KR101348841B1 - 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 및그 제어 방법 - Google Patents

역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 및그 제어 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 2개의 질량소자(1,2)가 장착된 진동형 마이크로 자이로스코프는 각각 구동 전극(5,6)을 통해 진동되는 제1·2질량소자(1,2)간 공진 진동 시, 제2질량소자(2)의 구동이 제1질량소자(1)의 검출신호를 그대로 이용하는지 않고 제1질량소자(1)의 검출신호와 더불어 제2질량소자(2) 자신의 검출신호를 이용하여 구동하함에 따라, 제1·2질량소자(1,2) 중 한쪽 질량소자를 기준으로 고유진동수를 일치할 수 있어 제조 시 고유 공진 주파수가 다른 경우라도, 제1·2질량소자(1,2)를 동일한 공진 주파수와 진폭을 가지면서 역상으로 진동시켜, 2개의 제1·2질량소자(1,2)에 인가된 각 속도에 대한 감도 향상을 통한 자이로스코프 성능이 강화될 수 있는 특징이 있게 된다.
질량소자, 진동, 자이로스코프

Description

역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 및 그 제어 방법{Reverse vibration dual mass elements typed micro gyroscope and control method thereof}
본 발명은 진동형 마이크로 자이로스코프에 관한 것으로, 특히 2개의 질량 소자가 서로 동일한 공진 주파수와 진폭을 갖고 역상으로 진동하는 마이크로 자이로스코프 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 진동형 마이크로 자이로스코프의 질량소자는 인가된 각 속도에 대한 감도를 향상시키는 증폭된 진폭을 적은 구동력으로 얻을 수 있도록, 공진 주파수에서 진동시키게 된다.
이러한 진동형 마이크로 자이로스코프는 자이로스코프의 성능을 높이도록 통상, 2개의 질량소자를 이용해 동일한 진폭으로 진동시키도록 구성되는데 이는, 2개의 질량소자가 상이한 진폭으로 진동하는 경우, 비록 인가된 관성력의 상쇄에는 영향을 미치지 않지만, 인가된 각 속도에 대한 상이한 감도를 갖음에 따라, 자이로스코프의 성능이 만족스럽지 못하게 되는 것을 방지하기 위함이다.
이와 같은 2개의 질량소자를 장착한 진동형 마이크로 자이로스코프는 통상적 으로, 질량소자는 각각 구동 빔에 의해 지지되면서 머리핀 형태의 연결 빔에 의해 서로 연결되어져 X축 방향으로 진동하며, 상기 질량소자를 진동시키기 위한 구동전극과 더불어 질량소자의 진동을 검출하기 위한 검출전극은 빗살형태로 형성되고, 자이로스코프 센서로부터의 신호를 검출하기 위한 검출전극이 평판형태로 형성되어 진다.
이에 따라 각각의 질량소자가 X방향으로 진동할 때, 질량소자의 전극 사이에 형성되는 대향면적이 변화되고, 이는 전극 사이의 커패시턴스(capacitance)를 변화시키므로, 이를 대응하는 전압 값으로 변환하여 페이즈 락 루프(PLL, phase lock loop)와 자동 게인 제어기(AGC, automatic gain control)로 피드백(Feed Back)시켜, 진폭이 일정한 고유진동수로 진동시키게 되는데, 이때 구동전극에는 구동력을 서로 반대로 작용시켜 질량소자가 서로 역상으로 진동하도록 하는 방식으로 구현하게 된다.
그러나, 이러한 진동형 마이크로 자이로스코프는 질량소자의 성능이 인가된 각 속도에 대한 감도로 좌우됨에 따라, 질량소자의 제조 특성이 우수해야 하지만 제조 시 여러 요인들과 온도변화 등으로 일정한 품질의 질량 소자를 얻기가 용이하지 않게 되며, 이러한 질량소자의 성능 차이는 일례로, 2개의 질량소자가 갖는 각각의 공진 주파수 사이에 차이가 존재하면, 제1질량소자보다 상대적으로 제2질량소자에서는 아주 작은 진폭을 나타냄에 따라, 결과적으로 인가된 각 속도에 대한 상이한 감도로 인해 자이로스코프 성능을 저하시키게 된다.
또한, 이와 같이 2개의 질량소자가 갖는 각각의 공진 주파수 사이에 차이가 있게 됨에 따라, 특히 제1질량소자에 비해 제2질량소자에 인가되는 각 속도에 대한 충분한 출력 신호의 크기가 얻어질 수 없는 한계가 있게 된다.
이에 본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 발명된 것으로, 2개의 질량소자 중 제2질량소자를 제1질량소자와 동일한 공진 주파수와 진폭을 가지면서 역상으로 진동시켜, 2개의 질량소자에 인가된 각 속도에 대한 감도 향상을 통해 자이로스코프 성능을 강화하는 2개의 질량소자가 장착된 진동형 마이크로 자이로스코프를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 2개의 질량소자의 실제 고유 공진 주파수가 다르게 제조되었더라도, 2개의 질량소자를 동일한 공진 주파수와 진폭을 가지면서 역상으로 진동시킬 수 있도록 제2질량소자의 고유진동수를 제1 질량소자의 고유진동수와 일치하도록 조정함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프가 서로간에 기계적으로 연결되지 않고, 각각 X축 방향으로 진동할 수 있는 제1·2질량소자와,
상기 제1·2질량소자중 한쪽 질량소자가 진동할 때, 전극사이 대향 면적의 변화에 따라 변화된 전극 간 커패시턴스를 전압 값으로 변환하여 입력받는 PLL & AGC,
상기 제1질량소자의 진동 주파수를 근거로 해 진동된 제2질량소자의 고유 공진 주파수가 진동주파수와 일치되도록 조정하는 공진 주파수 제어기,
상기 제2질량소자의 진폭을 제1질량소자의 검출신호의 진폭과 일치하도록 조정하는 진폭제어기 및
각각 진동되어 진동 주파수를 발생한 제1·2질량소자의 진동 주파수 위상차가 90°되는 지를 비교하는 위상비교기로 구성되어진 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 제1·2질량소자는 각각 X축 방향으로 진동할수 있도록 구동 빔에 의해 각각 지지되며, 각각 다수의 구동 전극과 검출 전극을 갖추고, 자이로스코프 센서로부터의 신호를 검출하기 위한 센서 검출 전극이 더 구비되어진다.
또한, 본 발명은 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프의 제어 방법이 2개의 질량소자중 제1질량소자를 일정 진폭을 갖는 공진 주파수로 진동시키는 제1 진동 단계;
상기 제1질량소자를 구동하는데 필요한 힘과 크기가 같고 위상이 반대인 힘을 제2질량소자에 가하는 제2 진동 단계;
상기 제2질량소자에 가해진 힘과 이로 인해 유발되는 제2질량소자의 진동 위상을 비교하는 위상 비교 단계;
상기 제1·2질량소자의 위상 비교 결과를 바탕으로 제2질량소자의 공진주파수를 조정하여, 제1질량소자의 공진주파수와 일치시키는 제1 일치 단계;
상기 제1질량소자의 진폭과 제2질량소자의 진폭을 일치시키는 제2 일치 단계;
로 구현되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 제2 일치 단계는 제1·2질량소자가 서로 일치된 진동 주파수를 형성한 후, 제2질량소자의 검출전극으로부터 측정된 제2질량소자의 검출신호와 곱해져 저주파 필터기를 거쳐 적분제어기로 전달된 후, 상기 적분제어기로부터 발생된 출력신호는 제2질량소자의 검출신호와 곱해진 다음, 다시 진폭이 조정된 제2질량소자의 구동신호와 합해져 조정된 구동신호를 형성하여, 제2질량소자의 구동전극을 통해 전달해 제2질량소자를 구동하는 방식으로 구현되어진다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 진동형 마이크로 자이로스코프를 이루는 2개의 질량소자가 그 제조 오류로 인해 실제 고유 공진 주파수가 서로 다르더라도, 2개의 질량소자를 동일한 공진 주파수와 진폭을 가지면서 역상으로 진동시킴에 따라, 2개의 질량소자에 인가된 각 속도에 대한 감도 향상과 자이로스코프 성능을 향상은 물론 신뢰성을 향상할 수 있는 효과가 있게 된다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 예시도면을 참조로 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 2개의 질량소자를 장착한 진동형 마이크로 자이로스 코프의 구성도를 도시한 것인바, 본 발명의 진동형 마이크로 자이로스코프는 서로간에 기계적으로 연결되지 않고, 각각 X축 방향으로 진동할 수 있는 제1·2질량소자(1,2)와,
상기 제1·2질량소자(1,2)중 한쪽 질량소자(1)가 진동할 때, 전극사이 대향 면적의 변화에 따라 변화된 전극 간 커패시턴스를 전압 값으로 변환하면서 진폭이 일정한 고유진동수로 진동시키는 PLL & AGC(20),
상기 제1·2질량소자(1,2)중 진동하지 않은 질량 소자(2)를 공진 진동수로 진동시키는 공진 진동 수단 및
상기 제1·2질량소자(1,2)간 고유 공진 주파수가 진동주파수와 일치되도록 상기 공진 진동 수단이 조정하도록, 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수 위상차가 90°되는 지를 비교하는 위상비교기(50)로 구성되어진다.
이에 더해 본 발명의 진동형 마이크로 자이로스코프는 제2질량소자(2)를 구동할 때, 제1질량소자(1)의 검출신호를 그대로 이용하지 않고 제1질량소자(1)의 검출신호와 제2질량소자(2) 자신의 검출신호를 이용하여 구동되는데, 이는 상기 제1·2질량소자(1,2)중 진동하지 않은 질량 소자(2)를 공진 진동수로 진동시키는 공진 진동 수단과, 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수 위상차를 비교하는 위상비교기(50)를 이용하여 구현되어진다.
그리고, 상기 제1·2질량소자(1,2)는 각각 X축 방향으로 진동할 수 있도록 구동 빔(3,4)에 의해 각각 지지되며, 각각 다수의 구동 전극(5,6)과 검출 전극(7,8)을 갖추고, 자이로스코프 센서로부터의 신호를 검출하기 위한 센서 검출 전 극(9,10)이 더 구비되어진다.
또한, 상기 구동 전극(5,6)은 서로 대칭되게 전극을 배치시키는데 즉, 상기 제1질량소자(1)의 구동 전극(5)과 제2질량소자(2)의 구동 전극(6)을 서로 대칭되게 배치시킴에 따라, 상기 제2질량소자(2)에는 제1질량소자(1)의 역상인 구동력이 가해지게 된다.
이때, 제2질량소자(2)는 제1질량소자(1)와 동일한 진동주파수로 진동하게 되지만, 자신의 공진주파수로 진동하는 것은 아니며, 제1질량소자(1)와의 위상차도 반드시 역상으로 이루어지지 않게 된다.
여기서, 상기 제1·2질량소자(1,2)를 진동시키기 위한 구동 전극(5,6)과 질량소자의 진동을 검출하기 위한 검출전극(7,8)은 빗살형태로 형성되는 반면, 상기 센서 검출 전극(9,10)은 평판형태로 형성되어 진다.
그리고, 상기 PLL & AGC(20)는 페이즈 락 루프(PLL, Phase Lock Loop)와 자동 게인 제어기(AGC, Automatic Gain Control)로서, 이들은 상기 제1·2질량소자(1,2)중 한쪽 질량소자(1)가 진동할 때, 전극사이 대향 면적의 변화에 따라 변화된 전극 간 커패시턴스를 피드백(Feedback)시키면서 전압 값으로 변환해, 진폭이 일정한 고유진동수로 진동시켜주는 작용을 하게 된다.
또한, 상기 공진 진동 수단은 제2질량소자(2)가 자신의 고유진동수로 진동하면 구동신호와 90°위상차를 갖는 점을 이용하여, 위상비교기(50)의 결과를 바탕으로 제2질량소자(2)의 고유 공진 주파수가 진동주파수와 일치되도록 조정하는 공진 주파수 제어기(30)와, 제2질량소자(2)의 진폭을 제1질량소자(1)의 검출신호의 진폭 과 일치하도록 조정하는 진폭제어기(40)로 이루어진다.
이하 본 발명의 작동을 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.
본 발명의 2개의 질량소자(1,2)가 장착된 진동형 마이크로 자이로스코프는 각각 구동 전극(5,6)을 통해 진동되는 제1·2질량소자(1,2)간 공진 진동 시, 제2질량소자(2)의 구동이 제1질량소자(1)의 검출신호를 그대로 이용하지 않고 제1질량소자(1)의 검출신호와 더불어 제2질량소자(2) 자신의 검출신호를 이용하여 구동하함에 따라, 제1·2질량소자(1,2) 중 한쪽 질량소자를 기준으로 고유진동수를 일치할 수 있어 제조 시 고유 공진 주파수가 다른 경우라도, 제1·2질량소자(1,2)를 동일한 공진 주파수와 진폭을 가지면서 역상으로 진동시켜, 2개의 제1·2질량소자(1,2)에 인가된 각 속도에 대한 감도 향상을 통한 자이로스코프 성능이 강화될 수 있는 특징이 있게 된다.
이를 위해 본 발명은 진동형 마이크로 자이로스코프가 도 1에 도시된 바와 같이, 각각 다수의 구동 전극(5,6)과 검출 전극(7,8) 및 센서 검출 전극(9,10)등이 구비되면서, 구동 빔(3,4)에 의한 지지로 서로간에 기계적으로 연결되지 않고서도 각각 X축 방향으로 진동할 수 있는 2개의 제1·2질량소자(1,2)를 이용하게 된다.
또한, 상기 제1·2질량소자(1,2)가 진폭이 일정한 고유진동수로 함께 공진되도록 제어하기 위하여, 상기 제1·2질량소자(1,2)중 진동되는 한쪽 질량소자(1)를 PLL & AGC(20)를 이용해 진폭이 일정한 고유진동수로 진동시킨 후, 다른 질량소자(2)를 먼저 진동시킨 질량소자(1)에 대해 90°위상차를 갖으면서 공진 진동수로 진동시키도록, 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수를 제어하기 위해 위상비교기(50)와 공진 주파수 제어기(30) 및 진폭제어기(40)등을 이용하게 된다.
이와 같이 구성된 2개의 질량소자(1,2)가 장착된 진동형 마이크로 자이로스코프의 진동 제어방법은 도 2에 도시된 바와 같이, 제1·2질량소자(1,2)중 기준이 되는 제1질량소자(1)를 구동 전극(5)과 구동 빔(3)을 통해 구동력을 가하여 X축 방향으로 진동시킨 다음, 상기 제1질량소자(1)의 진동을 검출 전극(7)을 거쳐 PLL & AGC(20)로 피드 백 되어져 진폭이 일정한 고유진동수로 진동여부를 확인하게 된다.
이때, 상기 제1질량소자(1)의 진동상태는 검출전극(6)으로부터의 신호에 기반하여 측정된다.
그리고, 상기 PLL & AGC(20)는 제1질량소자(1)의 진동 시 전극사이 대향 면적의 변화에 따라 변화된 전극 간 커패시턴스를 전압 값으로 변환해, 진폭이 일정한 고유진동수로 진동시켜주는 작용을 하게 된다.
이어, 상기 제1질량소자(1)가 고유진동수로 진동되면 제2질량소자(2)도 구동 전극(6)과 구동 빔(4)을 통해 X축 방향으로 진동시켜 주는데, 이때 상기 제2질량소자(2)를 구동하는데 필요한 힘과 크기는 제1질량소자(1)에서 제공되었던 필요한 힘과 크기가 같고 위상이 반대이다.
이때, 상기 제2질량소자(2)의 진동상태는 검출전극(7)으로부터의 신호에 기반하여 측정된다.
또한, 상기 제2질량소자(2)의 운동 방정식은 X''+Cxxx'+W2xx=f2로 표현되느데, Wx는 공진주파수, Cxx는 감쇠(damping)계수, x는 X축 상에서의 질량소자의 변위이며, f2는 제 2 질량소자로의 제어입력을 의미한다.
이후, 상기 제1·2질량소자(1,2)에서 발생된 진동을 수거 즉, 상기 제1질량소자(1)의 고유진동수를 PLL & AGC(20)거쳐 진폭제어기(40)로 수집하고, 상기 제2질량소자(2)의 고유진동수를 진폭제어기(40)로 수집한 후, 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수와 그 위상이 역상인가를 위상비교기(50)를 이용해 서로 비교하게 된다.
이어 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수가 서로 일치하지 않는 경우 공진 주파수 제어기(30)와 진폭제어기(40)등을 이용해 조정하게 되는데, 이는 제2질량소자(2)의 공진주파수를 진동주파수와 일치시켜 제1질량소자(1)와 역상의 위상차를 보장하기 위해 다음과 같이 수행하게 된다.
즉, 위상비교기(50)는 PLL & AGC(20)거친 제1질량소자(1)의 위상과 제2질량소자(2)의 위상을 비교하게 되며, 상기 위상비교기(50)의 결과를 입력받은 공진 주파수 제어기(30)는 제2질량소자(2)가 자신의 고유진동수로 진동하면 구동신호와의 위상차가 90도가 됨에 따라, 상기 위상비교기(50)의 결과를 바탕으로 제2질량소자(2)의 고유 공진주파수가 진동주파수와 일치되도록 조정한다.
이때, 상기 공진 주파수 제어기(30)와 위상비교기(50)가 제2질량소자(2)의 고유 공진주파수가 진동주파수와 일치되도록 조정할 때 구현하는 방정식은 다음과 같다.
방정식
Figure 112013099549396-pat00004
여기서, K1는 적분제어기의 상수이며, LPF는 저주파통과필터(Low Pass Filter)이고, f1는 제1질량소자(1)의 구동전극(5)에 가해지는 구동신호이며, f21은 공진 주파수 제어기(30)의 출력을 의미하고, s는 방정식이 라플라스 변환임을 의미한다.
이어 상기 제2질량소자의 주파수가 제1질량소자(1)의 주파수와 일치되는지 여부에 따라, 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수가 일치될 때까지 반복 수행하게 된다.
이와 같이 진동된 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수를 서로 일치시키고 나면, 다시 제1질량소자(1)의 진폭과 제2질량소자(2)의 진폭을 서로 일치하도록 공진 주파수 제어기(30)가 제2질량소자(2)에 구동신호를 가하게 된다.
이때, 상기 제2질량소자(2)에 가해지는 구동신호는 제1질량소자(1)의 구동전극(5)에 가해지는 구동신호와 크기가 같게 된다.
이어, 상기 제2질량소자(2)에 가해지는 구동신호는 제2질량소자(2)의 검출전극(8)으로부터 측정된 제2질량소자(2)의 검출신호와 곱해져 저주파 필터기를 거쳐 적분제어기로 전달된 후, 상기 적분제어기로부터 발생된 출력신호는 제2질량소자(2)의 검출신호와 곱해지게 된다.
이후, 적분제어기 출력신호가 곱해진 제2질량소자(2)의 검출신호는 다시 진폭이 조정된 제2질량소자(2)의 구동신호와 합해진 다음, 이와 같이 조정된 구동신호가 제2질량소자의 구동전극(6)을 통해 전달되어 제2질량소자(2)를 구동하게 된다.
이때, 상기 진폭 제어기(40)가 제2질량소자(2)의 고유 공진 주파수 진폭이 일치되도록 조정할 때 구현하는 방정식은 다음과 같다.
방정식
Figure 112013099549396-pat00005
여기서 K2, K3 는 비례적분제어기의 상수이며, x1은 제 1 질량소자의 검출신호이며, f22는 진폭제어기의 출력이다.
또한, 제2질량소자(2)의 구동신호 방정식은 다음과 같다.
방정식 f2= f21+f22
이어 조정된 구동신호로 진동되어진 제2질량소자의 진폭이 제1질량소자(1)의 진폭과 일치되는지 여부에 따라, 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수 진폭이 일치될 때까지 반복 수행하게 된다.
이와 같이 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수에 대한 주파수 일치와 더불어 진폭이 동일하게 되면, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수는 서로 동일한 공진 주파수와 진폭을 갖고 서로 90°역상으로 진동되어진다.
도 1은 본 발명에 따른 2개의 질량소자를 장착한 진동형 마이크로 자이로스코프의 구성을 보인 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 제어 방법 흐름도
도 3은 본 발명의 실시에 따른 2개의 질량소자의 진동 선도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1,2 : 제1·2질량소자 3,4 : 구동 빔
5,6 : 구동 전극 7,8 : 검출 전극
9,10 : 센서 검출 전극 20 : PLL & AGC
30 : 공진 주파수 제어기
40 : 진폭제어기 50 : 위상비교기

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  6. 2개의 질량소자(1,2)중 제1질량소자(1)를 일정 진폭을 갖는 공진 주파수로 진동시키는 제1 진동 단계;
    상기 제1질량소자(1)를 구동하는데 필요한 힘과 크기가 같고 위상이 반대인 힘을 제2질량소자(2)에 가하는 제2 진동 단계;
    상기 제2질량소자(2)에 가해진 힘과 이로 인해 유발되는 제2질량소자(2)의 진동 위상을 비교하는 위상 비교 단계;
    상기 제1·2질량소자(1,2)의 위상 비교 결과를 바탕으로 제2질량소자(2)의 공진주파수를 조정하여, 제1질량소자(1)의 공진주파수와 일치시키도록
    Figure 112013099549396-pat00006
    이 적용되는 제1 일치 단계;
    상기 제1질량소자(1)의 진폭과 제2질량소자(2)의 진폭을 일치시키도록
    Figure 112013099549396-pat00007
    이 적용되는 제2 일치 단계; 로 구현되고, K1, K2, K3 는 적분제어기의 상수, LPF는 저주파통과필터(Low Pass Filter), f1는 제1질량소자(1)의 구동전극(5)에 가해지는 구동신호, f21은 공진 주파수 제어기(30)의 출력, f22는 진폭제어기의 출력, x1은 제 1 질량소자의 검출신호인 것을 특징으로 하는 역상진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 제어 방법.
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 위상 비교 단계는 제1질량소자(1)의 고유진동수를 PLL & AGC(20)거쳐 진폭제어기(40)로 수집하고, 상기 제2질량소자(2)의 고유진동수를 진폭제어기(40)로 수집한 후, 상기 제1·2질량소자(1,2)의 진동 주파수와 그 위상이 역상인가를 위상비교기(50)를 이용해 서로 비교하여 판단되는 것을 특징으로 하는 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 제어 방법.
  8. 청구항 6에 있어서, 상기 제1 일치 단계는 제1·2질량소자(1,2)의 위상을 비교하는 위상비교기(50)의 결과를 바탕으로, 공진 주파수 제어기(30)가 제2질량소자(2)의 고유 공진주파수가 진동주파수와 일치되도록 조정하는 것을 특징으로 하는 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 제어 방법.
  9. 청구항 6에 있어서, 상기 제2 일치 단계는 제1·2질량소자(1,2)가 서로 일치된 진동 주파수를 형성한 후, 제2질량소자(2)의 검출전극(8)으로부터 측정된 제2질량소자(2)의 검출신호와 곱해져 저주파 필터기를 거쳐 적분제어기로 전달된 후, 상기 적분제어기로부터 발생된 출력신호는 제2질량소자(2)의 검출신호와 곱해진 다음, 다시 진폭이 조정된 제2질량소자(2)의 구동신호와 합해져 조정된 구동신호를 형성하여, 제2질량소자의 구동전극(6)을 통해 전달해 제2질량소자(2)를 구동하는 방식으로 구현되는 것을 특징으로 하는 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 제어 방법.
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