JP2014163757A - 工作機械の空間精度測定方法および空間精度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザの照射方向を変更可能に工作機械1にレーザ干渉計10を取り付け、予め定められた測定プログラムに従い工作機械上で反射鏡20を移動させ、測定プログラム31に基づいてレーザ干渉計10のレーザの照射方向を変更させながら、移動中の反射鏡20に向けてレーザ干渉計10からレーザを照射してレーザ干渉計10に対する反射鏡20の距離情報を取得し、レーザ干渉計10が取得した距離情報に基づいて、工作機械1の空間精度を測定する。
【選択図】図3
Description
図8(a),(b)は、装置本体101の平面図および側面図である。図中、点Pxは、装置本体101の回転軸線L1と回転軸線L2(図4参照)との交点であり、装置本体101の原点(装置原点)に相当する。準備段階では、まず、テーブル5上面の第1位置Ps1(図3)に、装置本体101を設置する。このとき、図8(a),(b)に示すように、レーザ干渉計10から照射されるレーザLsが装置原点Pxを通過するように、支持装置11へのレーザ干渉計10の取付位置を調整する。
準備段階の終了後、測定開始指令が入力されると、数値制御装置50は、初期動作として送り軸モータMに制御信号を出力し、図5に示すように反射鏡20を測定開始点P1に移動する。さらに、レーザ干渉計制御部30Aは、初期動作としてレーザ干渉計20が測定開始点P1を向くようにレーザ干渉計用モータ36に制御信号を出力し、反射鏡20にレーザを照射させる。このとき、レーザ干渉計10によって測定されたレーザ長さを基準値(例えば0)としてメモリに記憶する。以降、この基準値を基準として、反射鏡20を移動させた際のレーザ長さの変化量、つまりレーザ変位が測定される。
上記実施形態では、装置本体101を第1位置Ps1〜第4位置Ps4に順次移動して、各位置でレーザ変位の測定を行うようにしたが、装置本体101を4台設け、これらを第1位置Ps1〜第4位置Ps4にそれぞれ設置するようにしてもよい。これにより各位置でのレーザ変位の測定を同時に行うことができ、短時間で工作機械1の空間精度を測定することが可能となる。なお、2台または3台の装置本体101を設けるようにしてもよい。この場合も複数個所からのレーザ変位の測定を同時に行うことができ、空間精度測定に要する時間の短縮が可能である。
10 レーザ干渉計
11 支持装置
20 反射鏡
30 制御部
30A レーザ干渉計制御部
30B 空間精度演算部
31 測定プログラム
36 レーザ干渉計用モータ
100 空間精度測定装置
Claims (6)
- レーザの照射方向を変更可能に工作機械にレーザ干渉計を取り付ける第1工程と、
予め定められた測定プログラムに従い前記工作機械上で反射鏡を移動させる第2工程と、
前記測定プログラムに基づいて前記レーザ干渉計のレーザの照射方向を変更させながら、移動中の前記反射鏡に向けて前記レーザ干渉計からレーザを照射して前記レーザ干渉計に対する前記反射鏡の距離情報を取得する第3工程と、を含み、
前記レーザ干渉計が取得した距離情報に基づいて、前記工作機械の空間精度を測定することを特徴とした工作機械の空間精度測定方法。 - 請求項1に記載の工作機械の空間精度測定方法において、
前記第2工程では、予め定められた設定加速度および設定速度で前記反射鏡を移動させ、
前記第3工程では、前記設定加速度および前記設定速度に対応した加速度および速度で前記レーザ干渉計のレーザの照射方向を変更させる工作機械の空間精度測定方法。 - 請求項1または2に記載の工作機械の空間精度測定方法において、
前記レーザ干渉計を所定位置に配置して前記第1工程、前記第2工程および前記第3工程を実行した後、前記レーザ干渉計を別の位置に配置して前記第1工程、前記第2工程および前記第3の工程を実行し、それぞれの位置で前記レーザ干渉計が取得した距離情報に基づいて、前記工作機械の空間精度を測定する工作機械の空間精度測定方法。 - 請求項1または2に記載の工作機械の空間精度測定方法において、
前記レーザ干渉計を複数備え、これら複数のレーザ干渉計を互いに異なる位置に配置して前記第1工程、前記第2工程および前記第3工程をそれぞれ実行し、前記複数のレーザ干渉計が取得した距離情報に基づいて、前記工作機械の空間精度を測定する工作機械の空間精度測定方法。 - レーザの照射方向を変更可能に工作機械に取り付けられるレーザ干渉計と、
前記レーザ干渉計に対応して前記工作機械に移動可能に取り付けられる反射鏡と、
予め定められた測定プログラムを読み取る制御部と、
前記反射鏡に向けてレーザを照射するように前記測定プログラムに基づいて前記レーザ干渉計のレーザの照射方向を変更させる照射方向変更部と、
前記レーザ干渉計が取得した前記レーザ干渉計に対する前記反射鏡の距離情報に基づいて、前記工作機械の空間精度を求める空間精度測定部と、を備えることを特徴とした工作機械の空間精度測定装置。 - 請求項5に記載の空間制度測定装置において、
主軸に対して相対移動可能なテーブルに取り付けられたレーザ干渉計支持部をさらに備え、
前記レーザ干渉計は、第1回転軸周りおよび第1回転軸に直交する第2回転軸周りに回転可能に前記レーザ干渉計支持部に取り付けられ、
前記反射鏡は、前記主軸に取り付けられる工作機械の空間精度測定装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106546167A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-03-29 | 四川大学 | 用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具 |
CN107111295A (zh) * | 2015-01-29 | 2017-08-29 | 泽拉斯股份责任有限公司 | 用于数控机床的轴的归位和后续定位的设备和工序 |
CN107576265A (zh) * | 2017-08-07 | 2018-01-12 | 北京理工大学 | 一种激光干涉仪自动对光的测量方法 |
CN110576339A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-12-17 | 陕西科技大学 | 一种激光跟踪仪基站标定装置 |
CN111198383A (zh) * | 2020-01-23 | 2020-05-26 | 科德数控股份有限公司 | 一种激光尺 |
JP7411132B1 (ja) | 2023-05-01 | 2024-01-10 | Dmg森精機株式会社 | ワーク形状測定方法、及びワーク形状測定装置。 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993008449A1 (en) * | 1991-10-12 | 1993-04-29 | Renishaw Transducer Systems Limited | Measuring the accuracy of multi-axis machines |
JP2755346B2 (ja) * | 1994-02-28 | 1998-05-20 | 工業技術院長 | 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 |
JP2010190633A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Mitsutoyo Corp | 測定システムおよび干渉計 |
JP2012093105A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Mitsutoyo Corp | レーザ光の光軸方向の測定方法、長さ測定システム、および位置決め精度の検査方法 |
-
2013
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993008449A1 (en) * | 1991-10-12 | 1993-04-29 | Renishaw Transducer Systems Limited | Measuring the accuracy of multi-axis machines |
JP2755346B2 (ja) * | 1994-02-28 | 1998-05-20 | 工業技術院長 | 自動工作機械の運動精度測定方法及びその装置 |
JP2010190633A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Mitsutoyo Corp | 測定システムおよび干渉計 |
JP2012093105A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Mitsutoyo Corp | レーザ光の光軸方向の測定方法、長さ測定システム、および位置決め精度の検査方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107111295A (zh) * | 2015-01-29 | 2017-08-29 | 泽拉斯股份责任有限公司 | 用于数控机床的轴的归位和后续定位的设备和工序 |
JP2018508867A (ja) * | 2015-01-29 | 2018-03-29 | ゼラス エス.アール.エル. | 数値制御機械の軸の原点復帰及び後続の位置決めのための装置及び手順 |
CN107111295B (zh) * | 2015-01-29 | 2020-09-22 | 泽拉斯股份责任有限公司 | 用于数控机床的轴的归位和后续定位的设备和工序 |
CN106546167A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-03-29 | 四川大学 | 用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具 |
CN107576265A (zh) * | 2017-08-07 | 2018-01-12 | 北京理工大学 | 一种激光干涉仪自动对光的测量方法 |
CN110576339A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-12-17 | 陕西科技大学 | 一种激光跟踪仪基站标定装置 |
CN110576339B (zh) * | 2019-09-12 | 2021-01-29 | 陕西科技大学 | 一种激光跟踪仪基站标定装置 |
CN111198383A (zh) * | 2020-01-23 | 2020-05-26 | 科德数控股份有限公司 | 一种激光尺 |
JP7411132B1 (ja) | 2023-05-01 | 2024-01-10 | Dmg森精機株式会社 | ワーク形状測定方法、及びワーク形状測定装置。 |
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