JP3992006B2 - 振動型マイクロジャイロセンサ - Google Patents
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Description
上記構成により、一方の振動子を振動させると、加速度感度は振動振幅に依存しないため、2つの振動振幅が異なっていても加速度感度のキャンセルには問題なく、2つの振動子の共振周波数が大きく異なっていても自励発振を確立することができる。また、リンク機構を持たないので、安価に構成することができる。
「2つの振動子の共振周波数を同一に作りこむことができれば同一周波数で共振するが、実際には振動子を支持する梁幅の寸法のバラツキなどにより共振周波数に差を生じる。」
図1に示す構成部材である振動子1−1、1−2、可動電極1−1a、1−2a、駆動梁2−1、2−2、モニタ電極3−1、3−2及び駆動電極(4−11、4−12)、(4−21、4−22)は図2と同じであるのでその詳細な説明は省略する。
1−1a、1−2a 可動電極
2−1、2−2 駆動梁
3−1、3−2、3−11、3−12 モニタ電極
4−11、4−12、4−21、4−22 駆動電極
10 自励発振回路
11 インバータ
12 オペアンプ
Claims (1)
- 平行に配置され、寸法のバラツキにより共振周波数が必ずしも一致せず、かつ機械的リンクが無い2つの振動子と、
前記2つの振動子を同一周波数で逆相の駆動信号により振動させる駆動手段と、
振動に伴う前記2つの振動子の振動方向と垂直方向への変位を検出する検出手段と、
前記2つの振動子のいずれか一方のみの振動をモニタリングするモニタ手段と、
前記モニタ手段によりモニタリングされた振動信号により前記一方の振動子の共振周波数を決定し、該共振周波数により前記2つの振動子を同一共振周波数で駆動させるべく前記駆動手段を制御する制御手段とを、
備えた振動型マイクロジャイロセンサ。
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