JP3160918B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JP3160918B2 JP3160918B2 JP02602391A JP2602391A JP3160918B2 JP 3160918 B2 JP3160918 B2 JP 3160918B2 JP 02602391 A JP02602391 A JP 02602391A JP 2602391 A JP2602391 A JP 2602391A JP 3160918 B2 JP3160918 B2 JP 3160918B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電体表面に発生する弾
性表面波を利用して、弾性表面波共振子を構成し、さら
にその横弾性結合を利用してなる二重モード弾性表面波
フィルタに関する。
性表面波を利用して、弾性表面波共振子を構成し、さら
にその横弾性結合を利用してなる二重モード弾性表面波
フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の弾性表面波フィルタの電極構造と
しては、特開昭５６−２０６８１６号公報及び特開昭５
７−１３１８５５号公報等があった。
しては、特開昭５６−２０６８１６号公報及び特開昭５
７−１３１８５５号公報等があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術には、弾性表面波共振子の縦モードスプリアス振動に
起因する不要なレスポンス即ちスプリアス振動の抑圧又
は除去については何も記載されておらず、弾性表面波フ
ィルタの設計条件によってしばしば前記スプリアスが発
生して問題であった。そこで本発明はこのような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、スプリア
ス応答がなく信号選択性の優れた弾性表面波フィルタを
市場に提供し、性能の優れたペイジャー等の通信装置を
製作することにある。
術には、弾性表面波共振子の縦モードスプリアス振動に
起因する不要なレスポンス即ちスプリアス振動の抑圧又
は除去については何も記載されておらず、弾性表面波フ
ィルタの設計条件によってしばしば前記スプリアスが発
生して問題であった。そこで本発明はこのような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、スプリア
ス応答がなく信号選択性の優れた弾性表面波フィルタを
市場に提供し、性能の優れたペイジャー等の通信装置を
製作することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波フィ
ルタは、圧電体平板上に隣接して配置された二つの弾性
表面波共振子の弾性的横結合効果を利用して二重モード
フィルタとする弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性
表面波共振子は中央に１個のすだれ状電極とこのすだれ
状電極の両側に１対の反射器とを有し、前記すだれ状電
極の電極指の対数が８０対以上１５０対以下であり、前
記反射器と前記すだれ状電極は周期的に配置された金属
導体のストリップからなり、前記反射器と前記すだれ状
電極の最も近接した前記ストリップの間隔は前記すだれ
状電極のスペース幅に等しく、前記すだれ状電極の放射
コンダクタンスの最大値を与える周波数と前記反射器の
反射中心周波数とはほぼ一致し、前記反射器のライン対
スペース比がほぼ１であり、前記すだれ状電極のライン
幅対スペース幅の比が０．８以上１．５以下であること
を特徴とする。また、圧電体平板上に隣接して配置され
た二つの弾性表面波共振子の弾性的横結合効果を利用し
て二重モードフィルタとする弾性表面波フィルタにおい
て、前記弾性表面波共振子は中央に１個のすだれ状電極
とこのすだれ状電極の両側に１対の反射器とを有し、前
記すだれ状電極の電極指の対数が１８０対以上２２０対
以下であり、前記反射器と前記すだれ状電極は周期的に
配置された金属導体のストリップからなり、前記反射器
と前記すだれ状電極の最も近接した前記ストリップの間
隔は前記すだれ状電極のスペース幅に等しく、前記すだ
れ状電極の放射コンダクタンスの最大値を与える周波数
と前記反射器の反射中心周波数とはほぼ一致し、前記反
射器のライン対スペース比がほぼ１であり、前記すだれ
状電極のライン幅対スペース幅の比が０．８以上１．５
以下であることを特徴とする。さらに、前記反射器と前
記すだれ状電極はアルミニウム金属が主体であり、前記
反射器と前記すだれ状電極の膜厚Ｈと弾性表面波の波長
λとの比Ｈ／λが０．０１５から０．０３５の範囲であ
り、前記圧電体平板が水晶であることを特徴とする。
ルタは、圧電体平板上に隣接して配置された二つの弾性
表面波共振子の弾性的横結合効果を利用して二重モード
フィルタとする弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性
表面波共振子は中央に１個のすだれ状電極とこのすだれ
状電極の両側に１対の反射器とを有し、前記すだれ状電
極の電極指の対数が８０対以上１５０対以下であり、前
記反射器と前記すだれ状電極は周期的に配置された金属
導体のストリップからなり、前記反射器と前記すだれ状
電極の最も近接した前記ストリップの間隔は前記すだれ
状電極のスペース幅に等しく、前記すだれ状電極の放射
コンダクタンスの最大値を与える周波数と前記反射器の
反射中心周波数とはほぼ一致し、前記反射器のライン対
スペース比がほぼ１であり、前記すだれ状電極のライン
幅対スペース幅の比が０．８以上１．５以下であること
を特徴とする。また、圧電体平板上に隣接して配置され
た二つの弾性表面波共振子の弾性的横結合効果を利用し
て二重モードフィルタとする弾性表面波フィルタにおい
て、前記弾性表面波共振子は中央に１個のすだれ状電極
とこのすだれ状電極の両側に１対の反射器とを有し、前
記すだれ状電極の電極指の対数が１８０対以上２２０対
以下であり、前記反射器と前記すだれ状電極は周期的に
配置された金属導体のストリップからなり、前記反射器
と前記すだれ状電極の最も近接した前記ストリップの間
隔は前記すだれ状電極のスペース幅に等しく、前記すだ
れ状電極の放射コンダクタンスの最大値を与える周波数
と前記反射器の反射中心周波数とはほぼ一致し、前記反
射器のライン対スペース比がほぼ１であり、前記すだれ
状電極のライン幅対スペース幅の比が０．８以上１．５
以下であることを特徴とする。さらに、前記反射器と前
記すだれ状電極はアルミニウム金属が主体であり、前記
反射器と前記すだれ状電極の膜厚Ｈと弾性表面波の波長
λとの比Ｈ／λが０．０１５から０．０３５の範囲であ
り、前記圧電体平板が水晶であることを特徴とする。
【０００５】
【実施例】図１は、本発明の一実施例における弾性表面
波フィルタの電極構造の平面図である。図中各部位の名
称は、１００は圧電体平板、１０１と１０３は反射器、
１０２はすだれ状電極（ＩＤＴ）、１０４と１０５は入
出力端子、１０６と１０７は接地のための導通部材、１
０８はすだれ状電極の正極性電極指、１０９はすだれ状
電極の負極性電極指である。前記１００の圧電体平板
は、水晶、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、ニオ
ブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、等の圧電材料の表面を
平面研磨してなる。１０１、１０２、１０３の反射器と
すだれ状電極（以下簡単にＩＤＴと書く）は、前記圧電
体平板上に、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ等を主体とした導
体金属を蒸着、スパッタ等の薄膜形成手段により膜形成
した後フォトリソグラフィ技術によりパターン形成して
なる。図１の弾性表面波フィルタは、ＩＤＴ（１０２）
とその両側に配置した１対の反射器（１０１と１０３）
をもっていわゆる弾性表面波共振子を構成し、さらにこ
の弾性表面波共振子が２つ平行に近接配置して弾性的に
結合してできあがる。前記弾性表面波共振子の構成はま
ず、反射器１０１と１０３の導体ストリップ（１１０）
の配列周期ＰRは発生する弾性表面波の波長λのほぼ１
／２とする。さらに導体幅（ｌ）と導体間隔（Ｓ）の比
ｌ／Ｓをほぼ１とする。一方前記ＩＤＴの導体配列周期
ＰTは、前記反射器が作る弾性表面波の反射特性の最大
値を与える周波数と、前記１０２のＩＤＴの放射コンダ
クタンス特性が最大値を与える周波数がほぼ一致するよ
うに設定する。例えば、圧電体平板１００がＳＴカット
又はＡＴカット水晶板であり反射器とＩＤＴの導体金属
が、Ａｌである場合には前記ＰRとＰTの比としてＰR／
ＰT＝１．００２〜１．０２程度にとられる。さらに又
前記ＩＤＴの導体幅ｌ′と導体間間隔Ｓ′の比率ｌ′／
Ｓ′はｌ′／Ｓ′≧０．８とし、反射器とＩＤＴの最も
近接した導体ストリップ間の距離をＩＤＴの前記Ｓ′と
なるようにしてＳＡＷ共振子の直列共振抵抗を低減して
いる。さらにはｌ′／Ｓ′の範囲として、１≦ｌ′／
Ｓ′≦１．５が特性と加工上の点で適切である。ＩＤＴ
の正極性電極指１０８と負極性電極指１０９の１組を１
対と数えてＭ対としたときに、ＩＤＴのトータルな反射
係数ΡをΡ＝４Ｍａ（Ｈ／λ）とすると、Ρ＝２．４程
度となるようにＭとａ及び（Ｈ／λ）を選択すれば弾性
表面波共振子のＱ値が１０4〜２×１０4と充分高いもの
が得られる。但しここでａは前記正負電極指及び反射器
の導体ストリップ１本当りの弾性表面波の反射係数であ
り、Ｈは導体ストリップの膜厚、λは弾性表面波の波長
である。前記ａは圧電体平板の材質により異なるが「≧
２．４程度をみたせば良好な弾性表面波共振子を構成で
きる。水晶材にあっては、Ｍ＝８０対に相当する。
波フィルタの電極構造の平面図である。図中各部位の名
称は、１００は圧電体平板、１０１と１０３は反射器、
１０２はすだれ状電極（ＩＤＴ）、１０４と１０５は入
出力端子、１０６と１０７は接地のための導通部材、１
０８はすだれ状電極の正極性電極指、１０９はすだれ状
電極の負極性電極指である。前記１００の圧電体平板
は、水晶、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、ニオ
ブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、等の圧電材料の表面を
平面研磨してなる。１０１、１０２、１０３の反射器と
すだれ状電極（以下簡単にＩＤＴと書く）は、前記圧電
体平板上に、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ等を主体とした導
体金属を蒸着、スパッタ等の薄膜形成手段により膜形成
した後フォトリソグラフィ技術によりパターン形成して
なる。図１の弾性表面波フィルタは、ＩＤＴ（１０２）
とその両側に配置した１対の反射器（１０１と１０３）
をもっていわゆる弾性表面波共振子を構成し、さらにこ
の弾性表面波共振子が２つ平行に近接配置して弾性的に
結合してできあがる。前記弾性表面波共振子の構成はま
ず、反射器１０１と１０３の導体ストリップ（１１０）
の配列周期ＰRは発生する弾性表面波の波長λのほぼ１
／２とする。さらに導体幅（ｌ）と導体間隔（Ｓ）の比
ｌ／Ｓをほぼ１とする。一方前記ＩＤＴの導体配列周期
ＰTは、前記反射器が作る弾性表面波の反射特性の最大
値を与える周波数と、前記１０２のＩＤＴの放射コンダ
クタンス特性が最大値を与える周波数がほぼ一致するよ
うに設定する。例えば、圧電体平板１００がＳＴカット
又はＡＴカット水晶板であり反射器とＩＤＴの導体金属
が、Ａｌである場合には前記ＰRとＰTの比としてＰR／
ＰT＝１．００２〜１．０２程度にとられる。さらに又
前記ＩＤＴの導体幅ｌ′と導体間間隔Ｓ′の比率ｌ′／
Ｓ′はｌ′／Ｓ′≧０．８とし、反射器とＩＤＴの最も
近接した導体ストリップ間の距離をＩＤＴの前記Ｓ′と
なるようにしてＳＡＷ共振子の直列共振抵抗を低減して
いる。さらにはｌ′／Ｓ′の範囲として、１≦ｌ′／
Ｓ′≦１．５が特性と加工上の点で適切である。ＩＤＴ
の正極性電極指１０８と負極性電極指１０９の１組を１
対と数えてＭ対としたときに、ＩＤＴのトータルな反射
係数ΡをΡ＝４Ｍａ（Ｈ／λ）とすると、Ρ＝２．４程
度となるようにＭとａ及び（Ｈ／λ）を選択すれば弾性
表面波共振子のＱ値が１０4〜２×１０4と充分高いもの
が得られる。但しここでａは前記正負電極指及び反射器
の導体ストリップ１本当りの弾性表面波の反射係数であ
り、Ｈは導体ストリップの膜厚、λは弾性表面波の波長
である。前記ａは圧電体平板の材質により異なるが「≧
２．４程度をみたせば良好な弾性表面波共振子を構成で
きる。水晶材にあっては、Ｍ＝８０対に相当する。
【０００６】ところで一般的共振子の特性の一つに、不
用振動モード即ちスプリアスの存在がある。弾性表面波
共振子の場合にもこのスプリアスが存在しており、本発
明の弾性表面波フィルタを構成する際にも伝送特性に於
て、充分な減衰特性が確保できない周波数領域が前記ス
プリアスにより発生する。本発明にあっては、前記ＩＤ
Ｔ対数Ｍを８０〜１５０対及び１８０〜２２０対とする
ことにより抑圧するか、特定の周波数領域をさける構成
としている。この様子を次の図２、図３、図４を用いて
説明する。図２は本発明の図１が特定のＩＤＴ対数
（Ｍ：１７０対）をもつ場合であってスプリアスが存在
する。図中の横軸は周波数、縦軸は伝送特性を示す動作
減衰量（２００）である。同図は２８０ＭＨｚ帯シング
ルスパーのペイジャー用として設計した例であるが、図
中のマーカ１で示す領域が通過帯域であって、ペイジャ
ーの通信チャネルの１つが対応する。又マーカ３に対応
する点は中間周波数（ｆL）に対応する。さらにマーカ
２に対応する点はイメージ周波数（ｆI）に対応してい
る。各々のマーカ間の周波数差はマーカ１と３間が４５
５ＫＨｚ、さらにマーカ３と２間が４５５ＫＨｚとなっ
ている。図２の例に於てはスプリアス２０１と２０２の
内２０２側がイメージ周波数にかかっている。ついでに
２０３もスプリアスであることを付け加える。又スプリ
アス２０２の振幅レベルも大きくマーカ１の通過帯域に
対して３６ｄＢ程度の減衰量しかとれていないので問題
となる。本発明はこの点を改善するものである。次に改
善できる根拠につき図３を用いて説明する。図３の横軸
は本発明の弾性表面波フィルタの２個の弾性表面波共振
子が有するＩＤＴの電極対数Ｍであり、又縦軸は弾性表
面波フィルタの通過帯域中心周波数ｆ0（図２のマーカ
１）をゼロとした時の差周波数軸である。図中の３０１
と３０２、３０３は前述のスプリアスモードに対応して
いる。スプリアスモード３０１はＭに対して周波数が変
化していない。この理由は３０１のモードが弾性表面波
共振子の幅即ち、弾性表面波の伝播方向に対して直角方
向の幅に依存する振動モードであることによる。これは
いわゆる横モードと呼ばれている。一方曲線３０２と３
０３で示される振動モードは、前述のＩＤＴ対数Ｍに依
存して周波数が変化しており、これは通称縦モードと呼
ばれるものである。３０２と３０３は２つの縦振動モー
ドが横に弾性的に結合して発生する対称と斜対称の振動
モードである。又図中の３０４（Ａ）は前記スプリアス
３０２と３０３の有する振幅レベルを通過帯域を０ｄＢ
とした減衰量で表わしたものであって、ＩＤＴ対数Ｍが
１５０以下であれば、減衰量５０ｄＢとなって充分良好
なフィルタ特性が得られることになる。さらに前述の弾
性表面波共振子が、前述の反射器のＩＤＴ側端部に於て
応力の境界条件を満足して充分良好な共振特性が得られ
る条件として、ＩＤＴ対数Ｍが８０以上必要であること
を考えて、８０≦Ｍ≦１５０対の範囲であれば、良好な
フィルタ特性が得られると言える。前述のスプリアスモ
ードの周波数位置は、反射器及びＩＤＴの金属導体の膜
厚によっても変化する。図４にこの様子を示した。図
中、横軸は金属導体の膜厚Ｈであって単位はÅである。
又縦軸は周波数であって、図３と同様に通過帯域中央を
周波数のゼロに設定している。図４中の曲線４０１は前
述の横モード振動の特性であり、又４０２と４０３はＩ
ＤＴ対数Ｍ＝２００対の場合の縦モード振動の特性であ
る。又ｆLで示される周波数が中間周波数４５５ＫＨｚ
でありｆIで示す周波数がイメージ周波数である。４０
２と４０３の曲線が前記ｆLとｆIの中央に配置させるこ
とが必要でありこのための前記ＩＤＴの対数Ｍの条件
は、図３のスプリアスを示す曲線３０２と３０３のいず
れか一方が前記ｆLとｆIにかからないＭの範囲として、
１８０≦Ｍ≦２２０対の範囲にあれば良い。この条件が
成立つための金属導体の膜厚条件として、周波数依存を
なくす表現が用いられ、膜厚Ｈと弾性表面波波長λの比
Ｈ／λが０．０１８から０．０３２程度の範囲にあれば
良い。これは図４中の膜厚Ｈ＝２０００〜３５００Åに
相当する。以上は水晶ＳＴカットによる特性であること
を付け加える。
用振動モード即ちスプリアスの存在がある。弾性表面波
共振子の場合にもこのスプリアスが存在しており、本発
明の弾性表面波フィルタを構成する際にも伝送特性に於
て、充分な減衰特性が確保できない周波数領域が前記ス
プリアスにより発生する。本発明にあっては、前記ＩＤ
Ｔ対数Ｍを８０〜１５０対及び１８０〜２２０対とする
ことにより抑圧するか、特定の周波数領域をさける構成
としている。この様子を次の図２、図３、図４を用いて
説明する。図２は本発明の図１が特定のＩＤＴ対数
（Ｍ：１７０対）をもつ場合であってスプリアスが存在
する。図中の横軸は周波数、縦軸は伝送特性を示す動作
減衰量（２００）である。同図は２８０ＭＨｚ帯シング
ルスパーのペイジャー用として設計した例であるが、図
中のマーカ１で示す領域が通過帯域であって、ペイジャ
ーの通信チャネルの１つが対応する。又マーカ３に対応
する点は中間周波数（ｆL）に対応する。さらにマーカ
２に対応する点はイメージ周波数（ｆI）に対応してい
る。各々のマーカ間の周波数差はマーカ１と３間が４５
５ＫＨｚ、さらにマーカ３と２間が４５５ＫＨｚとなっ
ている。図２の例に於てはスプリアス２０１と２０２の
内２０２側がイメージ周波数にかかっている。ついでに
２０３もスプリアスであることを付け加える。又スプリ
アス２０２の振幅レベルも大きくマーカ１の通過帯域に
対して３６ｄＢ程度の減衰量しかとれていないので問題
となる。本発明はこの点を改善するものである。次に改
善できる根拠につき図３を用いて説明する。図３の横軸
は本発明の弾性表面波フィルタの２個の弾性表面波共振
子が有するＩＤＴの電極対数Ｍであり、又縦軸は弾性表
面波フィルタの通過帯域中心周波数ｆ0（図２のマーカ
１）をゼロとした時の差周波数軸である。図中の３０１
と３０２、３０３は前述のスプリアスモードに対応して
いる。スプリアスモード３０１はＭに対して周波数が変
化していない。この理由は３０１のモードが弾性表面波
共振子の幅即ち、弾性表面波の伝播方向に対して直角方
向の幅に依存する振動モードであることによる。これは
いわゆる横モードと呼ばれている。一方曲線３０２と３
０３で示される振動モードは、前述のＩＤＴ対数Ｍに依
存して周波数が変化しており、これは通称縦モードと呼
ばれるものである。３０２と３０３は２つの縦振動モー
ドが横に弾性的に結合して発生する対称と斜対称の振動
モードである。又図中の３０４（Ａ）は前記スプリアス
３０２と３０３の有する振幅レベルを通過帯域を０ｄＢ
とした減衰量で表わしたものであって、ＩＤＴ対数Ｍが
１５０以下であれば、減衰量５０ｄＢとなって充分良好
なフィルタ特性が得られることになる。さらに前述の弾
性表面波共振子が、前述の反射器のＩＤＴ側端部に於て
応力の境界条件を満足して充分良好な共振特性が得られ
る条件として、ＩＤＴ対数Ｍが８０以上必要であること
を考えて、８０≦Ｍ≦１５０対の範囲であれば、良好な
フィルタ特性が得られると言える。前述のスプリアスモ
ードの周波数位置は、反射器及びＩＤＴの金属導体の膜
厚によっても変化する。図４にこの様子を示した。図
中、横軸は金属導体の膜厚Ｈであって単位はÅである。
又縦軸は周波数であって、図３と同様に通過帯域中央を
周波数のゼロに設定している。図４中の曲線４０１は前
述の横モード振動の特性であり、又４０２と４０３はＩ
ＤＴ対数Ｍ＝２００対の場合の縦モード振動の特性であ
る。又ｆLで示される周波数が中間周波数４５５ＫＨｚ
でありｆIで示す周波数がイメージ周波数である。４０
２と４０３の曲線が前記ｆLとｆIの中央に配置させるこ
とが必要でありこのための前記ＩＤＴの対数Ｍの条件
は、図３のスプリアスを示す曲線３０２と３０３のいず
れか一方が前記ｆLとｆIにかからないＭの範囲として、
１８０≦Ｍ≦２２０対の範囲にあれば良い。この条件が
成立つための金属導体の膜厚条件として、周波数依存を
なくす表現が用いられ、膜厚Ｈと弾性表面波波長λの比
Ｈ／λが０．０１８から０．０３２程度の範囲にあれば
良い。これは図４中の膜厚Ｈ＝２０００〜３５００Åに
相当する。以上は水晶ＳＴカットによる特性であること
を付け加える。
【０００７】最後に本発明の弾性表面波フィルタは、図
１の構成の様に弾性表面波共振子２つ用いた２ポールフ
ィルタの他にさらに２ポールフィルタを縦続接続してで
きる２ポール以上のフィルタに適用できることはもちろ
んであるし、導体１本当りの反射係数ａがほぼ等しけれ
ば圧電板の材質とか方位にかかわりなく成立つものであ
る。
１の構成の様に弾性表面波共振子２つ用いた２ポールフ
ィルタの他にさらに２ポールフィルタを縦続接続してで
きる２ポール以上のフィルタに適用できることはもちろ
んであるし、導体１本当りの反射係数ａがほぼ等しけれ
ば圧電板の材質とか方位にかかわりなく成立つものであ
る。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、適切
に共振条件を出せるようにした弾性表面波共振子のＩＤ
Ｔ対数を共振子の縦モード振動に起因するスプリアスを
抑圧又はさけるようにＩＤＴ対数とＩＤＴと反射器の金
属導体膜厚を設定したことにより、充分に不要信号を抑
圧して良好なフィルタ特性を実現する弾性表面波フィル
タを市場に提供できる。
に共振条件を出せるようにした弾性表面波共振子のＩＤ
Ｔ対数を共振子の縦モード振動に起因するスプリアスを
抑圧又はさけるようにＩＤＴ対数とＩＤＴと反射器の金
属導体膜厚を設定したことにより、充分に不要信号を抑
圧して良好なフィルタ特性を実現する弾性表面波フィル
タを市場に提供できる。
【図１】本発明の弾性表面波フィルタの電極構造を示す
一実施例の平面図。
一実施例の平面図。
【図２】本発明の弾性表面波フィルタの電極構造を特定
条件によって作成した弾性表面波フィルタの伝送特性を
示す特性図。
条件によって作成した弾性表面波フィルタの伝送特性を
示す特性図。
【図３】本発明の弾性表面波フィルタの電極構造を用い
た時のＩＤＴ対数Ｍ対スプリアスモードの周波数特性を
示す特性図。
た時のＩＤＴ対数Ｍ対スプリアスモードの周波数特性を
示す特性図。
【図４】本発明の弾性表面波フィルタの電極構造を用い
た時の金属導体膜厚対スプリアスモードの周波数特性を
示す特性図。
た時の金属導体膜厚対スプリアスモードの周波数特性を
示す特性図。
１００ 圧電体平板 １０１、１０３ 反射器 １０２ すだれ状電極（ＩＤＴ） １１０ 金属導体ストリップ ２００ 伝送特性
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−321713（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−12930（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−135223（ＪＰ，Ｕ) 日本音響学会講演論文集、昭和55年10 月、ｐ．65〜66、「１−７−11 導波路 結合型弾性表面波二重モードフィルタの 設計法」 電子情報通信学会春季全国大会（1989 年）ｐ．１−223（Ａ−220) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/145
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電体平板上に隣接して配置された二つ
の弾性表面波共振子の弾性的横結合効果を利用して二重
モードフィルタとする弾性表面波フィルタにおいて、前
記弾性表面波共振子は中央に１個のすだれ状電極とこの
すだれ状電極の両側に１対の反射器とを有し、前記すだ
れ状電極の電極指の対数が８０対以上１５０対以下であ
り、前記反射器と前記すだれ状電極は周期的に配置され
た金属導体のストリップからなり、前記反射器と前記す
だれ状電極の最も近接した前記ストリップの間隔は前記
すだれ状電極のスペース幅に等しく、前記すだれ状電極
の放射コンダクタンスの最大値を与える周波数と前記反
射器の反射中心周波数とはほぼ一致し、前記反射器のラ
イン対スペース比がほぼ１であり、前記すだれ状電極の
ライン幅対スペース幅の比が０．８以上１．５以下であ
ることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 圧電体平板上に隣接して配置された二つ
の弾性表面波共振子の弾性的横結合効果を利用して二重
モードフィルタとする弾性表面波フィルタにおいて、前
記弾性表面波共振子は中央に１個のすだれ状電極とこの
すだれ状電極の両側に１対の反射器とを有し、前記すだ
れ状電極の電極指の対数が１８０対以上２２０対以下で
あり、前記反射器と前記すだれ状電極は周期的に配置さ
れた金属導体のストリップからなり、前記反射器と前記
すだれ状電極の最も近接した前記ストリップの間隔は前
記すだれ状電極のスペース幅に等しく、前記すだれ状電
極の放射コンダクタンスの最大値を与える周波数と前記
反射器の反射中心周波数とはほぼ一致し、前記反射器の
ライン対スペース比がほぼ１であり、前記すだれ状電極
のライン幅対スペース幅の比が０．８以上１．５以下で
あることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 前記反射器と前記すだれ状電極はアルミ
ニウム金属が主体であり、前記反射器と前記すだれ状電
極の膜厚Ｈと弾性表面波の波長λとの比Ｈ／λが０．０
１５から０．０３５の範囲であり、前記圧電体平板が水
晶であることを特徴とする請求項１又は２記載の弾性表
面波フィルタ。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP02602391A JP3160918B2 (ja) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02602391A JP3160918B2 (ja) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265009A JPH04265009A (ja) | 1992-09-21 |
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Family
ID=12182107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02602391A Expired - Fee Related JP3160918B2 (ja) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3160918B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-02-20 JP JP02602391A patent/JP3160918B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
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|---|
| 日本音響学会講演論文集、昭和５５年１０月、ｐ．６５〜６６、「１−７−１１ 導波路結合型弾性表面波二重モードフィルタの設計法」 |
| 電子情報通信学会春季全国大会（１９８９年）ｐ．１−２２３（Ａ−２２０） |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH04265009A (ja) | 1992-09-21 |
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