JP3200776B2 - 基板保持用ケース - Google Patents
基板保持用ケースInfo
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Description
素子の製造に用いるフオトマスクやフオトマクスブラン
クス等の基板を保管、運搬するための基板保持用ケース
に関するもので、詳しくは、各種サイズに対応できる基
板保持用ケースに関するもので、ペリクル付フオトマス
クの保管、運搬にも対応できるケースである。
実開昭59−74726号、実開昭63−8278
8号が知られている。にはマスクと蓋との間にシリコ
ンゴム等緩衝材を設けた構造、には上蓋の内側溝部に
弾性材を嵌め込んで緩衝材とした構造の記載があるよう
に、緩衝材を設けフオトマスクの振動による発塵を抑え
る工夫がされていた。これらは、多数のフオトマスクを
収納するもので、全部のフオトマスクの振動を抑えるこ
とは結局難しく、構造も大きく複雑となり、ケース自体
の洗浄性にも問題があった。又各種板厚サイズへの対応
もなかった。又、一枚入り用のフオトマスクケースとし
ては、USP4511038、USP483018
2が知られているが、、とも各種サイズのフオトマ
スクに対応できるものではない。しかしながら、近年フ
オトマスクの微細化に伴う高品質化、マスク基板のサイ
ズ多様化が、ますます要求されるようになってき、フオ
トマスク等の基板保持用ケースにも低発塵性、サイズ多
様化対応の要求がなされるようになってきた。
な状況のもと、ケースの内部発塵を抑えることができ、
収納するフオトマスク等の基板の各種板厚、サイズに対
応でき、且つ、ケース自体の洗浄性、乾燥性に優れる、
基板保持用ケースの要求に対応するものである。
トマスクやブランクス等の各種板厚、サイズに対応でき
るよう、基板の保持方法を、以下の(a)〜(e)のよ
うにしている。 (a)基板の両面から基板を挟むように、基板の隅部に
おいて保持 (b)(a)の保持機構部は、上蓋部、下蓋部に一体と
なった突起部上にキヤップを覆った状態で挟む構造 (c)各種基板サイズに対応し、基板の外周部を複数箇
所で固定する外周固定部を設け (d)キヤップは突起部か着脱可能で、各種板厚に合わ
せ用意、もしくは各種板サイズに合わせ用意 (e)所望の基板サイズに応じ、基板隅部に複数個から
なる1組の保持機構部の組を複数組配設
成で、キヤップ材質をシリコンとし緩衝性をもたせてい
る。ケース本体のコーナ部や凹凸部にR(弧状)をもた
せ、洗浄性や乾燥性をよくしている。そして、ケース本
体の材質を電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質樹脂(マ
トリックス)中に分散した構造のバイヨン(呉羽化学工
業製)を用いてマスク等基板の帯電防止をするととも
に、ケース本体の洗浄による再使用を可能としている。
又、ケースの上蓋部または下蓋部の厚さや保持機構部、
外周固定部の寸法を適当にとることにより、ペリクル付
フオトマスクの保管、運搬にも適用できるようにしてい
る。
は、基板が四角に限定される必要はない。基板保持機構
については、フオトマスク等の四角形の基板の場合は、
所望サイズに応じた四隅1組が適当かと思われるが、基
板形状が四角形でない場合には、それに応じた数、位置
の選定が必要である。外周固定部についても同様に、基
板形状に応じ、位置、数、サイズを選定すれば良い。
イズオのフオトマスク、ブランクスやペタクル付フオト
マスク等の基板の保管、運搬を低発塵でできるケースに
関するもので、以下の作用を有するものである。 (1)本発明の基板の保持機構を、上蓋部,、下蓋部に
一体となった、相対する突起部上にキヤップを覆った構
成とすることにより、ケース全体を簡単化でき、各種板
厚の基板に対応できるとともに、上蓋部や下蓋部の寸法
を適当に選ぶことにより、ペリクク付フオトマスク基板
への対応も可能としている。 (2)キヤップにより基板を保持固定し、基板サイズに
対応した複数個からなる外周固定部で固定することによ
り、基板の保持をより一層安定化したものとしている。 (3)基板のサイズに対応し、基板の隅部を両面から保
持する複数箇所1組の保機構部を複数組設け、且つ、各
種板サイズに対応する外周固定部を複数組設けることに
より、同一のケースで、各種基板サイズ、各種板厚への
対応を可能としている。
で、各種板厚の基板の収納に対応できるばかりでなく、
キヤップの寸法を適当に選択することにより、各種サイ
ズ、各種板厚の基板の収納を可能とし、外周固定部の寸
法の自由度も上がる。即ち、各種サイズの基板に対応し
た、高さ(サイズ)を有する、基板の外周固定部を設
け、各種サイズの基板に対応したキヤップを使用するこ
とにより、各種の基板をキヤップによる固定保持と外周
固定部による固定とで、安定に固定できる。 (5)上蓋部の外側部、下蓋部の外側部に、それぞれ複
数の積み重ね用固定部を設け、上蓋部の固定部と下蓋部
の固定部とが嵌合するようになっており、ケース本体の
積み重ねが可能で、保管、運搬、作業等に対し実用的と
なっている。
状)とすることにより、洗浄性を上げ、乾燥性も向上さ
せ、マスクの保管、運搬時の振動による発塵もすくない
ものとできる。キヤップをシリコン製とすることによ
り、弾力性があり、振動に対する緩衝性があり、マスク
の保管、運搬時に発塵の少ないものとしている。 (7)ケース本体を電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質
樹脂(マトリックス)中に分散した構造のバイヨン(呉
羽化学工業製)を用いている為、フオトマスク等の基板
の帯電を防止でき、ケース本体の洗浄による再使用を可
能としている。
を収納するケースで、図にそって実施例1を説明する。
図1は本発明の特徴を示すもので、基板を保持固定した
状態のケース断面図である。図2はケース本体の平面図
で、図3は正面図である。ケース本体1は上蓋部2と下
蓋部3からなり、上蓋部2と下蓋部3とはバンド状のク
リップ4で抑え止められる構造になっており、フオトマ
スク等の基板5は、図1のケース断面図のように、上蓋
部2、下蓋部3と一体となった突起部6の上にキヤップ
7を覆った状態で、基板の両面から保持固定される。図
4は突起部6の拡大図、図5はキヤップの拡大図であ
る。突起部6は、上にキヤップを覆い、収納する基板の
四隅で基板の両面から固定保持するもので、突起部6、
キヤップ7のサイズは、基板板厚に合わせ選択できる。
浄、乾燥性がよく再利用のできるものが良く、上蓋部
2、下蓋部3からなるケース本体1と、本体と一体とな
った突起部6は、導電性のある樹脂、バイヨン(呉羽化
学工業製)とした。キヤップ7材質としては、低発塵性
で、クッション性のあるシリコンを選んだ。
蓋部3側に置き、上蓋部を合わせ、前記の突起部6にキ
ヤップ7を覆った基板固定保持部でフオトマスクの四隅
を抑え、図2のように、ケースの外側からケース本体1
の四隅を、バンド状のクリップ4で、上蓋部2、下蓋部
3を止め抑え、フオトマスクを固定収納した。
ケースを積み重ねできるように、上蓋部側と下蓋部側の
固定部が嵌合するように、積み重ね固定部8を複数備え
ている。又、ケース本体の洗浄、乾燥性をあげる為、コ
ーナ部や凹凸部をR(弧状)形状としている。
イズの基板を置いた、載置法1、載置法2を示す図であ
る。実施例1のケースは、このように、所定の基板サイ
ズに応じた4ケ1組の相対する固定保持部が2組もつ、
基板保持用ケースで、基板のサイズに合わせた所定の突
起部のみにキヤップを覆い、固定保持部として使用する
ものである。即ち、基板サイズに応じて、図6のように
固定することもできるし、図7のように固定することも
できる。図8、図9はそれぞれ図6、図7に記載の基板
固定の断面図である。基板サイズにあった四ケ1組の相
対する突起部の1組のみキヤップを覆って使用し、他は
キヤップを覆っていなく、基板と接することはない。
したもので、図6、図7に記載のものは二種のサイズの
基板に対して固定できるように、一体形状のものであ
る。尚、外周固定部は基板の所定サイズに対応した位置
に、固定保持部のキヤップサイズや突起部サイズに応じ
て、その基板厚み方向のサイズを適当に選択すればよ
く、いくつかの基板サイズに対応し、一体となっていて
もよいが、別々の位置サイズでも良い。
スク基板を収納するケースで、図10に示されるよう
に、下蓋部側のキヤップ7のサイズを上蓋部側より大と
して、ペリクル付フオトマスク基板5が収納できるよう
にしたものである。この場合も二種の板サイズに対応で
きるよう、突起部6が2組設けられている。
るケースも挙げておく。図11に示されるように、突起
部6が1組のものである。
発明のケースは、収納されるフオトマスクやブランクス
等の基板を安定して固定でき、基板の保管、運搬時の振
動による発塵性が低く、簡単な構造となり、洗浄性、乾
燥性がよく、基板の帯電防止効果がある。更に、種々の
板厚、サイズに対応でき、ペリクル付のフオトマスクに
も簡単に対応できるケースの提供が可となった。又、ケ
ースの積み重ねも簡単にでき、実用的である。
面図。
面図。
面図。
断面図。
断面図。
Claims (8)
- 【請求項1】 上蓋部、下蓋部からなるケース本体に、
基板の両側から基板の隅部を挟み保持する保持機構部
と、基板の外周を固定する外周固定部とを有し、前記上
蓋部、下蓋部を嵌合させ、止め抑える方式の基板保持用
ケースにおいて、保持機構部は、上蓋部、下蓋部と一体
で、基板の両面に向かい突出した、相対する複数個の突
起部が着脱可能で、且つ、低発塵性のクッション性のあ
るキヤップで覆われていることを特徴とする基板保持用
ケース。 - 【請求項2】 第1項記載の基板保持用ケースにおい
て、基板の所定板サイズに対応し、基板の隅部を保持す
る、複数個1組の保持機構部を形成するための突起部を
複数組備え、所定板サイズに対応し、基板の外周を固定
する複数個1組の外周固定部を1個以上備えていること
を特徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項3】 第1項ないし第2項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、所定の基板サイズに対応した相対する複
数個1組の保持機構部を形成する、相対する突起部の上
蓋側キヤップサイズと下蓋側キヤップサイズとを調整
し、基板の板厚方向の位置を変えて、所定板サイズに対
応した基板の外周固定部を選択できるようにしたことを
特徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項4】 第1項ないし第3項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、上蓋部の外側部、下蓋部の外側部にそれ
ぞれ複数の積み重ね固定部を設けており、上蓋部固定部
と下蓋部固定部とが嵌合するようになっていることを特
徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項5】 第1項ないし第4項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、ケース本体の材質がバイヨンからなり、
キヤップ材質がシリコンからなることを特徴とする基板
保持用ケース。 - 【請求項6】 第1項ないし第5項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、コーナ部や凹凸部にR(弧状)をもたせ
たことを特徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項7】 第1項ないし第6項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、ケースの外側からケース本体をバンド状
のクリップで止め抑えることを特徴とする基板保持用ケ
ース。 - 【請求項8】 第1項ないし第7項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、基板がフオトマスク、ペリクル付フオト
マスク、フオトマスクブランクス等の四角形の基板であ
ることを特徴とする基板保持用ケース。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22938292A JP3200776B2 (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 基板保持用ケース |
US08/099,927 US5353934A (en) | 1992-08-06 | 1993-08-03 | Substrate holding case |
KR1019930015096A KR0119576B1 (ko) | 1992-08-06 | 1993-08-04 | 기판지지용 케이스 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22938292A JP3200776B2 (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 基板保持用ケース |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=16891310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP22938292A Expired - Lifetime JP3200776B2 (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 基板保持用ケース |
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US (1) | US5353934A (ja) |
JP (1) | JP3200776B2 (ja) |
KR (1) | KR0119576B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101821148B1 (ko) * | 2017-03-14 | 2018-03-08 | 최종하 | 조리용 음식 용기 |
KR200486614Y1 (ko) * | 2016-02-12 | 2018-06-18 | 케이엘스 주식회사 | 식품보관용기 |
Families Citing this family (72)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0758192A (ja) * | 1993-08-12 | 1995-03-03 | Nikon Corp | 基板収納ケース |
US5515240A (en) * | 1994-02-14 | 1996-05-07 | Winegard Company | Self-locking housing including tabs that bear against the sides of a printed circuit board to entrap the printed circuit board |
US5695068A (en) * | 1994-09-09 | 1997-12-09 | Digital Equipment Corporation | Probe card shipping and handling system |
JP3143337B2 (ja) * | 1994-10-12 | 2001-03-07 | 信越ポリマー株式会社 | ペリクル収納容器 |
US5474177A (en) * | 1994-10-14 | 1995-12-12 | Capitol Vial, Inc. | Container for a wafer chip |
TW285721B (ja) * | 1994-12-27 | 1996-09-11 | Siemens Ag | |
US5620097A (en) * | 1994-12-30 | 1997-04-15 | Ortho Pharmaceutical Corporation | Protective packaging system |
US5909812A (en) * | 1996-10-08 | 1999-06-08 | Plastic Development, Inc. | Container for storing and transporting leadframes |
KR20010023465A (ko) | 1997-08-29 | 2001-03-26 | 오노 시게오 | 포토마스크 케이스, 반송장치 및 반송방법 |
USD418984S (en) * | 1998-09-17 | 2000-01-18 | James Christopher Koconis | Picture frame |
US6216873B1 (en) * | 1999-03-19 | 2001-04-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF container including a reticle support structure |
US6280646B1 (en) * | 1999-07-16 | 2001-08-28 | Micron Technology, Inc. | Use of a chemically active reticle carrier for photomask etching |
JP4357048B2 (ja) * | 1999-10-04 | 2009-11-04 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
US6736386B1 (en) | 2001-04-10 | 2004-05-18 | Dupont Photomasks, Inc. | Covered photomask holder and method of using the same |
US6906783B2 (en) * | 2002-02-22 | 2005-06-14 | Asml Holding N.V. | System for using a two part cover for protecting a reticle |
US6910576B2 (en) * | 2003-04-11 | 2005-06-28 | Mcgrath John | Storage device for storing a coating implement |
TWI224719B (en) * | 2003-05-28 | 2004-12-01 | Gudeng Prec Ind Co Ltd | Reinforced structure device of mask frame |
JP4601932B2 (ja) * | 2003-09-16 | 2010-12-22 | 大日本印刷株式会社 | 基板収納ケース |
JP2005123292A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Canon Inc | 収納装置、当該収納装置を用いた露光方法 |
JP4476727B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2010-06-09 | 株式会社 ネットプラスチック | 大型精密シート状(半)製品用密封容器 |
DE102004039387A1 (de) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Klebchemie M.G. Becker Gmbh & Co. Kg | Deckel für einen Behälter zur Lagerung und/oder Bereitstellung und/oder zum Transport von feuchtigkeitsempfindlichen Materialien |
TW200613202A (en) * | 2004-10-28 | 2006-05-01 | Power Geode Technology Co Ltd | Wafer framework storage box |
US7309460B2 (en) * | 2004-11-24 | 2007-12-18 | Entegris, Inc. | Photomask container |
US9674975B2 (en) * | 2005-01-28 | 2017-06-06 | Jeffrey D. Carnevali | Protective enclosure for touch screen device |
US9010537B2 (en) * | 2010-11-04 | 2015-04-21 | Jeffrey D. Carnevali | Protective enclosure for touch screen device |
US7607543B2 (en) * | 2005-02-27 | 2009-10-27 | Entegris, Inc. | Reticle pod with isolation system |
JP4391435B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2009-12-24 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
JP4644035B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2011-03-02 | ミライアル株式会社 | 枚葉収納容器 |
KR101442264B1 (ko) * | 2005-09-27 | 2014-09-22 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 레티클 포드 |
JP4896494B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2012-03-14 | 株式会社 ジャパン・ティッシュ・エンジニアリング | 培養組織のための包装体及び培養組織包装体 |
WO2007066384A1 (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Fujitsu Limited | 半導体ウェハの収納ケース及び半導体ウェハの収納方法 |
FR2896912B1 (fr) * | 2005-12-09 | 2008-11-28 | Alcatel Sa | Enceinte etanche pour le transport et le stockage de substrats semi-conducteurs |
US7537114B2 (en) * | 2006-01-25 | 2009-05-26 | International Business Machines Corporation | System and method for storing and transporting photomasks in fluid |
TWM300368U (en) * | 2006-03-28 | 2006-11-01 | Gudeng Prec Ind Co Ltd | Mask supporter for leading and position |
JP4963041B2 (ja) * | 2006-06-16 | 2012-06-27 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ペリクル収納容器 |
JP4964000B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-06-27 | 積水化成品工業株式会社 | ガラス基板用搬送ボックス |
TWM331743U (en) * | 2007-08-10 | 2008-05-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | Photomask pod, photomask transport pod and the supporter thereof |
SG151129A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-30 | E Sun Prec Ind Co Ltd | Container for reticle |
KR200446867Y1 (ko) * | 2007-12-06 | 2009-12-07 | 내쇼날푸라스틱주식회사 | 덮개 및 이를 이용한 파렛트 |
KR101169870B1 (ko) * | 2007-12-20 | 2012-09-18 | 티알더블유 오토모티브 유.에스. 엘엘씨 | 전자 조립체 및 전자 조립체 제조 방법 |
JP2009229639A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | E-Sun Precision Industrial Co Ltd | フォトマスクケース |
FR2941129B1 (fr) * | 2009-01-15 | 2011-01-21 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Boitier de protection de pieces(s) a rattrapage de jeu par flechissement |
US8194400B2 (en) | 2009-12-11 | 2012-06-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic device |
EP2360720A1 (de) | 2010-02-23 | 2011-08-24 | Saint-Gobain Glass France | Vorrichtung zum Positionieren von mindestens zwei Gegenständen, Anordnungen, insbesondere Mehrschichtkörperanordnungen, Anlage zum Prozessieren, insbesondere zum Selenisieren, von Gegenständen, Verfahren zum Positionieren von mindestens zwei Gegenständen |
JP2012046239A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル収納ケース用コーナークリップ |
JP5238841B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2013-07-17 | 株式会社東芝 | 電子機器 |
US20140183067A1 (en) * | 2012-09-02 | 2014-07-03 | Jeffrey D. Carnevali | Protective enclosure for touch screen device |
US20140184042A1 (en) * | 2012-09-02 | 2014-07-03 | Jeffrey D. Carnevali | Protective enclosure for touch screen device |
CN102915976B (zh) * | 2012-10-08 | 2015-07-29 | 华东光电集成器件研究所 | 一种耐高过载的集成电路 |
JP2014088184A (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Nitto Denko Corp | 封止シート収容器 |
US10050658B2 (en) | 2014-02-24 | 2018-08-14 | National Products, Inc. | Docking sleeve with electrical adapter |
US9195279B2 (en) | 2014-02-24 | 2015-11-24 | National Products, Inc. | Docking sleeve with electrical adapter |
US9602639B2 (en) | 2014-02-24 | 2017-03-21 | National Products, Inc. | Docking sleeve with electrical adapter |
US9706026B2 (en) | 2014-02-24 | 2017-07-11 | National Products, Inc. | Docking sleeve with electrical adapter |
US9529387B2 (en) | 2014-02-24 | 2016-12-27 | National Products, Inc. | Docking sleeve with electrical adapter |
US9331444B2 (en) | 2014-02-24 | 2016-05-03 | National Products, Inc. | Docking sleeve with electrical adapter |
CN104443799B (zh) * | 2014-10-24 | 2017-10-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶玻璃包装箱及包装方法 |
JP6308676B2 (ja) * | 2014-12-18 | 2018-04-11 | 信越化学工業株式会社 | リソグラフィ用ペリクル容器。 |
WO2018005345A1 (en) | 2016-06-27 | 2018-01-04 | National Products, Inc. | Slide dock and methods of making and using |
JP2018056478A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 基板保持装置 |
US9831904B1 (en) | 2016-12-14 | 2017-11-28 | National Products, Inc. | Adjustable cradle for mobile devices and methods of making and using |
CN109292280B (zh) * | 2018-09-11 | 2021-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于装载薄膜的盒和装载薄膜的方法 |
TWI705522B (zh) * | 2019-07-30 | 2020-09-21 | 家登精密工業股份有限公司 | 基板容納裝置及其製造方法 |
JP2021089174A (ja) * | 2019-12-03 | 2021-06-10 | 株式会社協同 | プローブカード収納ケース |
US11489350B2 (en) | 2019-12-23 | 2022-11-01 | National Products, Inc. | Cradle for mobile devices with resilient guides and methods of making and using |
US11289864B2 (en) | 2020-04-20 | 2022-03-29 | National Products, Inc. | Cases for mobile devices with a flexible covering and rigid frame or with two different connector arrangements and methods of making and using |
US11029731B1 (en) | 2020-04-20 | 2021-06-08 | National Products, Inc. | Cradles and cases for mobile devices incorporating guide elements or modular components and methods of making and using |
US10812643B1 (en) | 2020-05-04 | 2020-10-20 | National Products, Inc. | Cases for mobile devices incorporating a light within the case and methods of making and using |
US11076032B1 (en) | 2020-05-26 | 2021-07-27 | National Products, Inc. | Cradles for mobile devices with a plunger lock and methods of making and using |
US11277506B2 (en) | 2020-05-26 | 2022-03-15 | National Products, Inc. | Cradles for mobile devices with one or more biasing tabs and methods of making and using |
US11652326B2 (en) | 2021-04-30 | 2023-05-16 | National Products, Inc. | Dock with flexible locator pins and methods of making and using |
US20240128996A1 (en) | 2022-10-13 | 2024-04-18 | National Products, Inc. | Remote repeater device for mobile device dock and methods of making and using |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3489265A (en) * | 1967-05-22 | 1970-01-13 | Product Packaging Corp | Fragile plate carrier |
US3532213A (en) * | 1969-03-26 | 1970-10-06 | Varian Associates | Holder for inspection,shipping and storage of glass optical elements |
US3615006A (en) * | 1969-06-26 | 1971-10-26 | Ibm | Storage container |
US4077515A (en) * | 1976-10-06 | 1978-03-07 | Dell Shoberg | Medical slide case with hinged molded sections |
JPS5895812A (ja) * | 1981-12-01 | 1983-06-07 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 基板の収納容器及び収納容器の装着装置 |
JPS5974726A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-27 | Sanyo Electric Co Ltd | キ−入力制御回路 |
US4511038A (en) * | 1984-01-30 | 1985-04-16 | Ekc Technology, Inc. | Container for masks and pellicles |
US4589551A (en) * | 1984-07-31 | 1986-05-20 | Maclean-Fogg Company | Container for handling, transportation and storage of microscope slides |
US4776462A (en) * | 1985-09-27 | 1988-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Container for a sheet-like article |
JPS6392788A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-23 | 東レ株式会社 | セルロ−ス系繊維の処理方法 |
US4752007A (en) * | 1986-12-11 | 1988-06-21 | Fluoroware, Inc. | Disk shipper |
JPS63178958A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-23 | キヤノン株式会社 | 防塵容器 |
US4842136A (en) * | 1987-02-13 | 1989-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Dust-proof container having improved construction for holding a reticle therein |
US4938360A (en) * | 1989-02-09 | 1990-07-03 | Robert S. Wallace | Sealed cushioning package |
US5147042A (en) * | 1991-03-08 | 1992-09-15 | Abner Levy | Holder for medical specimen slide |
US5253755A (en) * | 1991-03-20 | 1993-10-19 | Fluoroware, Inc. | Cushioned cover for disk container |
-
1992
- 1992-08-06 JP JP22938292A patent/JP3200776B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-08-03 US US08/099,927 patent/US5353934A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-08-04 KR KR1019930015096A patent/KR0119576B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200486614Y1 (ko) * | 2016-02-12 | 2018-06-18 | 케이엘스 주식회사 | 식품보관용기 |
KR101821148B1 (ko) * | 2017-03-14 | 2018-03-08 | 최종하 | 조리용 음식 용기 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR940006437A (ko) | 1994-03-23 |
KR0119576B1 (ko) | 1997-10-23 |
JPH0664678A (ja) | 1994-03-08 |
US5353934A (en) | 1994-10-11 |
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