JPH0758192A - 基板収納ケース - Google Patents

基板収納ケース

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JPH0758192A
JPH0758192A JP20080893A JP20080893A JPH0758192A JP H0758192 A JPH0758192 A JP H0758192A JP 20080893 A JP20080893 A JP 20080893A JP 20080893 A JP20080893 A JP 20080893A JP H0758192 A JPH0758192 A JP H0758192A
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reticle
storage case
lid
side member
conductive
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JP20080893A
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English (en)
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Kanefumi Nakahara
兼文 中原
Tsuneaki Origasa
恒明 折笠
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Nikon Corp
Sendai Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Sendai Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本来の機能である防塵性を損なうことなく、
且つ新たな発塵の要因を作ることなく、収納ケースの一
部又は全部に帯電防止効果を持たせる。 【構成】 金属性の底板１上にコの字型の側面部材２を
取り付け、側面部材２に対してヒンジ３を介して開閉自
在に上蓋４を取り付け、上蓋４にヒンジ５を介して回動
自在に前蓋６を取り付ける。側面部材２上にレチクルを
載置した状態で、上蓋４を側面部材２上に閉じて前蓋６
を閉じることにより、レチクルを収納する。側面部材２
を、変性ＰＰＥ中に導電性のある共重合体を形成した材
料より構成し、上蓋４を透明で且つ導電性のある材料よ
り構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ等の半導体素子
又は液晶表示素子等を製造する際に使用されるフォトマ
スク若しくはレチクル、又はウエハ若しくはガラスプレ
ートの如き基板を収納するための基板収納ケースに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ等の半導体素子又は液晶表示素子
等を製造する際に、原版として使用されるフォトマスク
又はレチクル（以下、「レチクル」と総称する）は、極
めて高いレベルで塵等の異物の付着を防止する必要があ
るため、専用の収納ケースに入れて保管される。同様
に、回路パターン等が転写されるウエハ又はガラスプレ
ート等も、防塵のため専用の収納ケースに入れて保管さ
れる。以下ではレチクル用の収納ケースを例に取って説
明する。
【０００３】従来この種の収納ケースは、特公平１−３
６２５５号公報、又は特公昭６３−１８７３４号公報で
開示されているように、一端が開放された箱状のケース
に開閉自在に前蓋を取り付け、その前蓋を開けてその箱
状のケース内にレチクルを収納するようになっていた。
そして、従来の収納ケースの材質としては、合成樹脂及
び表面処理をした金属が使用されていたが、特に静電気
による帯電を防ぐための考慮はなされていない場合が多
かった。また、帯電防止を考慮している場合でも、合成
樹脂中に界面活性剤を練り込み、合成樹脂の表層に帯電
防止の連続層を形成したり、炭素繊維や炭素の粉（粒
子）などの導電性物質などを混入することにより、収納
ケースに帯電防止効果を持たせるか、又は、収納ケース
の表面に帯電防止効果をもつ物質を塗布（コーティン
グ）する程度であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
においては、収納ケースを構成する材質が帯電防止材料
となっていなかった。そのため、特にＬＳＩ等を製造す
るためのクリーンルーム等の低湿度の環境下で、収納ケ
ースの運搬又は洗浄等を行うためにその収納ケースを取
扱う際に、帯電防止を考慮していない布や手袋でこすっ
た場合にその摩擦で収納ケースが帯電する虞があった。
また、収納ケースを収納する保管棚が帯電していた場
合、保管棚との摩擦等で収納ケースが帯電する場合も考
えられる。その他、様々な原因により収納ケースが帯電
することが考えられる。
【０００５】このように収納ケースが帯電すると、収納
ケース内に収納されているレチクルの表面にも静電気が
生じるため、レチクル上に塵、ほこり等が付着し易くな
るという不都合がある。更に、静電気の量によっては、
レチクル上に描画してある微細パターンが静電破壊する
虞があるという不都合もあった。また、収納ケースに帯
電防止の効果を持たせた従来例の内で、収納ケースを構
成している合成樹脂中に例えば界面活性剤を練り込んで
いた場合には、界面活性剤が持つ親水基により、水洗等
で帯電防止機能が低下するという不都合があった。更
に、炭素繊維や、炭素の粉（粒子）などの導電性物質を
混入させて練り込んだ場合には、その導電性物質が脱落
する可能性があり、発塵の要因が増加するという不都合
があった。即ち、収納ケース内でレチクル支持部材とレ
チクルとの接触や、収納ケース内の可動部同士のこすれ
（摩擦）等により、その混入された導電性物質が樹脂か
ら脱落して塵となり、この塵が収納ケース内のレチクル
に付着する虞があった。
【０００６】また、合成樹脂中に単に前記の炭素系ある
いは金属系の導電性物質を混ぜると、合成樹脂を透明に
することができなくなり、レチクルを収納ケースに入れ
た状態でそのレチクルを見ることができないという不都
合が生じる。これに関して、収納ケースでは通常、前蓋
の他に上蓋を開けられるようになっているが、収納ケー
スが不透明である場合には、レチクル上の文字等を確認
する際に、その上蓋を開けて確認する作業が必要とな
り、作業効率が悪いと共に、レチクルに塵等が付着し易
くなるという不都合があった。
【０００７】本発明は斯かる点に鑑み、レチクル又はウ
エハ等を収納するための収納ケースにおいて、本来の機
能である防塵性を損なうことなく、且つ新たな発塵の要
因を作ることなく、収納ケースの一部又は全部に帯電防
止効果を持たせることを目的とする。更に、本発明は、
防塵性を損なうことなく、収納ケースの外側から内部の
レチクル又はウエハ等の状態を確認できるようにするこ
とをも目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による基板収納ケ
ースは、例えば図１に示すように、前面が抜けた箱状の
ケース（１，２，４）と、その前面に開閉自在に取り付
けられた前蓋（６）とよりなり、前蓋（６）を開閉して
その箱状のケース内に所定の基板が収納される基板収納
ケースにおいて、箱状のケース（１，２，４）及び前蓋
（６）の内の所定の部分（例えば側面部材２）を、合成
樹脂中に導電性のある共重合体を形成した材料より構成
したものである。
【０００９】この場合、箱状のケース（１，２，４）の
上面（４）を導電性のある透明な材料より形成すること
が望ましい。また、その合成樹脂中に導電性のある共重
合体を形成した材料に、更にフッ素を混入することが望
ましい。
【００１０】
【作用】斯かる本発明によれば、箱状のケース（１，
２，４）又は前蓋（６）の内の所定の部分のベースとな
る合成樹脂に、従来のような低分子タイプで合成樹脂と
の相容性の良くない界面活性剤や、あるいは導電性の繊
維や粉末ではなく、高分子タイプでその合成樹脂と相容
性の良い導電性のある共重合体を形成して、その合成樹
脂自体に帯電防止効果を持たせている。従って、その合
成樹脂に混入された導電性物質の脱落による発塵が生じ
ることなく、帯電防止を行うことができる。
【００１１】また、その箱状のケースの上面（４）を導
電性のある透明な材料から形成した場合には、上面
（４）にも導電性を持たせた上で、且つ上面（４）を通
して内部のレチクル又はウエハ等の状態を目視等で容易
に確認できる。また、その合成樹脂中に導電性のある共
重合体を形成した材料に、更にフッ素を混入した場合に
は、耐摩耗性が向上するため、その材料にレチクル等が
接触しても、更にその材料の部材同士がこすれあっても
発塵が少なくなる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明による基板収納ケースの一実施
例につき図面を参照して説明する。本例はレチクル用の
収納ケース（所謂カセット）に本発明を適用したもので
ある。図１は、本実施例の収納ケースの上蓋を開けた状
態を示し、この図１において、金属性の底板１上にコの
字型の側面部材２を取り付け、側面部材２の背面部にヒ
ンジ３を介して開閉自在に上蓋４を軸支し、上蓋４の先
端面にヒンジ５を介して回動自在に前蓋６を軸支する。
金属性の底板１と側面部材２との固定方法としては、導
電性の接着材を介しての接着、又はねじを介しての固定
等が使用される。
【００１３】側面部材２は、背面部２ｃと、これを端部
で挟むように対向する１対のレチクル支持部２ａ及び２
ｂとを一体成形して形成し、図１に向かって左側のレチ
クル支持部２ａ上の内側には深い溝部２ｄを形成し、溝
部２ｄの中央に凸部２ｆを形成し、溝部２ｄを囲むよう
に上蓋４が密着する浅い段差部２ｈを形成する。また、
凸部２ｆの内側の溝部２ｄの上に、１対の長いピン状の
ストッパー９Ａ及び１２Ａを一体的に植設し、それらス
トッパー９Ａ及び１２Ａの内側にレチクルを支持するた
めの１対の短いレチクル支持ピン１０Ａ及び１１Ａを一
体的に植設する。
【００１４】右側のレチクル支持部２ｂにおいても、左
側のレチクル支持部２ａと対称に、深い溝部２ｅ、凸部
２ｇ、上蓋４が密着する浅い段差部２ｉを形成し、凸部
２ｇの内側の溝部２ｅの上に、ストッパー９Ｂ及び１２
Ｂと、レチクル支持ピン１０Ｂ及び１１Ｂとを一体的に
植設する。但し、図１ではストッパー９Ｂのみが現れて
いる。
【００１５】また、レチクル支持部２ａ及び２ｂの外面
にそれぞれ一体的にガイド部７Ａ及び７Ｂを設け、上蓋
４を側面部材２の段差部２ｈ及び２ｉに密着させた状態
で、それらガイド部７Ａ及び７Ｂに押えばね８Ａ及び８
Ｂを差し込み、押えばね８Ａ及び８Ｂで上蓋４を側面部
材２側に付勢して、上蓋４を側面部材２に固定する。図
２は、押えばね８Ａ及び８Ｂで上蓋４を側面部材２上に
押し付けた状態の平面図であり、この図２に示すよう
に、押えばね８Ａ及び８Ｂの円弧部で上蓋４が押さえら
れている。逆に、上蓋４をヒンジ３を軸として回転させ
て開く場合には、それら押えばね８Ａ及び８Ｂをガイド
部７Ａ及び７Ｂから取り外すだけでよい。ガイド部７Ａ
及び７Ｂは、その収納ケースを保管棚等に搬入する際、
又は保管棚等から搬出する際にガイドとして使用される
ものである。そして、押えばね８Ａ及び８Ｂは、ピアノ
線の如き針金を屈曲させて形成される。
【００１６】図１に戻り、上蓋４の底面の向かって左側
の中央部に軸受け部１３Ａ及び１４Ａを一体的に植設
し、軸受け部１３Ａ及び１４Ａの間に回動自在にレチク
ル押え１５Ａを取り付ける。レチクル押え１５Ａは、長
い押え部１５Ａａと小さいばね係合部１５Ａｂとを９０
°ねじれるように一体的に成形したものであり、上蓋４
の底面の奥側に植設されたばね掛け部１７Ａとばね係合
部１５Ａｂとを引っ張りコイルばね１６Ａで連結し、前
蓋６の内側に一体的に植設さればね掛け部１９Ａとばね
係合部１５Ａｂとを引っ張りコイルばね１８Ａで連結す
る。
【００１７】上蓋４の底面の向かって右側でも、左側と
対称的に、軸受け部１３Ｂ及び１４Ｂを一体的に植設
し、軸受け部１３Ａ及び１４Ａの間に回動自在にレチク
ル押え１５Ｂを取り付ける。そして、上蓋４の底面のば
ね掛け部１７Ｂとレチクル押え１５Ｂのばね係合部とを
引っ張りコイルばね１６Ｂで連結し、前蓋６の内側のば
ね掛け部１９Ｂとそのばね係合部とを引っ張りコイルば
ね１８Ｂで連結する。この場合、前蓋６がヒンジ５を軸
としてθ２方向に回転して開くと、引っ張りコイルばね
１６Ａ，１６Ｂ及び１８Ａ，１８Ｂの作用でレチクル押
え１５Ａ及び１５Ｂが回転して、押え部１５Ａａ及び１
５Ｂａが上蓋４にほぼ平行になる。一方、前蓋６がヒン
ジ５を軸としてθ２方向に回転して閉じると、レチクル
押え１５Ａ，１５Ｂの押え部１５Ａａ，１５Ｂａが上蓋
４に垂直になる方向に回転する。従って、これら押え部
１５Ａａ，１５Ｂａにより内部のレチクルを固定するこ
とができる。
【００１８】次に、本実施例では図１の収納ケースに帯
電防止効果を持たせるために、以下のような材料を使用
する。先ず、金属性の底板１としては、アルミニウムに
亜鉛置換を施した基板の上に、ニッケルメッキを施し
て、表面の硬度を上げると共に導電性を持たせた材料を
使用している。底板１を金属性としたのは、薄くした上
で収納ケース全体の強度を高めるためである。また、特
に重量が制限されない場合には、底板１の材料としてス
テンレススチールを表面処理無しで使用してもよい。更
に、厚さの制限がない場合には、底板１を側面部材２と
一体的に合成樹脂で成形しても良い。
【００１９】また、側面部材２、及びレチクル押え１５
Ａ，１５Ｂとしては、スチレン変性の変性ＰＰＥ（ポリ
フェニレンエーテル）中に、ポリエーテルとポリアミド
とのブロック共重合体を形成して、帯電防止効果を持た
せた樹脂を用いる。ベースとなる合成樹脂としては、そ
の変性ＰＰＥの代わりに、ポリカーボネイト等を使用す
ることができる。このブロック共重合体は導電性のある
高分子ポリマーであり、合成樹脂との相容性が良好であ
ると共に、界面活性剤等の低分子ポリマーと比べて耐溶
剤性が高い。従って、本例の側面部材２は軽量で或る程
度の導電性があるため、帯電防止効果がある。更に、合
成樹脂中に導電性の共重合体が形成されているため、側
面部材２とレチクルとが接触しても、また側面部材２と
レチクル押え１５Ａ，１５Ｂとがこすれあっても、導電
性の共重合体単体が脱落して発塵することがない。
【００２０】一般に、動的状態で帯電防止が可能である
材料の表面固有抵抗値［Ω］の上限値は、１０10〜１０
12Ω程度であると言われている。そして、ＩＣ、ＬＳＩ
等を包装するために帯電防止効果を持たせた包装材料の
表面固有抵抗値は１０8 〜１０9 Ω程度である。これに
関して、本例の変性ＰＰＥにポリエーテルとポリアミド
とのブロック共重合体を形成した材料よりなる側面部材
２の表面固有抵抗値は１０9 Ω程度であり、十分な帯電
防止効果がある。また、実験的にその側面部材２を雰囲
気の温度が２３°で湿度が３５％の極めて乾燥した環境
に設置した場合でも、表面抵抗値は１０10Ω程度を達成
し、十分な帯電防止効果があった。ところが、従来例の
ように合成樹脂の中に、低分子ポリマーの界面活性剤を
混入した材料では、湿度が３５％になると表面固有抵抗
値が極めて高くなり、ほとんど帯電防止効果がなくなる
ことが知られている。即ち、本例の側面部材２の材料を
使用することにより、極めて乾燥した環境下でも十分な
帯電防止効果が得られる。
【００２１】更に、側面部材２、及びレチクル押え１５
Ａ，１５Ｂの耐摩耗性を高めるため、且つ摺動性を高め
るために、その変性ＰＰＥ等のベースとなる合成樹脂に
フッ素を混入するようにしても良い。また、上蓋４の材
料としては、帯電防止効果と透過性とを実現するため
に、ＰＭＭＡ（メタクリル樹脂）を主成分として、その
内部構造を一部ゴム状構造にして内部に水分を取り込ん
で保持できるような樹脂を用いる。このようにして内部
に取り込まれた水分により、透明であっても導電性が生
ずるものである。具体的にその材料からなる上蓋４の表
面固有抵抗値は１０11〜１０12Ω程度であり、十分な帯
電防止効果がある。
【００２２】更に、前蓋６の材料としては、上述の上蓋
４の材料であるＰＭＭＡを主成分として内部をゴム状構
造とした樹脂か、又は上述の側面部材２の材料である変
性ＰＰＥ中に導電性のある共重合体を形成した樹脂のど
ちらでもよい。但し、正面からもこの収納ケース内のレ
チクル及びペリクル（後述）の状態を目視可能としたい
ならば、上蓋４用の透明な樹脂を用いればよい。また、
前蓋６の表側に、従来の帯電防止効果の考慮をしていな
い収納ケースと区別するための、凹部又は凸部よりなる
マーク２４（図２参照）を成形時に入れておいても良
い。
【００２３】なお、収納ケース全体（底板１、側面部材
２、上蓋４、及び前蓋６）を変性ＰＰＥ中に導電性のあ
る共重合体を形成した樹脂で構成してもよく、更に内部
に収納されたレチクルを目視観察するための透明窓部を
ケースの一部（例えば上蓋４の一部等）に形成するよう
にしても良い。その透明窓部としては、ＰＰＭＡを主成
分として内部をゴム状構造とした樹脂等を使用できる。
また、収納ケースの保管棚と摺動する部分のみ、例えば
側面部材２に設けられたガイド部７Ａ及び７Ｂ等のみ
を、変性ＰＰＥ中に導電性のある共重合体を形成した樹
脂で構成しても良い。更に、オペレータ、又は専用の保
持装置によって保持される部分も、同様に変性ＰＰＥ中
に導電性のある共重合体を形成した樹脂で構成するよう
にしても良い。
【００２４】次に、本例の収納ケースにレチクルを収納
する場合の動作の一例につき説明する。この場合、収納
ケースの前面に図３に示すように、レチクル搬送用のア
ーム２３に載置されたレチクルＲが搬送されて来る。そ
のレチクルＲのガラス基板の上面には直接塵等の異物が
付着するのを防止するための極めて薄い防塵膜（以下、
「ペリクル」という）２１が矩形の枠２０を介して張設
されている。更に、そのレチクルＲのガラス基板の下面
（パターン形成面）にも、ペリクル（不図示）が矩形の
枠２２を介して張設されている。本例の収納ケースで
は、通常のレチクルの他に、そのようにペリクルが両面
に張設されたレチクルＲをも収納することができる。
【００２５】図４は側面部材２のＡＡ線に沿う断面図で
あり、先ず図４（ａ）に示すように前蓋６を開いた状態
で、収納ケースの前面からペリクル付きのレチクルＲを
差し込む。この際に、前蓋６に連結された引っ張りコイ
ルばね１８Ａ、及び上蓋４に連結された引っ張りコイル
ばね１６Ａによってレチクル押え１５Ａが回転し、押え
部１５Ａａが上蓋４にほぼ平行になっており、レチクル
Ｒは、底板１、側面部材２及び上蓋４により囲まれた空
間内に入ることができる。
【００２６】その後、図４（ｂ）に示すように、レチク
ルＲのガラス基板の下面を２個のレチクル支持ピン１０
Ａ及び１１Ａの上に載置する。図４（ｂ）の手前側の２
個のレチクル支持ピン１０Ｂ及び１１Ｂ（図１参照）の
上にもレチクルＲのガラス基板は載置されている。この
状態で前蓋６を閉じることにより、レチクル押え１５Ａ
の押え部１５Ａａ及び手前側のレチクル押え１５Ｂ（図
１参照）の押え部がレチクルＲのガラス基板の上面に付
勢され、レチクルＲは側面部材２上に安定に保持され
る。また、レチクル支持ピン１０Ａ，１１Ａの両側には
ストッパー９Ａ及び１１Ａが植設されていると共に、図
１に示すように、レチクル支持ピン１０Ａ，１１Ａ等の
外側には凸部２ｆ及び２ｇがあるため、レチクルＲをそ
の収納ケースに収めて搬送する途中で、レチクルＲが大
きく移動することが無い。従って、レチクルＲに張設さ
れたペリクル、及びこのペリクルを支持するための矩形
の枠等が損傷されることが無い。
【００２７】また、図４（ｂ）に示すように、前蓋６
は、引っ張りコイルばね１８Ａにより底板１の端面、及
び側面部材２の端面に付勢されているため、その収納ケ
ースの密閉性は良好であり、搬送途中で内部に収納され
たレチクルＲに塵等の異物が付着することは無い。な
お、上述実施例はレチクルの収納ケースに本発明を適用
したものであるが、本発明はレチクルのパターンが転写
されるウエハやガラスプレート等の収納ケースにも同様
に適用できるものである。このように、本発明は上述実
施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々の構成を取り得る。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、収納ケースの所定部分
の材料として、導電性の繊維や粒子を混入することな
く、高分子で合成樹脂との相容性の良好な導電性のある
共重合体を形成した合成樹脂を使用している。従って、
本来の機能である防塵性を損なうことなく、且つ混入物
の脱落等に起因する発塵を生じることなく、収納ケース
の一部又は全部に帯電防止効果を持たせることができる
利点がある。それにより、内部に収納されるレチクル又
はウエハ等への帯電が防止され、その帯電による塵等の
付着、及びパターンの静電破壊によるＬＳＩの欠陥の発
生等が防止される。更に、極めて乾燥した環境下でも帯
電防止効果がほとんど低下しない利点がある。
【００２９】また、箱状のケースの上面を導電性のある
透明な材料から形成した場合には、防塵性を損なうこと
なく、収納ケースの外側から内部のレチクル又はウエハ
等の状態を確認できる。従って、前蓋等を開けなくてと
も、内部の状態が確認できるため、収納ケース外の環境
からの塵等の異物が収納ケース内に入ることがない。ま
た、帯電防止効果を持たせた合成樹脂にフッ素を混入す
ることにより、耐摩耗性及び摺動性が向上し、収納ケー
スとレチクル等とが接触しても発塵が少ない利点があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による基板収納ケースの一実施例の上蓋
４を開けた状態を示す斜視図である。
【図２】図１の収納ケースの上蓋４を閉じた状態を示す
平面図である。
【図３】実施例の収納ケースに収納されるペリクル付き
のレチクルを搬送する状態を示す一部を切り欠いた斜視
図である。
【図４】図２のＡＡ線に沿う断面図であり、（ａ）は前
蓋６を開けた状態を示す断面図、（ｂ）は内部にレチク
ルを収納して前蓋６を閉じた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 底板 ２ 側面部材 ３，５ ヒンジ ４ 上蓋 ６ 前蓋 ７Ａ，７Ｂ ガイド部 ８Ａ，８Ｂ 押えばね ９Ａ，９Ｂ ストッパー １０Ａ，１１Ａ レチクル支持ピン １５Ａ，１５Ｂ レチクル押え

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 前面が抜けた箱状のケースと、前記前面
    に開閉自在に取り付けられた前蓋とよりなり、前記前蓋
    を開閉して前記箱状のケース内に所定の基板が収納され
    る基板収納ケースにおいて、 前記箱状のケース及び前記前蓋の内の所定の部分を、合
    成樹脂中に導電性のある共重合体を形成した材料より構
    成したことを特徴とする基板収納ケース。
  2. 【請求項２】 前記箱状のケースの上面を導電性のある
    透明な材料より形成したことを特徴とする請求項１記載
    の基板収納ケース。
  3. 【請求項３】 前記合成樹脂中に導電性のある共重合体
    を形成した材料に、更にフッ素を混入したことを特徴と
    する請求項１又は２記載の基板収納ケース。
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