JP4210136B2 - 基板収納用カセット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板収納用カセットに係るもので、詳しくは、製品のサイズが大きい各液晶表示パネルが製作された大面積の母基板を収納して変形を防止し、母基板を效果的に運搬し得る基板収納用カセットに関するものである。
【0002】
【関連技術】
一般に、液晶表示装置は、大面積の母基板に薄膜トランジスタアレイ基板を形成し、別途の母基板にカラーフィルタ基板を形成した後、二つの母基板を合着することで、復数の単位液晶表示パネルを同時に形成して収率向上を図っている。
【0003】
図5は、各薄膜トランジスタアレイ基板が形成された第1母基板とカラーフィルタ基板が形成された第2母基板とが合着されて複数の液晶表示パネルが製作された断面構造を示した例示図である。
【0004】
図5に示したように、各単位液晶表示パネルは、各薄膜トランジスタアレイ基板1の一方が各カラーフィルタ基板2に比べて突出するように形成される。これは、各カラーフィルタ基板2と重畳しない各薄膜トランジスタアレイ基板1の片側短辺の縁及び片側長辺の縁にゲートパッド部(図示せず)及びデータパッド部(図示せず)が形成されるからである。
【0005】
従って、第2母基板30上に形成された各カラーフィルタ基板2は、第1母基板20上に形成された各薄膜トランジスタアレイ基板1が突出する面積に該当するダミー領域31だけ離隔して形成される。
【0006】
又、各単位液晶表示パネルは、第1、第2母基板20、30を最大限に利用し得るように適切に配置され、モデルによって異なるが、一般に、各単位液晶表示パネルは、ダミー領域32だけ離隔するように形成される。
【0007】
上記のように母基板が合着された以後には、各液晶表示パネルを個別的に切断する工程が遂行されるが、前記液晶表示パネルの切断工程は、作業現場の空間的制約によって通常、合着工程と分離されている。
【0008】
従って、合着が完了した母基板は、カセットの収納空間に順次的に収納される。前記カセットは、合着された母基板が収納空間に全てが収納されると、各液晶表示パネルの切断工程を遂行するために移送される。
【0009】
これまでの基板収納用カセットにおいては、図6に示したように、前面が開放されたフレーム100と、該フレーム100の両側面から内側に突出して前記フレーム100の内部に収納された母基板102を支持する支持フィン101と、を包含して構成されていた。
【0010】
図7は、前記母基板102が支持フィン101により支持された例を示した平面図であって、図7に示したように、前記フレーム100の両側面から内側に突出する支持フィン101が三つずつ所定間隔に離隔されて母基板102を支持している。
【0011】
即ち、前記支持フィン101は、一つの母基板102に対してフレーム100の両側面から内側に支持フィン101が三つずつ同様な高さに突出することで、母基板102を安定的に支持し、カセットに収納される母基板102の個数に対応して一定の配列で前記フレーム100の両側面から突出させてある。
【0012】
例えば、前記母基板102が20個収納されるカセットの場合には、前記フレーム100の両側面から夫々3×20の配列を有する支持フィン101が対応して突出させてある。
【0013】
又、前記フレーム100に母基板102を収納するためには、ロボットアーム103上に母基板102をローディングした後、収納される空間に備えられた支持フィン101に比べて若干高い高さに維持してフレーム100の内部に移送させ、前記ロボットアーム103を下降させることで、母基板102が支持フィン101により支持されるようにする。
【0014】
又、合着された母基板102が前記フレーム100に収納されると、後続切断工程を遂行するためにカセットを移送しなければならないが、液晶表示パネルの切断工程から発生する多様な事情によりフレーム100に母基板102が収納された状態でカセットを待機させなければならない状況が頻繁に発生する。
【0015】
上記のようにカセットが待機する状況が発生する場合、液晶表示パネルのサイズが小さい製品の製作においては、母基板の大きさが小さいために特別な問題が発生しないが、液晶表示パネルのサイズが大型化された製品を製作する場合には、母基板自体の大きさも極めて大きくなるため、待機中に母基板が湾曲するなどして不良を発生させる要因となっている。
【0016】
又、前記液晶表示パネルのサイズが小さい製品を製作する場合には、通常、母基板に製作された液晶表示パネルを個別的な単位液晶表示パネルに切断した後に液晶を注入させる液晶注入方式が適用されているが、該液晶注入方式は、液晶表示パネルのサイズが大型化される場合に液晶注入に長時間を要するため生産性が低下するという問題点がある。
【0017】
従って、液晶表示パネルのサイズが大型化された製品を製作するために液晶滴下方式が提案された。
【0018】
又、該液晶滴下方式は、第1母基板に製作された各薄膜トランジスタアレイ基板又は第2母基板に製作された各カラーフィルタ基板に液晶を滴下した後、前記第1、第2母基板を合着して液晶表示パネルを形成し、個別的な単位液晶表示パネルに切断することで、液晶表示パネルの大型化に対応して不良が最小化された製品を製作する方式である。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、このような関連技術の液晶滴下方式を適用して液晶表示パネルのサイズが大型化された製品を製作する場合には、母基板の大きさだけでなく荷重が極めて増加するため、液晶表示パネルの不良発生が一層増加するという不都合な点があった。
【0020】
即ち、図8に示したように、液晶滴下方式を適用して液晶表示パネルのサイズが大型化された製品を製作する場合には、母基板102自体の大きさが大型化されると共に、液晶滴下方式による基板荷重増加の状態においてカセットの待機時間が長引くと、フレーム100の両側面から突出した支持フィン101により支持された母基板102の中心部が縁に比べて下に曲がる変形が発生することで、大型母基板102上に製作された各液晶表示パネルのパターンが崩れたり捩れたりする現象が発生し、かかる状況において液晶が滴下された場合に、前記のような現象が一層進んで液晶表示パネルの不良発生要因となるという不都合な点があった。
【0021】
又、前記母基板102の荷重が支持フィン101に集中することで、支持フィン101と接触する母基板102の領域で液晶の特性が劣化して製品の表示不良が発生するという不都合な点があった。
【0022】
従って、これまでのカセットにおいては、製品の不良率が上昇して生産性が悪化するという不都合な点があった。
【0023】
本発明は、このような関連技術の課題に鑑みてなされたもので、製品のサイズが大きい各液晶表示パネルが形成された大面積の母基板を収納した場合に、待機時間が長引く場合にも変形を防止し得る基板収納用カセットを提供することを目的とする。
【0024】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明に係る基板収納用カセットの第1実施形態においては、フレームと、該フレームの両側面から内側に突出する複数の支持板と、を包含して構成され、前記支持板は、前記各基板を曲がらないように支持できる充分な幅及び長さを有し、前記基板を移送するロボットアームが前記フレームから抜け出ることができる空間を提供することを特徴とする。
【0025】
また、前部が開放された箱型のフレームの内部に、前方縁部にロボットアームが通過できる切欠き部を有する略矩形の基板載置用棚板を、所定の間隔で複数枚固定したことを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【0027】
本発明に係る基板収納用カセットの第1実施形態においては、図5に示したように、前面が開放されたフレーム200と、該フレーム200の両側面から内側に突出して中央に空間201を有する複数の支持板202と、を包含して構成されており、前記各支持板202の上に母基板203が所定の高さを置いて積層される。
【0028】
又、前記支持板202は、特定の幅及び長さが要求されないが、前記各母基板203(が)を曲がらないように支持することができる幅及び長さに形成されなければならない。
【0029】
又、図6は、前記母基板203が支持板202により支持された例を示した平面図であって、図示したように、前記フレーム200の両側面から内側に突出して中央に空間201を有する一対の支持板202が母基板203を支持している。
【0030】
又、前記母基板203は、各薄膜トランジスタアレイ基板が製作された第1母基板と各カラーフィルタ基板が製作された第2母基板とが対向合着されて液晶表示装置の製作に適用される基板である。従って、第1母基板に製作された各薄膜トランジスタアレイ基板と第2母基板に製作された各カラーフィルタ基板とが対向合着されて液晶表示パネルを成す。
【0031】
又、液晶滴下方式により液晶層を形成した場合には、合着された第1母基板と第2母基板間に液晶層が形成された液晶表示パネルが前記母基板203に適用される。
【0032】
又、前記液晶滴下は、第1母基板に実施され、第1母基板と第2母基板とを合着させるためのシール材は、第2母基板に形成し得るし、液晶滴下及びシール材の形成を第1母基板又は第2母基板のうちの何れか一つに同時に形成することができる。
【0033】
前記支持板202の中央に形成された空間201は、母基板203をローディングしたロボットアーム204が支持板202に比べて若干高い高さに維持されてフレーム200の内部に移送された後、前記支持板202により母基板203が支持されるように下降させる時、ロボットアーム204がフレーム200から抜け出るようにする。
【0034】
又、前記本発明の第1実施形態によって平板状に製作された支持板202は、図2に図示されたこれまでのフィン状に製作された支持フィン101に比べて母基板203の中心部が下に垂れる変形を最小化し、前記母基板203の荷重を分散させることができる。
【0035】
即ち、液晶滴下方式によって前記母基板203に大型液晶表示パネルを形成することで、該母基板203が大型化されても、後続切断工程における条件によりカセットの待機時間が長引く場合に母基板203の中心部が下に垂れる変形を抑制し得るし、前記母基板203の荷重を分散し得ることで、前記支持板202と接触する母基板203の領域で液晶の特性が劣化することを防止し得る。
【0036】
又、図7は、本発明に係る基板収納用カセットの第2実施形態を示した例示図で、図8は、図7の母基板213が棚板212により支持された例を示した平面図であって、図示したように、前方縁部にロボットアーム214が通過できる一対の切欠き部211を有する略矩形の棚板212が母基板213を支持している。この時、前記棚板212の前方縁部に設けた切欠き部211は、本発明の第1実施形態と異なって、ロボットアーム214が抜け出るように最小の形態に製作されている。
【0037】
従って、本発明の第1実施形態に比べて一層效果的に母基板213の中心部が下に垂れる変形を抑制し得るし、該母基板213の荷重を分散させることができる。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る基板収納用カセットの第1実施形態においては、フレームの両側面から内側に突出する支持板を平板状に製作して母基板を支持することで、液晶滴下方式によって母基板に大型液晶表示パネルを形成して母基板の大きさが大きくなっても、後続切断工程における条件によりカセットの待機時間が長引く場合に、収納された母基板の中心部が下に垂れる変形を最小化し、母基板の荷重を分散し得るという効果がある。
【0039】
従って、母基板上に製作された各液晶表示パネルのパターンが崩れたり捩れたりする現象を防止して製品の不良率を減少し得るし、支持板と接触する母基板の領域で液晶の特性が劣化するため、製品の表示不良が発生する現象を防止し得ることで、生産性を向上し得るという効果がある。
【0040】
又、本発明に係る基板収納用カセットの第2実施形態は、前部が開放された箱型のフレームの内部に、前方縁部にロボットアームが通過できる切欠き部を有する略矩形の基板載置用棚板を、所定の間隔で複数枚固定して、これらの棚板で母基板を支持する。そして、棚板の前方縁部に形成した空間をロボットアームが抜け出るように最小の形態に製作することで、前記本発明の第1実施形態に比べて一層效果的に母基板の中心部が下に垂れる変形を抑制し得るし、母基板の荷重を分散し得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板収納用カセットの第1実施形態を示した例示図である。
【図2】図1において、母基板が支持板により支持された例を示した平面図である。
【図3】本発明に係る基板収納用カセットの第2実施形態を示した例示図である。
【図4】図3において、母基板が棚板により支持された例を示した平面図である。
【図5】各薄膜トランジスタアレイ基板が形成された第1母基板とカラーフィルタ基板が形成された第2母基板とが合着されて複数の液晶表示パネルを成す断面構造を示した例示図である。
【図6】関連技術の基板収納用カセットを示した例示図である。
【図7】図6において、母基板が支持フィンにより支持された例を示した平面図である。
【図8】製品の大型化によって関連技術を適用する場合に発生する母基板の垂れ現象を示した例示図である。
【符号の説明】
200:フレーム
201:離隔空間
202:支持板
203:母基板
204:ロボットアーム
212:棚板
Claims (9)
- フレ−ム(210)と、各々がロボットア−ム(214)を通過させることが可能な一対の切欠き部(211)を前方縁部に有する複数の略矩形の支持板(212)とを含み、該複数の支持板(212)の各々は、該フレ−ム(210)の垂直方向に所定の間隔で配置されており、該複数の略矩形の支持板(212)の各々は、該一対の切欠き部(211)と該フレ−ム(210)の両側面との間の一対の平板状部分と、該一対の切欠き部(211)の間に位置する平板状部分とによって基板(213)を支持し、該一対の切欠き部(211)と該フレ−ム(210)の両側面との間の一対の平板状部分と、該一対の切欠き部(211)の間に位置する平板状部分とは、該フレ−ム(210)の背面から延在する支持板(212)の平板状部分によって接続され、
前記複数の略矩形の支持板(212)の前方縁部に設けた切欠き部(211)は、前記基板(213)をロボットア−ム(214)で移送する際に該ロボットア−ム(214)が抜け出る空間を規定し、上記抜け出る空間は、上記ロボットア−ム(214)の領域に対応した最小の空間であることを特徴とする基板収納用カセット。 - 前記フレ−ム(210)は、前面が開放されていることを特徴とする請求項1記載の基板収納用カセット。
- 前記支持板(212)は、前記基板(213)を支持することを特徴とする請求項1記載の基板収納用カセット。
- 前記支持板(212)は、平面状であることを特徴とする請求項1に記載の基板収納用カセット。
- 前記基板(213)は、各薄膜トランジスタアレイ基板が形成された第1母基板と各カラ−フィルタ基板が形成された第2母基板とが合着された基板であることを特徴とする請求項1記載の基板収納用カセット。
- 前記基板(213)は、第1母基板と第2母基板とが合着され、前記第1母基板と第2母基板間に液晶層が形成された基板であることを特徴とする請求項1記載の基板収納用カセット。
- 前記基板(213)の液晶層は、前記第1母基板又は第2母基板上に滴下されて形成されたことを特徴とする請求項6記載の基板収納用カセット。
- 前記ロボットア−ム(214)がフレ−ム(210)から抜け出る空間は、ロボットア−ム(214)の形状としてあることを特徴とする請求項1記載の基板収納用カセット。
- 前記ロボットア−ム(214)がフレ−ム(210)から抜け出る空間は、ロボットア−ム(214)の幅に比べて大きく形成されたことを特徴とする請求項1記載の基板収納用カセット。
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Families Citing this family (17)
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TWM258968U (en) * | 2004-07-22 | 2005-03-11 | Au Optronics Corp | Cassette |
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TWI268265B (en) * | 2004-08-13 | 2006-12-11 | Au Optronics Corp | Glass substrate cassette |
JP4523513B2 (ja) * | 2005-08-05 | 2010-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び記憶媒体 |
US7780743B2 (en) * | 2006-03-24 | 2010-08-24 | L'oreal S.A. | Fluorescent entity, dyeing composition containing at least one fluorescent entity, and method for lightening keratin materials using said at least one fluorescent entity |
JP2007281251A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | E I Du Pont De Nemours & Co | サポートバーおよび基板カセット |
JP2007281252A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | E I Du Pont De Nemours & Co | 基板カセット |
JP4869852B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2012-02-08 | 株式会社ダイヘン | 搬送用ロボットの教示方法 |
WO2009038244A2 (en) * | 2007-09-21 | 2009-03-26 | Visionsemicon.Co.Ltd | Magazine for depositing substrates |
KR101479302B1 (ko) * | 2008-07-02 | 2015-01-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 소성 장치 |
US20140326686A1 (en) * | 2013-05-06 | 2014-11-06 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Substrate cartridge |
CN104260110B (zh) * | 2014-07-14 | 2016-01-06 | 中国科学院自动化研究所 | 一种应用于子母式机器人的升降式运输舱 |
KR101725264B1 (ko) * | 2015-10-16 | 2017-04-10 | (주)상아프론테크 | 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트 |
CN109229751A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-18 | 复弗科技长兴有限公司 | 一种Led铝基板的存放装置 |
Family Cites Families (107)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3978580A (en) | 1973-06-28 | 1976-09-07 | Hughes Aircraft Company | Method of fabricating a liquid crystal display |
JPS5165656A (ja) | 1974-12-04 | 1976-06-07 | Shinshu Seiki Kk | |
US4094058A (en) | 1976-07-23 | 1978-06-13 | Omron Tateisi Electronics Co. | Method of manufacture of liquid crystal displays |
JPS5738414A (en) | 1980-08-20 | 1982-03-03 | Showa Denko Kk | Spacer for display panel |
JPS5788428A (en) | 1980-11-20 | 1982-06-02 | Ricoh Elemex Corp | Manufacture of liquid crystal display body device |
JPS5827126A (ja) | 1981-08-11 | 1983-02-17 | Nec Corp | 液晶表示パネルの製造方法 |
JPS5957221A (ja) | 1982-09-28 | 1984-04-02 | Asahi Glass Co Ltd | 表示素子の製造方法及び製造装置 |
JPS59195222A (ja) | 1983-04-19 | 1984-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造法 |
JPS60111221A (ja) | 1983-11-19 | 1985-06-17 | Nippon Denso Co Ltd | 液晶充填方法および装置 |
JPS60164723A (ja) | 1984-02-07 | 1985-08-27 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 液晶表示装置 |
JPS60217343A (ja) | 1984-04-13 | 1985-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPS617822A (ja) | 1984-06-22 | 1986-01-14 | Canon Inc | 液晶素子の製造方法 |
JPS6155625A (ja) | 1984-08-24 | 1986-03-20 | Nippon Denso Co Ltd | 液晶素子製造方法 |
US4775225A (en) | 1985-05-16 | 1988-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment |
JP2535142B2 (ja) | 1985-07-15 | 1996-09-18 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
JP2616761B2 (ja) | 1985-07-15 | 1997-06-04 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
JPS6254228A (ja) | 1985-07-15 | 1987-03-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置の作製方法 |
US4691995A (en) | 1985-07-15 | 1987-09-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal filling device |
JPS6289025A (ja) | 1985-10-15 | 1987-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルの製造方法 |
JPS6290622A (ja) | 1985-10-17 | 1987-04-25 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
JPH0620424B2 (ja) | 1986-02-17 | 1994-03-23 | 株式会社ホーネンコーポレーション | 連続式炒め装置 |
US4653864A (en) | 1986-02-26 | 1987-03-31 | Ovonic Imaging Systems, Inc. | Liquid crystal matrix display having improved spacers and method of making same |
JPH0668589B2 (ja) | 1986-03-06 | 1994-08-31 | キヤノン株式会社 | 強誘電性液晶素子 |
US5963288A (en) | 1987-08-20 | 1999-10-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material |
JPS63109413A (ja) | 1986-10-27 | 1988-05-14 | Fujitsu Ltd | 液晶デイスプレイの製造方法 |
JPS63110425A (ja) | 1986-10-29 | 1988-05-14 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶封入用セル |
JPS63128315A (ja) | 1986-11-19 | 1988-05-31 | Victor Co Of Japan Ltd | 液晶表示素子 |
JPS63311233A (ja) | 1987-06-12 | 1988-12-20 | Toyota Motor Corp | 液晶セル |
JPH0817281B2 (ja) | 1987-07-31 | 1996-02-21 | 松下電器産業株式会社 | 衛星放送用受信コンバ−タ |
DE3825066A1 (de) | 1988-07-23 | 1990-01-25 | Roehm Gmbh | Verfahren zur herstellung von duennen, anisotropen schichten auf oberflaechenstrukturierten traegern |
JPH0681708B2 (ja) | 1988-11-07 | 1994-10-19 | 株式会社巴川製紙所 | 電磁波シールドシートの製造方法 |
US4964078A (en) | 1989-05-16 | 1990-10-16 | Motorola, Inc. | Combined multiple memories |
JPH0536425A (ja) | 1991-02-12 | 1993-02-12 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 固体電解質型燃料電池用合金セパレータ及びその製造 方法 |
EP0528542B1 (en) | 1991-07-19 | 1998-09-16 | SHARP Corporation | Optical modulating element and apparatuses using it |
JP3068264B2 (ja) | 1991-07-31 | 2000-07-24 | 三菱重工業株式会社 | 固体電解質燃料電池 |
JPH05107533A (ja) | 1991-10-16 | 1993-04-30 | Shinetsu Eng Kk | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法及びその貼り合せ装置 |
JPH05127179A (ja) | 1991-11-01 | 1993-05-25 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JP2609386B2 (ja) | 1991-12-06 | 1997-05-14 | 株式会社日立製作所 | 基板組立装置 |
JP3159504B2 (ja) | 1992-02-20 | 2001-04-23 | 松下電器産業株式会社 | 液晶パネルの製造方法 |
JPH05265011A (ja) | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Seiko Instr Inc | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH05281562A (ja) | 1992-04-01 | 1993-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法 |
JP2939384B2 (ja) | 1992-04-01 | 1999-08-25 | 松下電器産業株式会社 | 液晶パネルの製造方法 |
US5507323A (en) | 1993-10-12 | 1996-04-16 | Fujitsu Limited | Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell |
JP2604090B2 (ja) | 1992-06-30 | 1997-04-23 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置 |
JPH0651256A (ja) | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶吐出装置 |
JPH0664229A (ja) | 1992-08-24 | 1994-03-08 | Toshiba Corp | 光プリンタヘッド |
JP3084975B2 (ja) | 1992-11-06 | 2000-09-04 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示用セルの製造装置 |
JPH06160871A (ja) | 1992-11-26 | 1994-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルおよびその製造方法 |
JPH06194637A (ja) | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Shinetsu Eng Kk | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法 |
JPH06235925A (ja) | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH06265915A (ja) | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶充填用吐出装置 |
JP3210126B2 (ja) | 1993-03-15 | 2001-09-17 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP3170773B2 (ja) | 1993-04-28 | 2001-05-28 | 株式会社日立製作所 | 基板組立装置 |
US5539545A (en) | 1993-05-18 | 1996-07-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of making LCD in which resin columns are cured and the liquid crystal is reoriented |
JP2957385B2 (ja) | 1993-06-14 | 1999-10-04 | キヤノン株式会社 | 強誘電性液晶素子の製造方法 |
JP3260511B2 (ja) | 1993-09-13 | 2002-02-25 | 株式会社日立製作所 | シール剤描画方法 |
CA2108237C (en) | 1993-10-12 | 1999-09-07 | Taizo Abe | Method and dispenser for filling liquid crystal into lcd cell |
JPH07128674A (ja) | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH07181507A (ja) | 1993-12-21 | 1995-07-21 | Canon Inc | 液晶表示装置及び該液晶表示装置を備えた情報伝達装置 |
JP2809588B2 (ja) | 1994-04-06 | 1998-10-08 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ペースト塗布機 |
JP2880642B2 (ja) | 1994-04-11 | 1999-04-12 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ペースト塗布機 |
KR0135049B1 (ko) * | 1994-05-31 | 1998-04-20 | 양승택 | 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착 카세트 |
JP3023282B2 (ja) | 1994-09-02 | 2000-03-21 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置における定盤構造 |
DE69526894T2 (de) | 1994-09-26 | 2003-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Flüssigkristallanzeigetafel, Verfahren und Vorrichtung zu ihrer Herstellung |
JP3189591B2 (ja) | 1994-09-27 | 2001-07-16 | 松下電器産業株式会社 | 液晶素子の製造方法 |
JPH08101395A (ja) | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JPH08106101A (ja) | 1994-10-06 | 1996-04-23 | Fujitsu Ltd | 液晶表示パネルの製造方法 |
JP2665319B2 (ja) | 1994-10-13 | 1997-10-22 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の加熱装置 |
JP3053535B2 (ja) | 1994-11-09 | 2000-06-19 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の加圧加熱装置 |
JPH08171094A (ja) | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Nippon Soken Inc | 液晶表示器への液晶注入方法及び注入装置 |
JP3122708B2 (ja) | 1994-12-26 | 2001-01-09 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | ペースト塗布機 |
JP3545076B2 (ja) | 1995-01-11 | 2004-07-21 | 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP3216869B2 (ja) | 1995-02-17 | 2001-10-09 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子およびその製造方法 |
US6001203A (en) | 1995-03-01 | 1999-12-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Production process of liquid crystal display panel, seal material for liquid crystal cell and liquid crystal display |
JP3534474B2 (ja) | 1995-03-06 | 2004-06-07 | 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 | 液晶表示パネルのシール方法 |
JPH095762A (ja) | 1995-06-20 | 1997-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造法 |
JPH091026A (ja) | 1995-06-23 | 1997-01-07 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ペースト塗布機 |
JP3978241B2 (ja) | 1995-07-10 | 2007-09-19 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
JPH0980447A (ja) | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Toshiba Electron Eng Corp | 液晶表示素子 |
JP3358935B2 (ja) | 1995-10-02 | 2002-12-24 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子およびその製造方法 |
US6236445B1 (en) | 1996-02-22 | 2001-05-22 | Hughes Electronics Corporation | Method for making topographic projections |
KR100208475B1 (ko) | 1996-09-12 | 1999-07-15 | 박원훈 | 자기장 처리에 의한 액정배향막의 제조방법 |
US6016178A (en) | 1996-09-13 | 2000-01-18 | Sony Corporation | Reflective guest-host liquid-crystal display device |
JPH10153785A (ja) | 1996-09-26 | 1998-06-09 | Toshiba Corp | 液晶表示装置 |
KR100207506B1 (ko) | 1996-10-05 | 1999-07-15 | 윤종용 | 액정 표시 소자의 제조방법 |
JP3472422B2 (ja) | 1996-11-07 | 2003-12-02 | シャープ株式会社 | 液晶装置の製造方法 |
JPH10203584A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Nec Corp | 基板用カセット |
JPH10274768A (ja) | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Denso Corp | 液晶セルおよびその製造方法 |
USD396986S (en) * | 1997-06-30 | 1998-08-18 | Kensington Microware Limited | Media storage unit |
JP4028043B2 (ja) | 1997-10-03 | 2007-12-26 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法 |
US5875922A (en) | 1997-10-10 | 1999-03-02 | Nordson Corporation | Apparatus for dispensing an adhesive |
KR100247138B1 (ko) * | 1997-11-20 | 2000-03-15 | 구본준, 론 위라하디락사 | 유리기판 적재용 카세트 |
US6055035A (en) | 1998-05-11 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels |
US6337730B1 (en) | 1998-06-02 | 2002-01-08 | Denso Corporation | Non-uniformly-rigid barrier wall spacers used to correct problems caused by thermal contraction of smectic liquid crystal material |
US6171400B1 (en) * | 1998-10-02 | 2001-01-09 | Union Oil Company Of California | Vertical semiconductor wafer carrier |
JP3828670B2 (ja) | 1998-11-16 | 2006-10-04 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示素子の製造方法 |
US6219126B1 (en) | 1998-11-20 | 2001-04-17 | International Business Machines Corporation | Panel assembly for liquid crystal displays having a barrier fillet and an adhesive fillet in the periphery |
US6297869B1 (en) | 1998-12-04 | 2001-10-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Substrate and a liquid crystal display panel capable of being cut by using a laser and a method for manufacturing the same |
JP2000142876A (ja) | 1999-01-01 | 2000-05-23 | Sharp Corp | 基板収納カセット |
JP3568862B2 (ja) | 1999-02-08 | 2004-09-22 | 大日本印刷株式会社 | カラー液晶表示装置 |
JP2001215459A (ja) | 2000-02-02 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子製造装置 |
US6450346B1 (en) * | 2000-06-30 | 2002-09-17 | Integrated Materials, Inc. | Silicon fixtures for supporting wafers during thermal processing |
JP2002076108A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-15 | Nitto Denko Corp | ウエハカセットおよびウエハの収納方法 |
US6464445B2 (en) * | 2000-12-19 | 2002-10-15 | Infineon Technologies Richmond, Lp | System and method for improved throughput of semiconductor wafer processing |
US6488497B1 (en) * | 2001-07-12 | 2002-12-03 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Wafer boat with arcuate wafer support arms |
US6615994B2 (en) * | 2001-09-18 | 2003-09-09 | Intel Corporation | Wafer boat |
KR100573896B1 (ko) * | 2004-08-16 | 2006-04-26 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법 |
-
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