JP3469806B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ

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JP3469806B2 JP07837499A JP7837499A JP3469806B2 JP 3469806 B2 JP3469806 B2 JP 3469806B2 JP 07837499 A JP07837499 A JP 07837499A JP 7837499 A JP7837499 A JP 7837499A JP 3469806 B2 JP3469806 B2 JP 3469806B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タに関するものであり、特に通過帯域外の特性が改善さ
れた弾性表面波フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、狭帯域で且つ挿入損失の少ないフ
ィルタとしては、インターデジタル電極の両側に反射器
を配置した横モード結合共振器型フィルタ2段縦続接続
したのものが知られており、斯かるフィルタは主に通信
機器におけるIF(中間周波)フィルタに用いられてい
る。
【0003】IFフィルタでは、通過帯域外において充
分な減衰量を要求されるが、同一特性のフィルタを縦続
接続した場合、初段目及び2段目の通過帯域外の特性も
略同じとなるため、スプリアス共振が発生する周波数も
略同じとなり、結果として高レベルのスプリアスが通過
帯域外に存在するという問題を生じていた。
【0004】斯かる問題を解決するため、例えば特開平
7−131291号公報に開示されているように、2段
縦続接続されたフィルタの初段目の通過帯域特性と次段
目の通過帯域特性を同一とし、且つ通過帯域外特性を各
フィルタ間で相違させる方法が用いられている。
【0005】斯かる構成に依れば、初段目と次段目とで
発生するスプリアスの周波数を相違させることにより、
通過帯域の信号レベルに対するスプリアスのレベル比が
小さくなり、結果として通過帯域外特性が改善されたフ
ィルタを得ることが出来る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】通過帯域外特性を異な
らせる方法としては、上述したようにインターデジタル
電極の数や反射器のピッチ若しくは本数を異ならせる方
法が一般的であるが、近年フィルタの小型化が進んだ結
果、電極形成スペースに制約を生じ、上述した手法を採
用することが出来なくなり、新規な方法による通過帯域
外特性の改善が求められている。
【0007】また、上述した特開平7−131291号
公報に開示された技術に依れば、通過帯域外特性を改善
することが出来るものの、反射器のピッチ及び/又は対
数を相違させることにより初段目と次段目のフィルタの
通過帯域外特性を異ならせるようにしているため、通過
帯域よりも高周波側に発生するスプリアスしか改善する
ことが出来なかった。
【0008】
【0009】
【課題を解決するための手段】 上記の課題に鑑み、 本発
明は2段縦続接続された横モード結合共振器型の弾性表
面波フィルタにおいて、インターデジタル電極のピッチ
Aと該インターデジタル電極の両側に配置された反射器
の電極のピッチBとの比A/BをY軸、前記インターデ
ジタル電極と前記反射器との距離CをX軸として、添付
図9の座標a(0.55,0.983)、座標b(0.
70,1.010)、座標c(0.85,1.01
0)、座標d(0.85,1.007)の各座標で囲ま
れた領域内の条件で、前記ピッチ比A/B及び距離Cが
設定されていることを特徴とする。
【0010】また、本発明は2段目若しくは初段のフィ
ルタの通過帯域外に発生する高次横モードのスプリアス
周波数が、初段若しくは2段目のフィルタの通過帯域外
に発生する高次横モードのスプリアス周波数間に発生す
るようにしたことを特徴とする。
【0011】更に、本発明は2段目若しくは初段のフィ
ルタにおける電極指の開口長が、初段若しくは2段目の
フィルタにおける電極指の開口長と異なるようにしたこ
とを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る横モード結合
共振器型の弾性表面波フィルタの一参考例であり、1は
櫛形の電極指で構成されるインターデジタル電極、2、
3はインターデジタル電極1の両側に配置された反射
器、4は入力電極、5は出力電極、6はグラウンドに接
続された共通電極であり、前記インターデジタル電極1
及び反射器2,3は、図示している如く、共通電極6の
長手方向を軸として上下対象の形状である。
【0013】前記図1の弾性表面波フィルタにおいて、
インターデジタル電極1のピッチをA、反射器2、3の
電極ピッチをB、インターデジタル電極1と反射器2、
3との距離をCとする。
【0014】そしてインターデジタル電極のピッチAと
該インターデジタル電極の両側に配置された反射器の電
極のピッチBとの比A/B及び前記インターデジタル電
極と前記反射器との距離Cを種々の値に変更し、挿入損
失とスプリアスレベルとについて、コンピュータシミュ
レーションした結果を図2に示す。
【0015】尚、前記図1に示す各部の物理的条件を、
W:351.45μm、Wo:324.80μm、G:
14.20μm、デューティ:55%、インターデジタ
ル電極数:235本、反射器本数:100本、波長:3
5.494μm、膜厚:1.0μmとした。
【0016】ここで、実用的な挿入損失の減衰量を−5
dB以内、且つ実用的なスプリアスレベルの減衰量を−
50dB以上という判断基準を設定し、この両条件を満
たしたものには○を記入し、いずれか一方の条件でも満
たさないものについては×を記入している。
【0017】このシミュレーション結果より、インター
デジタル電極のピッチAと該インターデジタル電極の両
側に配置された反射器の電極のピッチBとの比A/Bが
0.9850〜1.0100、且つインターデジタル電
極と前記反射器との距離Cが0.575〜0.850λ
の条件を満たすものが良好であることがわかった。
【0018】尚、λ=V/f(V:表面波速度、f:中
心周波数)であり、λは前記図1のピッチAに等しい。
【0019】さらに、前記表2のシミュレーション結果
の正否を確認するため、弾性表面波フィルタのサンプル
を複数個製作し、実際にその特性を測定した。その測定
結果を図3に示す。
【0020】サンプルは、インターデジタル電極のピッ
チAと該インターデジタル電極の両側に配置された反射
器の電極のピッチBとの比A/Bを夫々、0.990,
0.995,1.000とし、インターデジタル電極と
前記反射器との距離Cを0.600〜0.750λまで
0.025λ刻みで変化させ、サンプル1〜サンプル2
1を製作した。
【0021】尚、前記図1に示す各部の物理的条件を、
前記シミュレーションと同じく、W:351.45μ
m、Wo:324.80μm、G:14.20μm、デ
ューティ:55%、インターデジタル電極の電極指対
数:235本、反射器の電極本数:100本、波長:3
5.494μm、膜厚:1.0μm、さらに基板のサイ
ズは縦2.4mm×横8mm×厚さ0.38mm、材質
は水晶基板とした。
【0022】また、図4〜図6は前記図3に示した各サ
ンプルの測定結果をグラフに表したものである。先ず、
図4(a)(b)は、サンプル1〜サンプル7の挿入損
失及びスプリアスレベルをプロットしたものである。こ
こで、サンプル3〜サンプル7は、挿入損失の減衰量は
−5dB以内であるものの、スプリアスレベルについて
は減衰量が−50dB以上になっておらず、評価は×と
した。尚、それ以外のサンプルについては、評価は○で
ある。
【0023】次に、図5(a)(b)は、サンプル8〜
サンプル14の挿入損失及びスプリアスレベルをプロッ
トしたものである。ここで、サンプル8は挿入損失の減
衰量が−5dB以上であり、またサンプル13及びサン
プル14はスプリアスレベルの減衰量が−50dB以上
になっておらず、評価は×とした。それ以外のサンプル
については、評価は○である。
【0024】さらに、図6(a)(b)は、サンプル1
5〜サンプル21の挿入損失及びスプリアスレベルをプ
ロットしたものである。ここで、サンプル15及びサン
プル16は挿入損失の減衰量が−5dB以上であり、評
価は×とした。それ以外のサンプルについては、評価は
○である。
【0025】これらの評価結果を前記図2の表と照合し
たところ(図2の表の○または×の横にサンプルの番号
を併記した)、サンプルの測定結果とシミュレーション
結果とが全く一致していることが判った。これらから、
シミュレーション結果が正しいことが確認できた。
【0026】ここで、本発明との比較例として、W:3
51.45μm、Wo:324.80μm、G:14.
20μm、デューティ:55%、インターデジタル電極
の電極指対数:235本、反射器の電極本数:100
本、波長:35.494μm、膜厚:1.0μm、ピッ
チ比A/Bを0.990、距離Cを0.75λとした横
モード結合共振器型フィルタを2段縦続接続して弾性表
面波フィルタを作成した。
【0027】そのフィルタ特性の測定結果を図7に示
す。この図7から明らかなように、この比較例フィルタ
においては、通過帯域外において、高次縦モードスプリ
アス(図中の矢印Aで示される部分)及び高次横モード
スプリアス(図中の矢印Bで示される部分)が発生して
いる。
【0028】次に、本発明の実施例として、W:35
1.45μm、Wo:324.80μm、G:14.2
0μm、デューティ:55%、インターデジタル電極の
電極指対数:235本、反射器の電極本数:100本、
波長:35.494μm、膜厚:1.0μmであるが、
ピッチ比A/Bを0.998、距離Cを0.75λとし
た横モード結合共振器型フィルタを2段縦続接続した弾
性表面波フィルタを作成した。
【0029】そのフィルタ特性を図8に示す。本発明の
フィルタでは、通過帯域の低周波数側に発生する高次縦
モードスプリアスのレベル(図中の矢印Cで示される部
分)が小となり、結果として低周波数側の特性が比較例
に比べて改善されていることがわかる。
【0030】以上のシミュレーション結果及びサンプル
の測定結果をまとめたものが図9である。インターデジ
タル電極のピッチAと該インターデジタル電極の両側に
配置された反射器の電極のピッチBとの比A/Bを
、前記インターデジタル電極と前記反射器との距離C
X軸として、該図9の座標a(0.55,0.98
3)、座標b(0.70,1.010)、座標c(0.
85,1.010)、座標d(0.85,1.007)
の各座標で囲まれた領域内の条件でフィルタを設計すれ
ばよいという結論に至った。
【0031】尚、前記シミュレーション結果及びサンプ
ルの測定結果ではピッチ比A/Bを0.983に設定し
たものは存在しないが、シミュレーション結果及びサン
プルの測定結果より、ピッチ比A/Bと距離Cとが略正
比例であることが判ったので、有効なピッチ比A/Bの
最小値が略0.983付近になるものと結論付けた。
【0032】さらに、座標b(0.70,1.010)
のX座標:0.70はピッチ比A/Bが1.010の時
のX軸上の値を算出し、座標d(0.85,1.00
7)のY座標:1.007は距離Cが0.85の時のY
軸上の値を算出したものである。
【0033】このようにピッチ比A/Bの上限値はフィ
ルタの挿入損失との関係から決定され、距離Cについて
はフィルタの制作条件及び挿入損失との関係から決定さ
れる。
【0034】即ち、距離Cとスプリアスレベルとの間に
は、0.5Nμm(N=1,2,3…)の周期性を有す
るが、Nが2以上ではインターデジタル電極と反射器と
の間の距離が大きくなり、スプリアス特性の改善には寄
与するものの、挿入損失が大きくなりフィルタとしては
実用的ではない。
【0035】続いて、図10は本発明の他の実施例であ
り、通過帯域特性が同じで通過帯域外特性が異なるフィ
ルタを2段縦続接続して構成した弾性表面波フィルタを
示している。
【0036】該図10において、各フィルタのピッチ比
A/B及び距離Cは前記図9の座標a(0.55,0.
983)、座標b(0.70,1.010)、座標c
(0.85,1.010)、座標d(0.85,1.0
07)の各座標で囲まれた領域内の条件に設定されてい
るが、インターデジタル電極の電極指の開口長において
相違しているが(図10において、初段の開口長wと2
段目の開口長w’とを異ならせる)、詳細は後述する。
初段の開口長wと2段目の開口長w’が異なる以外は、
ピッチA、ピッチB、距離Cの条件は各段共通である。
【0037】各段のフィルタは、異なる開口長を有する
ことにより、高次横モードスプリアスが発生する周波数
が相違することになり、結果として2段縦続接続された
フィルタの通過帯域外特性が異なることになる。
【0038】この実施例においては、さらに高次横モー
ドスプリアスを抑制するための構成について検討したも
のであり、以下、高次横モードスプリアスの抑圧を達成
するための開口長の決定方法について説明する。
【0039】図11は一般的な横モード結合共振器型弾
性表面波フィルタの特性を示しており、通過帯域の高周
波側には高次横モードのスプリアスが発生する。
【0040】該図11において、Xは3次横モードのス
プリアス共振、Yは4次横モードのスプリアス共振であ
り、横モードの共振周波数はインターデジタル電極の開
口長に依存する。開口長と中心周波数から各スプリアス
共振周波数までの周波数差Δfとの関係を図12に示
す。
【0041】該図12において、初段目のフィルタの開
口長wを9.0λとすると、通過帯域の中心周波数から
3次横モードのスプリアス共振周波数までの周波数差Δ
fxは0.89MHz、4次横モードのスプリアス周波
数までの周波数差Δfyは1.15MHzとなり、各ス
プリアス共振周波数間の中間の周波数と通過帯域の中心
周波数との周波数差は1.02MHzとなる。
【0042】従って、2段目における3次横モードのス
プリアス共振周波数と通過帯域の中心周波数との周波数
差若しくは4次横モードのスプリアス共振周波数との周
波数差が1.02MHzとなるように2段目フィルタの
開口長w’を決定すれば、一方のフィルタの減衰領域に
他方フィルタのスプリアスが存在することになり、スプ
リアスが抑圧される。
【0043】例えば、開口長wを7.9λにして中心周
波数から3次横モードのスプリアス共振周波数までの周
波数差Δfxを1.02MHzとするか、開口長w’を
9.7λにして中心周波数から4次横モードのスプリア
ス共振周波数までの周波数差Δfyを1.02MHzに
すればスプリアス抑圧効果は最大となる。
【0044】このようにして2段目フィルタの開口長
w’を決定した弾性表面波フィルタのフィルタ特性の測
定結果を図13に示す。該図13から明らかなように、
前記図8と比べて通過帯域の高周波側の帯域外特性が約
15dB改善された。
【0045】尚、本実施例では初段目フィルタの開口長
を基準として2段目フィルタの開口長を決定する方法に
ついて説明したが、2段目フィルタの開口長を基準にし
て初段目フィルタの開口長を決定するようにしてもよ
い。
【0046】
【0047】
【発明の効果】 以上、詳述した如く本発明に依れば、
段縦続接続された横モード結合共振器型の弾性表面波フ
ィルタにおいて、インターデジタル電極のピッチAと該
インターデジタル電極の両側に配置された反射器の電極
のピッチBとの比A/BをY軸、前記インターデジタル
電極と前記反射器との距離CをX軸として、添付図9の
座標a(0.55,0.983)、座標b(0.70,
1.010)、座標c(0.85,1.010)、座標
d(0.85,1.007)の各座標で囲まれた領域内
の条件で、前記ピッチ比A/B及び距離Cを設定し、2
段目若しくは初段のフィルタの通過帯域外特性を、初段
若しくは2段目のフィルタにおける通過帯域外特性と異
なるようにしたので、小型化に寄与することができると
共に通過帯域外の低周波数側及び高周波側のスプリアス
を抑制することができる。
【0048】更に、2段目若しくは初段のフィルタの通
過帯域外に発生する高次横モードのスプリアス周波数
が、初段若しくは2段目のフィルタの通過帯域外に発生
する高次横モードのスプリアス周波数間に発生するよう
にしたので、スプリアスの抑圧を確実に行うことが出来
る。
【0049】また、2段目若しくは初段のフィルタにお
ける開口長を初段若しくは2段目のフィルタにおける開
口長と異なるようにしたので、フィルタの他の要素を変
更させることなく帯域外特性を変更することが出来、電
極配置スペースに制約を受ける小型フィルタにおいても
適用することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一参考例を示す図である。
【図2】本発明の弾性表面波フィルタのシミュレーショ
ン結果を示す図である。
【図3】本発明の弾性表面波フィルタのサンプルの測定
結果を示す図である。
【図4】サンプルの測定結果を示すグラフである。
【図5】サンプルの測定結果を示すグラフである。
【図6】サンプルの測定結果を示すグラフである。
【図7】比較例のフィルタ特性を示す図である。
【図8】実施例のフィルタ特性を示す図である。
【図9】インターデジタル電極のピッチAと反射器電極
のピッチBとの比A/Bとインターデジタル電極と反射
器との距離Cとの関係を示す図である。
【図10】本発明の実施例を示す図である。
【図11】弾性表面波フィルタにおける高次横モードの
スプリアス共振周波数を示す図である。
【図12】中心周波数とスプリアス共振周波数との周波
数差と、開口長との関係を示す図である。
【図13】本発明の他の実施例におけるフィルタ特性を
示す図である。
【符号の説明】
1 インターデジタル電極 2、3 反射器 4 入力電極 5 出力電極 6 共通電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/25 H03H 9/145 H03H 9/64

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2段縦続接続された横モード結合共振器
    型の弾性表面波フィルタにおいて、インターデジタル電
    極のピッチAと該インターデジタル電極の両側に配置さ
    れた反射器の電極のピッチBとの比A/BをY軸、前記
    インターデジタル電極と前記反射器との距離CをX軸
    して、添付図9の座標a(0.55,0.983)、座
    標b(0.70,1.010)、座標c(0.85,
    1.010)、座標d(0.85,1.007)の各座
    標で囲まれた領域内の条件で、前記ピッチ比A/B及び
    距離Cが設定されていることを特徴とする弾性表面波フ
    ィルタ。
  2. 【請求項2】 2段目若しくは初段のフィルタの通過帯
    域外特性が、初段若しくは2段目のフィルタにおける通
    過帯域外特性と異なることを特徴とする請求項1記載の
    弾性表面波フィルタ。
  3. 【請求項3】 2段目若しくは初段のフィルタの通過帯
    域外に発生する高次横モードのスプリアス周波数が、初
    段若しくは2段目のフィルタの通過帯域外に発生する高
    次横モードのスプリアス周波数間に発生することを特徴
    とする請求項1記載の弾性表面波フィルタ。
  4. 【請求項4】 2段目若しくは初段のフィルタにおける
    電極指の開口長が、初段若しくは2段目のフィルタにお
    ける電極指の開口長と異なることを特徴とする請求項2
    記載の弾性表面波フィルタ。
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