CN1445593A - 存放基板的柜子 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种存放基板的柜子。该柜子包括一框架和从框架两侧伸出的多个支撑板,在该框架上,各支撑板具有一宽度和长度,该宽度和长度大得足以支撑基板而使其没有弯折,并且在一机械手将基板传送到各支撑板上之后,从该柜子上为该机械手提供一释放空间。
Description
本申请要求享有2002年3月15日提交的第P2002-014196号韩国专利申请的利益,其在此引用以作参考。
技术领域
本发明涉及一种储存装置,尤其涉及一种存放基板的柜子。虽然本发明适于较宽的应用范围,不过它尤其适于存放其上形成有大液晶显示板的较宽母基板,由此防止母基板损坏并且能够在工作区内有效地传送母基板。
背景技术
为了提高产量,液晶显示装置的制造方法通常包括以下步骤:将薄膜晶体管阵列基板形成于一母基板上;将滤色器基板形成于另一母基板上;将两个母基板相互粘合在一起以同时形成多个液晶显示板。
图1示出了具有薄膜晶体管阵列基板的第一母基板和具有滤色器基板的第二母基板,其中第一和第二母基板相互粘合在一起以形成多个液晶显示板。
参见图1,在这些单位液晶显示板中,每一个薄膜晶体管阵列基板具有一个从每一个相应滤色器基板2上伸出的侧壁。选通和焊垫数据(gate and paddata)部分(图中未示)形成于薄膜晶体管阵列基板1没有与滤色器基板2重叠的相应边缘上。
因此,将第二母基板的滤色器基板2形成为由虚拟区31相互间隔开,该虚拟区对应于第一母基板20的每一个薄膜晶体管阵列基板1的伸出部分。
将单位液晶显示板设置成便于最大限度地利用第一和第二母基板20和30。根据各种模型,单位液晶显示板通常形成为由相当于另一个虚拟区32的区域相互间隔开。
在具有薄膜晶体管阵列基板1的第一母基板粘合到具有滤色器基板2的第二母基板30上之后,通过一切割过程分别单独切割各液晶显示板。由于工作区的限制,液晶显示板的切割过程通常与粘合过程分开。
因此,将粘合后的母基板按顺序存入一柜子的存放空间内。一旦该存放空间填满了粘合后的母基板,就转移该柜子以进行液晶显示板的切割过程。通过参照如下附图,详细说明一种存放基板的现有的柜子。
图2示出现有技术的一种存放基板的柜子的平面图。如图2所示,现有技术中一种存放基板的柜子包括一框架100和支撑销101,该框架100的前面有一开口,支撑销101从框架100的两侧伸出以支撑存放在框架100内的母基板102。
图3是现有技术中一种存放基板的柜子的布局,它示出母基板102由支撑销101支撑的情况。如图3所示,从框架100两侧的每一侧伸出的三个支撑销101相互间隔开。因此,三对支撑销101支撑母基板102。
也就是说,从框架100两侧伸出的三对支撑销101高度相同,由此稳定地支撑一个母基板102。另外,这些从框架100两侧伸出的支撑销101有规则地排列以对应于要存放的母基板102的数目。
例如,在柜子存放二十个母基板102的情况下,3×20个排列结构的支撑销101从框架100一侧伸出以与对面的支撑销相对应。
为了在框架100内放置母基板102,将母基板102装到(图2所示的)一机械手103上,然后将其转移到框架100内,使其比存放空间内设置的支撑销101稍高。接着,降低机械手103以将母基板102放到支撑销101上。
一旦框架100内填满了粘合后的母基板102,就转移该柜子去进行下面的切割过程。但是,具有填满母基板102的框架100的柜子经常处于待工(onhold)状态,因为液晶显示板的切割过程中存在延迟的情况。
当柜子处于等待状态时,对于小型液晶显示板的制造来说没有问题,因为母基板的尺寸小。但是,当制造具有大型液晶显示板的产品时,由于母基板本身的尺寸增大,会导致产量降低。
同时,当制造具有小型液晶显示板的产品时,采用液晶注入法。这里,液晶注入法包括以下步骤:在把制造号的液晶显示板切割成单独的单位液晶显示板之后,注入液晶。但是,当液晶注入法用于大型液晶显示板时,液晶注入法的处理时间变长,由此降低了产量。
因此,已经提出在制造大型液晶显示板时采用一种液晶滴注法。
这种液晶滴注法包括以下步骤:将液晶滴注到装配到第一母基板上的多个薄膜晶体管阵列基板上,或者滴注到装配在第二母基板上的多个滤色器基板上;将第一和第二母基板相互粘合在一起以形成多个液晶显示板;将所粘结的母基板切割成单独的单位液晶显示板。因此,这种液晶滴注法使产量降低得最小,因为它可用于大型液晶显示板。
但是,当利用该液晶滴注法制备具有大型液晶显示板的产品时,母基板的重量和尺寸增大了,由此增大了液晶显示板损伤的可能。
也就是说,当利用该液晶滴注法制备具有大型液晶显示板的产品时,母基板102的尺寸或由滴注液晶(LC)粘合后基板形成的液晶显示板重量增大了。因此,当柜子的等待时间延迟时,由从框架100两侧伸出的支撑销101支撑的母基板102或液晶显示板可能会以这样一种方式受到损坏,即,母基板或液晶显示板的中央部分向下弯。所以,母基板102上的液晶显示板图案可能受到破坏或损坏。至于其中有液晶的粘合后基板,板本身也有损伤。
此外,由于母基板102或液晶显示板的重量集中在支撑销101上,所以削弱了与支撑销101接触的母基板102各区域中液晶的性能,由此造成产品有显示故障。
因此,现有技术柜子使产品的缺点增多且降低了产量。
发明内容
本发明涉及一种存放基板的柜子,它基本上避免了因已有技术的局限和缺点导致的一个或多个问题。
本发明的另一个目的在于提供一种存放基板的柜子,它防止在等待时间延长时其上形成有大型液晶显示板的母基板损伤。
本发明的其他特征和优点将在以下的描述中列出,根据该描述,它们的一部分将变得很明显,或者可以通过实现本发明学会。通过以下的描述及其权利要求书以及附图中特别指出的结构,可实现和得到本发明的这些目的和其他优点。
为了实现这些和其他优点,根据本发明的目的,如具体和概括描述的那样,根据本发明的一种存放基板的柜子包括一框架和从框架两侧伸出的多个支撑板,在该框架上,各支撑板具有一宽度和长度,该宽度和长度大得足以支撑基板而使其没有弯折,并且在一机械手将基板传送到各支撑板上之后,从该柜子上为该机械手提供一释放空间。
应理解的是,前面总的描述和以下详细的描述是示例性和解释性的,意欲用它们提供对所要求保护的本发明的进一步说明。
附图说明
所包括用来提供对本发明进一步理解并且包括在内构成本申请一部分的附图,连同说明书文字部分一起示出了本发明的实施例,以解释本发明的原理。
这些附图中:
图1示出了一种根据已有技术具有薄膜晶体管阵列基板的第一母基板和具有滤色器基板的第二母基板的剖视图,其中第一和第二母基板相互粘合在一起以形成多个液晶显示板;
图2示出一种已有技术存放基板的柜子的透视图;
图3是表示图1支撑销支撑一母基板的存放基板的柜子的布局;
图4是示出一弯折问题的已有技术支撑的大型母基板的剖视图;
图5示出根据本发明第一实施例的存放基板的柜子的透视图;
图6是表示图5中支撑板支撑一母基板的根据本发明存放基板的柜子布局;
图7示出根据本发明第二实施例的存放基板的柜子的透视图;
图8是表示图7中支撑板支撑一母基板的根据本发明存放基板的柜子布局。
具体实施方式
现在将详细描述本发明的图示实施例,其实例示于附图中。只要可能,在所有附图中采用相同的参考数字以代表相同或相似的部件。
图5示出根据本发明第一实施例的存放基板的柜子的透视图。如图5所示,根据本发明第一实施例的存放基板的柜子包括前面有一开口的框架200和多个支撑板202,这些支撑板202从框架200的两侧伸出以便为其间提供一空间201。每一侧上的支撑板202固定在每一侧上,同时隔开,以便存放母基板203。虽然没有支撑板202需要的具体长度和宽度,不过支撑板202的尺寸应当宽得和长得足以支撑母基板203而使其没有弯折问题。
图6是表示图5中支撑板支撑一母基板的根据本发明存放基板的柜子布局。如图6所示,一对从框架200两侧伸出以在中部提供一分隔空间201的支撑板202支撑母基板203。
通过将具有薄膜晶体管阵列基板的第一母基板和具有滤色器基板的第二母基板相互粘合来制备母基板203。母基板203还可用来制造一液晶显示装置。因此,第一母基板上的薄膜晶体管阵列基板粘合到第二母基板上的滤色器基板上,由此形成多个液晶显示板。
此外,当用一液晶滴注法形成一液晶层时,可以把包括其间有液晶层的粘合基板的液晶显示板用作母基板203。
液晶滴注在第一母基板上。可以在第二母基板上形成一密封件以将第一和第二母基板相互粘合在一起。而且,可以在第一母基板或第二母基板上执行滴注液晶和形成密封剂的步骤。
支撑板202中央部分处的分隔空间用来使机械手204在卸下基板203之后,从框架200中回到原位。装载母基板203的机械手204转移到框架200中比支撑板202稍高的水平上,然后降低到支撑板202所支撑的母基板203上。
与根据图4所示已有技术的销式支撑销101相比,根据本发明第一实施例的支撑平板202使得母基板203中央部分弯折所造成的母基板203损伤最小,并且分散了母基板203的重量。
也就是说,即使增大了用液晶滴注法在其上形成大液晶显示板的母基板203的尺寸,当柜子的等待时间因下面切割过程的各种情况而延长时,本发明也能够控制母基板203中央部分的弯折造成的损伤。此外,本发明分散了母基板203的重量,由此防止了接触支撑板202的母基板区域中液晶性能的降低。
图7示出根据本发明第二实施例的存放基板的柜子的透视图。图8是表示图7中支撑板支撑一母基板的根据本发明存放基板的柜子布局。
如图7和8所示,一支撑板212从一框架210两侧伸出以在中间部分中有一对分隔空间211,并且支撑每一个母基板213。这种情况下,与本发明的第一实施例不同,支撑板212中间部分中的本发明第二实施例的分隔空间211为机械手214提供一最小空间。
因此,根据本发明第二实施例的支撑板比根据本发明第一实施例的支撑板更有效地防止了母基板213的损伤。而且,根据本发明第二实施例的支撑板分散了母基板213的重量。
如前面描述中提到的那样,根据本发明第一实施例的存放基板的柜子准配备了从框架两侧伸出的支撑平板以支撑母基板。因此,即使用一液晶滴注法在母基板上形成大型的液晶显示板,本发明也能使柜子中储存的母基板损伤最小。这是因为本发明分散了母基板的重量。
因此,本发明防止了装配在母基板上的液晶显示板图案破损或受到破坏,由此减少了产品的损伤。此外,本发明防止了接触支撑板的母基板区域中液晶性能降低造成的产品显示故障,由此提高了产量。
同时,根据本发明第二实施例的存放基板的柜子的分隔空间在支撑板的中部为机械手提供一个释放空间。因此,本发明的第二实施例比本发明第一实施例更有效地防止了母基板中央部分弯折造成的损伤。这是因为第二实施例的支撑板更有效地分散了母基板的重量。
对于本领域的那些技术人员来说,在不脱离本发明的实质或范围的情况下,可以在本发明存放基板的柜子中作各种修改和变换。这样,假定本发明的这些修改和变换落在所附权利要求书及其等同物的范围内,意欲使本发明覆盖它们。
Claims (9)
1.一种存放基板的柜子,包括:
一框架;和
多个支撑板,它们从框架的两侧伸出,在该框架上,各支撑板具有一宽度和长度,该宽度和长度大得足以支撑基板而使其没有弯折,并且在一机械手将基板传送到各支撑板上之后,从该柜子上为该机械手提供一释放空间。
2.根据权利要求1所述的柜子,其特征在于,所述框架有一开放的前面。
3.根据权利要求1所述的柜子,其特征在于,所述各支撑板支撑基板。
4.根据权利要求1所述的柜子,其特征在于,所述支撑板是平的。
5.根据权利要求1所述的柜子,其特征在于,所述基板包括其上有薄膜晶体管阵列基板的第一母基板和其上有滤色器基板的第二母基板。
6.根据权利要求1所述的柜子,其特征在于,所述基板包括第一母基板、粘合到第一母基板上的第二母基板和第一母基板与第二母基板之间的液晶层。
7.根据权利要求6所述的柜子,其特征在于,所述液晶层滴注到第一母基板或第二母基板上。
8.根据权利要求1所述的柜子,其特征在于,所述释放空间与机械手相匹配。
9.根据权利要求1所述的柜子,其特征在于,所述释放空间大于机械手的宽度。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2002-0014196 | 2002-03-15 | ||
KR1020020014196A KR100870661B1 (ko) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 기판 수납용 카세트 |
KR20020014196 | 2002-03-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1445593A true CN1445593A (zh) | 2003-10-01 |
CN1445593B CN1445593B (zh) | 2012-01-04 |
Family
ID=28036080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN031037399A Expired - Fee Related CN1445593B (zh) | 2002-03-15 | 2003-02-18 | 存放基板的柜子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8322542B2 (zh) |
JP (1) | JP4210136B2 (zh) |
KR (1) | KR100870661B1 (zh) |
CN (1) | CN1445593B (zh) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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