JP2755346B2 - 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 - Google Patents
自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置Info
- Publication number
- JP2755346B2 JP2755346B2 JP3011594A JP3011594A JP2755346B2 JP 2755346 B2 JP2755346 B2 JP 2755346B2 JP 3011594 A JP3011594 A JP 3011594A JP 3011594 A JP3011594 A JP 3011594A JP 2755346 B2 JP2755346 B2 JP 2755346B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflector
- movement
- machine tool
- automatic machine
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明は自動工作機械の運動精度測
定方法及びその装置に係り、特に、マシンニングセン
タ、ＮＣ工作機械等の自動工作機械の運動精度を測定す
る測定方法及びその装置に関する。
定方法及びその装置に係り、特に、マシンニングセン
タ、ＮＣ工作機械等の自動工作機械の運動精度を測定す
る測定方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、マシンニングセンタ、ＮＣ工作機
械等の自動工作機械のＸ、Ｙ及びＺの各軸の運動精度
（指示精度、直角度、真直度、ピッチング、ヨーイン
グ、ローリング）を測定する方法としては、運動精度の
各要素ごとにレーザ測長器、直定規、直角定規、オート
コリメータ、電気水準器等を用いて測定する方法と、最
近使用されたばかりであるが、ダブルボールバーという
測定器を用いて総合精度として測定する方法がある。
械等の自動工作機械のＸ、Ｙ及びＺの各軸の運動精度
（指示精度、直角度、真直度、ピッチング、ヨーイン
グ、ローリング）を測定する方法としては、運動精度の
各要素ごとにレーザ測長器、直定規、直角定規、オート
コリメータ、電気水準器等を用いて測定する方法と、最
近使用されたばかりであるが、ダブルボールバーという
測定器を用いて総合精度として測定する方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
測長器、直定規、直角定規、オートコリメータ、電気水
準器等を用いて測定する方法は、測定に時間がかかると
いう欠点がある。また、ダブルボールバーを用いる方法
は、工具取付け軸と自動工作機械のテーブルとの間で球
運動をさせる方法なので、測定範囲が限定されるという
欠点がある。
測長器、直定規、直角定規、オートコリメータ、電気水
準器等を用いて測定する方法は、測定に時間がかかると
いう欠点がある。また、ダブルボールバーを用いる方法
は、工具取付け軸と自動工作機械のテーブルとの間で球
運動をさせる方法なので、測定範囲が限定されるという
欠点がある。
【０００４】更には、これらの方法は、加工中における
自動工作機械の運動精度を測定できないという欠点があ
る。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもの
で、自動工作機械の運動精度を広い範囲に渡って短時間
で測定でき、且つ加工中でも測定できる自動工作機械の
運動精度測定方法及びその装置を提供することを目的と
する。
自動工作機械の運動精度を測定できないという欠点があ
る。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもの
で、自動工作機械の運動精度を広い範囲に渡って短時間
で測定でき、且つ加工中でも測定できる自動工作機械の
運動精度測定方法及びその装置を提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、自動工作機械の運動精度を測定する自動工作
機械の運動精度測定方法に於いて、前記自動工作機械の
工具取付け軸に反射体を固定し、前記反射体を追尾し
て、その追尾する反射体の移動量を測定する複数の追尾
式レーザ干渉計をそれぞれ所定位置に固定し、前記反射
体が指定位置に移動するように前記工具取付け軸を動作
させると共に、前記移動する反射体を前記追尾式レーザ
干渉計で追尾して反射体の移動量を測定し、前記測定し
た移動量から算出した前記反射体の移動後の位置と前記
指定位置を比較することによって運動精度を測定するこ
とを特徴とする。
する為に、自動工作機械の運動精度を測定する自動工作
機械の運動精度測定方法に於いて、前記自動工作機械の
工具取付け軸に反射体を固定し、前記反射体を追尾し
て、その追尾する反射体の移動量を測定する複数の追尾
式レーザ干渉計をそれぞれ所定位置に固定し、前記反射
体が指定位置に移動するように前記工具取付け軸を動作
させると共に、前記移動する反射体を前記追尾式レーザ
干渉計で追尾して反射体の移動量を測定し、前記測定し
た移動量から算出した前記反射体の移動後の位置と前記
指定位置を比較することによって運動精度を測定するこ
とを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば、自動工作機械の工具取付け軸
に反射体を取り付ける一方、この反射体を追尾し、その
追尾する反射体の移動量を測定する複数の追尾式レーザ
干渉計を所定位置に固定する。次に、反射体が指定位置
に移動するように工具取付け軸を動作させると共に、工
具取付け軸の移動と共に移動する反射体を所定位置に配
設した複数の追尾式レーザ干渉計で追尾して反射体の移
動量を測定する。そして、測定した移動量から算出され
る前記反射体の移動後の位置と前記指定位置を比較する
ようにした。即ち、予め反射体の初期位置と各追尾式レ
ーザ干渉計の位置を同一座標系、例えば自動工作機械の
座標系で求めておけば、反射体を指定位置に移動させる
ように工具取付け軸を動作させた場合、反射体の初期位
置と追尾式レーザ干渉計で求めた反射体の移動量データ
から反射体の移動後の位置を逐次算出することができ
る。従って、追尾式レーザ干渉計により求めた反射体の
移動後の位置と指定位置を比較することにより、自動工
作機械の運動精度が良ければ、移動位置と指定位置との
差は小さく、もし自動工作作機械の運動精度が悪けれ
ば、指定位置に対する追尾式レーザ干渉計で測定した移
動位置の差が大きくなる。
に反射体を取り付ける一方、この反射体を追尾し、その
追尾する反射体の移動量を測定する複数の追尾式レーザ
干渉計を所定位置に固定する。次に、反射体が指定位置
に移動するように工具取付け軸を動作させると共に、工
具取付け軸の移動と共に移動する反射体を所定位置に配
設した複数の追尾式レーザ干渉計で追尾して反射体の移
動量を測定する。そして、測定した移動量から算出され
る前記反射体の移動後の位置と前記指定位置を比較する
ようにした。即ち、予め反射体の初期位置と各追尾式レ
ーザ干渉計の位置を同一座標系、例えば自動工作機械の
座標系で求めておけば、反射体を指定位置に移動させる
ように工具取付け軸を動作させた場合、反射体の初期位
置と追尾式レーザ干渉計で求めた反射体の移動量データ
から反射体の移動後の位置を逐次算出することができ
る。従って、追尾式レーザ干渉計により求めた反射体の
移動後の位置と指定位置を比較することにより、自動工
作機械の運動精度が良ければ、移動位置と指定位置との
差は小さく、もし自動工作作機械の運動精度が悪けれ
ば、指定位置に対する追尾式レーザ干渉計で測定した移
動位置の差が大きくなる。
【０００７】また、各軸のうちどの軸の運動精度が悪い
かを知りたい場合には、各軸方向ごとに個々に工具取付
け軸を駆動させて移動させた反射体の指定位置と追尾式
レーザ干渉計で測定した反射体の移動後の位置を比較す
ればよい。また、２軸面内で反射体を移動させれば、２
軸面内の運動精度を測定することができる。
かを知りたい場合には、各軸方向ごとに個々に工具取付
け軸を駆動させて移動させた反射体の指定位置と追尾式
レーザ干渉計で測定した反射体の移動後の位置を比較す
ればよい。また、２軸面内で反射体を移動させれば、２
軸面内の運動精度を測定することができる。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る自動工作
機械の運動精度測定方法及びその装置の好ましい実施例
について詳説する。図１は、本発明の自動工作機械の運
動精度測定装置を具備した門型マシンニングセンタ１０
の一例である。
機械の運動精度測定方法及びその装置の好ましい実施例
について詳説する。図１は、本発明の自動工作機械の運
動精度測定装置を具備した門型マシンニングセンタ１０
の一例である。
【０００９】図１に示すように、門型マシンニングセン
タ１０は、Ｘ軸方向に移動自在なＸキャリッジ１２、Ｘ
キャリッジ１２の中をＺ軸方向に移動自在な工具取付け
軸１４及び基台１６上を前後方向、即ちＹ軸方向にスラ
イドするＹ軸テーブル１８を有すると共に、工具取付け
軸１４の先端部に工具１４Ａが取付けられる。また、
Ｘ、Ｙ、Ｚの各軸には、測長リニアスケールが夫々備え
られ、工具取付け軸１４の移動量が検出されるようによ
うになっている。そして、図示しない制御部からの加工
移動経路を指令する指令情報に従ってＸキャリッジ１
２、Ｙ軸テーブル１８及び工具取付け軸１４が図中Ｘ−
Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方向、Ｚ−Ｚ方向に移動すると共に、工
具取付け軸１４の移動量は測長リニアスケールで検出さ
れて逐次フィードバックされる。これにより、工具取付
け軸１４の先端に取付けられた工具１４Ａは、加工移動
経路を沿って移動しながらＹ軸テーブル１８上に固定さ
れたワーク（図示せず）を加工する。
タ１０は、Ｘ軸方向に移動自在なＸキャリッジ１２、Ｘ
キャリッジ１２の中をＺ軸方向に移動自在な工具取付け
軸１４及び基台１６上を前後方向、即ちＹ軸方向にスラ
イドするＹ軸テーブル１８を有すると共に、工具取付け
軸１４の先端部に工具１４Ａが取付けられる。また、
Ｘ、Ｙ、Ｚの各軸には、測長リニアスケールが夫々備え
られ、工具取付け軸１４の移動量が検出されるようによ
うになっている。そして、図示しない制御部からの加工
移動経路を指令する指令情報に従ってＸキャリッジ１
２、Ｙ軸テーブル１８及び工具取付け軸１４が図中Ｘ−
Ｘ方向、Ｙ−Ｙ方向、Ｚ−Ｚ方向に移動すると共に、工
具取付け軸１４の移動量は測長リニアスケールで検出さ
れて逐次フィードバックされる。これにより、工具取付
け軸１４の先端に取付けられた工具１４Ａは、加工移動
経路を沿って移動しながらＹ軸テーブル１８上に固定さ
れたワーク（図示せず）を加工する。
【００１０】また、前記Ｙ軸テーブル１８上の後端に
は、レーザ追尾式の測定装置２０が設けられ、測定装置
２０はその前面４隅に追尾式レーザ干渉計２２、２２…
が図示しない回転支持機構を介して夫々設けられる。一
方、前記工具取付け軸１４の先端部近傍には、反射体２
４が前記追尾式レーザ干渉計側２２に向けて取付けられ
ている。従って、工具取付け軸１４の移動と共に移動す
る反射体２４に各追尾式レーザ干渉計２２からレーザ光
を照射して、反射体２４から反射した反射レーザ光を追
尾することにより、反射体２４の移動量を測定すること
ができる。尚、Ｙ軸テーブル１８の移動においては、反
射体２４はＹ軸テーブル１６と共に移動する追尾式レー
ザ干渉計２２に対して相対的に変位する。また、各追尾
式レーザ干渉計２２は図示しない回転支持機構により反
射レーザ光を追尾できる。また、追尾式レーザ干渉計２
２に入力される反射体２４の移動量データは測定装置２
０内の演算処理部で演算されて反射体２４の基準点から
の座標位置として表される。
は、レーザ追尾式の測定装置２０が設けられ、測定装置
２０はその前面４隅に追尾式レーザ干渉計２２、２２…
が図示しない回転支持機構を介して夫々設けられる。一
方、前記工具取付け軸１４の先端部近傍には、反射体２
４が前記追尾式レーザ干渉計側２２に向けて取付けられ
ている。従って、工具取付け軸１４の移動と共に移動す
る反射体２４に各追尾式レーザ干渉計２２からレーザ光
を照射して、反射体２４から反射した反射レーザ光を追
尾することにより、反射体２４の移動量を測定すること
ができる。尚、Ｙ軸テーブル１８の移動においては、反
射体２４はＹ軸テーブル１６と共に移動する追尾式レー
ザ干渉計２２に対して相対的に変位する。また、各追尾
式レーザ干渉計２２は図示しない回転支持機構により反
射レーザ光を追尾できる。また、追尾式レーザ干渉計２
２に入力される反射体２４の移動量データは測定装置２
０内の演算処理部で演算されて反射体２４の基準点から
の座標位置として表される。
【００１１】追尾式レーザ干渉計２２は、測長の基準が
Ｘ、Ｙ、Ｚの各軸に備えられた測長リニアスケールを検
定するのに用いるレーザであるので、追尾式レーザ干渉
計２２で測定された値はそのまま検定の基準値として用
いることができる。次に、上記の如く構成された門型マ
シンニングセンタ１０により、本発明の自動工作機械の
運動精度測定方法を説明する。
Ｘ、Ｙ、Ｚの各軸に備えられた測長リニアスケールを検
定するのに用いるレーザであるので、追尾式レーザ干渉
計２２で測定された値はそのまま検定の基準値として用
いることができる。次に、上記の如く構成された門型マ
シンニングセンタ１０により、本発明の自動工作機械の
運動精度測定方法を説明する。
【００１２】先ず、反射体２４が指定座標位置（Ｘ、
Ｙ、Ｚ）に移動するように工具取付け軸１４を動作させ
ると共に、工具取付け軸１４と共に移動する反射体２４
を追尾式レーザ干渉計２２で追尾して反射体２４の移動
量を測定し、測定した移動量から反射体２４の移動後の
測定座標位置（x 、y 、z ）を求める。そして、指定座
標位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ）と追尾式レーザ干渉計２２で測定
した測定座標位置（x 、y 、z ）とを比較することによ
って運動精度を測定する。即ち、門型マシンニングセン
タ１０の運動精度が良ければ、指令座標位置（Ｘ、Ｙ、
Ｚ）と測定座標位置（x 、y 、z ）との差が小さく、も
し門型マシンニングセンタ１０のＸ、Ｙ及びＺの各軸方
向の運動精度（指示精度、直角度、真直度、ピッチン
グ、ヨーイング、ローリング）が悪い場合には、指定座
標位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ）と測定座標位置（x 、y 、z ）と
の差が大きくなる。
Ｙ、Ｚ）に移動するように工具取付け軸１４を動作させ
ると共に、工具取付け軸１４と共に移動する反射体２４
を追尾式レーザ干渉計２２で追尾して反射体２４の移動
量を測定し、測定した移動量から反射体２４の移動後の
測定座標位置（x 、y 、z ）を求める。そして、指定座
標位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ）と追尾式レーザ干渉計２２で測定
した測定座標位置（x 、y 、z ）とを比較することによ
って運動精度を測定する。即ち、門型マシンニングセン
タ１０の運動精度が良ければ、指令座標位置（Ｘ、Ｙ、
Ｚ）と測定座標位置（x 、y 、z ）との差が小さく、も
し門型マシンニングセンタ１０のＸ、Ｙ及びＺの各軸方
向の運動精度（指示精度、直角度、真直度、ピッチン
グ、ヨーイング、ローリング）が悪い場合には、指定座
標位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ）と測定座標位置（x 、y 、z ）と
の差が大きくなる。
【００１３】前記した運動精度の測定において、制御部
からの加工移動経路を指令する指令情報に従って工具取
付け軸１４を動作させ、工具取付け軸１４と共に移動す
る反射体１４を追尾式レーザ干渉計２２で追尾すれば、
加工中でも自動工作機械の運動精度を測定することがで
きる。また、各軸方向ごとに個々に工具取付け軸１４を
移動させる指令情報を使用すれば、Ｘ、Ｙ及びＺの各軸
ごとの運動精度を測定することができる。
からの加工移動経路を指令する指令情報に従って工具取
付け軸１４を動作させ、工具取付け軸１４と共に移動す
る反射体１４を追尾式レーザ干渉計２２で追尾すれば、
加工中でも自動工作機械の運動精度を測定することがで
きる。また、各軸方向ごとに個々に工具取付け軸１４を
移動させる指令情報を使用すれば、Ｘ、Ｙ及びＺの各軸
ごとの運動精度を測定することができる。
【００１４】このように、本発明の自動工作機械の運動
精度測定方法によれば、門型マシンニングセンタ１０の
工具取付け軸１４に固定した反射体２４を、複数の追尾
式レーザ干渉計２２で追尾して門型マシンニングセンタ
１０の運動精度を測定できるようにしたので、広い範囲
に渡って短時間で運動精度を測定でき、且つ加工中でも
測定できる。また、本発明の自動工作機械の運動精度測
定方法で測定した運動精度情報を、Ｘキャリッジ１２、
Ｙ軸テーブル１８及び工具取付け軸１４を駆動する駆動
手段にフィードバックすることにより、門型マシンニン
グセンタ１０の運動精度を向上させることができる。
精度測定方法によれば、門型マシンニングセンタ１０の
工具取付け軸１４に固定した反射体２４を、複数の追尾
式レーザ干渉計２２で追尾して門型マシンニングセンタ
１０の運動精度を測定できるようにしたので、広い範囲
に渡って短時間で運動精度を測定でき、且つ加工中でも
測定できる。また、本発明の自動工作機械の運動精度測
定方法で測定した運動精度情報を、Ｘキャリッジ１２、
Ｙ軸テーブル１８及び工具取付け軸１４を駆動する駆動
手段にフィードバックすることにより、門型マシンニン
グセンタ１０の運動精度を向上させることができる。
【００１５】また、３基の追尾式レーザ干渉計２２があ
れば反射体２４の移動後の位置を測定することは可能で
あるが、本実施例のように４基の追尾式レーザ干渉計２
２を使用すれば、追尾式レーザ干渉計２２の基準点間距
離の検定を行うことができると共に、１基の追尾式レー
ザ干渉計２２と反射体２４の間の光路に障害物があって
も測定を行うことができる。
れば反射体２４の移動後の位置を測定することは可能で
あるが、本実施例のように４基の追尾式レーザ干渉計２
２を使用すれば、追尾式レーザ干渉計２２の基準点間距
離の検定を行うことができると共に、１基の追尾式レー
ザ干渉計２２と反射体２４の間の光路に障害物があって
も測定を行うことができる。
【００１６】また、工具取付け軸１４の３軸方向（３次
元空間）の運動精度を測定することで説明したが、工具
取付け軸１４の２軸方向（Ｘキャリッジ、工具取付け軸
の２次元平面）だけの運動精度を測定する場合には、図
２に示すように、測定装置２０を門型マシンニングセン
タ１０を設置する床に固定する。また、本発明の自動工
作機械の運動精度測定方法は、門型マシンニングセンタ
１０に限定されることはなく、縦型或いは横型のマシン
ニングセンタにも適用することができる。更には、自動
工作機械でも特に２軸以上の直線運動または円弧運動
（回転運動は除く）する構造のものに適用することがで
きる。また、工具取付け軸１４に固定する反射体の数は
１個に限定するものではない。
元空間）の運動精度を測定することで説明したが、工具
取付け軸１４の２軸方向（Ｘキャリッジ、工具取付け軸
の２次元平面）だけの運動精度を測定する場合には、図
２に示すように、測定装置２０を門型マシンニングセン
タ１０を設置する床に固定する。また、本発明の自動工
作機械の運動精度測定方法は、門型マシンニングセンタ
１０に限定されることはなく、縦型或いは横型のマシン
ニングセンタにも適用することができる。更には、自動
工作機械でも特に２軸以上の直線運動または円弧運動
（回転運動は除く）する構造のものに適用することがで
きる。また、工具取付け軸１４に固定する反射体の数は
１個に限定するものではない。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の自動工作
機械の運動精度測定方法及びその装置によれば、自動工
作機械の工具取付け軸に固定した反射体を、追尾式レー
ザ干渉計で追尾して自動工作機械の運動精度を測定でき
るようにしたので、広い範囲に渡って短時間で運動精度
を測定でき、且つ加工中でも測定できる。
機械の運動精度測定方法及びその装置によれば、自動工
作機械の工具取付け軸に固定した反射体を、追尾式レー
ザ干渉計で追尾して自動工作機械の運動精度を測定でき
るようにしたので、広い範囲に渡って短時間で運動精度
を測定でき、且つ加工中でも測定できる。
【００１８】また、本発明の自動工作機械の運動精度測
定装置で測定した運動精度情報を、自動工作機械の各軸
を駆動する駆動手段にフィードバックすることにより、
自動工作機械の運動精度を向上させることができる。
定装置で測定した運動精度情報を、自動工作機械の各軸
を駆動する駆動手段にフィードバックすることにより、
自動工作機械の運動精度を向上させることができる。
【図１】図１は、本発明の自動工作機械の運動精度測定
装置を具備した門型マシンニングセンタの一例で、測定
装置をＹ軸テーブル上に配置した斜視図
装置を具備した門型マシンニングセンタの一例で、測定
装置をＹ軸テーブル上に配置した斜視図
【図２】図２は、本発明の自動工作機械の運動精度測定
装置を具備した門型マシンニングセンタの一例で、測定
装置を床上に配置した斜視図
装置を具備した門型マシンニングセンタの一例で、測定
装置を床上に配置した斜視図
１０…本発明の自動工作機械の運動精度測定装置を具備
した門型マシンニングセンタ １２…Ｘキャリッジ １４…工具取付け軸 １６…基台 １８…Ｙ軸テーブル ２０…測定装置 ２２…追尾式レーザ干渉計 ２４…反射体
した門型マシンニングセンタ １２…Ｘキャリッジ １４…工具取付け軸 １６…基台 １８…Ｙ軸テーブル ２０…測定装置 ２２…追尾式レーザ干渉計 ２４…反射体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 収 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業 技術院 計量研究所内 (72)発明者 谷村 吉久 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業 技術院 計量研究所内 (72)発明者 伊勢 徹 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株 式会社東京精密内 (72)発明者 真田 友宏 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株 式会社東京精密内 審査官 岡田 卓弥 (56)参考文献 特開 平５−302813（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−159504（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−216204（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 B23Q 17/00 - 23/00
Claims (3)
- 【請求項１】自動工作機械の運動精度を測定する自動工
作機械の運動精度測定方法に於いて、 前記自動工作機械の工具取付け軸に反射体を固定し、 前記反射体を追尾して、その追尾する反射体の移動量を
測定する複数の追尾式レーザ干渉計をそれぞれ所定位置
に固定し、 前記反射体が指定位置に移動するように前記工具取付け
軸を動作させると共に、前記移動する反射体を前記追尾
式レーザ干渉計で追尾して反射体の移動量を測定し、 前記測定した移動量から算出した前記反射体の移動後の
位置と前記指定位置を比較することによって運動精度を
測定することを特徴とする自動工作機械の運動精度測定
方法。 - 【請求項２】前記自動工作機械がワークを加工する加工
移動経路に従って前記工具取付け軸を動作させるときの
運動精度を測定することを特徴とする請求項１の自動工
作機械の運動精度測定方法。 - 【請求項３】自動工作機械の運動精度を測定する自動工
作機械の運動精度測定装置に於いて、 前記自動工作機械の工具取付け軸に固定された反射体
と、 前記反射体を追尾して、その追尾する反射体の移動量を
測定する複数の追尾式レーザ干渉計と、 前記測定した反射体の移動量から反射体の移動後の位置
を算出する演算装置と、 前記反射体が指定位置に移動するように前記工具取付け
軸を動作させる制御手段と、から成り、 前記算出した前記反射体の移動後の位置と前記指定位置
を比較することによって運動精度を測定することを特徴
とする自動工作機械の運動精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011594A JP2755346B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011594A JP2755346B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07239209A JPH07239209A (ja) | 1995-09-12 |
| JP2755346B2 true JP2755346B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=12294791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3011594A Expired - Lifetime JP2755346B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2755346B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014163757A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Kyoto Univ | 工作機械の空間精度測定方法および空間精度測定装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2329349A (en) * | 1997-09-09 | 1999-03-24 | Geodetic Technology Internatio | Control of mechanical manipulators |
| JP3305288B2 (ja) | 1999-09-20 | 2002-07-22 | 折尾精密株式会社 | 工作機械精度計測装置 |
| DE10126753B4 (de) * | 2001-06-01 | 2005-02-10 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Genauigkeitssteigerung von Koordinatenmessgeräten und Werkzeugmaschinen |
| JP4834596B2 (ja) * | 2007-04-12 | 2011-12-14 | 株式会社東芝 | 円筒構造物の機械加工装置 |
| JP6013139B2 (ja) * | 2012-10-30 | 2016-10-25 | 東芝機械株式会社 | 工具長測定方法および工作機械 |
| CN105538038B (zh) * | 2016-01-27 | 2018-01-16 | 清华大学 | 机床平动轴几何误差辨识方法 |
| CN106624816B (zh) * | 2016-11-22 | 2018-07-06 | 浙江大学 | 一种飞机壁板卧式自动钻铆机的工装夹具坐标系建站方法 |
| CN112621387A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-09 | 齐重数控装备股份有限公司 | 检测重型立式车床垂直刀架移动对工作台面平行度的方法 |
-
1994
- 1994-02-28 JP JP3011594A patent/JP2755346B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014163757A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Kyoto Univ | 工作機械の空間精度測定方法および空間精度測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07239209A (ja) | 1995-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101906942B1 (ko) | 공구 중심점에 있는 보정 레이저 헤드를 사용하는 좌표 측정 기계의 보정 방법 | |
| CN105492860B (zh) | 一种可检测21项几何误差的激光测量***与方法 | |
| JP3467063B2 (ja) | 座標測定装置 | |
| US10209107B2 (en) | Geometric error identification method of multi-axis machine tool and multi-axis machine tool | |
| US6163973A (en) | Non-contact surface roughness measuring device | |
| JP5355037B2 (ja) | 精度測定方法及び数値制御工作機械の誤差補正方法並びに誤差補正機能を有した数値制御工作機械 | |
| JP5444590B2 (ja) | ワーク基準点機上検出方法及びその方法を用いた加工装置 | |
| JP2755346B2 (ja) | 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 | |
| CA2345578A1 (en) | Tool path measurement | |
| JP6147022B2 (ja) | 工作機械の空間精度測定方法および空間精度測定装置 | |
| JPH038683B2 (ja) | ||
| JP2831610B2 (ja) | 測定装置 | |
| JP4571256B2 (ja) | 逐次２点法による形状精度測定装置および逐次２点法による形状精度測定用レーザ変位計間隔測定方法 | |
| JP3394972B2 (ja) | 自動工作機械 | |
| JP6054134B2 (ja) | 超精密形状測定装置 | |
| JPH08210837A (ja) | 三次元座標測定機の回転角度誤差補正におけるプローブ位置ベクトル算出装置 | |
| US4747734A (en) | Profiling apparatus | |
| JP7448895B2 (ja) | 送り装置 | |
| JPH04140691A (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH06137852A (ja) | 直線運動体の運動誤差測定装置 | |
| JPH07239217A (ja) | レーザ追尾式座標測定機 | |
| JPH0321826Y2 (ja) | ||
| JP2539097B2 (ja) | 加工誤差補正方法及び工作機械 | |
| JPH11151639A (ja) | インプロセス計測装置 | |
| JPH11207482A (ja) | ３次元レーザ加工機における被加工材の原点検出方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |