。
ず、図8(A)に示すように、第1光ファイバー8及び
第4光ファイバー13を取り付けるためのスリットと第
1スリット11及び第2スリット15とが設けてあるた
め、保持部1aの機械的強度が充分に得られないために
変形しやすく、両者の光ファイバーの位置関係の精度を
長期間維持することができない。
は、上記の欠点を改善した本発明の方法に使用するウエ
ハ検出手段の実施例2を示す図であって、図8に示すハ
ンド1の投光用の光ファイバーを1つにしたものであ
る。図10(A)及び同図(B)に示すように、保持部
1aには、第1光ファイバー8、スリット11及び吸着
部5が設けられている。本体部1bには、第2光ファイ
バー9、第3光ファイバー12及び光透過形センサ16
が設けられている。
ァイバー9の一端9a及び第3光ファイバー12の一端
12aとは対向して設けられており、第1光ファイバー
8の一端8aから投光された光は、ある広がりをもって
スリット11を通って第2光ファイバー9の一端9a及
び第3光ファイバー12の一端12aまで送られ第1光
路10及び第2光路14をつくる。この第1光路10お
よび第2光路14がウエハ3によって遮られることを、
光透過形センサ16によって検出し、搭載センサ出力D
A及び有無センサ出力DSを得る。同図(B)に示すよ
うに、第3光ファイバー12の一端12aは、第2光フ
ァイバー9の一端9aの上方に設けられている。このハ
ンド1の側面図においては、第1光路10及び第2光路
14は、図8に示すハンド1の第1光路10及び第2光
路14と同じ位置関係にある。
を1つにしているので、実施例1の効果の他に、投光用
光ファイバー及びスリットが1つになり構造が簡単にな
り、さらに、ハンド1の保持部1aには第1光ファイバ
ー8の埋め込み用スリットと光通過用スリット11とが
設けられているだけなので、この保持部1aは実施例1
で示したハンド1の保持部1aに比べて、機械的に丈夫
であって変形しにくいので、各光ファイバーの一端間の
光路の精度を長期間維持することができる。
ウエハ3が処理装置間の搬送によって、キャリア2内で
ウエハ3の基準位置から前後に少しずれることがある。
すなわち、これら両者の位置関係は、図8(B)におい
て、第2検出距離L2は保持部1aの表面とウエハ3の
裏面との距離のみで決まらない。その理由は、キャリア
内でウエハ3が基準位置から前後に少しずれている場
合、ウエハ3が基準位置の前方にあると第2検出距離L
2が長くなり、ウエハ3が後方にあると第2検出距離L
2が短くなる。また、図10(A)のように、ウエハ3
にはオリフラ3aがあり、一般にキャリア2内のそれぞ
れのウエハ3のオリフラ3aは同じ方向を向いていな
い。第2光路14を遮る場所にオリフラ3aがある場
合、オリフラ3aがない場合に比べて第2検出距離L2
が短くなる。
た本発明の方法に使用するウエハ検出手段の実施例3
を、図11(A)及び同図(B)に示す。同図(A)及
び同図(B)において、保持部1aには、電極20及び
吸着部5が設けられている。ハンド本体1bには、静電
容量検出装置21が設けられている。電極20と静電容
量検出装置21とは配線22によって電気的に接続され
ている。電極20及び配線22は、保持部1aの内部に
埋め込まれており、ウエハ3の保持の支障とならない。
保持部1aの電極20及び配線22付近、あるいは、保
持部1aは非導電性の材料で造られている。
たときの両電極20,20の静電容量変化Cの示す図で
ある。同図において、保持部1aとウエハ3との距離L
(横軸)が、距離L1のとき静電容量C(縦軸)はC1
となり、距離L2のとき静電容量はC2となり、ウエハ
3が無いとき静電容量はC3となる。
ク図である。同図において、パルス発振回路PGで発振
されたパルス信号Pgは、積分時定数が電極20の静電
容量によって定まる積分回路CRで積分されて積分信号
Crとなり、増幅回路AMPで増幅され増幅信号Amと
なり、オフセット回路OFSで増幅信号Amに含まれる
直流信号分をオフセット電圧Vofにより取り除きオフ
セット信号Ofとし、全波整流回路REで全波整流され
て全波整流信号Reとなり、直流化回路DCで直流信号
Dcとなる。
過tを示す図であり、同図(B)は電極20の静電容量
がC1及びC2のときの積分信号Crの時間的経過tを
示す図であり、同図(C)は同様にオフセット信号Of
の時間的経過tを示す図であり、同図(D)は同様に全
波整流信号Reの時間的経過tを示す図であり、同図
(E)は同様に直流信号Dcの時間的経過tを示す図で
ある。
離変化Lと直流信号Dcの電圧変化との関係を示す。保
持部1aとウエハ3との距離L(横軸)がL1のときの
直流信号Dcの電圧値Vr1を第1比較電圧として定
め、距離がL2のときの直流信号Dcの電圧値Vr2を
第2比較電圧として定め、これらの第1比較電圧Vr1
及び第2比較電圧Vr2をそれぞれ第1比較回路CM1
の比較基準信号Vr1及び第2比較回路CM2の比較基
準信号Vr2とする。
る直流信号Dcが、第1比較回路CM1及び第2比較回
路CM2においてそれぞれ第1比較基準信号Vr1及び
第2比較基準信号Vr2と比較され、搭載センサ出力D
A及び有無センサ出力DSを得る。
との距離がL2よりも短くなると、直流信号Dcの電圧
値はVr2よりも低くなり、第2比較回路CM2の有無
センサ出力DSがONとなる。さらに、保持部1aの表
面とウエハ3の裏面との距離がL1よりも短くなると、
直流信号Dcの電圧値はVr1よりも低くなり、第1比
較回路CM1の搭載センサ出力DAがONとなる。ここ
で、距離L2及び距離L1は、図8に示すハンド1の第
2検出距離L2及び第1検出距離L1と等しい。
3の検出手段を用いれば、実施例1及び実施例2の効果
に加えて、キャリア2内においてウエハ3を検出すると
き、電極20はウエハ3の中心部付近の下方にあるの
で、キャリア2内でウエハ3が基準位置から前後方向に
少しずれていても、あるいは、オリフラ3aがどの方向
にあっても、第2検出距離L2及び第1検出距離L1は
変化しない。
ハンド位置HBに停止させた後にウエハ3の有無を検出
したが、ハンド1がハンド位置HBに停止する前にウエ
ハ3の検出を行ってもよい。
れば、ハンドがウエハが無いポケットを高速でスキップ
することが出来るとともに、ウエハが無いポケットが連
続しているときは各ポケットで減速や停止をすること無
くスキップすることが出来るので、搬送のタクトタイム
を短くすることができる。
ば、請求項1の効果に加え、投光用光ファイバーを1つ
にしているので、投光用光ファイバー及びスリットが1
つになり構造が簡単になり、さらに、ハンドのウエハ保
持部には光ファイバーを埋設するためのスリットと光通
過用スリットとが各1設けられているだけなので、機械
的に丈夫であって変形しにくいので、各光ファイバーの
一端間の光路の精度を長期間維持することができる。
ば、請求項1及び請求項2の効果に加え、キャリア内に
おいてウエハを検出するとき、電極はウエハの中心部付
近の下方にあるため、キャリア内でウエハが基準位置か
ら前後方向に少しずれていても、または、ウエハのオリ
フラがどの方向にあっても、検出距離に影響を与えない
ので、安定したウエハ検出を行うことができる。
ある。
図である。
す図である。
作順序の説明を示す図である。
至P8においてポケットP3,P5及びP6にウエハ3
が無いことを示す図であり、同図(B)は、同図(A)
に対応した従来技術でのハンド1の動作位置を示す図で
あり、同図(C)は、同図(A)に対応した従来技術で
のハンド1のキャリア内での上昇速度を示す図である。
序の説明を示す図(クレーム対応図)である。
段の実施例1を示す図である。
至P8においてポケットP3,P5及びP6にウエハ3
が無いことを示す図であり、同図(B)は、同図(A)
に対応した本発明でのハンド1の動作位置を示す図であ
り、同図(C)は、同図(A)に対応した本発明でのハ
ンド1のキャリア内での上昇速度を示す図である。
出手段の実施例2を示す図である。
出手段の実施例3を示す図である。
ときの両電極20,20の静電容量変化を示す図であ
る。
図である。
過を示す図であり、同図(B)は電極20の静電容量が
C1及びC2のときの積分信号Crの時間的経過を示す
図であり、同図(C)は同様にオフセット信号Ofの時
間的経過を示す図であり、同図(D)は同様に全波整流
信号Reの時間的経過を示す図であり、同図(E)は同
様に直流信号Dcの時間的経過を示す図であり、同図
(F)は保持部1aとウエハ3との距離変化と直流信号
Dcの電圧変化との関係を示す図である。
ット HA ハンド位置 HB ハンド位置 HC ハンド位置 HD ハンド位置 HA1,HA2,・・・・,HAn,・・・・,HAN
ハンド位置 HB1,HB2,・・・・,HBn,・・・・,HBN
ハンド位置 HC1,HC2,・・・・,HCn,・・・・,HCN
ハンド位置 HD1,HD2,・・・・,HDn,・・・・,HDN
ハンド位置 V1 低速度 V2 高速度 DS 有無センサ出力 DA 搭載センサ出力 C,C1,C2 静電容量 L1 距離 L2 距離 PG パルス発振回路 CR 積分回路 AMP 増幅回路 OFS オフセット回路 RE 全波整流回路 DC 直流化回路 CM1 第1比較回路 CM2 第2比較回路 RC ロボット制御装置 Pg パルス信号 Cr 積分信号 Am 増幅信号 Of オフセット信号 Re 全波整流信号 Dc 直流信号 Vr1 第1比較電圧 Vr2 第2比較電圧 S1 ウェハ有無検出ステップ S2 ウェハ搭載確認ステップ S3 スキップウェハ有無検出ステップ S4 スキップウェハ搭載確認ステップ S5 搬送ステップ S6 復帰ステップ
Claims (3)
- 【請求項1】 ウエハキャリアのポケットに収納され
たウエハの有無を検出してロボットのハンドを制御する
ことによってウエハを搬送する制御方法において、前記
ハンドを予め定めた位置から前記ポケットのウエハ間で
ウエハを搭載できる位置まで前進させて、ウエハの有無
を検出するウエハ有無検出ステップと、前記ウエハが有
ることを検出したときは、前記ハンドをウエハに衝撃を
与えない遅い速度でウエハを搭載するウエハ搭載位置ま
で上昇させて停止させ、前記ハンドがウエハを搭載して
いることを確認するウエハ搭載確認ステップと、前記ハ
ンドを後退させて、ウエハを目的の位置まで搬送する搬
送ステップと、前記ウエハが無いことを検出したとき
は、前記ハンドをウエハ有無検出を行いながらウエハの
無いポケットをスキップさせて高速度で上昇させ、ウエ
ハが有ることを検出すると前記のウエハに衝撃を与えな
い低速度まで速度を減速させるスキップウエハ有無検出
ステップと、前記ハンドを前記の低速度で前記ウエハ搭
載位置まで少し上昇させて停止させ、前記ハンドがウエ
ハを搭載していることを確認するスキップウエハ搭載確
認ステップと、ウエハを目的の位置に搬送した後に、前
記ハンドを前記予め定められた位置に復帰させる復帰ス
テップとから成り、前記スキップウエハ搭載確認ステッ
プ終了後は搬送ステップと復帰ステップとを実行し、さ
らに前記ウエハ有無検出ステップから復帰ステップまで
も繰り返すウエハ搬送制御方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載のウエハ有無検出ステ
ップ、ウエハ搭載確認ステップ、スキップウエハ有無検
出ステップ及びスキップウエハ搭載確認ステップにおい
て、前記ウエハ搭載確認ステップ及び前記スキップウエ
ハ搭載確認ステップのウエハを搭載する位置にウエハが
存在することを検出する方法が、ハンドに設けられた投
光用光ファイバーと第1の受光用光ファイバーとによっ
て形成される第1の光路にウエハが存在するか否かによ
って検出し、かつ、前記ウエハ有無検出ステップ及び前
記スキップウエハ有無検出ステップのウエハを搭載でき
る位置でウエハが存在することをを検出する方法が、ハ
ンドに設けられた前記投光用光ファイバーと第2の受光
用光ファイバーとによって形成される第2の光路にウエ
ハが存在するか否かによって検出するウエハ搬送制御方
法。 - 【請求項3】 請求項1に記載のウエハ有無検出ステ
ップ、ウエハ搭載確認ステップ、スキップウエハ有無検
出ステップ及びスキップウエハ搭載確認ステップにおい
て、ハンドに設けられた第1電極及び第2電極と前記2
つの電極に接近するウエハとによって形成される静電容
量が、予め定めた大きい値よりも大きくなったときに、
前記ウエハ搭載確認ステップ及び前記スキップウエハ搭
載確認ステップのウエハを搭載する位置に、ウエハが存
在することを検出し、かつ、前記静電容量が、予め定め
た小さい値よりも大きくなったときに、前記ウエハ有無
検出ステップ及び前記スキップウエハ有無検出ステップ
のウエハを搭載できる位置にウエハが存在することを検
出するウエハ搬送制御方法。
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7609593A JP3319012B2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ウエハ搬送制御方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH06260548A JPH06260548A (ja) | 1994-09-16 |
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ID=13595299
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JP7609593A Expired - Fee Related JP3319012B2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ウエハ搬送制御方法 |
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1993
- 1993-03-09 JP JP7609593A patent/JP3319012B2/ja not_active Expired - Fee Related
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