JP4266898B2 - 放射線検出装置とその製造方法および放射線撮像システム - Google Patents
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Description
図11は従来の放射線検出装置を示す断面図である。図12は、前述の蛍光体層を複数のフォトセンサー及びTFT等の電気素子が配置されている光電変換素子部からなる2次元のセンサーパネル状に形成した放射線検出装置の断面図である。図12中、101はガラス基板、102はアモルファスシリコンを用いたフォトセンサーであり、TFTとで光電変換部を構成する。また、103は配線、104は接続リード、105は窒化シリコン等よりなるセンサー保護層(第1の保護層)、111は樹脂膜等よりなる蛍光体下地層(第2の保護層)である。112はアルカリハライドよりなる柱状構造結晶を有する蛍光体層、113、115は有機樹脂よりなる蛍光体保護層並びに反射層保護層、114は反射層である。また、116は蛍光体保護層113を形成する前にセンサーパネル上に蛍光体外周に形成される保護樹脂、さらに117は、蛍光体保護層113や反射保護層115の保護膜端部を封止し、外界の水分の進入を防止し、耐久性を向上させるものである。104は、外部の電気回路との接続を行うための接続リードであり、フレキシブル配線板等を異方性導電接着フィルム等を用い電気的に接続される。これら全体で放射線検出装置を構成するものである。
この場合、蛍光体層を蒸着する装置にセンサーパネルをセットする際のホルダーの形状を、電気接続リード104を覆うようにして近接配置させることで蛍光体の付着を防止することが可能であるが、蛍光体層形成後にホルダーを取外す際に、センサーパネルに帯電した静電気がホルダー等に放電し、電気接続リード104を介してセンサーパネル上に形成されたフォトセンサー102やTFTの特性変化や配線の断線が発生するという問題が生じる恐れがある。また、蛍光体層形成装置にセットする前にポリイミドテープ等を用い接続リードを覆うように貼り付けマスキングすることでも可能であるが、蛍光体層形成後にマスキングテープを剥す際にテープの剥離帯電により、同様にセンサーパネルが帯電し、ハンドリングの接触等により放電を引き起こし同様の不具合が発生するという問題が生じる恐れがある。
また、前述の従来の放射線検出装置の構成やマスキング方法では、マスキングが不完全で電気接続リード104に蛍光体層の付着が発生したり、テープの残渣が残ったりしたため、接続リード104を溶剤等で洗浄処理が必要となり作業の増加を招いている。
少なくとも該受光部上に配置された、放射線を前記光電変換素子が感知可能な光に変換する、柱状結晶構造を有する蛍光体層と、
該蛍光体層を被覆し前記センサーパネルと接する、ホットメルト樹脂からなる蛍光体保護部材と、を有する放射線検出装置において、
前記蛍光体保護部材は、前記蛍光体層と前記電気接続部との間の前記センサーパネル上に、前記蛍光体層の側面と接して配置された枠部材と、前記蛍光体層の上面を被覆し、且つ前記枠部材の上面と密着して配置された蛍光体保護層と、を有し、
前記蛍光体保護層は前記枠部材の上面において加熱圧着された加熱圧着部を含み、前記蛍光体保護層の前記加熱圧着部の膜厚は前記加熱圧着部以外の膜厚より薄いことを特徴とする。
本発明の放射線検出装置の製造方法は、基板上に2次元に配列された複数の光電変換素子からなる受光部と、該受光部の各行又は各列の前記光電変換素子と電気的に接続され、前記受光部の外部に配された複数の電気接続部と、を有するセンサーパネルと、
少なくとも該受光部上に配置された、放射線を前記光電変換素子が感知可能な光に変換する蛍光体層と、
を有する放射線検出装置の製造方法であって、
前記受光部と前記電気接続部との間の前記センサーパネル上に枠部材を形成する工程と、
前記枠部材で囲まれた前記センサーパネル上に蒸着により柱状結晶構造を有する前記蛍光体層を配する工程と、
前記蛍光体層の上面を被覆し、且つ前記枠部材の上面と密着するホットメルト樹脂からなる蛍光体保護層を形成する工程と、
前記枠部材の上面において、前記蛍光体保護層を加熱圧着手段で加熱圧着して、前記蛍光体保護層の加熱圧着部の膜厚を前記加熱圧着部以外の膜厚より薄くする工程と、
を有することを特徴とする。
枠体(枠部材)11は、蛍光体層112の蒸着時に非蒸着面を覆うホルダーとセンサーパネルの非蒸着面表面との間に設けられて密着し、ホルダーとセンサーパネルとの近接を防止する。また、枠体11は蛍光体層の側面に接し、蛍光体層112の防湿保護の機能する。したがって、枠体11は蛍光体層形成領域を規定するとともに蛍光体保護層として機能する。枠体11の材料としては、例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの一般的な有機封止材料を用いることができるが、特に水分透過率の低い樹脂で蛍光体下地層111と同様に、蛍光体層形成工程での熱プロセス(柱状結晶構造を有する蛍光体層の場合、例えば200℃以上)に耐える材料が望ましい。
蛍光体保護層13は、蛍光体層112に対して、外気からの水分の侵入を防止する防湿保護機能及び衝撃により構造破壊を防止する衝撃保護機能を有するものである。蛍光体層112として柱状結晶構造を有する蛍光体を用いる場合、蛍光体保護層13の厚さは20〜200μmが好ましい。20μm以下では、蛍光体層112表面の凹凸、及びスプラッシュ欠陥を完全に被覆することができず、防湿保護機能が低下する恐れがある。一方、200μmを超えると蛍光体層112で発生した光もしくは反射層で反射された光の蛍光体保護層13内での散乱が増加し、取得される画像の解像度及びMTF(Modulation Transfer Fanction)が低下する恐れがある。蛍光体保護層13の材料としては、例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの一般的な有機封止材料や、またポリエステル系、ポリオレフィン系、ポリアミド系等のホットメルト樹脂などを用いることができるが、特に水分透過率の低い樹脂が望ましい。蛍光体保護層13としては、CVD蒸着で形成するポリパラキシリレンの有機膜が好適に用いられる。また、蛍光体保護層13として後述するホットメルト樹脂を好適に用いることができる。
蛍光体保護層13として用いられるホットメルト樹脂は、水や溶剤を含まない、室温で固体であり、100%不揮発性の熱可塑性材料からなる接着性樹脂と定義される(Thomas.p.Flanagan,Adhesive Age,9,No3,28(1996))。ホットメルト樹脂は、樹脂温度が上昇すると溶融し、樹脂温度が低下すると固化されるものである。ホットメルト樹脂は、加熱溶融状態で、他の有機材料、および無機材料に接着性をもち、常温で固体状態となり接着性を持たないものである。また、ホットメルト樹脂は極性溶媒、溶剤、および水を含んでいないので、蛍光体層112(例えば、ハロゲン化アルカリからなる柱状結晶構造を有する蛍光体層)に接触しても蛍光体層を溶解しないため、蛍光体保護層13として使用され得る。ホットメルト樹脂は、熱可塑性樹脂を溶剤に溶かし溶媒塗布法によって形成された溶剤揮発硬化型の接着性樹脂とは異なる。またエポキシ等に代表される化学反応によって形成される化学反応型の接着性樹脂とも異なる。
ホットメルト樹脂材料は主成分であるベースポリマー(ベース材料)の種類によって分類され、ポリオレフィン系、ポリエステル系、ポリアミド系等を用いることができる。蛍光体保護層13として、防湿性が高く、また蛍光体から発生する可視光線を透過する光透過性が高いことが重要である。蛍光体保護層13として必要とされる防湿性を満たすホットメルト樹脂としてポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂が好ましい。特に吸湿率が低いポリオレフィン樹脂を用いることが好ましい。また光透過性の高い樹脂として、ポリオレフィン系樹脂が好ましい。したがって蛍光体保護層13としてポリオレフィン系樹脂をベースにしたホットメルト樹脂がより好ましい。ポリオレフィン樹脂は、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸エステル共重合体および、アイオノマー樹脂から選ばれる少なくとも1種を主成分として含有することが好ましい。エチレン酢酸ビニル共重合体を主成分とするホットメルト樹脂としてヒロダイン7544(ヒロダイン工業製)、エチレン−アクリル酸エステル共重合体を主成分とするホットメルト樹脂としてO−4121(倉敷紡績製)、エチレン−メタクリル酸エステル共重合体を主成分とするホットメルト樹脂としてW−4110(倉敷紡績製)、エチレン−アクリル酸エステル共重合体を主成分とするホットメルト樹脂としてH−2500(倉敷紡績製)、エチレン−アクリル酸共重合体を主成分とするホットメルト樹脂としてP−2200(倉敷紡績製)、エチレン−アクリル酸エステル共重合体を主成分とするホットメルト樹脂としてZ−2(倉敷紡績製)等を用いることができる。
図2、図3、図4は、図1の本発明の放射線検出装置の製造方法を示す断面図である。
構成要素101〜105、111によって構成されたセンサーパネル100(図2)に、上述した有機材料よりなる枠体11を二次元配置された光電変換素子部を囲むよう枠状にディスペンス装置やスクリーン印刷装置等により形成する(図3)。
次に、アルカリハライドよりなる柱状構造結晶の蛍光体(例えば、CsI:Tl、タリウム活性化沃化セシウム)よりなる蛍光体層112を蛍光体層形成蒸着装置によって形成する。このとき、センサーパネル100は蛍光体蒸着ステージ上に載置され、接続リード104等の非蛍光体層形成面は装置にセットする際のホルダー21と枠体11によりマスキングされ、蛍光体層112は枠状に形成した枠体11の内側の蛍光体下地層111上に形成される(図4)。形成された蛍光体層112上に蛍光体保護層13を形成する。このとき、蛍光体保護層13は蛍光体層112の表面と密着し、また外周部においては枠体11の表面に接するよう形成され、蛍光体層112は枠体11と蛍光体保護層13で覆われる。次に反射層保護層上15に予め反射層14が形成されたシートを枠体11と蛍光体保護層13上に形成し、本実施例の放射線検出装置(図1)を作製する。
以下、蛍光体層112上に蛍光体保護層を形成する方法について図5を用いて説明する。
すなわち、図6(a)、(b)に示されるように、溶融されたホットメルト樹脂をタンク402、403及びダイコータ409内に準備するとともに、ロール状に準備された金属箔または金属蒸着膜等の反射層14及び反射層保護層15の積層からなる積層シートを準備し、しわ取りロール404,405によってしわを伸ばされた積層シート上に成形ロール406,407間で溶融されたホットメルト樹脂401を押し出しコート法により塗布し、成形ロール407により成形後、冷却ロール408にて冷却硬化し、切断手段410にて所定のサイズに切り出す。こうして、金属箔または金属蒸着膜14上にホットメルト樹脂からなる蛍光体保護層13を形成し、図6(b)で示される蛍光体保護シートを形成する。次に図7(a)に示すように、得られた蛍光体保護シートをセンサーパネル100の蛍光体下地層111上及び蛍光体層112上に重ねて、熱ラミネートローラ411によってホットメルト樹脂の溶融温度以上にホットメルト樹脂を加熱して溶融し、熱ラミネートローラ411及び搬送ローラ412を用いて放射線検出装置を移動させて、枠体11上の蛍光体保護シート上の所定の開始位置から蛍光体層112上を熱ラミレートローラ411が相対的に移動するようにして所定の開始位置から他端の枠体11上まで加熱圧着する。ここで放射線検出装置を平面で90°回転させて再度、枠体11上の蛍光体保護シート上の所定の開始位置から蛍光体層112上を熱ラミレートローラ27が相対的に移動するようにして所定の開始位置から他の枠体11上まで加熱圧着する。こうして、図7(b)に示すように、蛍光体保護シートが蛍光体層112及び枠体11上に密着される。熱ラミネートロールの温度は90〜180℃の範囲で調整する。熱ラミネートロールの回転速度は0.01〜1m/minの範囲で調整する。熱ラミネートロールの押圧力は、1〜50kg/cm2の範囲で調整する。
図8の放射線撮像装置も第1の実施例と同様に枠部材11を二次元配置された光電変換部を囲むよう枠状にディスペンス装置やスクリーン印刷装置等により形成した後に、真空蒸着ホルダーを設置し蛍光体層112を形成し、その後同様に蛍光体保護層13を蛍光体層112及び枠部材11の表面と接するよう配置固定している。
図8で明らかなように本実施例では、センサーパネル100上に形成する枠部材11がセンサーパネル上の蛍光体下地層111と第1の保護層105の双方に接するように配し形成させている。本実施例の放射線検出装置も第1の実施例と同様の効果が得られた。
図9本発明の第3の実施例の放射線検出装置の放射線検出装置を示す模式的部分断面図であり、本実施例は、蛍光体層112を枠部材11より高く形成した場合の例である。
この場合、蛍光体保護層13を、図7に示すようにヒートローラーで加熱押圧し形成するときに、枠部材11の表面が蛍光体層112より低くなってしまっているので、ヒートローラーの押し圧が弱くなり枠部材11の表面と蛍光体保護層13との接着性が劣る傾向ができてしまうが、その後に図10に示すように、枠部材11表面上の蛍光体保護層13をバータイプの加熱加圧ヘッド413にて再度適正の加熱圧着(ホットプレス)し、ホットプレス部300を形成することで接着性を改善させている。
無論、本実施例のホットプレス部300は、実施例1(図1)並びに実施例2(図8)で説明した放射線検出装置の枠部材上に同様に形成できる。
ここで、ホットプレスの作用効果について説明すると、蛍光体保護層13や、蛍光体保護層13,反射層14,反射層保護層15を有する蛍光体保護シートをセンサーパネルに貼り合せる際の温度は、樹脂の融解温度相当で行うが、融解の際に微小な気泡が発生する場合があり、その気泡によって部分的に密着力が小さくなる。蛍光体保護層5や蛍光体保護シートの端部周辺でも同様の問題が考えられ、密着力が低下すると、ホットメルト樹脂とセンサーパネルとの界面からの水分の浸入のおそれがあり、それによって柱状結晶構造を有する蛍光体層の潮解をもたらし、発光量、分解特性の劣化をもたらすことになるので、更なる密着力の向上が望まれる。
蛍光体保護層13の端部におけるホットプレスは、耐湿性の向上を目的とし、樹脂の融解温度よりやや高めの加熱および加圧を行い、加熱によって樹脂を十分に融解させ、気泡が発生しても加圧によって外部に押し出すことによって残気泡による密着力低下を防止し、さらに加圧によって端部の接着層厚を薄くすることによって、外部からの水分侵入ルートをせばめることが可能になる。更に、上記ホットプレスにより枠部材11とホットメルト樹脂からなる蛍光体保護層13の密着力が向上し、外力による剥離の防止や耐湿性の向上を行うことができる。
300がホットプレス部(ヒートシール部)であり、ホットメルト樹脂の層の厚さが薄くなっている。ホットプレス処理としては、例えば圧力1〜10kg/cm2、温度はホットメルト樹脂の溶融開始温度より10〜50℃以上の温度で1〜60秒間行われる。
100 センサーパネル
101 基板
102 光電変換素子
103 配線
104 接続リード
105 センサー保護層(第1の保護層)
111 蛍光体下地層(第2の保護層)
112 蛍光体層
13、113 蛍光体保護層
14、114 反射層
15、115 反射層保護層
116 保護樹脂
117 封止樹脂
300 ホットプレス部
Claims (5)
- 基板上に2次元に配列された複数の光電変換素子からなる受光部と、該受光部の各行又は各列の前記光電変換素子と電気的に接続され、前記受光部の外部に配された複数の電気接続部と、を有するセンサーパネルと、
少なくとも該受光部上に配置された、放射線を前記光電変換素子が感知可能な光に変換する、柱状結晶構造を有する蛍光体層と、
該蛍光体層を被覆し前記センサーパネルと接する、ホットメルト樹脂からなる蛍光体保護部材と、を有する放射線検出装置において、
前記蛍光体保護部材は、前記蛍光体層と前記電気接続部との間の前記センサーパネル上に、前記蛍光体層の側面と接して配置された枠部材と、前記蛍光体層の上面を被覆し、且つ前記枠部材の上面と密着して配置された蛍光体保護層と、を有し、
前記蛍光体保護層は前記枠部材の上面において加熱圧着された加熱圧着部を含み、前記蛍光体保護層の前記加熱圧着部の膜厚は前記加熱圧着部以外の膜厚より薄いことを特徴とする放射線検出装置。 - 請求項1に記載の放射線検出装置と、
前記放射線検出装置からの信号を処理する信号処理手段と、
前記信号処理手段からの信号を記録するための記録手段と、
前記信号処理手段からの信号を表示するための表示手段と、
前記信号処理手段からの信号を伝送するための伝送処理手段と、
前記放射線を発生させるための放射線源とを具備することを特徴とする放射線検出システム。 - 基板上に2次元に配列された複数の光電変換素子からなる受光部と、該受光部の各行又は各列の前記光電変換素子と電気的に接続され、前記受光部の外部に配された複数の電気接続部と、を有するセンサーパネルと、
少なくとも該受光部上に配置された、放射線を前記光電変換素子が感知可能な光に変換する蛍光体層と、
を有する放射線検出装置の製造方法であって、
前記受光部と前記電気接続部との間の前記センサーパネル上に枠部材を形成する工程と、
前記枠部材で囲まれた前記センサーパネル上に蒸着により柱状結晶構造を有する前記蛍光体層を配する工程と、
前記蛍光体層の上面を被覆し、且つ前記枠部材の上面と密着するホットメルト樹脂からなる蛍光体保護層を形成する工程と、
前記枠部材の上面において、前記蛍光体保護層を加熱圧着手段で加熱圧着して、前記蛍光体保護層の加熱圧着部の膜厚を前記加熱圧着部以外の膜厚より薄くする工程と、
を有することを特徴とする放射線検出装置の製造方法。 - 前記蛍光体保護層を形成する工程は、反射層保護層と反射層と前記蛍光体保護層とを備えたフィルムシートと、前記枠部材及び前記蛍光体層が形成されたセンサーパネルとを、前記蛍光体保護層で接着固定する工程を含んでいることを特徴とする請求項3に記載の放射線検出装置の製造方法。
- 柱状結晶構造の前記蛍光体層を形成する工程は、前記蛍光体層の形成領域以外をマスクするマスク部材が枠部材で支持されるように、該マスク部材を配置して行われる請求項3に記載の放射線検出装置の製造方法。
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Families Citing this family (60)
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US7514686B2 (en) * | 2004-08-10 | 2009-04-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation detecting apparatus, scintillator panel, their manufacturing method and radiation detecting system |
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JP2007155662A (ja) | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Canon Inc | 放射線検出装置及びそれを用いた放射線撮像システム |
JP4579894B2 (ja) * | 2005-12-20 | 2010-11-10 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
JP5089195B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2012-12-05 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、シンチレータパネル、放射線検出システム及び放射線検出装置の製造方法 |
JP4920994B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2012-04-18 | キヤノン株式会社 | シンチレータパネル、放射線検出装置及び放射線検出システム |
JP2008014859A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Fujifilm Corp | 放射線像変換パネルおよび放射線像変換パネルの製造方法 |
JP5239866B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2013-07-17 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 放射線フラットパネルディテクター |
DE102007008381A1 (de) * | 2007-02-21 | 2008-08-28 | Robert Bosch Gmbh | Strahlungssensorelement, Verfahren zur Herstellung eines Strahlungssensorelements und Sensorfeld |
US8440983B2 (en) * | 2007-03-27 | 2013-05-14 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Radiation image conversion panel, its manufacturing method, and X-ray radiographic system |
JP5052181B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-10-17 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器 |
JP5004848B2 (ja) * | 2007-04-18 | 2012-08-22 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
JP4834614B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2011-12-14 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置および放射線撮像システム |
JP5073399B2 (ja) * | 2007-07-27 | 2012-11-14 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器 |
JP4940098B2 (ja) * | 2007-10-23 | 2012-05-30 | 富士フイルム株式会社 | 画像検出器 |
KR100964654B1 (ko) | 2008-02-20 | 2010-06-22 | 주식회사바텍 | 대면적 x선 검출장치 및 그의 제조방법 |
KR100936476B1 (ko) | 2008-02-22 | 2010-01-13 | 주식회사바텍 | 대면적 x선 검출장치의 제조방법 |
JP5185003B2 (ja) * | 2008-07-25 | 2013-04-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
WO2011055508A1 (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-12 | 株式会社島津製作所 | 放射線検出器 |
KR101202787B1 (ko) | 2009-12-02 | 2012-11-19 | (주)바텍이우홀딩스 | 엑스선 검출장치 및 이의 제조방법 |
RU2561756C2 (ru) * | 2010-04-26 | 2015-09-10 | Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. | Детектор рентгеновского излучения с повышенными пространственной однородностью усиления и разрешением и способ изготовления детектора рентгеновского излучения |
JP5607426B2 (ja) | 2010-05-28 | 2014-10-15 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線撮像システム |
JP5562134B2 (ja) | 2010-06-17 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、その製造方法及び放射線撮像システム |
JP5665494B2 (ja) | 2010-06-24 | 2015-02-04 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線撮像システム |
KR101216587B1 (ko) | 2010-08-23 | 2012-12-31 | 주식회사 아비즈알 | 신틸레이터 패널 및 상기 패널을 포함하는 방사선 이미지 센서 |
KR101253586B1 (ko) * | 2010-08-25 | 2013-04-11 | 삼성전자주식회사 | 형광체 필름, 이의 제조방법, 형광층 도포 방법, 발광소자 패키지의 제조방법 및 발광소자 패키지 |
JP2012098175A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Sony Corp | 放射線検出素子およびその製造方法、放射線検出モジュール並びに放射線画像診断装置 |
JP5680943B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2015-03-04 | キヤノン株式会社 | シンチレータ、放射線検出装置および放射線撮影装置 |
JP5629593B2 (ja) * | 2011-02-01 | 2014-11-19 | 株式会社東芝 | 放射線検出器 |
JP2012172971A (ja) | 2011-02-17 | 2012-09-10 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | シンチレータパネル、その製造方法、フラットパネルディテクタ及びその製造方法 |
JP2012177623A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出装置、及び放射線画像検出装置の製造方法 |
JP5728285B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2015-06-03 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法、並びに放射線画像検出装置 |
KR101266554B1 (ko) * | 2011-05-09 | 2013-05-27 | 주식회사 아비즈알 | 신틸레이터 패널 및 신틸레이터 패널을 제조하는 방법 |
JP2013029384A (ja) | 2011-07-27 | 2013-02-07 | Canon Inc | 放射線検出装置、その製造方法および放射線検出システム |
JP2013174465A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Canon Inc | 放射線検出装置 |
JP5997512B2 (ja) | 2012-06-20 | 2016-09-28 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び撮像システム |
JP6000680B2 (ja) | 2012-06-20 | 2016-10-05 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、その製造方法及び撮像システム |
JP6071283B2 (ja) | 2012-07-04 | 2017-02-01 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及びその製造方法 |
US9063238B2 (en) * | 2012-08-08 | 2015-06-23 | General Electric Company | Complementary metal-oxide-semiconductor X-ray detector |
JP6107001B2 (ja) * | 2012-09-04 | 2017-04-05 | ソニー株式会社 | シンチレータ及び放射線検出装置 |
JP2014071077A (ja) * | 2012-10-01 | 2014-04-21 | Canon Inc | 放射線検出装置、及び、放射線検出システム |
JP6092568B2 (ja) | 2012-10-11 | 2017-03-08 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
JP6100045B2 (ja) * | 2013-03-19 | 2017-03-22 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、放射線検出システム及び放射線検出装置の製造方法 |
JP2015004560A (ja) * | 2013-06-20 | 2015-01-08 | 株式会社東芝 | 放射線検出器およびその製造方法 |
JP5936584B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2016-06-22 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像検出装置及び製造方法 |
JP6310216B2 (ja) | 2013-09-06 | 2018-04-11 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及びその製造方法並びに放射線検出システム |
EP2857866B1 (en) * | 2013-10-02 | 2019-06-19 | Rayence Co., Ltd. | X-ray sensor and method of manufacturing the same |
JP2015096823A (ja) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器、及び放射線検出器の製造方法 |
JP6478538B2 (ja) | 2014-09-10 | 2019-03-06 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置および放射線撮像システム |
JP6487263B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-03-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器及びその製造方法 |
JP6573377B2 (ja) | 2015-07-08 | 2019-09-11 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置、その制御方法及びプログラム |
JP6573378B2 (ja) | 2015-07-10 | 2019-09-11 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置、その制御方法及びプログラム |
JP6663210B2 (ja) | 2015-12-01 | 2020-03-11 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置及びその制御方法 |
JP6706963B2 (ja) | 2016-04-18 | 2020-06-10 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置、放射線撮像システム、及び、放射線撮像装置の制御方法 |
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JP6790008B2 (ja) * | 2018-03-14 | 2020-11-25 | 株式会社東芝 | 検出素子および検出器 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5107125A (en) * | 1991-03-06 | 1992-04-21 | Eastman Kodak Company | X-ray imaging screen with process for its preparation |
US5132539A (en) | 1991-08-29 | 1992-07-21 | General Electric Company | Planar X-ray imager having a moisture-resistant sealing structure |
US5254480A (en) * | 1992-02-20 | 1993-10-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Process for producing a large area solid state radiation detector |
EP0762505A3 (en) * | 1995-08-28 | 1999-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for detecting radiation and method for manufacturing such apparatus |
FR2758630B1 (fr) * | 1997-01-21 | 1999-04-09 | Thomson Tubes Electroniques | Procede de scellement etanche d'un detecteur de rayonnement a l'etat solide et detecteur obtenu par ce procede |
EP0903590B1 (en) * | 1997-02-14 | 2002-01-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation detection device and method of producing the same |
US6146489A (en) * | 1998-11-19 | 2000-11-14 | General Electric Company | Method and apparatus for depositing scintillator material on radiation imager |
AU2001225489A1 (en) * | 2000-01-13 | 2001-07-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Radiation image sensor and scintillator panel |
EP1160303A3 (en) * | 2000-06-01 | 2003-09-10 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Preparation of stimulable phosphor sheet |
US6835936B2 (en) * | 2001-02-07 | 2004-12-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Scintillator panel, method of manufacturing scintillator panel, radiation detection device, and radiation detection system |
US6847041B2 (en) * | 2001-02-09 | 2005-01-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Scintillator panel, radiation detector and manufacture methods thereof |
US7315031B2 (en) * | 2002-08-14 | 2008-01-01 | Fujifilm Corporation | Radiation image storage panel |
JP4393048B2 (ja) * | 2002-09-11 | 2010-01-06 | キヤノン株式会社 | 放射線変換基板、放射線撮影装置および放射線撮影システム |
JP4208790B2 (ja) * | 2004-08-10 | 2009-01-14 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置の製造方法 |
JP4594188B2 (ja) * | 2004-08-10 | 2010-12-08 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
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