JP4476727B2 - 大型精密シート状（半）製品用密封容器 - Google Patents

Description

本発明は、フォトマスク（レチクルを含む）あるいはその保護膜であるペリクル、半導体ウェハー関連製品、液晶をはじめとする各種ディスプレイ製品等の精密シート状（半）製品、すなわち製品あるいはその（ガラス）基板等の完成に至るまでの半製品、であって大型のもの（ここで意図しているのは少なくとも一辺が７５０ｍｍ以上であってそれを収容する容器半体の一体樹脂成形が極めて困難な程度に大きな平面寸法を有するもの）の搬送のために用いられる密封容器に関する。

上述したような精密シート状（半）製品は、一般に機械的には脆弱な場合が多く、またその上に形成した精密部品ないし部材も一層脆弱である場合が多い。更に精密シート状（半）製品は、その用途適性上、極端にゴミ、特に０．３μｍ以下という付着性の微細ゴミを嫌うため、その容器の密閉性には特別の注意を払う必要がある。特に上記のような精密シート状（半）製品は、日本から海外に航空機を用いて輸出されることも多く、航空機の内（特に荷物庫）と大気圧との気圧差により容器内に微細ゴミが導入されがちである。また、微細ゴミの付着を嫌うため、一般のガラス製品のように摩擦により微細ゴミの発生しがちな発泡樹脂により容器本体を形成したり（例えば特許文献１）、あるいは、発泡樹脂緩衝材を容器内に配置することも適当でない。更に、上述したような精密シート状（半）製品、特にディスプレイ製品ならびにそれに対応するフォトマスク製品等は、大型大画面ディスプレイの要求に伴い、またフォトマスク製品の場合はそれに加えてディスプレイ製品等の最終製品を一挙に複数台分焼付けるため、等の理由により、その大型化（大面積化）は避けられない状況となっている。これに伴い新たにいくつかの問題も生じている。すなわち、大型化に伴い、内容物である精密シート状（半）製品自体の重さも５〜１０ｋｇと重くなり、その荷重を支持し、更にその支持に際して精密シート状（半）製品に容器の変形による応力を及ぼさないようにするためには、容器自体にかなりの強度が要求されるが、これを従来のように金属材料で形成すると、例えジェラルミンのような軽金属を使用するとしても、容器のみで４０ｋｇ以上、内容物も含めて５０ｋｇ以上となり、その外形寸法の増大も相俟って、人手による搬送が著しく困難となる。更に容器の軽量化を図るために樹脂製の容器を形成しようにも精密シート状（半）製品の平面寸法の少なくとも一辺が７５０ｍｍを超えるような大寸法のものは、それを収容する容器を半体の組合せにより形成するとしても、そのような大寸法の半体の成形を可能にするような金型を使用する樹脂成形法は現状において開発されていない。また容器内に精密シート状（半）製品を収容するに際しては、少なくともその一面、精密部材形成面を容器内の他の部材に接触しないように支持する必要もある。
特開２００１―３１１６５号公報

従って、本発明の主要な目的は、フォトマスク等の大型精密シート状（半）製品であって、それを収容する容器半体の一体樹脂成形が極めて困難な程度に大きな平面寸法を有するものを、不適当な応力を及ぼすことなく安定に収容支持することの可能で比較的軽量な、概ね樹脂製の密封容器を与えることにある。

本発明者等の研究によれば、複数の樹脂板の平面並列継ぎ構造を採用して適切な補強および密封構造を確保すれば、上述の目的に沿った容器が形成されることが見出された。すなわち、本発明の大型精密シート状（半）製品用密封容器は、互いに当接されるシール用周縁部を有する概ね対称構造の本体部と蓋体部とからなり、内部に大型の精密シート状製品または半製品（以下、「精密シート状（半）製品」と総称する）を収容するための容器であって、本体部と蓋体部とはそれぞれ互いに平面的に延在し中間当接部で互いに接合される複数の制電性樹脂板からなり、接合部では外側から金属製補強帯状体を沿わせ接合される樹脂板へと密封性ボルト止めした構造を有し、本体部の底部には、精密シート状（半）製品を、互いに直交するＸ，ＹおよびＺ方向(すなわち精密シート状（半）製品の縦、横および厚さ方向)に固定・支持可能な固定支持構造を有し、前記固定支持構造が、その上に精密シート状（半）製品を載置するための支承部と、該支承部上に載置された精密シート状（半）製品の端縁部に少なくとも厚さ方向への押圧力を印加する固定支持具との組の、少なくとも１組を有し、固定支持具は、本体部底部に固定された脚部と；該脚部に、支承部上に載置された精密シート状（半）製品の端縁部に少なくともその厚さ方向に押圧力を印加してこれを固定支持する倒立位置と、支承部上に精密シート状（半）製品を載置可能とする転倒開放位置と、の間で回動可能に軸支された可動部と；を有することを特徴とするものである。

以下、本発明をその好ましい実施形態について、図面を参照しつつ、より具体的に説明する。

図１は、本発明の一実施例にかかる横型（すなわち、本体部と蓋体部のシール用周縁部ないし開口面と概ね平行な位置に精密シート状（半）製品を収容する型）の大型精密シート状（半）製品（この例では、縦約１２００ｍｍ×横約１２００ｍｍ×厚さ約５ｍｍの寸法を有する概ね矩形のシート状石英基板製液晶ディスプレイ用フォトマスク（以下、「（半）製品シート」と称する））を収容し搬送するための容器Ａ（外形寸法は、約１３００ｍｍ×約１３００ｍｍ×深さ約１００ｍｍ）の平面図、図２はＩＩ−ＩＩ方向から見た正面図、図３および４は、それぞれＩＩＩ−ＩＩＩ線およびＩＶ−ＩＶ線に沿ってとった部分断面図である。該容器Ａは、互いの端面当接部（貼り合せ線）１ｃで接合された二枚の樹脂板１ａおよび１ｂからなる天板１により主として構成される蓋体部１１と、同様に互いの端面当接部（貼り合せ線）２ｃ（１ｃの下方に位置するが特に図示せず）で接合された二枚の樹脂板２ａおよび２ｂからなる底板２により主として構成される本体部１２とを周縁の１２個所に設けたラチェット・バックル錠１３で互いに密閉状態で係合して密封容器としたもので、その内部には、その周縁部を、それぞれ蓋体部１１の（半）製品シート保持部材間に保持され、両面が実質的に容器内他部材と非接触な状態で（半）製品シートＢが収容・保持される（図４）。

樹脂板１ａおよび１ｂの端面当接部１ｃにおいては、図３に示すように樹脂板１ａ，１ｂを端面接合した後、金属製補強帯状体としての、幅約４０ｍｍ、厚さ約２０ｍｍ、長さ約１３００ｍｍのアルミニウム・アングル５が配設され、その長さ方向の５個所で各２本の金属製ボルト６により樹脂板１ａ，１ｂに固定した後、裏打樹脂板７を接合して密封性が確保される。

また容器Ａの周縁部においては、図４に示すように（半）製品シート保持部材４ａ，４ｂの支持・固定のために、まず樹脂片（板）８ａ〜８ｈなどが、天板１および底板２に接合され、保持部材４ｅはボルト６ａにより樹脂板８ｂに、また保持部材４ｂはボルト６ｂにより樹脂板８ｅにそれぞれ支持・固定される。更に本体部１２側には、沿え板８ｈを天板１側へと突出する状態で樹脂板８ｇ，８ｅ等に接合した後、シール用周縁部を形成する樹脂板９ｂを、また蓋体部１１側には樹脂板９ａを樹脂板８ｄ等に接合して、本体部１２および蓋体部１１を形成する。

更に容器Ａの左右側縁および接合部補強用帯状体５と直交する中央部には、二つ割の金属製補強帯状体５ａ，５ｂをそれぞれ接合配置し、更に両側壁部には補強板１０ａおよび１０ｂを接合し、これらにラチェット・バックル錠１３の持具１３ａおよび１３ｂを固定する。

使用に当っては、横置きした本体部１２の保持部材４ｂ上に（半）製品シートＢをセットし、沿え板８ｈを周回するようにＯリング１４を配置した後、蓋体部１１を、本体部１２の沿え板８ｈに沿って降下させて、シール用周縁部樹脂板９ａ，９ｂの下および上端面間にＯリングを挟んだ状態で周縁のラチェット・バックル錠１３を閉じることにより、Ｏリング１４を押圧して本体部−蓋体部間の密閉を確保する。なお、密閉性を増強するために、Ｏリング１４を配置した樹脂板９ａ−９ｂ間の当接部の外側領域Ｓに接着テープ（図示せず）を貼ることも好ましい。樹脂板１０ａおよび１０ｂは、補強およびラチェット・バックル錠持具１３ａ，１３ｂの取付けに加えて、このような密着性向上のためのテープの貼りしろを確保するためにも作用する。

本体部側の保持部材４ｂは、（半）製品シートＢの厚さより若干小さい高さを有する（半）製品シート突きあて端壁部４ｂａと約５°程度の下向きテーパ部４ｂｂを有し、蓋体部側の保持部材４ａは、（半）製品シート突きあて端壁部がなく上向きテーパ部４ａｂが４ｂｂよりも若干長くなっている点でのみ保持部材４ｂと異なる。このようなテーパ部４ａｂおよび４ｂｂの存在の結果として、ラチェット・バックル錠１３の及ぼす押圧力が、保持部材４ａ，４ｂに働くと、（半）製品シートＢ端部は、図４に示すような端壁４ｂａに接触する位置からむしろ右側に少しずれて、若干の間隙（あそび）を残す位置で保持される（このような（半）製品シートＢの保持構造は、（半）製品シートＢの主たる両面、特に精密部材形成面、に保持部材を含む容器内部材が接触して精密部材形成面を損傷することを防止する上で極めて好ましい）が通常であるが、例えば容器を縦置きしたときに図示の接触状態に位置ずれする程度は、（半）製品シートＢに対する実質的な損傷を与えるものではない。図1図示状態での右側には、このような容器Ａの縦置きの際のバックル上１３の保護のための脚部材15が取り付けられている。また容器４辺の各々の中央には樹脂片８ａ〜８ｈと同様な材質の樹脂板１６（および１７）が中央バックル錠１３の設置位置での補強用に天板１（および底板２）に接合されている。図４には（図１のＩＶ−ＩＶ線で示すバックル錠１３の設置位置には存在しないが）、このような樹脂補強版１６および１７を便宜的に併せて図示してある。

（材質）
各部の材質について補足説明すると、蓋体部１１および本体部１２の、（半）製品シート保持部材４ａ，４ｂおよびボルト６ａ，６ｂ以外の部分すなわち天板１、底板２、裏打樹脂板７、樹脂板８ａ〜８ｈ、９ａおよび９ｂは基本的には任意の熱可塑性樹脂からなるが、（半）製品シートへの微細ゴミの静電的付着を避けるために、制電性樹脂からなることが好ましい。制電性樹脂は、永久制電性を有することが好ましく、そのように永久制電性を有する制電性樹脂の例としては、（ａ）親水性ポリマー３〜１００重量部、（ｂ）熱可塑性樹脂０〜９７重量部、（（ａ）との合計量１００重量部）、及び（ｃ）２価以上の金属塩０．００１〜０．５重量部からなるものが知られており（特開２００３−１８３５２９号公報）、本発明でも好適に用いられる。但し、極度の光学特性（くもりの発生防止）を要求するのでなければ（ｃ）２価以上の金属塩の添加は要求されない。なかでも（ａ）親水性ポリマーとしては、アルキレンオキサイド基を有するゴム状幹重合体を含むグラフト共重合体に、更にアニオン系界面活性剤を配合したもの（特開昭５９−２４６２号公報）を用い、これに、ポリアクリロニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリメタクリル酸メチル系樹脂等の剛性の熱可塑性樹脂を配合して、（半）製品シートに対してたわみ応力を容易に与えないような剛性を付与したものが好ましい。因みに上記の実施例においては、上記親水性ポリマー１０重量％とポリアクリロニトリル系樹脂（ＢＰ Ａｍｏｃｏ製「Ｂａｒｅｘ２１０」）９０重量％とからなる厚さ約５ｍｍの制電性樹脂シート（曲げ弾性率２ＧＰａ）の真空成型体１を用いている。

（半）製品シート保持部材４ａ，４ｂ自体を、上記したような制電性樹脂で形成することもできる。この場合は、制電性樹脂４ａ，４ｂを、それぞれ樹脂板８ｂおよび８ｅに接合することによりボルト６ａ，６ｂの使用を省略することができる。

上述したように保持部材の端壁部４ｂａと（半）製品シートＢ端部との若干の間隙（あそび）のために、保持部材４ａ，４ｂ、テーパ支承部４ａｂおよび４ｂｂと、（半）製品シートＢの端部とでは若干の摺動が起り得る。従って、より好ましくは保持部材４ａ，４ｂは、テフロン（登録商標）等のフッ素系樹脂、ポリエチレン、ポリアセタール等の天板１あるいは底板２等の構成樹脂よりは、軟質で摺動性のよい樹脂を用いるのがよい。上記例では、テフロン製の保持部材４ａ，４ｂを用いている。

補強板１０ａおよび１０ｂならびに１６および１７は、容器内部の密閉性に直接関与しないため金属を含む任意の剛体であり得るが容器全体の軽量化のために樹脂製であることが好ましく、また接合の便宜から、樹脂板８ｄ，８ｈ等と同材質であることが好ましい。

天板１を構成する樹脂板１ａ−１ｂ間および底板２を構成する樹脂板２ａ−２ｂ間の接合、これら樹脂板と裏打樹脂板７との接合、天板１および底板２と樹脂板８ａ〜８ｈとの接合、更にはシール用周縁部樹脂板９ａ，９ｂとの接合、更には補強樹脂板１０ａ，１０ｂとの接合のためには、別途、樹脂製の接着剤を用いてもよいが、制電性の良好な接着剤樹脂が少ないため、これら追加の接着剤を用いることによる局所的な制電性の低下を防止するために、上記したような樹脂板を制電性樹脂で構成した場合には、その制電性樹脂の良溶剤を用いて制電性樹脂を局所的に溶解し接合する溶剤接合を採用することが好ましい。因みに、上記実施例においては、ポリアクリロニトリルの良溶剤であるアセトニトリルを用いることにより高い接合強度と制電性の両立した良好な接合部が得られることが確認されている（但し、アセトニトリルは毒性があるため、接合作業は換気の良い環境で保護具を用いて行う必要がある。）。

金属製補強帯状体５，５ａ、５ｂの、天板１、底板２への固定のためのボルト６、保持部材４ａ，４ｂの樹脂板８ｂ、８ｅへの固定のためのボルト６ａ等は、金属製でも、樹脂製でもよい。樹脂製ボルトを用いる場合、対応する樹脂板への溶融接合も可能であり、樹脂製ボルト６の天板１あるいは底板２への溶融接合を行った場合には、それにより容器の密閉性が得られる。しかし、より密閉性のよい容器を得るためには、図３に示すように裏打樹脂板７を使用して、これを天板等へ接合することにより、樹脂板１ａ−１ｂ間の接合強度および密閉性を改善することが望ましい。

Ｏリング１４（図４）は、フッ素ゴムやシリコーンゴム等の弾性樹脂からなるものが用いられ、中でも制電性の弾性樹脂からなることが好ましい。Ｏリングは、図示のような中実なもの(例えば直径８ｍｍ)に限らず、中空形状(例えば外径８ｍｍに対して、内径４〜６ｍｍ)として変形ストロークを増大することも好ましい。

（その他の変形例）
上記においては、大型液晶ディスプレイ用フォトマスクの横型容器の好ましい一実施例について説明した。しかし、本発明範囲内で上記実施例の容器は各種の変形が可能である。

例えば、上記例では天板１および底板２を、各２枚の樹脂板の接合により得ているが、必要に応じてより大面積の容器を得るために、各４枚の接合構造とすることもできる。

また蓋体部１１と本体部１２間の固定結合のためのラチェット・バックル錠１３の形態は適宜変更可能であり、またその数ならびに保持部材４ａ−４ｂの組の数（上記例では各辺に沿って３個、計１２個）は、適宜増減可能である。

また、金属製補強帯状体５，５ａの材質としては上記の例ではアルミニウム・アングルが用いられているが、アルミニウムあるいはアルミニウム合金が軽量性と強度のバランスがよいとしても、必要に応じて補強効果を優先してスチールベルトなどを用いることも可能である。

なお、上記の例においては、それ自体で約１５ｋｇの重量を有するフォトマスクを収容した容器の搬送状態の重量は約２６ｋｇであり、約１２００ｍｍ×１２００ｍｍの大形状でありながら、１〜２人で充分に飛行機等を含む各種運送手段への搬入・搬出が可能なものであった。

＜より大型の精密シート状(半)製品容器の例＞
上記においては、少なくとも一辺が約７５０ｍｍ以上の(半)製品シートの収容・搬送に適した密封容器の例について説明した。しかし、少なくとも一辺が約１０００ｍｍ以上というように、より大きくかつ重い(半)製品シート(例えば縦約１０００ｍｍ×横約２０００ｍｍ×厚さ約１５ｍｍのガラスシートで重量が約５０ｋｇ以上のもの)については、上記例のように本体と蓋体のそれぞれの側壁を(半)製品シートの固定に用いる構造よりも、本体側の底部に(半)製品シートを、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向（ここでは、(半)製品シートの縦、横および厚さ方向に対応するものとする）でより強度に保持する固定支持具を設けるのがより好ましい。図５はそのような固定支持具を本体底部に設けた本発明の容器の本体部ＡＡの模式斜視図、図６はそのＢ部の拡大図である。

図５および６を参照して、本体部ＡＡは、下部をアルミフレーム５１で補強された樹脂製側壁部５２の頂部にはＯリング収容溝５２ａが形成されている。そして側壁部５２で囲まれた底板部５３(中央に延在する金属性補強帯状体５を介して接合される２枚の樹脂板からなる)上の３辺の近傍には、固定支持具(ワークロック)５４ａ、５４ｂ、５４ｃがそれぞれ設けられ、残りの一辺の近傍の二側壁に沿って一対の(半)製品シートの案内支持部(コーナーワークガイド)５５ａが、固定支持具５４ｂを設けた辺の近傍の同二側壁に沿っては、一対の(半)製品シートの案内支承部(ワークガイド)５５ｂが設けられ、更に固定支持具５４ａ、５４ｂ、５４ｃの近傍の底面板５３上には、(半)製品シートの下部支承部５５ｃが配置されている。支承部５５ａ、５５ｂ、５５ｃはいずれも樹脂製であり、底面板５３の中央に向かって、約５°の下向きテーパが付与されている。

固定支持具(ワークロック) ５４ａ、５４ｂ、５４ｃは、支承部５５ａ、５５ｂ、５５ｃに仮置きされた(半)製品シート(図示せず)に垂直方向(および水平方向)の押圧力を印加して、(半)製品シートをＸ，Ｙ，Ｚ方向のいずれに対しても不動に固定・支持する機能を有するものであり、コーナーワークガイド５５ａと対向して設けられた固定支持具５４ｂ（倒立した固定状態）についての全体斜視図を図７に示す。また同固定支持具５４ｂのクランプ５４６を倒した可動部５４２の倒立および転倒・開放状態のそれぞれの左側面図を図８および図９に示す。

図７〜図９を参照して、この固定支持具(ワークロック)５４ｂは、底板５３に固定された一対の脚部５４１と、該脚部５４１に軸支された可動部５４２とからなり、また該可動部５４２は、固定脚部５４１に固定された一対の可動脚部５４３と該一対の可動脚部５４３の上部の間に固定された横胴部５４４、該可動部５４２を脚部５４１に固定するためのトグルクランプ５４６、横胴部５４４を水平方向に貫通して横胴部５４４に取り付けられた水平押え具５４７および横胴部５４４に取り付けられた支持板５４８にこれを貫通して取り付けられた垂直押え具５４９とからなる。

また水平押え具５４７は、その水平方向螺旋駆動のためのノブ５４７ａ、(半)製品シート端面を押圧するための先端部５４７ｂ、およびこれらを結合する中間部５４７ｃとからなり、中間部５４７ｃはノブ５４７ａの近傍に設けたねじ部(図示せず)と先端部５４７ｃに近接してスプリングを内蔵する筒部とからなる。また垂直押え具５４９は、ノブ５４９ａ、(半)製品シートの端縁部上面を押圧するための先端部５４９ｂおよびねじを切った中間部５４９ｃからなる。

また固定支持具５４ｂは、トグルクランプ５４６を図７に示す直立状態から、図８に示すように倒すことにより、その可動部５４２は固定状態から解放され、固定脚部の回転軸５４１ｃを中心として図９に示す転倒・解放状態へと回転移動可能になる。

固定支持具５４ａは、長さが短いために水平押え具５４７の数が２から１に、また垂直押え具５４９の数が４から２に、それぞれ減少していることを除いて、固定支持具５４ｂと同じである。また固定支持具５４ｃは、更に水平押え具５４７が省略されていることを除いて、固定支持具５４ａと同じである。これら固定支持具５４ａ、５４ｂ、５４ｃの作用について説明すると、図５を参照して、(半)製品シートの本体部ＡＡへの固定に先立って、これら固定支持具５４ａ〜５４ｃは、いずれも図９に示すような転倒・開放状態におかれ、(半)製品シートは、案内支承部５５ａ、５５ｂならびに支承部５５ｃ上に水平状態、あるいは(一人あるいは少人数による作業の容易性ならびに作業スペースを減少するために)より好ましくは案内支承部５５ａ側が下となるように傾斜した状態で載置される。

この状態で、(半)製品シートＢと固定支持具５４ｂとの位置関係は図１０(ａ)に示すとおりであり(５４ａとの位置関係も側面図としては同じであり、５４ｃとの位置関係も水平押え具５７がないことを除いて同様である)、これは先の実施例における図４の位置関係(ただし、図４では固定保持状態。図１０(ａ)は固定前状態)に対応するものである。なお、便宜上、図５とは、左右が逆の位置関係になっている。

次いで図１０(ｂ)に示すように、垂直押え具５４９を、そのノブ５４９ａを用いて螺旋駆動により加工させて、その先端部５４９ｂを(半)製品シートＢの端縁部上面を押圧し、更に図１０(ｃ)に示すように水平押え具５４７をそのノブ５４７ａを用いて螺旋駆動により図示右方に移動させ、その先端部５４７ｂで(半)製品シートＢの図示左端面を押圧する。この状態で、(半)製品シートＢは、固定支持具５４ｂにより図５のＹ，Ｚ方向に固定されたことになる。更に、図７に示すようにクランプ５４６を倒立させて、可動部５４２を固定脚部５４１に固定して上記固定支持状態を固定する。なお、トグルクランプ５４６の倒立による可動部５４２の固定は、図１０(ｂ)、(ｃ)の垂直および水平方向固定支持操作に先立って行ってもよい。また、上記のように、垂直押え具５４９→水平押え具５４７の順序の逆に、水平押え具５４７→垂直押え具５４９の順序で操作してもよいし、両者を同時に操作してもよいことは容易に理解できよう。

次いで、固定支持具５４ａおよび５４ｃを用いて同様に(半)製品シートＢを固定することにより、(半)製品シートＢは本体部ＡＡに、Ｘ，ＹおよびＺ方向のいずれにおいても強固に固定される。

次いで本体部ＡＡのＯリング収容溝５２ａには、Ｏリングが配置され、本体部ＡＡと同様な平面形状で但し固定支持具５４ａ〜５４ｃおよび支承部５５ａ〜５５ｃを含まず、若干浅い(側壁が低い)ことを除いてほぼ同様な構造の蓋体部がかぶせられて、図４で説明したと同様なバックル錠等により、本体部と蓋体部が結合されて、(半)製品シートを運搬可能な状態に固定収容した本発明の密封容器が形成される。

なお、上記図５〜図１０で説明した固定支持具を用いる密封容器の実施例も、もちろん各種変形が可能である。例えば固定支持具５４(５４ａ〜５４ｃ)において、垂直押え具５４９の先端部５４９ｃは球形とし、これで直接(半)製品シートＢの上面を押圧するものとしたが、図１０(ａ)、(ｂ)に対応して図１１(ａ)、(ｂ)に示すように、垂直押え具の先端部を任意の形状とし、テーパ板５４９ｄを介在させて、(半)製品シートＢに下向きのみならず中央向きの押圧力を印加する形態としてもよい。また水平押え具の先端部５４７ｂおよび垂直押え具の先端部５４９ｂの形状は、球形、平坦面、テーパ面等任意の形状であり得る。

また図５には、固定支持具として、５４ａ、５４ｂ、５４ｃの３種類を用いるものとし、これは(半)製品シートをＸ，ＹおよびＺ方向に強力に固定して、密封容器を任意の方向に倒立して運搬するために好ましいものであるが、倒立方向がＹ方向に固定される場合には、固定支持具５４ｂのみを用い、固定支持具５４ａ、５４ｃの使用を省略することもできる。もちろん、固定支持具の数を必要に応じて増加して、(半)製品シートのより強力な固定・保持を図ることは可能である。

(更なる変形例)
上記いずれの例においても、必要に応じて、本体部および蓋体部の少なくとも一方に、１以上、好ましくは計２以上の容器内部のガス置換用のノズルを設けることができる。

このような容器内部のガス置換用のノズルは、例えばＥＬ(エレクトロルミネッセンス)関連のように、ごみの付着と共に湿気を嫌う（半）製品シートの密封容器内部を、例えば乾燥窒素で置換する用途等に好適である。

上述したように、本発明によれば、フォトマスク等の大型精密シート状（半）製品であって、それを収容する容器半体の一体樹脂成形が極めて困難な程度に大きな平面寸法を有するものを、不適当な応力を及ぼすことなく安定に収容支持することの可能で比較的軽量な、概ね樹脂製の密封容器が与えられる。

本発明の大型精密シート状（半）製品用密封容器の一実施例の平面図。 図１のＩＩ−ＩＩ方向から見た容器の正面図。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ってとった部分断面図。 図１のＩＶ−ＩＶ線に沿ってとった部分断面図。 本発明の更に大型の精密シート状（半）製品用密封容器の一実施例の本体部の模式斜視図。 図５のＢ部の拡大図。 図５の例で用いる固定支持具の斜視図。 固定支持具のクランプを倒した状態の側面図。 固定支持具のクランプの転倒開放状態の側面図。 (ａ)、(ｂ)および(ｃ)は、固定支持具による(半)製品シートの固定支持操作を示す３側面図。 (ａ)および(ｂ)は、固定支持具の別の例による(半)製品シートの固定支持操作を示す２側面図。

符号の説明

１ 天板（１ａ，１ｂ：その部分体としての樹脂板）
２ 底板（２ａ，２ｂ：その部分体としての樹脂板）
４ａ 蓋体部の（半）製品シート保持部材（４ａｂ：そのテーパ部）
４ｂ 本体部の（半）製品シート保持部材（４ｂａ：シート突当て端壁部、４ｂｂ：テーパ部）
５，５ａ，５ｂ 金属製補強帯状体
６，６ａ，６ｂ ボルト
７ 裏打樹脂板
８ａ〜８ｈ 樹脂板
９ａ，９ｂ シール用周縁部を構成する側壁樹脂板
１０ａ，１０ｂ，１６，１７ 補強板
１１ 蓋体部
１２ 本体部
１３ ラチェット・バックル錠（１３ａ，１３ｂ：その持具）
１４ Ｏリング
１５ 縦置き用脚部材
５１ アルミアングル
５２ 本体部側壁 (５２ａ Ｏリング収容溝)
５３ 本体部底面板
５４(５４ａ、５４ｂ、５４ｃ) 固定支持具
５４１ 固定脚部
５４２ 可動部
５４３ 可動脚部
５４４ 横胴部
５４６ 可動部固定用トグルクランプ
５４７ 水平押え具 (５４７ａ ノブ、５４７ｂ 先端部、５４７ｃ 中間部)
５４９ 垂直押え具 (５４９ａ ノブ、５４９ｂ 先端部、５４９ｃ 中間部、
５４９ｄ テーパ板)
５５ａ、５５ｂ、５５ｃ （案内）支承部
Ａ 密封容器
Ｂ （半）製品シート
Ｓ 密封性増強用接着テープ貼付可能領域
ＡＡ 本体部

Claims (9)

1. 互いに当接されるシール用周縁部を有する概ね対称構造の本体部と蓋体部とからなり、内部に大型の精密シート状製品または半製品（以下、「精密シート状（半）製品」と総称する）を収容するための容器であって、本体部と蓋体部とはそれぞれ互いに平面的に延在し中間当接部で互いに接合される複数の制電性樹脂板からなり、接合部では外側から金属製補強帯状体を沿わせ接合される樹脂板へと密封性ボルト止めした構造を有し、
   本体部の底部には、精密シート状（半）製品を、互いに直交するＸ，ＹおよびＺ方向(すなわち精密シート状（半）製品の縦、横および厚さ方向)に固定・支持可能な固定支持構造を有し、
   前記固定支持構造が、その上に精密シート状（半）製品を載置するための支承部と、該支承部上に載置された精密シート状（半）製品の端縁部に少なくとも厚さ方向への押圧力を印加する固定支持具との組の、少なくとも１組を有し、
   固定支持具は、本体部底部に固定された脚部と；該脚部に、支承部上に載置された精密シート状（半）製品の端縁部に少なくともその厚さ方向に押圧力を印加してこれを固定支持する倒立位置と、支承部上に精密シート状（半）製品を載置可能とする転倒開放位置と、の間で回動可能に軸支された可動部と；を有することを特徴とする大型精密シート状（半）製品用密封容器。
2. 前記本体部と蓋体部には、精密シート状（半）製品を保持するための一対の保持部材の組が配置されている請求項１に記載の容器。
3. 前記本体部と蓋体部のシール用周縁部を構成する側壁板およびその上に前記精密シート状（半）製品保持部材を固定する固定部材が、前記複数の樹脂板に接合された樹脂板の組からなる請求項２に記載の容器。
4. 精密シート状（半）製品および本体部の平面形状がいずれも概ね矩形であり、その少なくとも１辺に沿って、支承部と固定支持具の組が設けられる請求項１に記載の容器。
5. 固定支持具の少なくなくとも１は、支承部上に載置された精密シート状（半）製品の端縁部にその厚さ方向に加えて端面への押圧力を印加可能なものである請求項１〜４のいずれかに記載の容器。
6. 本体部の、支承部上に載置された精密シート状（半）製品の端縁部にその厚さ方向に加えて端面への押圧力を印加可能な固定支持具の１を設けた辺と逆側の辺の近傍には、該精密シート状（半）製品の端面部への押圧力を受け止める形態で精密シート状（半）製品を支承する案内支承部が設けられる請求項４または５に記載の容器。
7. 前記本体部と蓋体部のシール用周縁部間には密封用のＯリングが配置される請求項１〜６のいずれかに記載の容器。
8. 前記複数の樹脂板の接合部の前記金属製補強帯状体形成側と逆側の面には裏打樹脂板が配置され、前記複数の樹脂板に接合されて密封性ボルト構造が形成されている請求項１〜７のいずれかに記載の容器。
9. 前記樹脂板の接合が、樹脂板を構成する樹脂の良溶剤により樹脂板を局所的に溶解して接合する溶剤接合により達成される請求項１〜８のいずれかに記載の容器。

Images