JP3462921B2 - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、それぞれの入力ノー
ドに同一の制御信号を受ける複数の入力バッファ回路を
有した半導体装置に係り、特に、上記複数の入力バッフ
ァ回路の入力ノードに同一の制御信号を与える経路に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体装置は、例えば特開平3−
214669号公報の第22図及び第24図並びにその
関連記載部分、または特開昭63−200554号公報
第1図及び第2図並びにその関連記載部分に示されてい
るように、半導体チップに形成された複数の接地電位用
ボンディングパッド(及び複数の電源電圧用ボンディン
グパッド)に対して、接地電位用ボンディングパッド
(及び電源電圧用ボンディングパッド)に接続される半
導体チップ内の接地線(及び電源線)のノイズレベルを
低減させるために1本の接地電位用リード端子(及び電
源電圧用リード端子)を設け、複数の接地電位用ボンデ
ィングパッド(及び複数の電源電圧用ボンディングパッ
ド)を1本の接地電位用リード端子(及び電源電圧用リ
ード端子)に複数の金属細線にて電気的に接続している
ものの、クロック信号などの制御信号又はアドレス信号
が与えられるリード端子はそれぞれ1種類の信号に対し
て割り当てられ、しかも、各リード端子に対応して1つ
のボンディングパッドが半導体チップに設けられ、対応
したリード端子とボンディングパッドとを金属細線にて
電気的に接続しているのが一般的であった。
【0003】また、特開昭59−63744号公報の第
2図及びその関連記載部分には、1本の入出力用のリー
ド端子に対して、近接した入力用ボンディングパッド及
び出力用ボンディングパッドとを設け、入出力用のリー
ド端子と入力用ボンディングパッドとを金属細線にて電
気的に接続するとともに、入出力用のリード端子と出力
用ボンディングパッドとを金属細線にて電気的に接続し
ているものが示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、近年、高集
積化、高機能化、高速化を目的とした半導体装置が種々
開発されており、半導体チップに、同一の制御信号によ
って制御される複数の回路を設けたもの、例えば、複数
のメモリセルアレイを有し、各メモリセルアレイごとに
同一の制御信号に基づいて制御するDRAMや、同期信
号となるクロック信号(制御信号)によって同期を取ら
れて制御されるシンクロナスDRAMのようなものが提
案されてきている。
【0005】このように同一の制御信号によって制御さ
れる複数の回路を半導体チップに設けられた半導体装置
に、上記した従来技術の延長線に基づいて、1本のリー
ド端子及び金属細線を介して1つのボンディングパッド
に受けた制御信号を、この1つのボンディングパッドか
ら複数の回路に対して施された配線層によって与えた場
合、ボンディングパッドの近辺に設けられた回路と、ボ
ンディングパッドから最も遠い位置に設けられた回路に
対して、配線層の引き回しによる信号伝達時間の差が生
じるため、長い信号経路となる配線層に動作速度が律束
されてしまい、高速化が図れにくいものであった。
【0006】この発明は上記した点に鑑みてなされたも
のであり、同一の制御信号を受ける入力バッファ回路を
複数有する半導体装置において、各入力バッファ回路に
対して入力される制御信号の信号遅延差を極力小さくし
た半導体装置を得ることを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は要約すれば、
それぞれに同一の制御信号が入力される複数のボンディ
ングパッドと、これら複数のボンディングパッドに対応
して設けられる複数の入力バッファ回路と、それぞれが
対応した入力バッファ回路の入力ノードと対応したボン
ディングパッドとを電気的に接続する複数の配線層とを
半導体チップ設け、さらに、上記制御信号を受けるリ
ード端子を上記複数のボンディングパッドに対して設け
るとともに、対応したボンディングパッドとリード端子
とをそれぞれ電気的に金属細線にて接続したものであ
る。
【0008】すなわち、この発明の第観点に係る半
導体装置は、それぞれに同一の制御信号が入力される複
数のボンディングパッドと、これら複数のボンディング
パッドに対応して設けられる複数の入力バッファ回路
と、それぞれが対応した入力バッファ回路の入力ノード
と対応したボンディングパッドとを電気的に接続する複
数の配線層と、複数の入力バッファ回路の出力ノードを
電気的に接続する金属層からなる出力側配線層とを半導
体チップ設け、さらに、上記制御信号を受けるリード
端子を上記複数のボンディングパッドに対して設けると
ともに、対応したボンディングパッドとリード端子とを
それぞれ電気的に金属細線にて接続したものである。
【0009】この発明の第観点に係る半導体装置
は、それぞれに同一の制御信号が入力される複数のボン
ディングパッドと、これら複数のボンディングパッドに
対応して設けられる複数の入力バッファ回路と、それぞ
れが対応した入力バッファ回路の入力ノードと対応した
ボンディングパッドとを電気的に接続する複数の配線層
とを半導体チップ設け、上記制御信号を受けるリード
端子を上記複数のボンディングパッドに対して設け、か
つ、一端に制御信号を外部から受けるためのリード部
と、このリード部の他端から一体形成され、半導体基板
の長辺に並行な接続部とを有するものとし、対応したボ
ンディングパッドとリード端子とをそれぞれ電気的に金
属細線にて接続したものである。好ましくは、ボンディ
ングパッドは、半導体基板長辺に平行な中央線に沿っ
て、2つのボンディングパッド間には別の制御信号を受
ける別ボンディングパッドが配置されるように配置さ
れ、また、半導体基板表面上の絶縁層上に複数の入力バ
ッファ回路の出力ノードを電気的に接続する出力側配線
層が設けられる。
【0010】この発明の第観点に係る半導体装置
は、半導体基板の長辺と平行な中央線に沿って配置され
た右側列と左側列とを有し、右側列の所定数及び左側列
の所定数それぞれに同一の制御信号が入力される複数の
ボンディングパッドと、これら複数のボンディングパッ
ドのうちの右側列及び左側列の所定数のボンディングパ
ッドに対応して設けられる複数の入力バッファ回路と、
それぞれが対応した入力バッファ回路の入力ノードと対
応したボンディングパッドとを電気的に接続する複数の
配線層とを有した半導体チップを設け、上記制御信号を
受けるリード端子を上記複数のボンディングパッドのう
ちの右側列及び左側列の所定数のボンディングパッドに
対して設け、一端に制御信号を外部から受けるためのリ
ード部と、このリード部の他端から一体形成され、半導
体基板の長辺に並行でかつ、複数のボンディングパッド
の右側列と左側列との間に位置する接続部とを有するも
のとし、対応したボンディングパッドとリード端子とを
それぞれ電気的に金属細線にて接続したものである。
【0011】この発明の観点に係る半導体装置は、
半導体基板の短辺と平行な中央線に沿って配置され、そ
れぞれに同一の制御信号が入力される複数のボンディン
グパッドと、これら複数のボンディングパッドに対応し
て設けられる複数の入力バッファ回路と、それぞれが対
応した入力バッファ回路の入力ノードと対応したボンデ
ィングパッドとを電気的に接続する金属層からなる複数
の配線層とを有した半導体チップを設け、上記制御信号
を受けるリード端子を上記複数のボンディングパッドに
対して設けるとともに、対応したボンディングパッドと
リード端子とをそれぞれ電気的に金属細線にて接続した
ものである。
【0012】この発明の第観点に係る半導体装置
は、半導体基板の4隅それぞれに配置され、それぞれに
同一の制御信号が入力される複数のボンディングパッド
と、これら複数のボンディングパッドに対応して設けら
れる複数の入力バッファ回路と、それぞれが対応した入
力バッファ回路の入力ノードと対応したボンディングパ
ッドとを電気的に接続する金属層からなる複数の配線層
とを有した半導体チップを設け、上記制御信号を受ける
リード端子を上記複数のボンディングパッドに対して設
け、それぞれが半導体基板の一対の短辺に近接する第1
の部分及び第2の部分を有するリード部と、このリード
部と一体形成され、第1及び第2の部分の他端間に位置
に位置する接続部とを有するものとし、対応したボンデ
ィングパッドとリード端子とをそれぞれ電気的に金属細
線にて接続したものである。
【0013】この発明の第観点に係る半導体装置
は、同一の制御信号が入力され、それぞれ第1および第
2の半導体基板上に形成される第1および第2のボンデ
ィングパッドと、それぞれが第1および第2のボンディ
ングパッドに対応して設けられる第1および第2の入力
バッファ回路と、第1の入力バッファ回路の入力ノード
と第1のボンディングパッドとを電気的に接続する第1
の配線および第2の入力バッファ回路の入力ノードと第
2のボンディングパッドとを電気的に接続する第2の配
線とをそれぞれ第1の半導体チップおよび第2の半導体
チップに設け、制御信号を受けるリード端子を第1およ
び第2のボンディングパッドに対して設けるとともに、
第1のボンディングパッドとリード端子とを第1の金属
細線により電気的に接続し、第2のボンディングパッド
とリード端子とを第2の金属細線により電気的に接続し
たものである。
【0014】
【作用】この発明においては、それぞれに同一の制御信
号が入力される複数のボンディングパッドがそれぞれ対
応した入力バッファ回路と近接して配置でき、かつ、各
ボンディングパッドまでの制御信号の遅延差が極力抑え
られている。
【0015】第1の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される複数のボンディングパ
ッドがそれぞれ対応した入力バッファ回路と近接して配
置でき、かつ、各ボンディングパッドまでの制御信号の
遅延差が極力抑えられ、しかも、金属層からなる出力側
配線層が、各入力バッファ回路の出力ノードからの出力
の遅延差を極力抑えている。
【0016】第2の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される複数のボンディングパ
ッドがそれぞれ対応した入力バッファ回路と近接して配
置でき、かつ、各ボンディングパッドまでの制御信号の
遅延差が極力抑えられ、かつリード端子のリード部及び
接続部がボンディングパッドとの接続するための金属細
線を裕度高く配置せしめる。
【0017】第3の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される右側列及び左側列の所
定数のボンディングパッドがそれぞれ対応した入力バッ
ファ回路と近接して配置でき、かつ、各ボンディングパ
ッドまでの制御信号の遅延差が極力抑えられ、しかも、
リード端子のリード部及び接続部がボンディングパッド
との接続するための金属細線を裕度高く配置せしめる。
【0018】第4の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される複数のボンディングパ
ッドがそれぞれ対応した入力バッファ回路と近接して配
置でき、かつ、各ボンディングパッドまでの制御信号の
遅延差が極力抑えられている。
【0019】第5の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される複数のボンディングパ
ッドがそれぞれ対応した入力バッファ回路と近接して配
置でき、かつ、各ボンディングパッドまでの制御信号の
遅延差が極力抑えられ、しかも、リード端子のリード部
及び接続部がボンディングパッドとの接続するための金
属細線を裕度高く配置せしめる。
【0020】第6の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される第1および第2のボン
ディングパッドがそれぞれ第1および第2の入力バッフ
ァ回路と近接して配置でき、かつ、第1および第2のボ
ンディングパッドまでの制御信号の遅延差が極力抑えら
れている。
【0021】
【実施例】
実施例1.図1はこの発明の実施例1を示すものであ
り、図1において、1は長辺1aと短辺1bとを有する
略長方形状の半導体基板、2…2、2a〜2dはこの半
導体基板の表面上の絶縁層(図示せず)上に形成され、
上記半導体基板1の長辺1aと平行な中央線10に沿っ
て右側列と左側列とに配置された、例えばアルミニウム
等の金属によって形成された複数のボンディングパッド
で、この実施例1ではそのうちの4つのボンディングパ
ッド2a〜2dにはそれぞれ同一の制御信号、例えばク
ロック信号(シンクロナスDRAMにあっては同期信
号)が入力されるものであり、ボンディングパッド2a
は上記半導体基板1の一対の短辺1bのうちの一方側の
端部に、ボンディングパッド2b及び2cは上記半導体
基板1の中央部に、ボンディングパッド2dは上記半導
体基板1の一対の短辺1bのうちの他方側の端部にそれ
ぞれ配置されており、2つのボンディングパッド2a、
2b間には他の制御信号(例えばアドレス信号など)や
データが入力されるボンディングパッド2…2やデータ
を出力するボンディングパッド2が設けられ(場合によ
っては接地又は電源用のボンディングパッドも設けられ
ている。)、2つのボンディングパッド2c、2d間に
は他の制御信号(例えばアドレス信号など)やデータが
入力されるボンディングパッド2…2やデータを出力す
るボンディングパッド2が設けられている(場合によっ
ては接地又は電源用のボンディングパッドも設けられて
いる。)。
【0022】3a〜3dは同一の制御信号が入力される
上記複数のボンディングパッド2a〜2dにそれぞれ対
応して設けられるとともに上記半導体基板1の表面に形
成される複数の入力バッファ回路で、各入力バッファ回
路は図2に示すように、上記制御信号を受ける入力ノー
ド31と、上記制御信号に基づいた信号を、上記半導体
基板1の表面に対応した入力バッファ回路と近接して形
成され、上記制御信号に基づいて制御される所望の回路
(図示せず)に出力するための出力ノード32と、電源
電位ノードVccとノードN1との間に接続され、ゲー
ト電極が上記入力ノード31に接続されるPチャネル型
MOSトランジスタ33と、ノードN1と接地電位ノー
ドとの間に接続され、ゲート電極が上記入力ノード31
に接続され、上記Pチャネル型MOSトランジスタ33
とで第1のインバータ回路を構成するNチャネル型MO
Sトランジスタ34と、電源電位ノードVccと出力ノ
ード32との間に接続され、ゲート電極が上記ノードN
1に接続されるPチャネル型MOSトランジスタ35
と、出力ノード32と接地電位ノードとの間に接続さ
れ、ゲート電極が上記ノードN1に接続され、上記Pチ
ャネル型MOSトランジスタ35とで第2のインバータ
回路を構成するNチャネル型MOSトランジスタ36と
によって構成されているものである。
【0023】4a〜4dは上記複数の入力バッファ回路
3a〜3dに対応して設けられるとともに上記半導体基
板1の表面上の絶縁層(図示せず)上に形成され、それ
ぞれが対応した入力バッファ回路3a〜3dの入力ノー
ド31と対応したボンディングパッド2a〜2dとを電
気的に接続する金属層、例えばアルミニウム層からなる
複数の配線層(入力側配線層)、100はこれら複数の
ボンディングパッド2…2、2a〜2dと複数の入力バ
ッファ回路3a〜3dと、複数の配線層4a〜4dとを
有した半導体チップを示している。
【0024】5…5はそれぞれ複数のボンディングパッ
ド2…2それぞれに対応して1対1の関係で設けられ
た、導電性の高い、例えば鉄やアルミニウムの合金から
なるリード端子で、外部から制御信号(例えばアドレス
信号など)やデータが入力されるため、外部へデータを
出力するため、接地電位にされるため、電源電位が供給
されるためのもである。6は上記複数のボンディングパ
ッド2a〜2dに対して設けられ、一端に例えばクロッ
ク信号などの制御信号を外部から受けるリード端子で、
導電性の高い、例えば鉄やアルミニウムの合金によって
形成されているものである。
【0025】7…7は上記複数のボンディングパッド2
…2それぞれと上記複数のリード端子5…5それぞれに
対応して1対1の関係で設けられ、それぞれが対応した
ボンディングパッド2…2と対応したリード端子5…5
とを電気的に接続する複数の金属細線で、導電性の高
い、例えば鉄やアルミニウムの合金によって形成されて
いるものである。7a〜7dは上記複数のボンディング
パッド2a〜2dそれぞれに対応して1対1の関係で設
けられ、それぞれが対応したボンディングパッド2a〜
2dと上記リード端子6とを電気的に接続する複数の金
属細線で、導電性の高い、例えば鉄やアルミニウムの合
金によって形成されているものである。8は上記半導体
チップ100とリード端子5及び6と金属細線7…7及
び7a〜7dを樹脂モールドしているパッケージであ
る。
【0026】このように構成された半導体装置にあって
は、半導体チップ100を制御する、具体的には半導体
チップ100に形成された入力バッファ回路3a〜3d
からの出力を受けて制御される所望の回路を制御するク
ロック信号などからなる制御信号(図3の(a)に示
す)がリード端子6に入力されると、この制御信号はリ
ード端子6−金属細線7a−ボンディングパッド2a、
リード端子6−金属細線7b−ボンディングパッド2
b、リード端子6−金属細線7c−ボンディングパッド
2c、リード端子6−金属細線7d−ボンディングパッ
ド2dにそれぞれ伝達される。ボンディングパッド2a
〜2dに現れた制御信号は、図3の(b)に示すよう
に、リード端子6及び金属細線7a〜7dが導電性の高
い、例えば鉄やアルミニウムの合金によって形成されて
いるので、リード端子6に入力されてから高速に伝達さ
れるとともに、金属細線7a〜7d間に多少の長さの相
違があろうとも、ボンディングパッド2a〜2dに現れ
た制御信号の間にはほとんど信号伝達時間の遅延差がな
いものである。
【0027】ボンディングパッド2a〜2dに現れた制
御信号は、それぞれ金属層からなる配線層4a〜4dを
介して入力バッファ回路3a〜3dの入力ノード31に
入力されることになる。ボンディングパッド2aは半導
体基板1の一対の短辺のうちの一方側の端部に、ボンデ
ィングパッド2b及び2cは半導体基板1の中央部に、
ボンディングパッド2dは半導体基板1の一対の短辺の
うちの他方側の端部にそれぞれ配置してあるため、制御
信号によって制御される所望の回路が半導体基板1の種
々の場所に形成されていようとも、所望の回路に近接
し、かつ、ボンディングパッド2a〜2dのいずれかに
近接して入力バッファ回路3a〜3dを配置することが
できるため、入力バッファ回路3a〜3dの入力ノード
31とボンディングパッド2a〜2dとを接続するため
の配線層4a〜4dはそれぞれ短くでき、しかも、それ
らの長さの差を信号伝達時間の遅延差が無視できる程度
にできるものである。したがって、リード端子6に入力
された制御信号は、入力バッファ回路3a〜3dの入力
ノード31にほとんど信号伝達時間の遅延差がなく入力
され、半導体チップ100が全体として高速に制御され
ることになるものである。
【0028】なお、この実施例1においては、制御信号
によって制御される所望の回路が4つ、それに伴って入
力バッファ回路3a〜3d、ボンディングパッド2a〜
2d及び金属細線7a〜7dも4つのものを示したが、
何もこの数に限られるものではなく、複数のものであれ
ば良いものである。
【0029】実施例2.図4はこの発明の実施例2を示
すものであり、図1に示した実施例1のものに対して、
さらに、半導体基板1の表面上の絶縁層(図示せず)上
に形成され、複数の入力バッファ回路3a〜3dのすべ
ての出力ノード32を電気的に接続する金属層からなる
出力側配線層9を設けたものであり、その他の点につい
ては実施例1と同様である。なお、図4において、図1
に示した符号と同一符号は同一または相当部分を示して
いるものである。
【0030】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例1と同様の効果を奏する他、金属層からなる
出力側配線層9が入力バッファ回路3a〜3dのすべて
の出力ノード32を電気的に接続するため、入力バッフ
ァ回路3a〜3dの出力ノード32に現れる制御信号の
信号伝達達時間の遅延差を抑制し、半導体チップ100
が全体としてさらに高速に制御されることになるもので
ある。
【0031】実施例3.図5はこの発明の実施例3を示
すものであり、図1に示した実施例1のものに対して、
2つのボンディングパッド2a及び2bに対して共通に
入力バッファ回路3aを設け、2つのボンディングパッ
ド2c及び2dに対して共通に入力バッファ回路3cを
設け、入力バッファ回路3aの入力ノード31と2つの
ボンディングパッド2a及び2bとを金属からなる配線
層4aによって電気的に接続し、入力バッファ回路3c
の入力ノード31と2つのボンディングパッド2c及び
2dとを金属からなる配線層4cによって電気的に接続
したものであり、その他の点については実施例1と同様
である。
【0032】つまり、それぞれが同一の制御信号が入力
される複数(この実施例3にあっては2つ)のボンディ
ングパッド2a〜2dを複数(この実施例3にあっては
2つ)のボンディングパッドグループに分割し、入力バ
ッファ回路3a及び3cそれぞれをボンディングパッド
グループに対応して設け、入力バッファ回路3aと対応
したボンディングパッドグループのボンディングパッド
2a及び2bと配線層4aとで電気的に接続し、入力バ
ッファ回路3cと対応したボンディングパッドグループ
のボンディングパッド2c及び2dと配線層4cとで電
気的に接続したものである。なお、図5において、図1
に示した符号と同一符号は同一または相当部分を示して
いるものである。このように構成された半導体装置にあ
っても、実施例1と同様の効果を奏するものである。
【0033】実施例4.図6はこの発明の実施例4を示
すものであり、図1に示した実施例1のものに対して、
実施例1のものが4つのボンディングパッド2a〜2d
に対して共通にリード端子6を設けていたのに対して、
この実施例4のものにあっては2つのボンディングパッ
ド2a及び2bに対して共通にリード端子6aを設け、
2つのボンディングパッド2c及び2dに対して共通に
リード端子6bを設け、リード端子6aと対応したボン
ディングパッド2a及び2bとを金属細線7a及び7b
にて電気的に接続し、リード端子6bと対応した2つの
ボンディングパッド2c及び2dとを金属細線7c及び
7dにて電気的に接続したものであり、その他の点につ
いては実施例1と同様である。
【0034】つまり、それぞれが同一の制御信号が入力
される複数(この実施例4にあっては2つ)のボンディ
ングパッド2a〜2dを複数(この実施例4にあっては
2つ)のボンディングパッドグループに分割し、リード
端子6a及び6bそれぞれをボンディングパッドグルー
プに対応して設け、リード端子6aと対応したボンディ
ングパッドグループのボンディングパッド2a及び2b
と一つの金属細線グループを構成する金属細線7a及び
7bとで電気的に接続し、リード端子6bと対応したボ
ンディングパッドグループのボンディングパッド2c及
び2dと他の金属細線グループを構成する金属細線7c
及び7dとで電気的に接続したものである。なお、図6
において、図1に示した符号と同一符号は同一または相
当部分を示しているものである。このように構成された
半導体装置にあっても、実施例1と同様の効果を奏する
他、リード端子6a及び6bに接続される金属細線7a
〜7dの数が減るため、接続が容易であるとともに、他
の金属細線7との電気的短絡に対する裕度が高いもので
ある。
【0035】実施例5.図7はこの発明の実施例5を示
すものであり、図6に示した実施例4のものに対して、
さらに、半導体基板1の表面上の絶縁層(図示せず)上
に形成され、複数の入力バッファ回路3a〜3dのすべ
ての出力ノード32を電気的に接続する金属層からなる
出力側配線層9を設けたものであり、その他の点につい
ては実施例4と同様である。なお、図4において、図6
に示した符号と同一符号は同一または相当部分を示して
いるものである。
【0036】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例4と同様の効果を奏する他、金属層からなる
出力側配線層9が入力バッファ回路3a〜3dのすべて
の出力ノード32を電気的に接続するため、入力バッフ
ァ回路3a〜3dの出力ノード32に現れる制御信号の
信号伝達達時間の遅延差を抑制し、半導体チップ100
が全体としてさらに高速に制御されることになるもので
ある。
【0037】実施例6.図8はこの発明の実施例6を示
すものであり、図6に示した実施例4のものに対して、
2つのボンディングパッド2a及び2bに対して共通に
入力バッファ回路3aを設け、2つのボンディングパッ
ド2c及び2dに対して共通に入力バッファ回路3cを
設け、入力バッファ回路3aの入力ノード31と2つの
ボンディングパッド2a及び2bとを金属からなる配線
層4aによって電気的に接続し、入力バッファ回路3c
の入力ノード31と2つのボンディングパッド2c及び
2dとを金属からなる配線層4cによって電気的に接続
したものであり、その他の点については実施例4と同様
である。
【0038】つまり、それぞれが同一の制御信号が入力
される複数(この実施例6にあっては2つ)のボンディ
ングパッド2a〜2dを複数(この実施例6にあっては
2つ)のボンディングパッドグループに分割し、入力バ
ッファ回路3a及び3cそれぞれをボンディングパッド
グループに対応して設け、入力バッファ回路3aと対応
したボンディングパッドグループのボンディングパッド
2a及び2bと配線層4aとで電気的に接続し、入力バ
ッファ回路3cと対応したボンディングパッドグループ
のボンディングパッド2c及び2dと配線層4cとで電
気的に接続したものである。なお、図8において、図6
に示した符号と同一符号は同一または相当部分を示して
いるものである。このように構成された半導体装置にあ
っても、実施例4と同様の効果を奏するものである。
【0039】実施例7.図9はこの発明の実施例7を示
すものであり、図1に示した実施例1のものに対して、
リード端子6を、一端に制御信号を外部から受けるため
のリード部61と、このリード部の他端から一体形成さ
れ、半導体基板1の表面上方に半導体基板1の長辺1a
に並行でほぼ長辺1aと同じ長さ(若干短め)の接続部
62とを有したものとし、このリード端子6の接続部6
2とボンディングパッド2a〜2dとを金属細線7a〜
7dによって電気的に接続したものであり、その他の点
については実施例1と同様である。なお、図9におい
て、図1に示した符号と同一符号は同一または相当部分
を示しているものである。
【0040】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例4と同様の効果を奏する他、半導体基板1の
長辺1aに並行でほぼ長辺1aと同じ長さの接続部62
にて複数の金属細線7a〜7dが接続されるため、他の
金属細線7…7と交差することなくこれら金属細線7…
7、7a〜7dを配置することができ、接続が容易であ
るとともに、金属細線7…7、7a〜7d間の電気的短
絡に対する裕度が高いものである。なお、この実施例7
においては、リード端子6の接続部62の長さを半導体
基板1の長辺1aの長さとほぼ同じとしたが、半導体基
板1の長辺1aの長さの1/2以上あれば同様の効果を
奏するものである。
【0041】実施例8.図10はこの発明の実施例8を
示すものであり、図9に示した実施例7のものに対し
て、さらに、半導体基板1の表面上の絶縁層(図示せ
ず)上に形成され、複数の入力バッファ回路3a〜3d
のすべての出力ノード32を電気的に接続する金属層か
らなる出力側配線層9を設けたものであり、その他の点
については実施例7と同様である。なお、図10におい
て、図9に示した符号と同一符号は同一または相当部分
を示しているものである。
【0042】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例7と同様の効果を奏する他、金属層からなる
出力側配線層9が入力バッファ回路3a〜3dのすべて
の出力ノード32を電気的に接続するため、入力バッフ
ァ回路3a〜3dの出力ノード32に現れる制御信号の
信号伝達達時間の遅延差を抑制し、半導体チップ100
が全体としてさらに高速に制御されることになるもので
ある。
【0043】実施例9.図11はこの発明の実施例9を
示すものであり、図9に示した実施例7のものに対し
て、2つのボンディングパッド2a及び2bに対して共
通に入力バッファ回路3aを設け、2つのボンディング
パッド2c及び2dに対して共通に入力バッファ回路3
cを設け、入力バッファ回路3aの入力ノード31と2
つのボンディングパッド2a及び2bとを金属からなる
配線層4aによって電気的に接続し、入力バッファ回路
3cの入力ノード31と2つのボンディングパッド2c
及び2dとを金属からなる配線層4cによって電気的に
接続したものであり、その他の点については実施例7と
同様である。
【0044】つまり、それぞれが同一の制御信号が入力
される複数(この実施例9にあっては2つ)のボンディ
ングパッド2a〜2dを複数(この実施例9にあっては
2つ)のボンディングパッドグループに分割し、入力バ
ッファ回路3a及び3cそれぞれをボンディングパッド
グループに対応して設け、入力バッファ回路3aと対応
したボンディングパッドグループのボンディングパッド
2a及び2bと配線層4aとで電気的に接続し、入力バ
ッファ回路3cと対応したボンディングパッドグループ
のボンディングパッド2c及び2dと配線層4cとで電
気的に接続したものである。なお、図11において、図
9に示した符号と同一符号は同一または相当部分を示し
ているものである。このように構成された半導体装置に
あっても、実施例7と同様の効果を奏するものである。
【0045】実施例10.図12はこの発明の実施例1
0を示すものであり、図1に示した実施例1のものに対
して、リード端子6を、それぞれが半導体基板1の表面
上方に半導体基板1の一対の短辺1bそれぞれに近接
(この実施例10のものにあっては中央部に配置された
複数のボンディングパッド7…7、7a〜7dの最外端
と半導体基板1の短辺1bとの間)し、一端に制御信号
を外部から受けるための第1の部分63及び第2の部分
64を有し、第1の部分63及び第2の部分64それぞ
れの一端に制御信号を外部から受けるためのリード部
と、このリード部の他端、つまり第1の部分63及び第
2の部分64それぞれの他端から一体形成され、半導体
基板1の表面上方に半導体基板1の長辺1aに並行でか
つ、複数のボンディングパッド7…7、7a〜7dの右
側列(図示上側)と左側列(図示下側)との間(中央線
10上)に位置する接続部62とを有したものとし、こ
のリード端子6の接続部62とボンディングパッド2a
〜2dとを金属細線7a〜7dによって電気的に接続し
たものであり、その他の点については実施例1と同様で
ある。なお、図12において、図1に示した符号と同一
符号は同一または相当部分を示しているものである。
【0046】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例1と同様の効果を奏する他、半導体基板1の
長辺1aに並行で中央部に位置し、ほぼ長辺と同じ長さ
の接続部62にて複数の金属細線7a〜7dが接続され
るため、他の金属細線7…7と交差することなくこれら
金属細線7…7、7a〜7dを配置することができ、接
続が容易であるとともに、金属細線7…7、7a〜7d
間の電気的短絡に対する裕度が高いものである。
【0047】実施例11.図13はこの発明の実施例1
1を示すものであり、図12に示した実施例10のもの
に対して、さらに、半導体基板1の表面上の絶縁層(図
示せず)上に形成され、複数の入力バッファ回路3a〜
3dのすべての出力ノード32を電気的に接続する金属
層からなる出力側配線層9を設けたものであり、その他
の点については実施例10と同様である。なお、図13
において、図12に示した符号と同一符号は同一または
相当部分を示しているものである。
【0048】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例10と同様の効果を奏する他、金属層からな
る出力側配線層9が入力バッファ回路3a〜3dのすべ
ての出力ノード32を電気的に接続するため、入力バッ
ファ回路3a〜3dの出力ノード32に現れる制御信号
の信号伝達達時間の遅延差を抑制し、半導体チップ10
0が全体としてさらに高速に制御されることになるもの
である。
【0049】実施例12.図14はこの発明の実施例1
2を示すものであり、図12に示した実施例10のもの
に対して、実施例10のものが複数のボンディングパッ
ド7…7、7a〜7dの内の右側列に同一の制御信号を
受ける複数のボンディングパッド7a〜7dを配置した
ものに対して、この実施例12のものは同一の制御信号
を受ける複数のボンディングパッド7a〜7dのうちの
半数のボンディングパッド7a及び7bを複数のボンデ
ィングパッド7…7、7a〜7dの内の右側列に、残り
の半数のボンディングパッド7c及び7dを複数のボン
ディングパッド7…7、7a〜7dの内の左側列に配置
したものであり、その他の点については実施例10と同
様である。
【0050】つまり、複数のボンディングパッドが半導
体基板1の長辺と平行な中央線10に沿って配置された
右側列と左側列とに配置され、右側列の所定数及び左側
列の所定数それぞれに同一の制御信号が入力されるもの
とし、右側列のボンディングパッドと左側列のボンディ
ングパッドとの間にリード端子6の接続部62を位置さ
せ、このリード端子6の接続部62と複数のボンディン
グパッドのうちの右側列及び左側列の所定数のボンディ
ングパッド2a〜2dとを金属細線7a〜7dにて電気
的に接続したものである。なお、図14において、図1
2に示した符号と同一符号は同一または相当部分を示し
ているものである。
【0051】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例10と同様の効果を奏する他、例えば、DR
AM及びシンクロナスDRAMにおいて、メモリセルア
レイを半導体基板1を上下左右に4分割してそれぞれに
配置し、4分割された各位置に配置された4つのメモリ
セルアレイを同じ制御信号で制御するものに対しては効
果的である。
【0052】実施例13.図15はこの発明の実施例1
3を示すものであり、図14に示した実施例12のもの
に対して、さらに、半導体基板1の表面上の絶縁層(図
示せず)上に形成され、右側列のボンディングパッド2
a及び2cに接続される複数の入力バッファ回路3a及
び3cのすべての出力ノード32を電気的に接続する金
属層からなる出力側配線層9aと、左側列のボンディン
グパッド2b及び2dに接続される複数の入力バッファ
回路3b及び3dのすべての出力ノード32を電気的に
接続する金属層からなる出力側配線層9bとを設けたも
のであり、その他の点については実施例12と同様であ
る。なお、図15において、図14に示した符号と同一
符号は同一または相当部分を示しているものである。
【0053】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例12と同様の効果を奏する他、金属層からな
る出力側配線層9aおよび9bそれぞれによって右側列
及び左側列のボンディングパッド2a〜2dに接続され
る入力バッファ回路3a〜3dの出力ノード32を電気
的に接続するため、入力バッファ回路3a〜3dの出力
ノード32に現れる制御信号の信号伝達達時間の遅延差
を抑制し、半導体チップ100が全体としてさらに高速
に制御されることになるものである。
【0054】実施例14.図16はこの発明の実施例1
4を示すものであり、図12に示した実施例10のもの
に対して、実施例10のものが同一の制御信号を受ける
複数のボンディングパッド2a〜2dを半導体基板1の
長辺1aに平行な中央線10に沿って配置したものに対
して、この実施例14のものは同一の制御信号を受ける
複数のボンディングパッド2a〜2dを半導体基板1の
短辺1bに平行な中央線11に沿って配置したものであ
り、その他の点については実施例10と同様である。
【0055】つまり、複数のボンディングパッド2…
2、2b及び2cが半導体基板1の長辺1aと平行な中
央線10に沿って配置された右側列と左側列とに配置さ
れているものの、同一の制御信号が入力される複数のボ
ンディングパッド2a〜2dは、半導体基板1の短辺1
bと平行な中央線11に沿って配置、つまり、ボンディ
ングパッド2aは半導体基板1の一対の長辺1aのうち
の一方側の端部に、ボンディングパッド2b及び2cは
半導体基板1の中央部に、ボンディングパッド2dは半
導体基板1の一対の長辺1aのうちの他方側の端部にそ
れぞれ配置され、右側列のボンディングパッドと左側列
のボンディングパッドとの間に位置されたリード端子6
の接続部62と金属細線7a〜7dにて電気的に接続さ
れたものである。なお、2つのボンディングパッド2
a、2c間には他の制御信号が入力されるボンディング
パッドが設けられても良く、また、2つのボンディング
パッド2b、2d間にも他の制御信号が入力されるボン
ディングパッドが設けられても良い。なお、図16にお
いて、図12に示した符号と同一符号は同一または相当
部分を示しているものである。
【0056】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例10と同様の効果を奏する他、例えば、DR
AM及びシンクロナスDRAMにおいて、メモリセルア
レイを半導体基板1を上下左右に4分割してそれぞれに
配置し、4分割された各位置に配置された4つのメモリ
セルアレイを同じ制御信号で制御するものに対しては、
さらに、制御信号が入力される入力バッファ回路3a〜
3dを半導体基板1の短辺と平行な中央線11に沿って
配置できるため、パターン配置が効果的に行えるもので
ある。
【0057】実施例15.図17はこの発明の実施例1
5を示すものであり、図16に示した実施例14のもの
に対して、さらに、半導体基板1の表面上の絶縁層(図
示せず)上に形成され、中央線10の右側(図示上側)
のボンディングパッド2a及び2cに接続される複数の
入力バッファ回路3a及び3cのすべての出力ノード3
2を電気的に接続する金属層からなる出力側配線層9a
と、中央線10の左側(図示下側)のボンディングパッ
ド2b及び2dに接続される複数の入力バッファ回路3
b及び3dのすべての出力ノード32を電気的に接続す
る金属層からなる出力側配線層9bとを設けたものであ
り、その他の点については実施例14と同様である。な
お、図17において、図16に示した符号と同一符号は
同一または相当部分を示しているものである。
【0058】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例14と同様の効果を奏する他、金属層からな
る出力側配線層9aおよび9bそれぞれによって右側及
び左側のボンディングパッド2a〜2dに接続される入
力バッファ回路3a〜3dの出力ノード32を電気的に
接続するため、入力バッファ回路3a〜3dの出力ノー
ド32に現れる制御信号の信号伝達達時間の遅延差を抑
制し、半導体チップ100が全体としてさらに高速に制
御されることになるものである。
【0059】実施例16.図18はこの発明の実施例1
6を示すものであり、図16に示した実施例14のもの
に対して、さらに、同一の制御信号を受ける複数のボン
ディングパッド2e及び2fを半導体基板1の長辺1a
に平行な中央線10に沿って配置し、それに対応した入
力バッファ回路3e及び3f、配線層4e及び4f、同
一の制御信号で制御される所望の回路等を設けたもので
あり、その他の点については実施例10と同様である。
【0060】つまり、複数のボンディングパッド2…
2、2a〜2fは半導体基板1の長辺1aと平行な中央
線10及び半導体基板1の短辺bと平行な中央線11に
沿って配置された長辺側列と短辺側列とを有し、長辺側
列の所定数(この実施例16では2つ)及び短辺側列の
所定数(この実施例16では4つ)のボンディングパッ
ド2a〜2fそれぞれに同一の制御信号が入力されるも
のであり、ボンディングパッド2eは半導体基板1の一
対の短辺1bのうちの一方側の端部に、ボンディングパ
ッド2fは半導体基板1の一対の短辺1bのうちの他方
側の端部にそれぞれ配置され、右側列のボンディングパ
ッドと左側列のボンディングパッドとの間に位置された
リード端子6の接続部62と金属細線7e及び7fにて
電気的に接続されたものである。なお、図18におい
て、図16に示した符号と同一符号は同一または相当部
分を示しているものである。このように構成された半導
体装置にあっても、実施例14と同様の効果を奏するも
のである。
【0061】実施例17.図19はこの発明の実施例1
7を示すものであり、図18に示した実施例16のもの
に対して、さらに、半導体基板1の表面上の絶縁層(図
示せず)上に形成され、中央線10の右側(図示上側)
のボンディングパッド2a、2c、2e及び2fに接続
される複数の入力バッファ回路3a、3c、3e及び3
fのすべての出力ノード32を電気的に接続する金属層
からなる出力側配線層9aと、中央線10の左側(図示
下側)のボンディングパッド2b及び2dに接続される
複数の入力バッファ回路3b及び3dのすべての出力ノ
ード32を電気的に接続する金属層からなる出力側配線
層9bとを設けたものであり、その他の点については実
施例16と同様である。なお、図19において、図17
に示した符号と同一符号は同一または相当部分を示して
いるものである。
【0062】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例16と同様の効果を奏する他、金属層からな
る出力側配線層9aおよび9bそれぞれによって右側及
び左側のボンディングパッド2a〜2fに接続される入
力バッファ回路3a〜3fの出力ノード32を電気的に
接続するため、入力バッファ回路3a〜3fの出力ノー
ド32に現れる制御信号の信号伝達達時間の遅延差を抑
制し、半導体チップ100が全体としてさらに高速に制
御されることになるものである。
【0063】実施例18.図20はこの発明の実施例1
8を示すものであり、図12に示した実施例10のもの
に対して、実施例10のものが同一の制御信号を受ける
複数のボンディングパッド2a〜2dを半導体基板1の
長辺1aに平行な中央線10に沿って配置したものに対
して、この実施例20のものは同一の制御信号を受ける
複数のボンディングパッド2a〜2dを半導体基板1の
4隅それぞれに配置したものであり、その他の点につい
ては実施例10と同様である。
【0064】つまり、ボンディングパッド2aは半導体
基板1の図示左上隅に、ボンディングパッド2bは半導
体基板1の図示左下隅に、ボンディングパッド2cは半
導体基板1の図示右上隅に、ボンディングパッド2dは
半導体基板1の図示右下隅にそれぞれ配置され、ボンデ
ィングパッド2a〜2dそれぞれは、リード端子6のリ
ード部の第1及び第2の部分63及び64と接続部62
の一番接続しやすい部分にて金属細線7a〜7dにより
電気的に接続されたものである。なお、図20におい
て、図12に示した符号と同一符号は同一または相当部
分を示しているものである。
【0065】このように構成された半導体装置にあって
も、実施例10と同様の効果を奏する他、例えば、DR
AM及びシンクロナスDRAMにおいて、メモリセルア
レイを半導体基板1を上下左右に4分割してそれぞれに
配置し、4分割された各位置に配置された4つのメモリ
セルアレイを同じ制御信号で制御するものに対しては効
果的である。
【0066】実施例19.図21はこの発明の実施例1
9を示すものであり、この実施例19では実施例1から
実施例18が半導体基板1 の中央線10沿ってボンディン
グパッド2,2a,2b,2c,2d が配置され、LOC(Lead On Chi
p) 構造を採用していたのに対し、半導体基板1 の周辺
にボンディングパッド2,2a,2b,2c,2d が配置され、LOC
(Lead On Chip) 構造を採用していない点で大きく異な
る。そして、この実施例19ではボンディングパッド2a
および2bが同一のリード端子6aにそれぞれ金属細線7aお
よび7bに接続されて同一の制御信号を受け、このボンデ
ィングパッド2aおよび2bのそれぞれに対応して配置され
た入力バッファ回路3aおよび3bがそれぞれ金属配線4aお
よび4bによって対応するボンディングパッド2aおよび2b
に接続されている。
【0067】また、ボンディングパッド2cおよび2dは同
一のクロック信号CLK を受けるリード端子6bおよび6cに
それぞれ金属細線7cおよび7dによって接続され、このボ
ンディングパッド2cおよび2dのそれぞれに対応して配置
された入力バッファ回路3cおよび3dがそれぞれ金属配線
4cおよび4dによって対応するボンディングパッド2cおよ
び2dに接続され、さらに出力側配線9 に共通に接続され
ている。このように構成された半導体装置にあっても、
実施例1および実施例2と同様の効果を奏する。
【0068】実施例20.図22はこの発明の実施例2
0を示すものであり、この実施例20では実施例1から
実施例18が1つのチップ100 における複数のボンディ
ングパッド2a,2bに同一の制御信号を与えていたのに対
し、1つのパッケージに複数のチップ100a,100b,100c,1
00d が収められたマルチチップモジュール内のチップ10
0a,100b,100c,100d のそれぞれにおけるボンディングパ
ッド2a,2b,2c,2d に同一の制御信号を与えている点で異
なる。そして、この実施例20では半導体チップ100a,1
00b,100c,100d のそれぞれに設けられたボンディングパ
ッド2a,2b,2c,2d が同一のリード端子6 にそれぞれ金属
細線7a,7b,7c,7d により接続されて同一の制御信号を受
け、このボンディングパッド2a,2b,2c,2d のそれぞれに
対応して配置された入力バッファ回路3a,3b,3c,3d がそ
れぞれ金属配線4a,4b,4c,4d によって対応するボンディ
ングパッド2a,2b,2c,2d に接続されている。また、入力
バッファ回路3a,3b,3c,3d は半導体チップ100a,100b,10
0c,100d に渡ってこれらのチップ上に設けられる金属配
線91を有する出力側配線に接続されている。
【0069】このように構成された半導体装置にあって
も、ボンディングパッド2a,2b,2c,2d とリード端子6 と
の間を金属細線7a,7b,7c,7d で接続しているので、ボン
ディングパッド2a,2b,2c,2d に現れる制御信号の間には
ほとんど信号伝達時間の遅延差がない。また、制御信号
を受けるボンディングパッド2a,2b,2c,2d を各半導体チ
ップ100a,100b,100c,100d に設けているので各半導体チ
ップ100a,100b,100c,100d におけるボンディングパッド
2a,2b,2c,2d と入力バッファ回路3a,3b,3c,3dとの間の
配線4a,4b,4c,4d を短くでき、これによって制御信号の
遅延差が極力抑えられる。
【0070】また、金属配線91により入力バッファ回路
3a,3b,3c,3d の出力ノードを互いに電気的に接続してい
るため、入力バッファ回路3a,3b,3c,3d の出力ノードに
現れる制御信号の信号伝達時間の遅延差が抑制される。
【0071】
【発明の効果】この発明に従えば、それぞれに同一の制
御信号が入力される複数のボンディングパッドと、これ
ら複数のボンディングパッドに対応して設けられる複数
の入力バッファ回路と、それぞれが対応した入力バッフ
ァ回路の入力ノードと対応したボンディングパッドとを
電気的に接続する複数の配線層とを半導体チップを設
け、上記制御信号を受けるリード端子を複数のボンディ
ングパッドに対して設けるとともに、対応したボンディ
ングパッドとリード端子とをそれぞれ電気的に金属細線
にて接続したものとしたので、それぞれに同一の制御信
号が入力される複数のボンディングパッドがそれぞれ対
応した入力バッファ回路と近接して配置でき、かつ、各
ボンディングパッドまでの制御信号の遅延差が極力抑え
られ、その結果、同一の制御信号にて制御される半導体
チップ内の所望の回路は遅延差がほとんどない状態で制
御されることができ、高速化された半導体装置が得られ
るという効果を有するものである。
【0072】第1の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される複数のボンディングパ
ッドと、これら複数のボンディングパッドに対応して設
けられる複数の入力バッファ回路と、それぞれが対応し
た入力バッファ回路の入力ノードと対応したボンディン
グパッドとを電気的に接続する複数の配線層と、複数の
入力バッファ回路の出力ノードを電気的に接続する金属
層からなる出力側配線層とを半導体チップを設け、上記
制御信号を受けるリード端子を複数のボンディングパッ
ドに対して設けるとともに、対応したボンディングパッ
ドとリード端子とをそれぞれ電気的に金属細線にて接続
したものとしたので、それぞれに同一の制御信号が入力
される複数のボンディングパッドがそれぞれ対応した入
力バッファ回路と近接して配置でき、かつ、各ボンディ
ングパッドまでの制御信号の遅延差が極力抑えられ、し
かも、金属層からなる出力側配線層が、各入力バッファ
回路の出力ノードからの出力の遅延差を極力抑えること
ができるため、同一の制御信号にて制御される半導体チ
ップ内の所望の回路は遅延差がほとんどない状態で制御
されることができ、高速化された半導体装置が得られる
という効果を有するものである。
【0073】第2の観点に従う発明においては、それぞ
れに同一の制御信号が入力される複数のボンディングパ
ッドと、これら複数のボンディングパッドに対応して設
けられる複数の入力バッファ回路と、それぞれが対応し
た入力バッファ回路の入力ノードと対応したボンディン
グパッドとを電気的に接続する複数の配線層とを半導体
チップを設け、上記制御信号を受けるリード端子を複数
のボンディングパッドに対して設け、かつ、一端に制御
信号を外部から受けるためのリード部と、このリード部
の他端から一体形成され、半導体基板の長辺に並行な接
続部とを有するものとし、対応したボンディングパッド
とリード端子とをそれぞれ電気的に金属細線にて接続し
たものとしたので、それぞれに同一の制御信号が入力さ
れる複数のボンディングパッドがそれぞれ対応した入力
バッファ回路と近接して配置でき、かつ、各ボンディン
グパッドまでの制御信号の遅延差が極力抑えられ、同一
の制御信号にて制御される半導体チップ内の所望の回路
は遅延差がほとんどない状態で制御されることができ、
高速化された半導体装置が得られるとともに、リード端
子のリード部及び接続部がボンディングパッドとの接続
するための金属細線を裕度高く配置できる半導体装置が
得られるという効果を有するものである。
【0074】第3の観点に従う発明においては、半導体
基板の長辺と平行な中央線に沿って配置された右側列と
左側列とを有し、右側列の所定数及び左側列の所定数そ
れぞれに同一の制御信号が入力される複数のボンディン
グパッドと、これら複数のボンディングパッドのうちの
右側列及び左側列の所定数のボンディングパッドに対応
して設けられる複数の入力バッファ回路と、それぞれが
対応した入力バッファ回路の入力ノードと対応したボン
ディングパッドとを電気的に接続する複数の配線層とを
有した半導体チップを設け、上記制御信号を受けるリー
ド端子を複数のボンディングパッドのうちの右側列及び
左側列の所定数のボンディングパッドに対して設け、一
端に制御信号を外部から受けるためのリード部と、この
リード部の他端から一体形成され、半導体基板の長辺に
並行でかつ、複数のボンディングパッドの右側列と左側
列との間に位置する接続部とを有するものとし、対応し
たボンディングパッドとリード端子とをそれぞれ電気的
に金属細線にて接続したものとしたので、それぞれに同
一の制御信号が入力される右側列及び左側列の所定数の
ボンディングパッドがそれぞれ対応した入力バッファ回
路と近接して配置でき、かつ、各ボンディングパッドま
での制御信号の遅延差が極力抑えられ、同一の制御信号
にて制御される半導体チップ内の所望の回路は遅延差が
ほとんどない状態で制御されることができ、高速化され
た半導体装置が得られるとともに、リード端子のリード
部及び接続部がボンディングパッドとの接続するための
金属細線を裕度高く配置できる半導体装置が得られると
いう効果を有するものである。
【0075】第4の観点に従う発明においては、半導体
基板の短辺と平行な中央線に沿って配置され、それぞれ
に同一の制御信号が入力される複数のボンディングパッ
ドと、これら複数のボンディングパッドに対応して設け
られる複数の入力バッファ回路と、それぞれが対応した
入力バッファ回路の入力ノードと対応したボンディング
パッドとを電気的に接続する金属層からなる複数の配線
層とを有した半導体チップを設け、上記制御信号を受け
るリード端子を複数のボンディングパッドに対して設け
るとともに、対応したボンディングパッドとリード端子
とをそれぞれ電気的に金属細線にて接続したものとした
ので、それぞれに同一の制御信号が入力される複数のボ
ンディングパッドがそれぞれ対応した入力バッファ回路
と近接して配置でき、かつ、各ボンディングパッドまで
の制御信号の遅延差が極力抑えられ、その結果、同一の
制御信号にて制御される半導体チップ内の所望の回路は
遅延差がほとんどない状態で制御されることができ、高
速化された半導体装置が得られるという効果を有するも
のである。
【0076】第5の観点に従う発明においては、半導体
基板の4隅それぞれに配置され、それぞれに同一の制御
信号が入力される複数のボンディングパッドと、これら
複数のボンディングパッドに対応して設けられる複数の
入力バッファ回路と、それぞれが対応した入力バッファ
回路の入力ノードと対応したボンディングパッドとを電
気的に接続する金属層からなる複数の配線層とを有した
半導体チップを設け、上記制御信号を受けるリード端子
を複数のボンディングパッドに対して設け、それぞれが
半導体基板の一対の短辺に近接する第1の部分及び第2
の部分を有するリード部と、このリード部と一体形成さ
れ、第1及び第2の部分の他端間に位置に位置する接続
部とを有するものとし、対応したボンディングパッドと
リード端子とをそれぞれ電気的に金属細線にて接続した
ものとしたので、それぞれに同一の制御信号が入力され
る複数のボンディングパッドがそれぞれ対応した入力バ
ッファ回路と近接して配置でき、かつ、各ボンディング
パッドまでの制御信号の遅延差が極力抑えられ、同一の
制御信号にて制御される半導体チップ内の所望の回路は
遅延差がほとんどない状態で制御されることができ、高
速化された半導体装置が得られるとともに、リード端子
のリード部及び接続部がボンディングパッドとの接続す
るための金属細線を裕度高く配置できる半導体装置が得
られるという効果を有するものである。
【0077】第6の観点に従う発明においては、同一の
制御信号が入力され、それぞれ第1および第2の半導体
基板上に形成される第1および第2のボンディングパッ
ドと、それぞれが第1および第2のボンディングパッド
に対応して設けられる第1および第2の入力バッファ回
路と、第1の入力バッファ回路の入力ノードと第1のボ
ンディングパッドとを電気的に接続する第1の配線およ
び第2の入力バッファ回路の入力ノードと第2のボンデ
ィングパッドとを電気的に接続する第2の配線とをそれ
ぞれ第1の半導体チップおよび第2の半導体チップに設
け、制御信号を受けるリード端子を第1および第2のボ
ンディングパッドに対して設けるとともに、第1のボン
ディングパッドとリード端子とを第1の金属細線により
電気的に接続し、第2のボンディングパッドとリード端
子とを第2の金属細線により電気的に接続したので、そ
れぞれに同一の制御信号が入力される第1および第2の
ボンディングパッドがそれぞれ第1および第2の入力バ
ッファ回路と近接して配置でき、かつ、第1および第2
のボンディングパッドまでの制御信号の遅延差が極力抑
えられ、その結果、同一の制御信号で制御される第1お
よび第2の半導体チップを遅延差がほとんどない状態で
制御することが可能となり、高速化された半導体装置を
得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施例1を示す概略平面図。
【図2】 この発明の実施例1における入力バッファ回
路3a〜3dを示す回路図。
【図3】 この発明の実施例1における制御信号を示す
波形図。
【図4】 この発明の実施例2を示す概略平面図。
【図5】 この発明の実施例3を示す概略平面図。
【図6】 この発明の実施例4を示す概略平面図。
【図7】 この発明の実施例5を示す概略平面図。
【図8】 この発明の実施例6を示す概略平面図。
【図9】 この発明の実施例7を示す概略平面図。
【図10】 この発明の実施例8を示す概略平面図。
【図11】 この発明の実施例9を示す概略平面図。
【図12】 この発明の実施例10を示す概略平面図。
【図13】 この発明の実施例11を示す概略平面図。
【図14】 この発明の実施例12を示す概略平面図。
【図15】 この発明の実施例13を示す概略平面図。
【図16】 この発明の実施例14を示す概略平面図。
【図17】 この発明の実施例15を示す概略平面図。
【図18】 この発明の実施例16を示す概略平面図。
【図19】 この発明の実施例17を示す概略平面図。
【図20】 この発明の実施例18を示す概略平面図。
【図21】 この発明の実施例19を示す概略平面図。
【図22】 この発明の実施例20を示す概略平面図。
【符号の説明】
100 半導体チップ、1 半導体基板、2、2a〜2
f ボンディングパッド、3a〜3f 入力バッファ回
路、4a〜4f 入力側配線層、5、6、6a、6b
リード端子、61 リード部、62 接続部分、63
第1の部分、64 第2の部分、7、7a〜7f 金属
細線、9、9a、9b 出力側配線層。

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、それぞれに同一の制御信号が入力される複数のボン
    ディングパッドと、これら複数のボンディングパッドに
    対応して設けられるとともに上記半導体基板の表面に形
    成され、上記制御信号を入力ノードに受けて上記制御信
    号に基づいた信号を出力ノードに出力する複数の入力バ
    ッファ回路と、これら複数の入力バッファ回路に対応し
    て設けられるとともに上記半導体基板の表面上の絶縁層
    上に形成され、それぞれが対応した入力バッファ回路の
    入力ノードと対応したボンディングパッドとを電気的に
    接続する複数の入力側配線層と、上記半導体基板の表面
    上の絶縁層上に形成され、上記複数の入力バッファ回路
    の出力ノードを電気的に接続する金属層からなる出力側
    配線層を有した半導体チップ、 上記複数のボンディングパッドに対して設けられ、上記
    制御信号を受けるリード端子、 上記複数のボンディングパッドそれぞれに対応して設け
    られ、それぞれが対応したボンディングパッドと上記リ
    ード端子とを電気的に接続する複数の金属細線を備えた
    半導体装置。
  2. 【請求項2】 半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、それぞれが同一の制御信号が入力されるボンディン
    グパッドを複数有する複数のボンディングパッドグルー
    プと、これら複数のボンディングパッドグループに対応
    して設けられるとともに上記半導体基板の表面に形成さ
    れ、上記制御信号を入力ノードに受けて上記制御信号に
    基づいた信号を出力ノードに出力する複数の入力バッフ
    ァ回路と、上記複数のボンディングパッドグループに対
    応して設けられるとともに上記半導体基板の表面上の絶
    縁層上に形成され、それぞれが対応したボンディングパ
    ッドグループの複数のボンディングパッドと対応した入
    力バッファ回路の入力ノードとを電気的に接続する金属
    層からなる複数の配線層とを有した半導体チップ、 上記複数のボンディングパッドに対して設けられ、上記
    制御信号を受けるリード端子、 上記複数のボンディングパッドそれぞれに対応して設け
    られ、それぞれが対応したボンディングパッドと上記リ
    ード端子とを電気的に接続する複数の金属細線を備えた
    半導体装置。
  3. 【請求項3】 半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、それぞれが同一の制御信号が入力されるボンディン
    グパッドを複数有する複数のボンディングパッドグルー
    プと、これら複数のボンディングパッドグループの複数
    のボンディングパッドそれぞれに対応して設けられると
    ともに上記半導体基板の表面に形成され、上記制御信号
    を入力ノードに受けて上記制御信号に基づいた信号を出
    力ノードに出力する複数の入力バッファ回路と、これら
    複数の入力バッファ回路に対応して設けられるとともに
    上記半導体基板の表面上の絶縁層上に形成され、それぞ
    れが対応した入力バッファ回路の入力ノードと対応した
    ボンディングパッドとを電気的に接続する金属層からな
    る複数の配線層と、上記半導体基板の表面上の絶縁層上
    に形成され、上記複数の入力バッファ回路の出力ノード
    を電気的に接続する金属層からなる出力側配線層とを有
    した半導体チップ、 上記複数のボンディングパッドグループに対応して設け
    られ、それぞれが上記制御信号を受ける複数のリード端
    子、 上記複数のボンディングパッドグループに対応して設け
    られ、それぞれが対応したボンディングパッドグループ
    の対応したボンディングパッドと対応したリード端子と
    を電気的に接続する複数の金属細線を有した金属細線グ
    ループを備えた半導体装置。
  4. 【請求項4】 長辺と短辺とを有する長方形状の半導体
    基板と、この半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、それぞれに同一の制御信号が入力される複数のボン
    ディングパッドと、これら複数のボンディングパッドに
    対応して設けられるとともに上記半導体基板の表面に形
    成され、上記制御信号を入力ノードに受けて上記制御信
    号に基づいた信号を出力ノードに出力する複数の入力バ
    ッファ回路と、これら複数の入力バッファ回路に対応し
    て設けられるとともに上記半導体基板の表面上の絶縁層
    上に形成され、それぞれが対応した入力バッファ回路の
    入力ノードと対応したボンディングパッドとを電気的に
    接続する金属層からなる複数の配線層と、上記半導体基
    板の表面上の絶縁層上に形成され、上記複数の入力バッ
    ファ回路の出力ノードを電気的に接続する金属層からな
    る出力側配線層とを有した半導体チップを備え上記複
    数のボンディングパッドは、上記半導体基板の長辺に平
    行な中央線に沿って配置されかつ少なくとも2つの上記
    ボンディングパッド間には他の制御信号が入力される別
    ボンディングパッドが設けられ、 上記複数のボンディングパッドに対して設けられ、一端
    に上記制御信号を外部から受けるためのリード部と、こ
    のリード部の他端から一体形成され、上記半導体基板の
    長辺に並行な接続部とを有するリード端子、 上記複数のボンディングパッドそれぞれに対応して設け
    られ、それぞれが対応したボンディングパッドと上記リ
    ード端子とを電気的に接続する複数の金属細線を備えた
    半導体装置。
  5. 【請求項5】 半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、それぞれが同一の制御信号が入力されるボンディン
    グパッドを複数有する複数のボンディングパッドグルー
    プと、これら複数のボンディングパッドグループに対応
    して設けられるとともに上記半導体基板の表面に形成さ
    れ、上記制御信号を入力ノードに受けて上記制御信号に
    基づいた信号を出力ノードに出力する複数の入力バッフ
    ァ回路と、上記複数のボンディングパッドグループに対
    応して設けられるとともに上記半導体基板の表面上の絶
    縁層上に形成され、それぞれが対応したボンディングパ
    ッドグループの複数のボンディングパッドと対応した入
    力バッファ回路の入力ノードとを電気的に接続する金属
    層からなる複数の配線層とを有した半導体チップ、 上記複数のボンディングパッドグループの複数のボンデ
    ィングパッドに対して設けられ、一端に上記制御信号を
    外部から受けるためのリード部と、このリード部の他端
    から一体形成され、上記半導体基板の長辺に並行な接続
    部とを有するリード端子、 上記複数のボンディングパッドグループの複数のボンデ
    ィングパッドそれぞれに対応して設けられ、それぞれが
    対応したボンディングパッドと上記リード端子とを電気
    的に接続する複数の金属細線を備えた半導体装置。
  6. 【請求項6】 長辺と短辺とを有する長方形状の半導体
    基板と、この半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、上記半導体基板の長辺と平行な中央線に沿って配置
    された右側列と左側列とを有し、右側列の所定数及び左
    側列の所定数それぞれに同一の制御信号が入力される複
    数のボンディングパッドと、これら複数のボンディング
    パッドのうちの右側列及び左側列の所定数のボンディン
    グパッドに対応して設けられるとともに上記半導体基板
    の表面に形成され、上記制御信号を入力ノードに受けて
    上記制御信号に基づいた信号を出力ノードに出力する複
    数の入力バッファ回路と、これら複数の入力バッファ回
    路に対応して設けられるとともに上記半導体基板の表面
    上の絶縁層上に形成され、それぞれが対応した入力バッ
    ファ回路の入力ノードと対応したボンディングパッドと
    を電気的に接続する複数の配線層とを有した半導体チッ
    プ、 上記複数のボンディングパッドのうちの右側列及び左側
    列の所定数のボンディングパッドに対して設けられ、一
    端に上記制御信号を外部から受けるためのリード部と、
    このリード部の他端から一体形成され、上記半導体基板
    の長辺に並行でかつ、上記複数のボンディングパッドの
    右側列と左側列との間に位置する接続部とを有するリー
    ド端子、 上記複数のボンディングパッドのうちの右側列及び左側
    列の所定数のボンディングパッドそれぞれに対応して設
    けられ、それぞれが対応したボンディングパッドと上記
    リード端子の接続部とを電気的に接続する複数の金属細
    線を備えた半導体装置。
  7. 【請求項7】 上記リード端子のリード部は、それぞれ
    が上記半導体基板の一対の短辺それぞれに近接し、一端
    に上記制御信号を外部から受けるための第1の部分及び
    第2の部分を有し、上記リード端子の接続部は、上記リ
    ード部の第1及び第2の部分の他端間に位置しているこ
    とを特徴とする請求項に記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】 上記半導体チップは、上記半導体基板の
    表面上の絶縁層上に形成され、上記複数の入力バッファ
    回路の出力ノードを電気的に接続する金属層からなる出
    力側配線層をさらに有したことを特徴とする請求項
    たは記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 長辺と短辺とを有する長方形状の半導体
    基板と、この半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、上記半導体基板の短辺と平行な中央線に沿って配置
    され、それぞれに同一の制御信号が入力される複数のボ
    ンディングパッドと、これら複数のボンディングパッド
    に対応して設けられるとともに上記半導体基板の表面に
    形成され、上記制御信号を入力ノードに受けて上記制御
    信号に基づいた信号を出力ノードに出力する複数の入力
    バッファ回路と、これら複数の入力バッファ回路に対応
    して設けられるとともに上記半導体基板の表面上の絶縁
    層上に形成され、それぞれが対応した入力バッファ回路
    の入力ノードと対応したボンディングパッドとを電気的
    に接続する金属層からなる複数の配線層とを有した半導
    体チップ、 上記複数のボンディングパッドに対して設けられ、上記
    制御信号を受けるリード端子、 上記複数のボンディングパッドそれぞれに対応して設け
    られ、それぞれが対応したボンディングパッドと上記リ
    ード端子とを電気的に接続する複数の金属細線を備えた
    半導体装置。
  10. 【請求項10】 上記リード端子は、一端に上記制御信
    号を外部から受けるためのリード部と、このリード部の
    他端から一体形成され、上記半導体基板の長辺に並行で
    かつ上記半導体基板の中央部に位置する接続部とを有し
    ていることを特徴とする請求項記載の半導体装置。
  11. 【請求項11】 上記リード端子のリード部は、それぞ
    れが上記半導体基板の一対の短辺それぞれに近接し、一
    端に上記制御信号を外部から受けるための第1の部分及
    び第2の部分を有し、上記リード端子の接続部は、上記
    リード部の第1及び第2の部分の他端間に位置している
    ことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
  12. 【請求項12】 上記半導体チップは、上記半導体基板
    の表面上の絶縁層上に形成され、上記複数の入力バッフ
    ァ回路の出力ノードを電気的に接続する金属層からなる
    出力側配線層をさらに有したことを特徴とする請求項
    ないし11のいずれかに記載の半導体装置。
  13. 【請求項13】 長辺と短辺とを有する長方形状の半導
    体基板と、この半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、上記半導体基板の長辺と平行な中央線及び上記半導
    体基板の短辺と平行な中央線に沿って配置された長辺側
    列と短辺側列とを有し、長辺側列の所定数及び短辺側列
    の所定数それぞれに同一の制御信号が入力される複数の
    ボンディングパッドと、これら複数のボンディングパッ
    ドのうちの長辺側列及び短辺側列の所定数のボンディン
    グパッドに対応して設けられるとともに上記半導体基板
    の表面に形成され、上記制御信号を入力ノードに受けて
    上記制御信号に基づいた信号を出力ノードに出力する複
    数の入力バッファ回路と、これら複数の入力バッファ回
    路に対応して設けられるとともに上記半導体基板の表面
    上の絶縁層上に形成され、それぞれが対応した入力バッ
    ファ回路の入力ノードと対応したボンディングパッドと
    を電気的に接続する複数の配線層とを有した半導体チッ
    プ、 上記複数のボンディングパッドのうちの長辺側列及び短
    辺側列の所定数のボンディングパッドに対して設けら
    れ、 上記複数のボンディングパッドに対して設けら
    れ、上記制御信号を受けるリード端子、 上記複数のボンディングパッドそれぞれに対応して設け
    られ、それぞれが対応したボンディングパッドと上記リ
    ード端子とを電気的に接続する複数の金属細線を備えた
    半導体装置。
  14. 【請求項14】 上記リード端子は、一端に上記制御信
    号を外部から受けるためのリード部と、このリード部の
    他端から一体形成され、上記半導体基板の長辺に並行で
    かつ上記半導体基板の中央部に位置する接続部とを有し
    ていることを特徴とする請求項13記載の半導体装置。
  15. 【請求項15】 上記リード端子のリード部は、それぞ
    れが上記半導体基板の一対の短辺それぞれに近接し、一
    端に上記制御信号を外部から受けるための第1の部分及
    び第2の部分を有し、上記リード端子の接続部は、上記
    リード部の第1及び第2の部分の他端間に位置している
    ことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置。
  16. 【請求項16】 長辺と短辺とを有する長方形状の半導
    体基板と、この半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、上記半導体基板の4隅それぞれに配置され、それぞ
    れに同一の制御信号が入力される複数のボンディングパ
    ッドと、これら複数のボンディングパッドに対応して設
    けられるとともに上記半導体基板の表面に形成され、上
    記制御信号を入力ノードに受けて上記制御信号に基づい
    た信号を出力ノードに出力する複数の入力バッファ回路
    と、これら複数の入力バッファ回路に対応して設けられ
    るとともに上記半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、それぞれが対応した入力バッファ回路の入力ノード
    と対応したボンディングパッドとを電気的に接続する金
    属層からなる複数の配線層とを有した半導体チップ、 上記複数のボンディングパッドに対して設けられ、それ
    ぞれが上記半導体基板の一対の短辺それぞれに近接し、
    一端に上記制御信号を外部から受けるための第1の部分
    及び第2の部分を有するリード部と、このリード部と一
    体形成され、第1及び第2の部分の他端間に位置に位置
    する接続部とを有するリード端子、 上記複数のボンディングパッドそれぞれに対応して設け
    られ、それぞれが対応したボンディングパッドと上記リ
    ード端子とを電気的に接続する複数の金属細線を備えた
    半導体装置。
  17. 【請求項17】 第1の半導体基板の表面上の絶縁層上
    に形成され、制御信号が入力される第1のボンディング
    パッドと、この第1のボンディングパッドに対応して設
    けられるとともに上記第1の半導体基板の表面に形成さ
    れ、上記制御信号を入力ノードに受けて上記制御信号に
    基づいた信号を出力ノードに出力する第1の入力バッフ
    ァ回路と、この第1の入力バッファ回路に対応して設け
    られるとともに上記第1の半導体基板の表面上の絶縁層
    上に形成され、上記第1の入力バッファ回路の入力ノー
    ドと対応したボンディングパッドとを電気的に接続する
    金属層からなる第1の配線とを有する第1の半導体チッ
    プ、 第2の半導体基板の表面上の絶縁層上に形成され、上記
    制御信号が入力される第2のボンディングパッドと、こ
    の第2のボンディングパッドに対応して設けられるとと
    もに上記第2の半導体基板の表面に形成され、上記制御
    信号を入力ノードに受けて上記制御信号に基づいた信号
    を出力ノードに出力する第2の入力バッファ回路と、こ
    の第2の入力バッファ回路に対応して設けられるととも
    に上記第2の半導体基板の表面上の絶縁層上に形成さ
    れ、上記第2の入力バッファ回路の入力ノードと対応し
    たボンディングパッドとを電気的に接続する金属層から
    なる第2の配線とを有する第2の半導体チップ、 上記第1および第2のボンディングパッドに対して設け
    られ、上記制御信号を受けるリード端子、および、 上記第1および第2のボンディングパッドそれぞれに対
    応して設けられ、それぞれが対応したボンディングパッ
    ドと上記リード端子とを電気的に接続する第1および第
    2の金属細線を備える半導体装置。
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