JP4476727B2 - 大型精密シート状(半)製品用密封容器 - Google Patents
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- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 99
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 86
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 86
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 20
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 5
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229920001477 hydrophilic polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 2
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000088 plastic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920006350 polyacrylonitrile resin Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
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- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
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Description
各部の材質について補足説明すると、蓋体部11および本体部12の、(半)製品シート保持部材4a,4bおよびボルト6a,6b以外の部分すなわち天板1、底板2、裏打樹脂板7、樹脂板8a〜8h、9aおよび9bは基本的には任意の熱可塑性樹脂からなるが、(半)製品シートへの微細ゴミの静電的付着を避けるために、制電性樹脂からなることが好ましい。制電性樹脂は、永久制電性を有することが好ましく、そのように永久制電性を有する制電性樹脂の例としては、(a)親水性ポリマー3〜100重量部、(b)熱可塑性樹脂0〜97重量部、((a)との合計量100重量部)、及び(c)2価以上の金属塩0.001〜0.5重量部からなるものが知られており(特開2003−183529号公報)、本発明でも好適に用いられる。但し、極度の光学特性(くもりの発生防止)を要求するのでなければ(c)2価以上の金属塩の添加は要求されない。なかでも(a)親水性ポリマーとしては、アルキレンオキサイド基を有するゴム状幹重合体を含むグラフト共重合体に、更にアニオン系界面活性剤を配合したもの(特開昭59−2462号公報)を用い、これに、ポリアクリロニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリメタクリル酸メチル系樹脂等の剛性の熱可塑性樹脂を配合して、(半)製品シートに対してたわみ応力を容易に与えないような剛性を付与したものが好ましい。因みに上記の実施例においては、上記親水性ポリマー10重量%とポリアクリロニトリル系樹脂(BP Amoco製「Barex210」)90重量%とからなる厚さ約5mmの制電性樹脂シート(曲げ弾性率2GPa)の真空成型体1を用いている。
上記においては、大型液晶ディスプレイ用フォトマスクの横型容器の好ましい一実施例について説明した。しかし、本発明範囲内で上記実施例の容器は各種の変形が可能である。
上記においては、少なくとも一辺が約750mm以上の(半)製品シートの収容・搬送に適した密封容器の例について説明した。しかし、少なくとも一辺が約1000mm以上というように、より大きくかつ重い(半)製品シート(例えば縦約1000mm×横約2000mm×厚さ約15mmのガラスシートで重量が約50kg以上のもの)については、上記例のように本体と蓋体のそれぞれの側壁を(半)製品シートの固定に用いる構造よりも、本体側の底部に(半)製品シートを、X,Y,Z方向(ここでは、(半)製品シートの縦、横および厚さ方向に対応するものとする)でより強度に保持する固定支持具を設けるのがより好ましい。図5はそのような固定支持具を本体底部に設けた本発明の容器の本体部AAの模式斜視図、図6はそのB部の拡大図である。
上記いずれの例においても、必要に応じて、本体部および蓋体部の少なくとも一方に、1以上、好ましくは計2以上の容器内部のガス置換用のノズルを設けることができる。
2 底板(2a,2b:その部分体としての樹脂板)
4a 蓋体部の(半)製品シート保持部材(4ab:そのテーパ部)
4b 本体部の(半)製品シート保持部材(4ba:シート突当て端壁部、4bb:テーパ部)
5,5a,5b 金属製補強帯状体
6,6a,6b ボルト
7 裏打樹脂板
8a〜8h 樹脂板
9a,9b シール用周縁部を構成する側壁樹脂板
10a,10b,16,17 補強板
11 蓋体部
12 本体部
13 ラチェット・バックル錠(13a,13b:その持具)
14 Oリング
15 縦置き用脚部材
51 アルミアングル
52 本体部側壁 (52a Oリング収容溝)
53 本体部底面板
54(54a、54b、54c) 固定支持具
541 固定脚部
542 可動部
543 可動脚部
544 横胴部
546 可動部固定用トグルクランプ
547 水平押え具 (547a ノブ、547b 先端部、547c 中間部)
549 垂直押え具 (549a ノブ、549b 先端部、549c 中間部、
549d テーパ板)
55a、55b、55c (案内)支承部
A 密封容器
B (半)製品シート
S 密封性増強用接着テープ貼付可能領域
AA 本体部
Claims (9)
- 互いに当接されるシール用周縁部を有する概ね対称構造の本体部と蓋体部とからなり、内部に大型の精密シート状製品または半製品(以下、「精密シート状(半)製品」と総称する)を収容するための容器であって、本体部と蓋体部とはそれぞれ互いに平面的に延在し中間当接部で互いに接合される複数の制電性樹脂板からなり、接合部では外側から金属製補強帯状体を沿わせ接合される樹脂板へと密封性ボルト止めした構造を有し、
本体部の底部には、精密シート状(半)製品を、互いに直交するX,YおよびZ方向(すなわち精密シート状(半)製品の縦、横および厚さ方向)に固定・支持可能な固定支持構造を有し、
前記固定支持構造が、その上に精密シート状(半)製品を載置するための支承部と、該支承部上に載置された精密シート状(半)製品の端縁部に少なくとも厚さ方向への押圧力を印加する固定支持具との組の、少なくとも1組を有し、
固定支持具は、本体部底部に固定された脚部と;該脚部に、支承部上に載置された精密シート状(半)製品の端縁部に少なくともその厚さ方向に押圧力を印加してこれを固定支持する倒立位置と、支承部上に精密シート状(半)製品を載置可能とする転倒開放位置と、の間で回動可能に軸支された可動部と;を有することを特徴とする大型精密シート状(半)製品用密封容器。 - 前記本体部と蓋体部には、精密シート状(半)製品を保持するための一対の保持部材の組が配置されている請求項1に記載の容器。
- 前記本体部と蓋体部のシール用周縁部を構成する側壁板およびその上に前記精密シート状(半)製品保持部材を固定する固定部材が、前記複数の樹脂板に接合された樹脂板の組からなる請求項2に記載の容器。
- 精密シート状(半)製品および本体部の平面形状がいずれも概ね矩形であり、その少なくとも1辺に沿って、支承部と固定支持具の組が設けられる請求項1に記載の容器。
- 固定支持具の少なくなくとも1は、支承部上に載置された精密シート状(半)製品の端縁部にその厚さ方向に加えて端面への押圧力を印加可能なものである請求項1〜4のいずれかに記載の容器。
- 本体部の、支承部上に載置された精密シート状(半)製品の端縁部にその厚さ方向に加えて端面への押圧力を印加可能な固定支持具の1を設けた辺と逆側の辺の近傍には、該精密シート状(半)製品の端面部への押圧力を受け止める形態で精密シート状(半)製品を支承する案内支承部が設けられる請求項4または5に記載の容器。
- 前記本体部と蓋体部のシール用周縁部間には密封用のOリングが配置される請求項1〜6のいずれかに記載の容器。
- 前記複数の樹脂板の接合部の前記金属製補強帯状体形成側と逆側の面には裏打樹脂板が配置され、前記複数の樹脂板に接合されて密封性ボルト構造が形成されている請求項1〜7のいずれかに記載の容器。
- 前記樹脂板の接合が、樹脂板を構成する樹脂の良溶剤により樹脂板を局所的に溶解して接合する溶剤接合により達成される請求項1〜8のいずれかに記載の容器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004216396A JP4476727B2 (ja) | 2003-11-18 | 2004-07-23 | 大型精密シート状(半)製品用密封容器 |
TW093134737A TWI326670B (en) | 2003-11-18 | 2004-11-12 | Hermetically sealed container for large-sized precision sheet (semi-)product |
US10/989,476 US20050103669A1 (en) | 2003-11-18 | 2004-11-17 | Hermetically sealed container for large-sized precision sheet (semi-) product |
KR1020040094615A KR101295231B1 (ko) | 2003-11-18 | 2004-11-18 | 대형 정밀 시트형상 (반)제품용 밀봉 용기 |
CNB2004100904727A CN100411961C (zh) | 2003-11-18 | 2004-11-18 | 大尺寸精密板状成品或半成品用气密容器 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003388140 | 2003-11-18 | ||
JP2004216396A JP4476727B2 (ja) | 2003-11-18 | 2004-07-23 | 大型精密シート状(半)製品用密封容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005170507A JP2005170507A (ja) | 2005-06-30 |
JP4476727B2 true JP4476727B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=34575987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004216396A Expired - Lifetime JP4476727B2 (ja) | 2003-11-18 | 2004-07-23 | 大型精密シート状(半)製品用密封容器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050103669A1 (ja) |
JP (1) | JP4476727B2 (ja) |
KR (1) | KR101295231B1 (ja) |
CN (1) | CN100411961C (ja) |
TW (1) | TWI326670B (ja) |
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KR20230049743A (ko) | 2020-08-21 | 2023-04-13 | 세키스이 세이케이 코교 가부시키가이샤 | 포토마스크 용기 |
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JP5684752B2 (ja) | 2012-03-29 | 2015-03-18 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
KR102460875B1 (ko) | 2014-04-17 | 2022-10-31 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 수납 용기 |
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-
2004
- 2004-07-23 JP JP2004216396A patent/JP4476727B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-11-12 TW TW093134737A patent/TWI326670B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-11-17 US US10/989,476 patent/US20050103669A1/en not_active Abandoned
- 2004-11-18 CN CNB2004100904727A patent/CN100411961C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-18 KR KR1020040094615A patent/KR101295231B1/ko active IP Right Grant
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---|---|
US20050103669A1 (en) | 2005-05-19 |
CN100411961C (zh) | 2008-08-20 |
CN1618713A (zh) | 2005-05-25 |
TW200517319A (en) | 2005-06-01 |
TWI326670B (en) | 2010-07-01 |
KR101295231B1 (ko) | 2013-08-12 |
JP2005170507A (ja) | 2005-06-30 |
KR20050048523A (ko) | 2005-05-24 |
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